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Fターム[2K002FA17]の内容

光偏向、復調、非線型光学、光学的論理素子 (16,723) | 製造方法 (629) | パターン形成 (57) | フォトリソグラフィ (23)

Fターム[2K002FA17]に分類される特許

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【課題】紫外線レーザ光線もしくは、紫外線レーザ光線と可視レーザ光線との両方を出射主するレーザ装置を提供する。
【解決手段】レーザ装置は、単結晶薄膜周波数倍化導波路構造の形で周波数倍化結晶へと繋がる可視レーザ光を生成する半導体レーザ装置を含む。単結晶薄膜周波数倍化導波路は、半導体レーザより出射される可視光の一部を紫外線光へと変換する。可視レーザ光と紫外線レーザ光との両方が、上記周波数倍化導波路から出射される。例えば、上記単結晶薄膜周波数倍化導波路は、β−BaB(β−BBO)から成る周波数倍化結晶領域、紫外線レーザ光線の波長において透過性を有する、あるいはほぼ透過性を有する物質から成るクラッド領域、および、あらゆる物質から成る支持基板を含む。 (もっと読む)


【課題】コングルエント組成のマグネシウム添加タンタル酸リチウム単結晶を用いて分極反転構造の形成過程を制御することができ、高い変換効率を有する波長変換素子を安定して生産することができる波長変換素子、レーザ光源装置、画像表示装置及び波長変換素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】波長変換素子の製造方法は、MgLN基板101の+z面に周期電極103を、−z面に対向電極104を形成する工程と、周期電極103及び対向電極104を形成した後に熱処理を行う熱処理工程と、MgLN基板101を100℃以上に保持した状態で、周期電極103と対向電極104間にパルス状の電界を印加する電界印加工程と、を有する。また、波長変換素子100は、熱処理後のMgLN基板101に対して、電界印加により形成された分極反転構造を有する。 (もっと読む)


【課題】より低消費電力化を実現した熱光学位相シフタ、およびこれを用いた可変光減衰器、1×M光スイッチ、可変波長フィルタを提供すること。
【解決手段】請求項1に記載された発明は、光信号を導波するための光導波路13と、該光導波路13の一部を加熱することで前記光信号に位相変化を与えるヒータ15とを備え、前記ヒータ15の長手方向と前記光導波路13の加熱される部分131、132の長手方向とが同じ向きになるように重なって設けられており、前記光導波路の加熱される部分が、複数本の互いに平行な光導波路を光学的に結合して往復する1本の導波路となるようにした折り返し構造に形成されることで、前記加熱される部分の光導波路が前記ヒータと重なる位置に高密度に設けられていることを特徴とする熱光学位相シフタである。可変光減衰器、1×M光スイッチ、可変波長フィルタはこの熱光学位相シフタを用いて構成できる。 (もっと読む)


【課題】発生キャリアを光吸収層から効率的に引き抜くことができ、ゲート幅の裾引きを改善することが可能な光ゲート素子を提供する。
【解決手段】半導体基板11上に、下部クラッド層12、バルク材料からなる光吸収層13、および、上部クラッド層14が順次積層された導波路構造と、少なくともその一部が導波路構造の上方に形成される上部電極22と、半導体基板11の下方に形成される下部電極23と、を備え、入力されるポンプ光の光強度に応じて光吸収層13の吸収係数が変化する相互吸収飽和特性を利用して、光信号のサンプリングを行うために用いられる光ゲート素子であって、導波路構造の光の導波方向の少なくとも一方の側方に、ポンプ光または光信号により光吸収層13内に発生したキャリアを一時的に蓄積するための容量領域を備える。 (もっと読む)


【課題】強誘電体結晶同士を接合する接着剤の剥離が生じない、強誘電体結晶からなる光導波路素子を提供する。
【解決手段】強誘電体結晶からなる基板10と、基板10上に形成された第1の接着層20と、第1の接着層20を介して基板10と接合された強誘電体結晶からなる光導波路層30と、光導波路層30上に形成された第2の接着層40と、第2の接着層40を介して光導波路層30と接合された、強誘電体結晶からなるキャップ層50とを備え、両端部においてスラブ型導波路構造を形成し、両端部に挟まれた中央領域において3次元導波路構造を形成している。 (もっと読む)


【課題】熱干渉を抑制した小型な多連熱光学位相シフタおよびそれを用いた光干渉回路を提供すること。
【解決手段】2つの方向性結合器102a、102bとそれらを連結するアーム導波路103からなるマッハツェンダ干渉計と、二重コア、アーム導波路103上に設置された薄膜ヒータ111、およびそのヒータ111に電力を供給する配線112とからなる位相シフタと、アーム導波路103の両側に形成された断熱溝121とから構成されている。二重コアとその上方の薄膜ヒータ111は、アーム導波路103で(図1の紙面の縦方向に)整列しておらず、アーム導波路103の長手方向に対して垂直方向に平行移動した位置にそれぞれが重なることがないように、ずらして配置したことを特徴としている。隣接する二重コアおよび薄膜ヒータ111をずらず量としては、薄膜ヒータ111の長さ以上にずらずことが重要である。 (もっと読む)


【課題】
OIF標準の出力ポート配置を実現しつつ、デバイスのコンパクト化が可能な光回路構成を有する、90度光ハイブリッド干渉計を提供する。
【解決手段】
TE光信号側およびTM光信号側のそれぞれにおいて、I相側とQ相側のいずれか一方の、信号光導波路アームと局部発振光導波路アームとの対に、光路長差を設けた構造として、I相側信号とQ相側の信号との間に相間位相差を与え、I相側の結合器とQ相側の結合器がそれぞれ有する出力干渉特性同士の位相差と、相間位相差とを合計した、出力位相差をπ/2とすることにより、8つの出力ポートの出力信号を、上からTE光信号側のIp、In、Qp、Qn、およびTM光信号側のIp、In、Qp、Qnの順に配列する。 (もっと読む)


【課題】従来のフォトニック結晶を用いた光偏向素子と比較して、より大きな偏向角度が得られる光偏向素子を提供する。
【解決手段】第1方向で伝播された入射光Linが入射する入射端面20、入射端面20から入射されて伝播する伝播光を反射する反射面22、及び反射面22で反射された伝播光が第1方向とは異なる第2方向に出射光Loutとして出射する出射端面24を有するフォトニック結晶18を備え、入射端面20及び出射端面24における2度のスーパープリズム効果により、第2方向と出射端面24の法線とが成す出射角が、第1方向と入射端面20の法線とが成す入射角又は入射光の波長に応じて変化して、光伝播方向を偏向する光偏向素子とする。 (もっと読む)


【課題】光非線形性結晶を用いた差周波混合過程において、テラヘルツ波の閉じ込めが可能な導波路構造を備え、高効率でコヒーレントなテラヘルツ波発生装置及び発生方法を提供する。
【解決手段】ポンプ光2Aを発生するポンプ光源2と、信号光3Aを発生する信号光源3と、ポンプ光2と信号光3を同じ光路上で合成するための入射光学部5と、入射光学部5で合波されたポンプ光2D及び信号光3Dが入射されるテラヘルツ波発生用結晶7と、を備え、テラヘルツ波発生用結晶7は、スラブ型の導波路又はリブ型の導波路構造を有しており、合波されたポンプ光2D及び信号光3Dが導波路の光軸方向に入射され、導波路7におけるポンプ光2と信号光3との差周波数混合によって導波路7の光軸上にテラヘルツ波8を発生する。 (もっと読む)


【課題】強誘電体バルク中に分極反転部分を形成する技術を利用し、広範な光学用途、電子デバイス用途に使用可能な、新しいバルク素子を提供することである。
【解決手段】強誘電体バルク素子11Bは、強誘電体バルクに設けられた単分域化処理部10Bと、この単分域化処理部に隣接する広域分極反転部19Bとを備えている。 (もっと読む)


【課題】光損傷耐性が高く、大口径の光ビームに対するスイッチ動作をより少ない電力で高速に行う光スイッチを提供する。
【解決手段】電気光学結晶と、同一平面上に配置された複数の電極106からなる電極部107とを有し、電極部107により発生した電界により上記電気光学結晶の一部の屈折率を変化させることによって、上記電気光学結晶に入射した入射光の透過と反射とを切り換える光スイッチであって、上記電気光学結晶は、電極部107を構成する電極の間に、上記平面からの高さが電極106よりも高い側壁を有し、上記電気光学結晶の、少なくとも電極部107からの電界が及ぶ領域が、光学的に均質な材料より形成されている。 (もっと読む)


【課題】電極スイッチの切り替えの煩雑さを解消した多方路光スイッチを提供すること。
【解決手段】駆動電極チャネル1に給電すると、2分岐スイッチ素子402を第1のスイッチ素子、ゲートスイッチ素子411を第1のスイッチ素子とした時、第1のスイッチ素子の駆動手段202と、第2のスイッチ素子の駆動手段311が並列に共通駆動される。また、2分岐スイッチ素子404を第3のスイッチ素子とした時、第3のスイッチ素子の駆動手段204が、第1のスイッチ素子の駆動手段202と直列に駆動される。第1および第3のスイッチ素子の駆動に要するパワーはP1=Pπ/2、第2のスイッチ素子の駆動に要するパワーはP2=Pπであるので、第1のスイッチ素子と第2のスイッチ素子の駆動手段を共通駆動した時に、配分されるパワーの比率がP1/P2=1/2になるようにする。 (もっと読む)


【課題】櫛歯電極の長手方向の端部において過剰に分極反転が進行することを防ぎ、均一で高精度な周期分極反転構造を高い製造歩留まりで実現する光機能素子の製造方法を得ること。
【解決手段】強誘電体材料の基板の第1の主面上に、一方向に伸長した電極を所定の周期で櫛歯状に複数並列に配置した櫛歯電極105と、櫛歯電極105の周囲を覆うように形成される外枠電極106と、櫛歯電極105と外枠電極106とを結ぶ電極間配線107と、を形成し、第1の主面に対向する基板101の第2の主面上の全面に裏面電極104を形成し、第1の主面の外枠電極106と第2の主面の裏面電極104との間に電圧を印加して周期分極反転構造を形成し、該周期分極反転構造を形成した領域を切出して光機能素子を製造する際に、電極間配線107は絶縁層102を介して基板101上に形成される。 (もっと読む)


【課題】チップの小型化と、偏波乖離量の低減と図った遅延復調デバイスを提供する。
【解決手段】遅延復調デバイス1は、DQPSK信号が入力される光入力導波路2と、光入力導波路2を分岐するY分岐導波路3と、第1のマッハツェンダー干渉計(MZI)4と、第2のマッハツェンダー干渉計5と、を備える。MZI4のアーム導波路8,9の両端部およびMZI5のアーム導波路12,13の両端部が、平面光波回路(PLC)1Aの中心部側に向けてそれぞれ曲げられている。これにより、MZI4のアーム導波路8,9部分のZ方向長さと、MZI5のアーム導波路12,13部分のZ方向長さとがそれぞれ短くなると共に、各MZIの入力側カプラ6,10部分および出力側カプラ7,11部分のZ方向長さもそれぞれ短くなる。各MZI4,5部分の面積が小さくなる。 (もっと読む)


【課題】小型化、動作速度の高速化、低電圧化を同時に図ることができる光変調器を、フォトニック結晶共振器にPIN構造を作製してキャリアを高速に共振器の外に引き出す。
【解決手段】本発明は、フォトニック結晶共振器を用いたスイッチ素子において、フォトニック結晶基板中に、共振器部位を挟んで対向する領域に電極領域を設け、共振器に発生させた二光子吸収キャリアを、電極領域に電界を印加して引き抜くことにより、該共振器のキャリアを、拡散によって散逸するよりも早く除去する。また、フォトニック結晶導波路の所定の位置に、二光子吸収キャリアを発生させ、該キャリアに起因する自由電子吸収によりスイッチングを行う光スイッチ素子において、フォトニック結晶基板中で、導波路を挟んだ所定の領域に電極領域を設け、電極領域に挟まれた導波路中に発生させた二光子吸収キャリアを、電界印加によって拡散より早く導波路から引き抜き、除去する。 (もっと読む)


【課題】対レジスト選択比を向上させ、1.0μm以上の深さのエッチングを可能とするとともに、エッチングレートを速め加工時間を短縮することが可能な高誘電体材料の加工方法を提供すること。
【解決手段】フッ素に対する炭素の比の大きいガスを使用し、高密度プラズマ・大流量・高真空プロセスを使用することで対レジスト選択比を向上させ、幅3μm、高さ1.5μmのリッジ加工が可能となる。また、酸素放電による結晶回復、結晶欠陥除去を実施することで光散乱を抑制することができ、光閉じ込めが実現できる。 (もっと読む)


【課題】広範囲にわたる均質なポーリング処理とデバイス表面の平滑化の両立が図られた導波路デバイスの製造方法を提供すること。
【解決手段】基板201上に、第1電極(下部電極202)、第1クラッド層(下部クラッド層203)、導波路204、第2クラッド層(上部クラッド層205)、及び第2電極(上部電極206)を順次積層し、さらに有機導電層207を形成して、下部電極202と有機導電層207との間に電場を印加し、当該電場印加領域における導波路204に含まれる前記有機非線型光学材料の配向を揃える、所謂ポーリング処理を施す。 (もっと読む)


【課題】 光機能を実現するシリコン基板上に集積化された光デバイスを提供すること。
【解決手段】 導波路を通る光を調整する光調整構造を有する光デバイスは、結晶基板と、これとは異なる材質の結晶体とが一体化されていて、その一方に光導波路が設けられ、他方に光導波路に光学的に一体化した光調整構造が設けられてなることを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】真空プラズマ中での酸素欠損を回復させ、伝播損失の少ない光導波路を製造する。
【解決手段】酸化物化合物基板に光導波路を形成する光導波路の製造方法において、ドライエッチングプロセスにより、前記酸化物化合物基板に光導波路を形成する第1の工程と、前記光導波路が形成された前記酸化物化合物基板を、酸素雰囲気中で熱処理を行うことにより、前記ドライエッチングプロセスで欠損した酸素を再結合させる第2の工程とを備えた。 (もっと読む)


【課題】リッジ型導波路デバイスを製造するためのウェーハ・スケール方法、およびそれによって製造された改良型導波路に関する。
【解決手段】寸法的に安定した、ウェーハ・スケール製造におけるキャリヤ・ウェーハ12と光透過型ウェーハの間の平面関係を変えることなく中に接着剤16を導入することができるウェーハ・アセンブリを用意することによって、光導波層の厚さをサブ・ミクロンで制御することができる。この方法によれば、薄い光透過層14を備えた光導波路デバイス10をウェーハ・スケールで製造することができる。マスタ表面からキャリヤ・ウェーハ12への表面情報を薄い光透過型ウェーハ14に正確に引用するために、付着およびエッチ・バックによって、あるいは表面エッチ・プロセスによってスペーサ・ペデスタルのパターンが生成される。 (もっと読む)


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