【課題】 光導波路部分を確実に検出して、分割予定位置を割り出すことが可能な光導波路基板の分割方法を提供することである。
【解決手段】 内部に光導波路が複数形成された透明体からなる光導波路基板の分割方法であって、該光導波路基板を保持面が鏡面である保持テーブルに載置する載置ステップと、該保持テーブル上の該光導波路基板の上方から照明光を照射しつつ、該光導波路基板の表面を撮像手段で撮像し、該保持テーブルの該鏡面で反射された反射光が該透明体部分は透過し該光導波路部分は部分的に吸収若しくは乱反射されて透過光量が減少することによる明暗のコントラストに基づいて、該光導波路基板の分割予定位置を割り出す分割予定位置割り出しステップと、該分割予定位置で該光導波路基板上面から該保持テーブルに切り込んで該光導波路基板を切削ブレードで分割する分割ステップと、を具備したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】広波長帯域にわたり消光比が高い復調用遅延回路および光受信器を提供する。
【解決手段】入力側カプラ６，１０と出力側カプラ７，１１とを接続する第一のアーム導波路８，９と第一のアーム導波路よりも光路長が短い第二のアーム導波路１２，１３とを有し、入力光信号を遅延させて干渉させる光干渉計を備え、光伝搬方向が入力側カプラと出力側カプラとで略１８０度異なる。入力側および出力側カプラはそれぞれ第一および第二の導波路を有し、第一の導波路は第二の導波路よりも光路長が長く、第一の導波路と第二の導波路とは長手方向２箇所において第一の方向性結合器と第二の方向性結合器とが形成されており、略５０％の結合率の波長無依存カプラとして構成され、入力側カプラの長手方向に対して入力側カプラの第一の導波路が配置されている側と、出力側カプラの長手方向に対して出力側カプラの第一の導波路が配置されている側とが同一である。 （もっと読む）

【課題】リッジ形状やメサ形状といった凸状部分上の樹脂若しくはレジストのエッチングの停止タイミングを容易に且つ精度良く判断することが可能な光半導体デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】この光半導体デバイスの製造方法は、一対の溝に挟まれた光導波路において光の導波を行う光変調器を製造する方法であって、ウエハ１６上に設定された評価用領域（ＴＥＧ領域）に、複数対の評価用溝３１ａ，３１ｂを形成する工程と、ウエハ１６上に樹脂層１３を塗布する工程と、樹脂層１３に対してエッチングを行い、光導波路の頂部を露出させる露出工程と、光導波路上に電極を形成する工程とを備え、評価用領域における複数対の評価用溝３１ａ，３１ｂの幅が各対毎に異なっており、露出工程の際に、エッチングによって評価用領域における少なくとも一対の評価用溝３１ａ，３１ｂに挟まれた領域３３の頂部を露出させる。 （もっと読む）

【課題】電気伝送を代替する光インターコネクション用の光結合回路を部品点数が少なく且つ安価に入手し得るようにし、損失の少ない送受信用光モジュールを提供すること。
【解決手段】光インターコネクション回路の一部を成す光結合回路１１を、ボード１０上に入力される光信号を一方の端部から他方の端部に案内する導波路１２と、この導波路１２の他方の端部に異なった方向への光信号の送受信を案内する４５度多重反射ミラー１４と、この４５度多重反射ミラー１４を介して光信号を送受信し外部に対して信号の授受を中継する信号伝達手段１５，２５…とを備え、前記導波路１２には前記４５度多重反射ミラー１４内での光信号の広がりを抑制する光レンズ部１２ｃを設け、この光レンズ部１２ｃを前記導波路と一体化するように構成した。そして、信号送受信用光モジュールでは、この光結合回路を装備した。 （もっと読む）

【課題】伝送効率および受発光素子等に対する光結合効率が高く、信頼性の高い光導波路、およびかかる光導波路を備える電子機器を提供すること。
【解決手段】光導波路１は、その光入射端部１Ａ近傍が、横断面上に線を引いたときその線上における屈折率分布がステップインデックス型になっているＳＩ部で構成され、光入射端部１Ａ近傍以外の部位は、屈折率分布がグレーデッドインデックス型になっているＧＩ部で構成されている。なお、ステップインデックス型の屈折率分布とは、屈折率が階段状に変化した分布を指し、グレーデッドインデックス型の屈折率分布とは、屈折率が高い領域とその両側にそれぞれ隣接する屈折率が低い領域とを有し、かつ屈折率が連続的に変化している分布を指す。 （もっと読む）

【課題】露光装置等の高価な装置を使用することなく低コストで製造でき、生産性に優れた光路変換用のミラー部品を提供する。
【解決手段】光導波路の光伝送方向の端面に接合される光路変換用のミラー部品であって、内部を光が伝播する導光部と、前記導光部の内部において光を入射方向と垂直な方向に反射させる４５°ミラー面とを少なくとも有し、前記導光部は、前記４５°ミラー面に対向し、光導波路と接合される接合面（第１の面）と、前記４５°ミラー面を形成する第２の面と、前記４５°ミラー面に対向し、光を入射又は出射させる第３の面とを少なくとも有することを特徴とするミラー部品。 （もっと読む）

【課題】複数の光導波路を一度に製造する場合において、オーバークラッド層の上面が平坦な光導波路を、生産性よく製造することができる光導波路の製法を提供する。
【解決手段】基板Ａ上を複数の光導波路Ｗに対応する領域に区画し、その領域ごとに、アンダークラッド層１を形成するとともに、隣接し合うアンダークラッド層１の間に、そのアンダークラッド層１と隙間をあけて、ダミーアンダークラッド層Ｄを形成する。ついで、アンダークラッド層１およびダミーアンダークラッド層Ｄの上面にコア２を形成した後、オーバークラッド層形成用の感光性樹脂を一面に塗布する。そして、複数の光導波路Ｗに対応する、感光性樹脂層３ａの部分を選択的に露光し、その露光部分をオーバークラッド層３に形成することにより、アンダークラッド層１とコア２とオーバークラッド層３とからなる複数の光導波路Ｗを形成し、それらを基板Ａから剥離する。 （もっと読む）

【課題】使用する光信号の波長制約が少なく、かつ光ファイバと光導波路コアとの位置合わせが容易で、光ファイバの位置ずれ・ピッチずれがしにくく、光学素子の実装が容易であり、かつ基板の大きさの制限を受けずに光路変換ミラーを備えられる光ファイバ配線板及び光ファイバ電気配線複合基板を提供する。
【解決手段】本発明の光ファイバ配線板は、光ファイバを固定するための溝を有する光ファイバガイド部材と、クラッド層及びコアパターンを有する光導波路とが、該溝に固定された光ファイバと光信号を送受可能な位置に並設されてなる光ファイバコネクタと、前記溝に固定された光ファイバとが、第１基板上に具備されてなる。 （もっと読む）

【課題】グレーテッドインデックス型またはそれに類似した屈折率分布を有する光導波路を効率よく低コストで製造可能な光導波路の製造方法、伝送損失が小さく信頼性の高い光導波路、およびかかる光導波路を備える電子機器を提供すること。
【解決手段】ポリマー９１５を含有する層９１０を形成する第１の工程と、層９１０に活性放射線のビーム９３０を照射し、ポリマー９１５中の化学構造の一部を変化させ、屈折率を低下させることにより、層９１０中に屈折率分布を形成する第２の工程と、を有する。ここで、第２の工程において、ビーム９３０の焦点を層９１０の厚さ方向に沿って往復移動させつつ、かつ、ビーム９３０を層９１０の面方向に沿って相対的に移動（面内移動）させつつ、ビーム９３０を照射する。これにより、焦点近傍とそれ以外の領域での積算光量の差に基づき、グレーテッドインデックス型の屈折率分布が形成される。 （もっと読む）

【課題】光発生装置を構成する半導体レーザ、光学部品及び光導波路を基板上に搭載固定するに際して、各半導体レーザ、光学部品及び光導波路相互間の位置合わせを精度良く行うことが可能な光発生装置を提供する。
【解決手段】シリコン基板２上にて半導体レーザ４が搭載固定される半導体レーザ搭載領域８の基準面６からの高さが大きくなるとともに、光学部品３が搭載固定される光学部品搭載領域７及び放熱部材１３を介して光導波路５が搭載固定される光導波路搭載領域９の基準面６からの高さが小さくなるように、シリコン基板２に選択的エッチングが行われてシリコン基板２に各搭載領域７、８、９による凹凸形状が形成され、これに基づき半導体レーザ４、光学部品３、光導波路５の相互間における高さ方向の位置合わせが行われるように光発生装置１を構成する。 （もっと読む）

【課題】高分子材料を鋳型に注入して製造する方法において、コアが直線状に形成されないので、コアの長さが鋳型の大きさによって制限されずに、長尺のコアを形成できる。
【解決手段】高分子材料からなるコアと、当該コアの少なくとも一面に接して設けられたクラッドフィルムとを有する高分子光導波路において、前記コアは、前記クラッドフィルムの表面に対して４５°の角度で傾斜する反射ミラー面を有するとともに、前記コアは、少なくともその一部が、螺旋状に配置されており、前記螺旋状に配置されたコアの間で、クラッドフィルムが分離可能とされていることを特徴とする高分子光導波路。 （もっと読む）

【課題】オーバークラッド層の形成に、ばりを生じさせない成形型を用いる光導波路の製法を提供する。
【解決手段】オーバークラッド層形成用の成形型２０を、透光性樹脂２０Ａを形成材料とし、オーバークラッド層の形状と同一形状の突起部分４１と、その突起部分４１の周囲に形成された突条部分４２とを有する型部材４０を用いて型成形することにより作製する。この成形型２０は、突起部分４１の脱離跡が、オーバークラッド層形成用の凹部２１に形成され、突条部分４２の脱離跡が、溝部２２に形成される。そして、オーバークラッド層を形成する際には、凹部２１内に、オーバークラッド層形成用の感光性樹脂を充填し、その感光性樹脂内に、アンダークラッド層の表面に形成されたコアを浸し、凹部２１から溢れた感光性樹脂を溝部２２に溜めた状態で、成形型２０を透して露光し硬化させる。 （もっと読む）

【課題】光結合デバイスの実装体積や実装構造上の制約のより少ない状態で、検査コストが低減できるようにする。
【解決手段】ウエハ段階までの製造工程を経た素子について、ウエハ段階検査を行う。まず、複数の光集積回路チップが形成されたウエハ１２１において、検査対象となる光集積回路チップ１２２の上に光ファイバ１０８の光入出射端を近設し、光集積回路チップ１２２内部より光導波路部コア１４４からなる光導波路を導波してきた光信号１５１を、回折格子部１４３よりなるグレーティングカプラで反射させて光ファイバ１０８に光結合させる。このようにして光ファイバ１０８に光結合した信号光を用い、光集積回路チップ１２２における光ＩＣの特性検査が行える。なお、光ＩＣ部は、必要に応じ、通電用プローブによる電気信号の供給が行われて駆動されている。 （もっと読む）

【課題】アンダークラッド層の表面にコアを形成した樹脂シートを、オーバークラッド層形成用の屈曲溝部が形成された成形型の型面に重ねる際に、上記屈曲溝部の屈曲部分に気泡が残留しないようにすることができる光導波路基材の製造方法およびそれによって得られた光導波路基材を用いた光導波路の製造方法を提供する。
【解決手段】オーバークラッド層形成用のＬ字形状の屈曲溝部２１がその型面に形成された成形型２０を用い、その成形型２０のＬ字形状の屈曲溝部２１にオーバークラッド層形成用の硬化性液状樹脂３Ａを充填した後、シート材１０の表面にアンダークラッド層１とコア２とが形成された樹脂シートＡを、屈曲溝部２１のＬ字形状の開放部とは反対方向になる成形型２０の一端部側から開放部側に徐々に重ねるとともに、樹脂シートＡのコア２を屈曲溝部２１内の硬化性液状樹脂３Ａに埋入する。 （もっと読む）

【課題】１×２の多段構成の光スプリッタ用光導波路の入出力間の距離を低減する。
【解決手段】合波分岐光導波路構造150は、一方の側S1に湾曲する第１の軸線LA1に沿って形成された合波側の第１のコア部A1と、一方の側S1に湾曲する第２の軸線LB1に沿って形成された分岐側の第２のコア部B1と、他方の側S2に湾曲する第３の軸線LC1に沿って形成された分岐側の第３のコア部C1とを有する。軸線LA1,LB1,LC1は、互いに平行なそれぞれの接線と接する接点PA1,PB1,PC1を有する。更に、接点PB1,PC1は、第１の軸線LA1の接点PA1における接線TA1と垂直に第１の接点PA1を通って延びる垂直線LP1から分岐側の領域内に位置する。第３の軸線LC1の接点PC1は、接線TA1に対して他方の側S2に位置している。 （もっと読む）

【課題】基板上に配置される光デバイスと基板に形成される光導波路とをインタフェース接続する光接続構造を提供すること。
【解決手段】本発明の製造方法では、ダイシング・テープ１４０上に、無機固体材料で形成されるウエハ１３０を準備するステップと、先端角を有するダイシングブレード１４２により、ウエハ１３０の裏面を略山形形状に切削するステップと、ダイシング・テープ１４０をウエハ１３０から剥離し、かつ略山形形状の谷で分離して、光接続要素として、ウエハ１３０の表面Ｍにあたる鏡面を有する３次元多面体の光反射部材１１４を得るステップとを含む。得られた光接続要素（１１４）は、光伝送基板１００が備える光導波路１０６ａに略直交して光伝送基板１００の基板主面に開口するトレンチ内に挿入されて、外部との光接続構造を与える。 （もっと読む）

【課題】中心波長の偏波依存性ＰＤλを大幅に抑制しかつ歩留まりを向上させたアレイ導波路格子チップおよび平面光波回路を提供する。
【解決手段】アレイ導波路格子チップ１０では、入力導波路３１_１〜３１_３と出力導波路３３_１〜３３_ｎとをそれぞれ有するＡＷＧ回路３０、４０が１チップに２回路形成されている。ＡＷＧ回路３０，４０それぞれの中心波長の偏波依存性ＰＤλが異なっている。ＡＷＧ回路３０におけるアレイ導波路３５の各導波路３５ａの幅とＡＷＧ回路４０におけるアレイ導波路４５の各導波路４５ａの幅とを異ならせることにより、１チップに、中心波長の偏波依存性ＰＤλの分布が２つできる。ＡＷＧ回路３０，４０のいずれか一方の中心波長の偏波依存性ＰＤλが許容値以下であれば、アレイ導波路格子チップ１０が合格品となる。合格品となる割合が高くなり、歩留まりが向上する。 （もっと読む）

【課題】細いコア部を有する光導波路でも高い寸法精度で効率よく形成可能な光導波路の製造方法、および、光導波路を配線基板上に簡単に配設し、これにより光電気混載基板を効率よく製造可能な光電気混載基板の製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明の光導波路の製造方法は、押出成形法により、基材６上に内層形成用材料１’（第１の材料）で構成された内層１と、この内層１を囲むように設けられ、外層形成用材料２’（第２の材料）で構成された外層２とを有する帯状の成形体３を得る成形工程と、成形体３の一部の領域に活性放射線を照射することにより、内層１中に３つのコア部１１と側面クラッド部１２とを形成し、光導波路１０を得る露光工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】発光素子や、受光素子等外部の素子との間において、光の伝搬を行う際に、光の伝搬損失を低減させることができる光導波路および光導波路モジュールを提供すること。
【解決手段】光導波路３は、上部クラッド層３３および下部クラッド層３１と、上部クラッド層３３と、下部クラッド層３１とに挟まれたコア層３２とを備え、所定方向に沿って延在するものである。光導波路３は、延在方向と交差する一対の端面が傾斜面となっている。この傾斜面は、上部クラッド層３３の端面、コア層３２の端面、下部クラッド層３１の端面で構成され、上部クラッド層３３側から、下部クラッド層３１側に向かって外側に傾斜している。この傾斜面と、コア層３２内の光軸（光導波路３の延在方向に沿った軸）とがなす角度は約４５度である。また、コア層３２の延在方向中心部の厚みと、コア層３２の端部の厚みとが異なっている。さらに、この光導波路３は可とう性を有したフィルムである。 （もっと読む）

【課題】入射する光の利用効率を上げることができる光導波路を得る。
【解決手段】光導波路２０は、第１クラッド２４と、第１クラッド２４よりも屈折率が大きいコア２６と、コア２６よりも屈折率が小さい第２クラッド２８とを有している。コア２６の入射部３８には、入射部３８の信号光Ｌの入射側周縁を信号光Ｌの入射方向へ向けて拡幅した傾斜部４８が形成されている。ここで、入射部３８の入射側周縁に傾斜部４８が形成されていることにより、入射部３８へ入射する信号光Ｌの入射部周縁での反射が抑えられ、信号光Ｌの利用効率を上げることができる。 （もっと読む）