【課題】製薬プラント、食品プラント、医療設備などの配管内壁および配管付属品の内壁の殺菌、消毒、洗浄を完全に効率よく行うための洗浄方法および該洗浄方法で用いる洗浄液供給装置を提供する。
【解決手段】本発明の洗浄方法は、配管内壁の殺菌、消毒のための洗浄方法において、微細な液体の粒子を含む気体流を発生する装置を配管の一端部に連結し、前記気体流を配管内を流し、配管等の内壁を前記液体で覆うものである。また、本発明の洗浄方法で用いる洗浄液供給装置は、気体と液体をそれぞれ加圧する加圧手段と、該加圧手段で加圧した気体と液体が注入されて混合され、微細な液体の粒子を含む気体流を噴出するノズルと、を有するものである。 （もっと読む）

【課題】洗浄性能および作業安定性が良く、被洗浄物へ悪影響を与える恐れが少なく、特にＩＣ及びＬＳＩ等の半導体素子や液晶パネル素子の製造に有用な洗浄方法を提供する。
【解決手段】 凝固した弗素系溶剤からなる粒子を被洗浄物表面に噴射して固体噴射洗浄することを特徴とする固体噴射洗浄方法を提供する。なお、弗素系溶剤が、炭素数４〜６の環状ハイドロフルオロカーボンであることが好ましく、１，１，２，２，３，３，４−ヘプタフルオロシクロペンタンであることが特に好ましい。 （もっと読む）

【目的】 気液混合して噴射する場合、使用目的に応じ、都度、最適な状態に混合させる気液混合流噴射装置を提供する。
【構成】 種類の異なる複数の小流量の液体をポンプ１６で圧送し、それに大流量の圧縮空気を混合してノズル２０より噴射させる気液混合流噴射装置であって、前記ノズル２０近傍に液体の流量を調整するための流量調整バルブ１９を設け、前記ノズル２０と流量調整バルブ１９の間に大流量の圧縮空気搬送するための空気管路２４を設けた気液混合流噴射装置。 （もっと読む）

【課題】 洗浄時の洗浄液等の外部への飛散を防止して外部周辺機器類等が腐食するのを抑制すると共に、洗浄処理の効率の向上を図れるようにした洗浄処理方法及びその装置を提供すること。
【解決手段】 被洗浄体であるチャック３０と、洗浄液を噴射する２流体供給ノズル５０とを相対的にチャック３０の保持部材３１〜３３に沿って水平方向に移動して、保持部材を洗浄する洗浄処理方法において、２流体供給ノズルに対して少なくともチャックへの洗浄時の移動方向側に、保持部材が挿通可能な陽圧室４００を形成し、２流体供給ノズルから洗浄液を保持部材の保持溝３１ａに向かって噴射する間、陽圧室内に気体を噴射して陽圧室内を陽圧状態にして、洗浄液等の外部への飛散を抑制する。 （もっと読む）

【課題】液体ＣＯ_２の消費量を抑えつつ基板を搬送しながら基板全体を均一に洗浄する。
【解決手段】基板洗浄装置１は、ローラ２１にて基板９を搬送方向２２に搬送する搬送機構２、洗浄部４、ＣＯ_２供給源６１およびＮ_２供給源６２を備える。洗浄部４は洗浄部カバー４１に覆われ、洗浄部カバー４１内には搬送方向２２に垂直な方向に２列に配列された複数のノズル４２が設けられる。ノズル４２の各列は搬送方向に垂直な方向に基板９全体に亘って揺動する。各ノズル４２はＣＯ_２供給源６１およびＮ_２供給源６２から液体ＣＯ_２およびＮ_２ガスが供給される二流体ノズルとなっており、これらの流体のノズル４２内の流路への供給量が他のノズルから独立して予め調整されている。各ノズル４２から液体ＣＯ_２とＮ_２ガスとが混合されつつ搬送途上の基板９に噴射されることにより、ＣＯ_２の消費量を抑えつつ基板９全体を均一に洗浄することができる。 （もっと読む）

【課題】 気体のみの噴射、あるいは液体と気体とを混合した混合体の噴射を簡単な操作で選択できるようにした流体ブローガンを提供すること。
【解決手段】 ガンハウジング１を貫通する貫通孔２からなる第１流通路と、前記第１流通路の開閉を行うエアー開閉弁機構２０と、前記エアー開閉弁機構２０を作動させる第１操作レバー１５と、を有するエアーガンＥＧと、前記エアーガンの噴射口に連結される液体噴射ユニットＲＵと、を備えた流体ブローガンＧにおいて、前記液体噴射ユニットＲＵは、一端に前記エアーガンＥＧの噴射口に連結される開口部と、他端に噴射口を有し、アダプタハウジング６０を貫通する貫通孔からなる第２流通路と、前記第２流通路を開閉する流体開閉弁機構７０と、前記流体開閉弁機構７０を作動させる第２操作レバー４０と、で構成し、この液体噴射ユニットＲＵを前記エアーガンＥＧに回動自在に連結した流体ブローガン。 （もっと読む）

本発明は、溶接トーチ２の洗浄に用いる洗浄装置５に関し、その洗浄装置は、開口９を備えたコイルから成り、溶接トーチ２を導入するための、溶接トーチ２洗浄用の装置６と、必要により、洗浄液体を溶接トーチ２の先端に適用するための装置とを含んでいる。本発明によれば、その洗浄装置５は、特に溶接ロボット用に適した迅速で自動化可能な洗浄方法と、簡単で安価な構造とを提供することが可能となるものであって、特にＣＯ_２ドライアイスを用いた冷却媒体により溶接トーチ２を洗浄するように構成された溶接トーチ２洗浄用の少なくとも１個の第２の装置７が共通のハウジング８内に配置されており、磁気洗浄装置６に加え、共通のコントローラー６と、共通の入力／出力装置１１と、洗浄装置６，７のコントロールと調整とエネルギー供給のための共通の電源１２又は電流源とがハウジング８内に配置されている。
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加圧された気体と清浄化水溶液との２相混合物により、配管等を清浄化する装置及び方法を提供する。２相清浄化混合物はモジュール内で形成され、該モジュールから送り出され、清浄化すべき配管（又は流路）表面において、所定の小滴寸法、速度及び小滴密度を決定する。小滴は清浄化すべき流路の壁部に衝突し、該流路における汚染物質を断片化し、浸食し及び除去する。汚染物質は、２相フローによって流路からフラッシュアウトされる。清浄化溶液の流れは、定常的であっても、搏動してもよい。この発明の装置及び方法は、食品、飲料、医薬品及び同様の加工産業において有用である。 （もっと読む）

【課題】 野菜に付着する虫や異物汚れをきれいに洗い落とす。
【解決手段】 給水管１９によって洗浄槽１内に洗浄水を給水し、給水した洗浄水を上方開放口２１からオーバーフローさせると共に、噴射ノズル７によって洗浄槽１内へ空気と水を同時に噴射し、洗浄水に回転水流を与える一方、洗浄時に発生した比重の重いものを洗浄槽１の底部排水口１５に設けたストレーナ１７で集め、中間のものを捕集ネット５で集め、比重の軽いものを上方開放口２１からオーバーフローさせるようにする。 （もっと読む）

【課題】 高圧水を用いることなく、高圧水と同等の洗浄能力を有する洗浄装置及びその洗浄装置を組み込んだ切削装置を提供する。
【解決手段】 ダイシング装置等の切削装置にノズル手段を配設し、被加工物の切削時にこのノズル手段にエアー供給手段から２．７ｋｇｆ／ｃｍ² 以上のエアーを供給すると共に、洗浄水供給手段から市水程度の圧力の水を供給し、これらを合流させてノズル手段から洗浄水を噴射する。ノズル手段の絞り部の直径は０．５ｍｍ〜３．０ｍｍであり、好ましくは１．４ｍｍとする。ノズル手段は、被加工物が切削ブレードにより切削された領域を洗浄するように、ブレードカバーに隣接してブレードの回転中心近傍に配設し、洗浄水が被加工物に対して垂直に噴射されるようにする。 （もっと読む）