【課題】ノズル孔から噴射される高圧洗浄水により排水管を傷つけることがなく、また、ノズル子により排水管を傷つけることのない排水管洗浄装置および排水管洗浄方法を提供する。
【解決手段】複数のノズル孔が穿設されるノズル子を後正面から見たときに、該ノズル子の中心点を通る水平線よりも上部には３つ以上のノズル孔を同一同心円上、かつノズル子の中心点を通る垂直線に対し線対称の位置に配置するとともに、ノズル子の中心点を通る水平線よりも下部にはこの水平線に対してノズル孔を対称の位置に配置し、水平線下部に配置したノズル孔の内垂直線に最も近くに位置するノズル孔以外のノズル孔、または垂直線に最も近く位置するノズル孔を他のノズル孔よりも細径とし、各ノズル孔の形状を外部に向かって拡径する円錐状とした。 （もっと読む）

高速設定材料スプレーガン１０を洗浄及び洗い流す方法が開示されており、前記方法は好適な実施形態において、約６２．５％のＤＭＳＯ、３２．５％のＤＢＥ及び５％の水の混合物１２を使用する。この混合物１２は霧化した際に無毒であり、１０°Ｆ未満に液体の凝固点を低下させる。前記溶媒はパージ用空気１４と混合されており、ガン１０から霧状に放出されるため、無毒の溶媒が利用されることが重要であり、また、混合物の凝固点が十分に低いことによって寒冷気候において凍結することなく使用可能であることが重要である。
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【課題】比較的簡素な機構で長期間にわたって高圧ガスを噴出することができるガス噴射ノズルを提供する。
【解決手段】高圧ガスボンベ１２から高圧ガスを噴射するためのガス噴射ノズル１であって、上記高圧ガスボンベ１２と連通されることにより高圧ガスを噴出させる噴出口２と、上記噴出口２から噴出された高圧ガスをターゲットに向けて案内するとともに先端開口４から噴射させる噴射路３と、上記噴出口２から噴出された高圧ガスに大気を吸引する大気吸引部５とを備えたことにより、比較的簡素な機構で長期間にわたって高圧ガスを噴出することができるようにした。 （もっと読む）

【課題】装置構成を簡略化しつつ、洗浄性能を向上させることができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板Ｗを水平姿勢で保持する基板保持部１と、基板Ｗに接触して基板Ｗを洗浄する洗浄ブラシ７と、洗浄ブラシ７の側方に設けられ、処理液の液滴をキャリアガスとともに基板に噴射して基板を洗浄する二流体ノズル９と、洗浄ブラシ７と二流体ノズル９とを保持する保持アーム５と、この保持アーム５に連結して設けられ、基板Ｗ面に沿って洗浄ブラシ７と二流体ノズル９とを移動させる単一のアーム移動機構と、を備えている。このように構成される基板処理装置によれば、洗浄ブラシ７と二流体ノズル９を移動させる単一のアーム移動機構を備えているので、装置構成を簡略化しつつ、洗浄性能が一層向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】一辺が１ｍを超える大型ガラス基板の加工後の洗浄において、大型ガラス基板の各洗浄、乾燥工程間の搬送経路が短く、広い設置スペースを必要としないコンパクトな構成の大型基板洗浄装置を提供することにある。
【解決手段】薬液用スプレーノズル３１と、該ノズルの上部に配置され、上方に非接触式洗浄ツールを具備して対向する一対の接触式洗浄ツールを１つ以上３２、３３有し、且つ、１つ以上の上方に非接触式洗浄ツールを具備して対向する一対の接触式洗浄ツール３３の最上部に配置された対向する一対のシャワーノズル３４と、該ノズルの上部に配置された対向する一対のジェットノズル３５とを有する洗浄部３０と、洗浄部３０の上方に配置された対向する一対のエアーナイフ４１を具備する乾燥部４０と、大型基板９０を直立させて保持する基板保持搬送治具５０と、洗浄部３０の下方に配置された投入払出部６０とを有する。 （もっと読む）

【課題】微細な回路が形成されたテープ状物やスペーサテープに付着した異物を洗浄除去するために好適に用いられる洗浄装置及び洗浄方法を提供する。
【解決手段】被洗浄体の移動経路上で被洗浄体を洗浄する洗浄装置であって、被洗浄体を移動させる被洗浄体搬送手段、先端に設けた水供給ノズルから水を噴出して被洗浄体の表面に水膜を形成させる水供給手段、及び、先端に設けた過熱水蒸気供給ノズルから水膜の温度よりも高い温度の過熱水蒸気を噴出して水膜に当てる加熱水蒸気供給手段を備える洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】排水管（特に横管）内周壁に固着した堆積物を簡単に除去することの出来る排水管の洗浄方法及び装置を提供する。
【解決手段】排水管２内の所定位置から第１の洗浄水噴射手段２０を介し排水管２内の上流へ向けて洗浄水を噴射させる第１の洗浄水噴射工程と、該第１の洗浄水噴射工程終了後、排水管２内の所定位置よりも上流の位置から第２の洗浄水噴射手段３０を介し排水管２内の下流へ向けて洗浄水ＣとエァーＤを噴射する第２の洗浄水噴射工程とにより、排水管２内の洗浄を行うようにしたものである。
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【課題】ライン配管等を流れる洗浄液に対して、任意の気泡径を有する気泡を安定して供給し、洗浄効果の向上、安定化を図ることのできる配管の定置洗浄方法を提供する。
【解決手段】上記課題を解決するための配管の定置洗浄方法は、ライン配管１０を定置洗浄する際の洗浄液５０に対して気体を供給し、洗浄液５０を気液二相流としてライン配管１０に流し込んで洗浄を行う方法において、所定の径を有する気泡を拡散させる通気孔を有するフィルタ３４を通過させることで、洗浄液５０に供給する気泡５２の気泡径を平均化させることを特徴とする。また、このような方法では、通気孔径の異なるフィルタ３４の切り替えにより、洗浄液５０に供給する気泡５２の径を変化させるようにしても良い。 （もっと読む）

【解決手段】 洗浄システム１は、クランクケース２を支持したパレット３を洗浄位置Ｂまで搬送する搬送手段６と、クランクケース２を洗浄する洗浄手段７とを備えている。
パレット３には固定通路１２を設けてあり、その一端にフレキシブルチューブ１３の一端１３Ａが接続されている。フレキシブルチューブ１３の他端１３Ｂは、クランクケース２の油穴４の開口に接続されている。上記パレット３が搬送手段６により洗浄位置Ｂの液槽２２内に浸漬されると、固定通路１２と吐出通路２４とが重合して相互に連通する。その後、ポンプ２３から吐出される洗浄液が吐出通路２４、固定通路１２およびフレキシブルチューブ１３を介してクランクケース２の油穴４に直接給送される。
【効果】 クランクケース２の油穴４を効率的かつ確実に洗浄することができる。 （もっと読む）

【課題】ガソリンタンク１の洗浄作業等を安全かつ円滑に行う。
【解決手段】ガソリンタンク１から残液ａを抜き取り、そのタンク１から出る各配管を閉じて縁切りしてそのタンク１を密封した後、不活性ガスｂをそのタンク１内に封入してベーパｃによる爆発を回避する。その後、タンク１内に給水して水張りを行うとともにその排水を行い、その水張り・排水を繰り返して、タンク１内の残油・残渣を除去する。つぎに、タンク１内をノズル４１により噴水して洗浄し、その洗浄されたタンク１からベーパｃを引き出して循環する吸着液ｄに混合吸着させてタンク１内の残留ベーパｃを除去する。そのベーパｃと吸着液ｄの混合はラインミキサ３２により行う。このラインミキサ３２は、ベーパｃの複数の流入口を有するものとして、そのベーパと吸着液がミキシングされて混合吸着が円滑になされるものとする。 （もっと読む）

【課題】ラインの洗浄性を向上させて、洗浄時間を短縮したライン洗浄方法および装置を提供する。
【解決手段】ライン洗浄方法は、ライン１０の内部の定置洗浄を行うものである。そしてライン洗浄方法は、ライン１０に接続した気体配管４０からライン１０の内部に気体を供給するとともに、ライン１０の内部に洗浄用液体を供給して気液二相流を生成し、これを用いてライン１０の内部を洗浄している。この場合、ライン１０への気体の流入量を変動させて、ライン１０の内部を洗浄することができる。またライン１０への気体の流入を間欠的に行い、気液二相流と洗浄用液体とで交互にライン１０の内部を洗浄することもできる。 （もっと読む）

【課題】ベベル部の汚染に起因する基板の処理不良の発生を防止することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置５００は、インデクサブロック９、ベベル処理ブロック１０、反射防止膜用処理ブロック１１、レジスト膜用処理ブロック１２、現像処理ブロック１３、レジストカバー膜用処理ブロック１４およびインターフェースブロック１５を含む。ベベル研磨部５０では、ベベル研磨ユニットにより基板Ｗのベベル部に研磨処理が施される。それにより、基板のベベル部に付着する汚染物が確実に取り除かれる。 （もっと読む）

【課題】高い洗浄機能を有する洗浄装置を有する加工装置を提供する。
【解決手段】ワークＷを切断し、洗浄し、容器に収納する加工装置１であって、切断されたワークＷの表面に空気を混合した洗浄水を噴霧状にして吹き付けて前記ワークの表面を洗浄する第１の洗浄装置４００と、ワークＷの裏面を洗浄ローラ５１１により洗浄する第２の洗浄装置５００と、ワークＷの裏面に空気を混合した洗浄水を噴霧状にして吹き付けてワークＷの裏面を洗浄する第３の洗浄装置６００とを有することを特徴とする加工装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】スループットを低下させることなく基板搬送部材に付着した異物を完全に除去することができる基板搬送部材の洗浄方法を提供する。
【解決手段】基板処理システム１０が備える基板搬送装置としてのトランスファモジュール１１は、チャンバ４１と、該チャンバ４１内に配置された基板搬送ユニット２９と、フォーク３１の斜め上方に配置された洗浄剤噴出ノズル４３とを備え、洗浄剤噴出ノズル４３は、フォーク３１の表面、特にテーパパッド３２の切頭円錐状部に向けて液相及び気相の２つの相状態を呈する洗浄物質、例えば、純水と、不活性ガス、例えば、窒素ガスとが混合された洗浄剤を噴出する。 （もっと読む）

【課題】 結束された鋼管内面堆積物清掃装置を用いて自動的に高率良く結束単位で鋼管内面の堆積物を除去することを可能とした結束された鋼管の内面堆積物清掃装置を提供する。
【解決手段】 結束された鋼管の内面の堆積物の清掃装置であって、結束された鋼管を自動搬送機によって鋼管の内面堆積物清掃装置に搬送し、該内面堆積物清掃装置内に設置した水またはエアーと水を噴出させ、鋼管内面の堆積物を除去した後連続して酸洗することを特徴とする結束鋼管の内面堆積物自動清掃装置。 （もっと読む）

【課題】排水管内の油性の付着物を効率的に除去するための排水管内清掃装置及び排水管内清掃方法を提供しようとする。
【解決手段】水を貯留するタンクと、タンク内に貯留された水に少なくとも一部が浸漬される位置に設置されて、アルカリ性金属化合物を含有する粒体を収納し水が通過可能なサイズの孔または隙間を壁に有する収納容器と、タンク内に貯留された水を攪拌する攪拌手段と、気流管と、気流管に圧空を導入し出側開口に向けた気流を作る気流発生手段と、気流管内に水を導き、気流により生じた負圧で水を吸引させて気流に随伴させる導水手段と、気流に随伴して移動する水を気流とともに排水管内に導く水案内手段とを備える排水管内清掃装置でありこの排水管内清掃装置を用いた排水管内清掃方法である。
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【課題】氷の微粒子を用いて基板の洗浄処理を行う場合において、処理むらを生じることなく均一な基板処理が可能であり、基板上に形成された被膜にダメージを与えることもない装置を提供する。
【解決手段】マイクロバブルを含有した氷の微粒子を含む純水を貯留する貯液槽１２と、純水中でマイクロバブルを発生させるバブル発生ユニット１４と、純水中で氷の微粒子を生成する製氷ユニット１６と、ノズルヘッド管２２から基板Ｗの主面に対しマイクロバブルを含有した氷の微粒子を窒素ガスと共に吹き付けて基板の洗浄処理を行う洗浄処理ユニット１０と、貯液槽１２からノズルヘッド管２２へマイクロバブルを含有した氷の微粒子を供給する手段とを備えて装置を構成した。 （もっと読む）

【課題】 加圧気体の噴出力に伴う負圧力を利用しながらも、液体と気体の強い拡散噴出力と比較的均一で粒径の小さな霧化された洗浄液を噴出可能な、流体噴出装置を提供する。
【解決手段】気体噴出管７は、可撓性を有する管材によって形成され、基端が外筒６の後端部に固定されるとともに加圧気体の供給源２と管路を介して連通される一方、先端が自由端を成し、加圧気体が噴出されることによって外筒の拡開したラッパ状内面に沿って旋回運動する。液体を噴出させるノズル部材１０は、外筒の後端部寄りの壁面に取り付けられ、液体供給源３と管路１１を介して連通され、噴出管の旋回領域背後に生じる負圧力または負圧力及び水道水などの水圧力とによって、ノズル部材の先端より液体を外筒の開放端に向けて噴出させる。 （もっと読む）

本発明の主題は、容器（１）の処理、特に、瓶（１）の内部洗浄のための方法及び装置である。その際、少なくとも、スプレー装置（２）は、容器内部を、殺菌剤/洗浄剤（３、３′）を噴出させる。本発明によれば、スプレー装置（２）は、主として、容器内部で、容器底（１a）の近傍にまで進入する。
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【課題】狭小空間に面する構成部品を効率的且つ十分に洗浄することができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄装置１００は、本体１２０と、本体１２０内部から屈曲自在に延設された二重管ノズル１１０とを有する。二重管ノズル１１０は、噴出管１１４と、該噴出管１１４を取り囲む吸引管１１２とを有し、噴出管１１４の噴出口１１４ａは吸引管１１２の吸引口１１２ａ内において開口する。噴出管１１４はその噴出口１１４ａ近傍においてくびれ部１１４ｂを有しており、供給された所定のガスを当該くびれ部１１４ｂにおいて加速する。その結果、該ガスの一部がエアロゾル化され、且つ該ガスは加速によって衝撃波を形成する。これにより、噴出管１１４はガス及び該ガスと同一の物質からなるエアロゾルを含んだ衝撃波を構造物５０の表面に付着したパーティクルＰに向けて噴出する。 （もっと読む）