【課題】 例えば、電気光学装置に設けられ、基板上に付着した埃や塵等を容易に除去する。
【解決手段】 基板を有し該基板上における画像表示領域で電気光学的に画像を表示する電気光学装置において、基板の表面のゴミを除去する電気光学装置用のゴミ除去装置であって、画像表示領域において基板の表面に沿って進行する弾性表面波を発生させる弾性波発生部と、該弾性波発生部を駆動するための配線又は電極部とを備える。 （もっと読む）

【課題】 電極との接触によって発生したゴミを除去することで、電極表面への堆積量及び装置内部への汚染を抑制し、表面処理の安定性を確保する。
【解決手段】 この表面処理装置には、互いの放電面が対向されて放電空間を形成するように配置され、放電空間内に高周波電界を発生させる一対の電極と、放電空間内で一対の電極のうち、少なくとも一方の電極に密着しながら相対的に移動されるように移動体を保持する保持機構とが備えられている。そして、表面処理装置には、移動体の電極側表面上のゴミを除去するクリーニング手段が備えられている。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、ＣＯ２スノー及び圧縮空気を所定の方向に噴出するためのノズル１に関する。
【解決手段】
該ノズル１の中央領域５には、ＣＯ２スノーからなるコアジェット２を超音速で生成できる第１排出口６が備えられる。中央領域５は、該第１排出口６の周りに配置された複数個の第２排出口８を備えた周辺領域７によって取り囲まれ、該第２排出口８は、空気、好ましくは圧縮空気からなり、コアジェット２を取り囲むマントルジェット３を、コアジェット２の流れより低速で生成するように構成される。マントルジェット３はコアジェット２と同じ方向に移動する。本発明はまた、コーティングすべき部品をＣＯ２スノーで処理、特に、洗浄する方法に関する。該方法においては、コアジェット２が、２００ｍ／ｓより速い速度で、マントルジェット３とともに、部品上に所定の方向で噴出される。マントルジェット３は、コアジェット２より遅い速度で移動する。 （もっと読む）

【課題】 高温下でも使用可能であり、またＨＤＤ用途や一部半導体用途など、シリコーンの汚染により重大な障害が発生し得る状況下においても使用可能で、耐熱性に優れた半導体装置の除塵用基板を提供する。
【解決手段】 基板の少なくとも一方の面にブタジエン−アクリロニトリル共重合体を構造単位の一部として主鎖中に有するポリイミド樹脂層を有する半導体装置の除塵用基板。 （もっと読む）

本発明は、洗浄ブラシの洗浄部材となる複数の帯状部分がその側部外面上に設置される円筒状本体からなる自動車一般の自動洗浄装置の洗浄ブラシに関するものである。本発明の主たる特徴は、帯状部分またはストリップ部分が、軸方向に対して傾斜した方向に沿って円筒状本体の側面に設置されているということである。
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【課題】 ワークチャックにおける異物の残存率を低減することができるワークチャックの洗浄装置を提供する。
【解決手段】 多数のピン１４が下向きに突設され且つその先端で半導体ウェーハを吸着保持した状態で回転するワークチャック１２と、複数の毛束を突設すると共にワークチャック１２に毛束の先端が当接した状態で回転する表面ブラシ４１と、ワークチャック１２又は表面ブラシ４１の少なくとも一方をワークチャック１２の半径方向に変位させる変位駆動機構とを備える。 （もっと読む）

【課題】 環境に与える影響が小さく凹凸面の凹部に付着した汚れを低コストで除去することができる洗浄装置、洗浄方法及び鉄道車両用洗浄粒子を提供する。
【解決手段】 噴射装置７のノズル部７ｄから噴射水Ｆが噴射すると、この噴射水Ｆ中の洗浄粒子Ｃが車両２の外板３の凹凸面３ａに衝突する。このとき、洗浄粒子Ｃが凹凸面３ａの凹部に進入可能であり、かつ、凹部の表面と衝突可能であるため、噴射水Ｆの噴射圧が低圧であっても凹凸面３ａの凹部に簡単に進入して凹部の表面と衝突する。凹凸面３ａの凹部には鉄酸化物などの汚れＤが付着しているときには、この汚れＤに洗浄粒子Ｃが衝突してこの汚れＤにせん断力などの物理力が作用し汚れＤが凹部から除去される。その結果、洗浄粒子Ｃを外板３に高圧で噴射する必要がなくなり、車両２の隙間から車内や機器類に水が浸入するのを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】 印刷機の版面に付着したインキかすや紙粉等のごみを除去するのに用いられる、印刷機の版面ごみ除去装置及び方法に関し、版面のごみをより確実に除去できるようにする。
【解決手段】 印刷機に設けられた版胴１の版面に付着したごみを掻き取るための、印刷機の版面ごみ除去装置であって、硬質ゴムで形成された複数のブレード５ｂが外周に突設され、回転可能に設けられた円盤状の掻き取り部材５と、掻き取り部材５を回転駆動する回転駆動装置１０と、掻き取り部材５のブレード５ｂが版面のごみが付着した位置に対して接離するように掻き取り部材５を移動させる移動装置９，１４とをそなえる構成にする。 （もっと読む）

【課題】 高価な装置を使用する必要がなく、また除去したゴミ（塵埃）を周囲に拡散することなく、ＡＴＭの清掃を能率的に行うことができるエアードーム型ゴミ浮遊拡散防止袋を提供すること。
【解決手段】 ＡＴＭのような被清掃装置２の側面２１に密着して取付け可能で空気注入口１５を備えた方形の中空取付部１１とゴミ４を一時的に収容する袋本体部１２と袋本体部１２の外周囲に固着（貼着）され、両端が方形の中空取付部１１に連通した数本の中空の支柱１４と方形の中空取付部１１の反対側に設けられ、吸引ホースを装着可能なゴミ取出口１３とから成り、空気注入口１５から空気を注入することにより、方形の中空取付部１１と数本の中空の支柱１４を膨らませることができることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 高価な装置を使用する必要がなく、また除去した塵埃を周囲に拡散することなく、ＡＴＭの清掃を能率的に行うことができる簡易なエア注入枠付ゴミ浮遊拡散防止袋を提供すること。
【解決手段】 ＡＴＭのような被清掃装置２のユニットのゴミが噴出される側にユニットを覆うように差込んで装着可能な空気注入口１４を備えた長方形のエア注入枠１１とエア注入枠１１に取付けられ、ゴミ４を一時的に収容する袋本体部１２とエア注入枠１１の反対側に設けられ、吸引ホースを装着可能なゴミ取出口１３とから成ることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 高価な装置を使用する必要がなく、また除去した塵埃を周囲に拡散することなく、ＡＴＭの清掃を能率的に行うことができる取付枠付ゴミ浮遊拡散防止袋を提供すること。
【解決手段】 ＡＴＭのような被清掃装置２の装置内のゴミが噴出される側の側面２１に嵌め込み式に装着可能な取付枠１１とゴミ４を一時的に収容する袋本体部１２と取付枠１１の反対側に設けられ、吸引ホースを装着可能なゴミ取出口１３とから成ることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 高価な装置を使用する必要がなく、また除去した塵埃を周囲に拡散することなく、ＡＴＭの清掃を能率的に行うことができる簡易なテーパ型エアー注入枠付ゴミ浮遊拡散防止袋を提供すること。
【解決手段】 空気注入口１４を有すると共に内面に静電防止剤が塗布されたテーパ型エアー注入枠１１とテーパ型エアー注入枠１１の一方側に固着された袋本体部１２とから成り、テーパ型エアー注入枠１は、その間隔が後方に向かって直線的に狭くなる左右の側壁部１１４，１１５と、左右の側壁部１１４，１１５の上端と下端にそれぞれ一体に設けられた天板部１１１と左右の足部１１６，１１７と、左右の足部１１５，１１６の後端部を橋絡する橋絡部１１８とを有し、袋本体部１２はテーパ型エアー注入枠１１の反対側に吸引ホース３４を装着可能なゴミ取出口１３を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 高価な装置を使用する必要がなく、また除去したゴミ（塵埃）を周囲に拡散することなく、ＡＴＭの清掃を能率的に行うことができる密着型ゴミ浮遊拡散防止袋を提供すること。
【解決手段】 ＡＴＭのような被清掃装置２の装置内のゴミが噴出される側の側面２１に密着して取付け可能な取付部１１とゴミ４を一時的に収容する袋本体部１２と取付部１１の反対側に設けられ、吸引ホース３４を装着可能なゴミ取出口１３とから成ることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ストレーナのろ過部材で捕獲された細かい砂等の異物をポンプから還流する余水により高圧で洗浄し、効率よく除去することによりろ過部材の目詰まりを防止し、ポンプの吸水能力の低下や故障を防止することができる高圧洗浄装置のストレーナとする。
【解決手段】 駆動源２でポンプ１を駆動し発生させた高圧水を、洗浄用ガン６の先端から噴射して洗浄を行う高圧洗浄機のポンプ１に連結する吸水ホース３に接続されると共に、ポンプ１から還流する余水が内部に吐出し、余水により周側のろ過部材１４が洗浄されるストレーナ４において、ストレーナ４の内部に余水をろ過部材１４に向け噴射するノズル２１が、ろ過部材１４の内側周面を回転可能に設けられている。 （もっと読む）

エッチングチャンバ、レジスト剥離チャンバ等の、半導体基板が処理されるプラズマ処理チャンバ用の構成要素の石英表面のウェット洗浄方法は、石英表面を、少なくとも一つの有機溶媒、塩基溶液及び複数の異なる酸溶液と接触させて、石英表面から有機汚染物質及び金属汚染物質を除去する工程を含む。石英表面は、好ましくは、少なくとも２回酸溶液の一つと接触させられる。 （もっと読む）

本発明は、印刷機を洗浄するための洗浄材料である。前記洗浄材料は、低揮発性有機洗浄組成物が含浸されたスパンボンド不織布から成る。典型的には、前記スパンボンド不織布は、高い強度と耐摩耗性が得られるように互いにポイント接合されたポリエチレンテレフタレートホモポリマーのフィラメントから成る。２−エチルヘサノエートを含むエステルが、前記洗浄組成物として用いられる特に有用な溶剤である。前記洗浄材料は、市販の印刷機用洗浄装置に嵌合するように適合可能なロールに巻装されることが可能である。
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【課題】処理液を用いて、プロセス装置の内面を洗浄する洗浄方法等において、当該プロセス装置が、第１末端３０６および第２末端３０７により規定されたパイプ部を有し、第１末端３０６および第２末端３０７により所定体積が規定され、かつ予め初期内圧を保持しているパイプ部を用いた洗浄方法等である。
【解決手段】そして、かかる洗浄方法によれば、パイプ部内の体積よりも実質的に少ない所定量の処理液を注入する工程と、パイプ部の第２末端３０７に実質的に近接した位置の内圧を減圧すると同時に、パイプ部の第１末端３０６に実質的に近接した位置の内圧を加圧することにより、パイプ部内に所定量の処理液を循環させる工程と、を備えている。 （もっと読む）

本発明は、光源と、少なくともこの光源が発する放射線の一部分が通過するのを可能にする壁であって、その２つの面のうちの少なくとも一方の一部を光触媒活性層により覆われた壁とを含む、自己クリーニング照明装置に関する。本発明は、一番弱い照明条件下で、当該層の光触媒活性が、有機の汚れを分解して当該層に付着しない容易に除去できる粒子にするのに、及び／又はこの層に親水性を付与するのに、十分高いことを特徴とする。本発明はまた、上述の装置を製造する方法、この装置に提供される半透明の壁、そして当該装置をトンネルの照明、公共の照明、空港滑走路の照明、屋内の照明のために、あるいは輸送用車両のヘッドランプ又は指示灯用に利用することにも関する。 （もっと読む）

空気調和又は冷凍システムにおける構成要素(１４)を清浄化する方法及び装置(１０)。構成要素（１４）に存在する汚染物質を除去するため構成要素(１４)を通過するように液体溶剤をフラッシュすることが提供される。フラッシュされ構成要素(１４)を通過した溶剤を蒸発させ、引き続いて汚染物質を含む溶剤を浄化するために蒸発された溶剤から汚染物質を除去する。その後、蒸発され浄化された溶剤を液化し、液化された溶剤を再使用して構成要素(１４)を再び洗浄する。
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【課題】 本発明は、例えば、半導体、フラットパネルディスプレイ、プリント基板などの製造装置や検査装置など、異物を嫌う基板処理装置のクリーニングシート及びクリーニング方法を提供する。
【解決手段】 クリーニング層が、電石（エレクトレット）化された物質からなる、又は／及びクリーニング層の表面電位が、０．１〜１０ＫＶの範囲であるクリーニングシートである。 （もっと読む）