【課題】基板表面に形成された液膜を短時間でしかも基板表面を汚染させることなく凍結させることができる基板処理装置、基板処理システムおよび基板処理方法を提供する。
【解決手段】スピンチャック２に基板Ｗを略水平姿勢で保持した状態で基板表面ＷｆにＤＩＷを供給して基板表面Ｗｆに液膜を形成する。続いて、基板裏面Ｗｂに液体冷媒を供給しながら基板Ｗを回転させる。これにより、基板Ｗに接液する液体冷媒に作用する遠心力によって、基板Ｗの裏面全体に液体冷媒が均一に行き渡る。その結果、基板Ｗが裏面Ｗｂに接液する液体冷媒によって直接的に冷却され、液膜が比較的短時間で凍結する。また、基板表面Ｗｆに形成された液膜に液体冷媒が接触することがないため、基板表面Ｗｆを汚染させることなく液膜を凍結させることができる。 （もっと読む）

【課題】リードタイムを短くし、処理性能において従来よりも信頼性のある処理装置及び処理方法を提供する。
【解決手段】チャンバー１と、チャンバー内に設けられ、被処理物２を保持する保持手段３と、チャンバー内に活性原子を供給する活性原子供給手段４と、チャンバー内に薬液を供給する薬液供給手段５とを有し、被処理物の表面に対し、活性原子供給手段から供給される活性原子によるドライ処理及び薬液供給手段から供給される薬液によるウェット処理を行なう。 （もっと読む）

【課題】 生ビールディスペンサーのビール配管内を簡単に、しかも十分に洗浄しうる洗浄方法の提供。
【解決手段】 水の供給口と二酸化炭素ガスの供給口とを有する混合器にビールヘッドを取り付け、これらの供給口から水と二酸化炭素ガスを別個に送り込み、生ビールディスペンサーのビール配管内を洗浄することを特徴とする生ビールディスペンサー洗浄方法。 （もっと読む）

【課題】従来の骨材用砂等の土木用素材の洗浄装置においては、与える衝撃力が必ずしも十分とはいえず、土木用素材の靭性が高くて角部が削れにくい又は欠けにくい場合等には、その角部を効率良く除去できない、という問題があった。
【解決手段】管路５８の屈曲管部４７には、土木用素材４８の移送方向に対向して略垂直又は斜めの姿勢に保持された被衝突面８０ａを有する被衝突体８０を着脱自在に設けると共に、該被衝突体８０の前方には、土木用素材４８が滞留しにくい非滞留構造を設け、更に、前記管路５８には、前記投入口５９より流下する土木用素材４８に圧力流体を吹きつける噴射ノズル５１を設け、該噴射ノズル５１には、少なくとも一方が高圧に加圧された気体と液体を供給し、気体の気相７４と、該気相７４の周囲を取り囲む液体・気体の混合相７５とから成る二相流体７６によって、前記圧力流体を構成した。 （もっと読む）

【課題】従来の骨材用砂等の土木用素材の洗浄装置においては、与える衝撃力が必ずしも十分とはいえず、土木用素材の靭性が高くて角部が削れにくい又は欠けにくい場合等には、その角部を効率良く除去できない、という問題があった。
【解決手段】管路５８内を圧力流体により移送し、投入口５９から供給される土木用素材４８の洗浄や角取り処理等を行う洗浄装置３にて、前記管路５８の内壁上又は内壁近傍には、管路５８の軸心に向かって突出する突起体１０４を設け、更に、前記管路５８には、前記投入口５９より流下する土木用素材４８に圧力流体を吹きつける噴射ノズル５１を設け、該噴射ノズル５１には、少なくとも一方が高圧に加圧された気体と液体を供給し、気体の気相７４と、該気相７４の周囲を取り囲む液体・気体の混合相７５とから成る二相流体７６によって、前記圧力流体を構成した。 （もっと読む）

【課題】薬品を使用せずに、基板に付着した有機物を効率よく確実に除去することができる洗浄処理装置を提供することにある。
【解決手段】基板を搬送する搬送手段１と、搬送される基板の有機物が付着した板面に加熱された水蒸気を噴射する水蒸気噴射ノズル１と、搬送される基板に付着した有機物に物理力を付与するシャワー装置６とを具備する。 （もっと読む）

【課題】基板の裏面の汚染に起因するパターン不良を防止できる基板処理装置を提供することである。
【解決手段】基板処理装置５００は、インデクサブロック９、反射防止膜用処理ブロック１０、レジスト膜用処理ブロック１１、現像処理ブロック１２、レジストカバー膜用処理ブロック１３、レジストカバー膜除去ブロック１４およびインターフェースブロック１５を備える。インターフェースブロック１５に隣接するように露光装置１６が配置される。インターフェースブロック１５は、裏面洗浄処理ユニットＲＳＷを含む。裏面洗浄処理ユニットＲＳＷにおいて、露光処理前に基板Ｗの裏面が洗浄される。 （もっと読む）

【課題】断熱膨張によって生成される基板洗浄用の固体粒子の粒径を基板の表面状態などに応じて制御できるようにした洗浄処理装置を提供することにある。
【解決手段】基板を洗浄処理するための洗浄処理装置であって、
基板が供給されるチャンバ１６と、断熱膨張させることで固体粒子を生成する流体をチャンバ内の基板に向けて供給するノズル体２８と、ノズル体によって供給される固体粒子の粒径を制御する湿度制御手段３６及び温度制御手段３７を具備する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、十分な洗浄力を有し、短時間に多数のガス容器を効率的に洗浄することが可能なガス容器洗浄装置を提供する。
【解決手段】稼働中停止中によらず、平面視において搬送面２６の同じ位置に空間部２８を有する搬送コンベヤ２０と、搬送コンベヤ２０を覆う搬送方向が開口する第１覆い体４０と、前記第１覆い体４０に覆われた前記搬送コンベヤ２０の搬送面２６の空間部２８の下方に、先端部が搬送面２６よりも僅かに低い位置に取付けられ、洗浄水を上方向に噴射し主に前記ガス容器３の底面８に洗浄水を吹付ける底洗浄ノズル５２、及び前記第１覆い体４０内に取付けられ、洗浄水を下方向に噴射し主に前記ガス容器の上鏡板部１１に洗浄水を吹付ける上洗浄ノズル５６を有する洗浄ノズル５０と、を含む。 （もっと読む）

【課題】 低コストで汚染物質を除去でき、しかも、洗浄対象物を損傷しない洗浄ノズル及びそれを用いた洗浄方法を提供する。
【解決手段】 断面円形のスロート部１１の下流側に流れ方向に拡径するダイバージェント部１３を備えたノズル本体１８と、ノズル本体１８に供給される圧縮空気１５の流れと同方向に洗浄液２０を吐出する洗浄液供給管２１とを有する洗浄ノズル１０であって、洗浄液供給管２１の吐出口２２が、ノズル本体１８の内側壁面２３から離れたスロート部１１の近傍に配置され、しかも、圧縮気体１５がスロート部１１で音速となっている。 （もっと読む）

【課題】内部空間を有する被洗浄物の内部を３次元的に洗浄することが可能であり、その洗浄作用を向上して、隅々まで的確な洗浄効果が得られるように改良した内部洗浄装置を提供する。
【解決手段】液体流通路１７を有し軸回転可能に設けられた回転軸１５と、液体流通路１７に接続する液体流通路３４を有し、回転軸１５に略直交する方向に設けられ、回転軸１５を中心とする旋回及び軸回転可能に設置された旋回回転軸２８と、旋回回転軸２８の先端部に設けられたノズル２９とを備え、被洗浄物の内部空間内にノズル２９を挿入して洗浄を行う内部洗浄装置において、回転軸１５に設けた気体流入口３６から回転軸１５及び旋回回転軸２８の液体流通路１７，３４に沿って気体流通路１８，３５を設け、被洗浄物の外部から供給された気体をノズル２９から噴射される液体と混合して気液混合流として噴射する。 （もっと読む）

【課題】無菌室内で使用する殺菌、洗浄ノズルとこれらのノズルを使用して発生させた殺菌剤水溶液のバブルによる容器の殺菌方法、洗浄水のバブルによる洗浄方法及び装置において、殺菌剤の消費量の低減化およびノズル管路の詰まり防止が図れるものを提供する。
【解決手段】殺菌剤水溶液又は洗浄水の供給配管に連通し先端の通路が絞られて開口する液通路が設けられたノズル本体と、該ノズル本体の液通路に設けられた狭窄部（オリフィス）と、該狭窄部の下流に開口しノズル本体の外部に通じるエア通路と、該エア通路のエア流量を調整するエア流量調整手段と、により構成され、ノズル本体の液通路の狭窄部を流れるときの流速負圧によりノズル周囲のエアを吸い込み、前記エア流量調整手段によりエアの吸い込み量を調整して殺菌剤水溶液又は洗浄水とエアを混合したバブル状液体を、倒立容器に噴出して殺菌又は洗浄する容器の殺菌、洗浄ノズル、容器の殺菌方法、容器の洗浄方法及び容器の殺菌、洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】 露光装置において基板に付着した液体による動作不良が防止された基板処理装置および基板処理方法を提供することである。
【解決手段】 基板処理装置５００は、インデクサブロック９、反射防止膜用処理ブロック１０、レジスト膜用処理ブロック１１、乾燥／現像処理ブロック１２およびインターフェースブロック１３を備える。インターフェースブロック１３に隣接するように露光装置１４が配置される。乾燥／現像処理ブロック１２は乾燥処理部９５を備える。インターフェースブロック１３はインターフェース用搬送機構ＩＦＲを備える。露光装置１４において基板Ｗに露光処理が施された後、基板Ｗはインターフェース用搬送機構ＩＦＲにより乾燥処理部９５に搬送される。乾燥処理部９５において基板Ｗの洗浄および乾燥が行われる。 （もっと読む）

【課題】低温エーロゾルの製造および制御による基材の処理。
【解決手段】１種以上の寒剤の液体流または液体／気体流を第１の圧力でノズルから、該ノズルに対して下流側に固体のエーロゾル粒子を有する低温エーロゾルスプレーを形成するように、第１の圧力より低い第２の圧力に維持されているチャンバー中に注入することからなる、低温エーロゾルスプレーを該チャンバー中に配置された基材に衝突させることにより該基材を処理するための方法であって、上記液体流または液体／気体流は注入されて、内部に気泡を有する液体粒子を含むスプレーを形成し、そして上記第２の圧力は１．６×１０⁴ パスカル以下であり、それにより、上記液体粒子は、上記スプレーの液体粒子中の上記気泡の成長により起沸して噴出し、そして上記固体のエーロゾル粒子が形成される際に、上記気泡は上記液体粒子を崩壊し、それにより該固体粒子が減少した粒度に形成される方法。 （もっと読む）

【課題】 過冷却液体から氷の微粒子を含む処理液を製造する場合に、汚染物質が混入する心配が無く、生成された氷の微粒子が溶解することもない装置を提供する。
【解決手段】 下部に液体導入口１８および気体噴出口２４を有し上部に氷の微粒子を含む処理液の流出口２８を有する本体部１０を備え、液体導入口１８を通って本体部内１０へ導入された過冷却液体中に気体噴出口２４から気体を噴出して過冷却状態を解除し、生成された氷の微粒子を含む処理液を本体部１０内から流出口２８を通って流出させる。 （もっと読む）

【課題】 長時間の洗浄を可能とした洗浄装置を提供する。
【解決手段】 被洗浄物３を洗浄するためのガスと液体とからなる混合物を被洗浄物に向けて吐出するノズル６と、ノズル６に所定のガス吐出圧力でガスを供給するガス供給機構８と、ノズルに液体を供給する液体供給機構９と、を備えた洗浄装置１である。液体供給機構９は、液体を貯液する液体加圧タンク２０と、液体加圧タンク２０からノズル６へ、所定の液体吐出圧力で、ガスよりも時間当たりの流量が少ない液体を供給するための液体供給ライン２１と、液体加圧タンク２０に、液体吐出圧力以上の圧力で外部から液体を供給することで、液体の補充を行う液体補充機構２２と、を備える。液体供給機構９は、液体加圧タンク２０から液体供給ライン２１によりノズル６へ液体を供給しつつ、液体補充機構２２から液体加圧タンク２０への液体の補充が行えるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 ＣＩＰ洗浄において効率良く残存フレーバーを除去でき、洗浄後に溶剤臭が殆ど残存しない脱臭洗浄方法を提供する。
【解決手段】 液体と気体との気液二相流を用いてＣＩＰにより脱臭洗浄を行う。 （もっと読む）

本発明の二酸化炭素雪装置は、二酸化炭素雪生成システム（２０）、共通二酸化炭素ガスソース（３０）に接続された推進生成システム（２８）とを含む。このシステムは、少なくとも２つの接続されたセグメント（３８）を有するコンデンサ（２６）を含む。液体二酸化炭素を冷却・凝縮して、固体二酸化炭素雪にするために、第一のセグメントは、第二のセグメントより小さな直径を有し、段差付き膨張空胴（３６）を提供する。幾つかの生成システムは、個別のコンデンサでそれぞれ個別に制御可能で、推進生成システムおよび共通二酸化炭素ソースに組み込まれ得、手動と自動との双方の機械加工プロセスに組み込まれる多数の二酸化炭素アプリケータを提供し得る。
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【課題】 環境に与える影響が小さく凹凸面の凹部に付着した汚れを低コストで除去することができる洗浄装置、洗浄方法及び鉄道車両用洗浄粒子を提供する。
【解決手段】 噴射装置７のノズル部７ｄから噴射水Ｆが噴射すると、この噴射水Ｆ中の洗浄粒子Ｃが車両２の外板３の凹凸面３ａに衝突する。このとき、洗浄粒子Ｃが凹凸面３ａの凹部に進入可能であり、かつ、凹部の表面と衝突可能であるため、噴射水Ｆの噴射圧が低圧であっても凹凸面３ａの凹部に簡単に進入して凹部の表面と衝突する。凹凸面３ａの凹部には鉄酸化物などの汚れＤが付着しているときには、この汚れＤに洗浄粒子Ｃが衝突してこの汚れＤにせん断力などの物理力が作用し汚れＤが凹部から除去される。その結果、洗浄粒子Ｃを外板３に高圧で噴射する必要がなくなり、車両２の隙間から車内や機器類に水が浸入するのを防止することができる。 （もっと読む）

【課題】 焼き肉店や焼き鳥店などの焼き網に付着した焼き焦げなどを洗剤を使用することなく前処理して、短時間で効率よく焼き焦げを除去するための前処理装置の提供。
【解決手段】 洗浄水を入れる水槽部２を形成し、該水槽部２の側壁４の際に水槽部２内を照射する紫外線ランプ５を配設し、水槽部２の側壁４の際の紫外線ランプ５の内側領域に焼き網１６を配設して前処理するための前処理領域とし、この前処理領域の下部にオゾンを噴出するオゾン噴出器具６を配設し、水槽部２外の側部にオゾン発生装置２０を付設し、このオゾン発生装置２０からオゾン噴出器具６にオゾン含有の空気を供給する供給管７を配設した焼き網１６の焼き焦げ除去及び洗浄前処理装置１である。 （もっと読む）