洗浄装置及び洗浄方法
【課題】微細な回路が形成されたテープ状物やスペーサテープに付着した異物を洗浄除去するために好適に用いられる洗浄装置及び洗浄方法を提供する。
【解決手段】被洗浄体の移動経路上で被洗浄体を洗浄する洗浄装置であって、被洗浄体を移動させる被洗浄体搬送手段、先端に設けた水供給ノズルから水を噴出して被洗浄体の表面に水膜を形成させる水供給手段、及び、先端に設けた過熱水蒸気供給ノズルから水膜の温度よりも高い温度の過熱水蒸気を噴出して水膜に当てる加熱水蒸気供給手段を備える洗浄装置。
【解決手段】被洗浄体の移動経路上で被洗浄体を洗浄する洗浄装置であって、被洗浄体を移動させる被洗浄体搬送手段、先端に設けた水供給ノズルから水を噴出して被洗浄体の表面に水膜を形成させる水供給手段、及び、先端に設けた過熱水蒸気供給ノズルから水膜の温度よりも高い温度の過熱水蒸気を噴出して水膜に当てる加熱水蒸気供給手段を備える洗浄装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、洗浄装置及び洗浄装置に関し、特に微細な回路が形成されたテープ状物やスペーサテープに付着した異物を洗浄除去するために好適に用いられる洗浄装置及び洗浄方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶表示装置やプラズマ表示装置に使用されるＣＯＦテープ（ｃｈｉｐ ｏｎ ｆｉｌｍ テープ）は高精細化が進行し、付着異物が歩留まりに大きく影響するために、付着異物を洗浄除去する必要が増大している。そのため、洗浄方法としては、ドライ方式の高圧ブローを行い、付着異物を吸引する装置が使用されている。
【０００３】
また、ウエット方式の洗浄装置については、特許文献１に、クリーニング液を微粒化して吹き付ける方法が提案されている。
【特許文献１】特開２００５−１０９１１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記ドライ方式のものは、圧縮空気を付着異物に当てて、吹き飛ばすものであり、洗浄性が十分とは言い難い。
ウエット方式のものは、ドライ方式よりは洗浄性が向上するが、付着異物が粘着性有機異物であると、十分に除去することができない。
【０００５】
本発明は、除去することが困難であった、粘着性有機異物を効果的に除去することが可能な洗浄装置を、提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、以下のものに関する。
（１）被洗浄体の移動経路上で被洗浄体を洗浄する洗浄装置であって、
被洗浄体を移動させる被洗浄体搬送手段、
先端に設けた水供給ノズルから水を噴出して被洗浄体の表面に水膜を形成させる水供給手段、及び、
先端に設けた過熱水蒸気供給ノズルから水膜の温度よりも高い温度の過熱水蒸気を噴出して水膜に当てる加熱水蒸気供給手段
を備えることを特徴とする洗浄装置。
【０００７】
（２）水供給手段が、水膜の厚みを５〜１０００μｍに調整する水量調整機器を備えるものである項（１）に記載の洗浄装置。
（３）水膜の温度と過熱水蒸気との温度差が、１００℃以上である項（１）又は（２）に記載の洗浄装置。
【０００８】
（４）水供給手段が、加圧水を供給する加圧水供給部及び圧縮エアーを供給する圧縮エアー供給部と、供給された加圧水と圧縮エアーを混合して噴出させる水供給ノズルとを有し、過熱水蒸気供給手段が、過熱水蒸気を製造して供給する過熱水蒸気製造機構部と、供給された過熱水蒸気を噴出させる過熱水蒸気ノズルとを有するものである項（１）〜（３）いずれかに記載の洗浄装置。
【０００９】
（５）被洗浄体が長尺のテープ状物であり、被洗浄体搬送手段が、長尺のテープ状物である被洗浄体を被洗浄体の長手方向に移動させるものであり、過熱水蒸気供給手段が、過熱水蒸気を製造して供給する過熱水蒸気製造機構部と、供給された過熱水蒸気を噴出させる過熱水蒸気ノズルとを有し、過熱水蒸気ノズルがスリット状の噴出口を有するスリット状ノズルである項（１）〜（４）いずれかに記載の洗浄装置。
【００１０】
（６）過熱水蒸気を当てられた水膜を有する被洗浄体に洗浄水を吹き付ける洗浄水供給手段、及び、
洗浄水を吹き付けられた基板を乾燥する乾燥手段
を更に有する項（１）〜（５）いずれかに記載の洗浄装置。
【００１１】
（７）洗浄水供給手段が、加圧洗浄水を供給する加圧洗浄水供給部及び圧縮エアーを供給する圧縮エアー供給部と、供給された加圧洗浄水と圧縮エアーを混合して噴出させる洗浄用噴霧ノズルとを有するものであり、乾燥手段が、洗浄水を吹き付けられた基板に気体を吹き付けるエアナイフと、気体吹き付け後に基板に熱風を吹き付ける熱風エアナイフを有するものである項（５）に記載の洗浄装置。
【００１２】
（８）水供給ノズルから水を噴出して被洗浄体の表面に水膜を形成させ、次いで、過熱水蒸気供給ノズルから水膜の温度よりも高い温度の過熱水蒸気を噴出して水膜に当てることを特徴とする洗浄方法。
【００１３】
（９）被洗浄体表面に形成される水膜の厚みが５〜１０００μｍである項（８）に記載の洗浄方法。
（１０）水膜の温度と過熱水蒸気との温度差が、１００℃以上である項（８）又は（９）に記載の洗浄方法。
【００１４】
（１１）被洗浄体表面の水膜に過熱水蒸気を当てた後、被洗浄体に洗浄水を吹き付け、次いで乾燥する項（８）〜（９）いずれかに記載の洗浄方法。
（１２）被洗浄体が長尺のテープ状物であり、長尺のテープ状物である被洗浄体を被洗浄体の長手方向に移動させる移動経路上で洗浄を行う項（８）〜（１１）いずれかに記載の洗浄方法。
【００１５】
（１３）洗浄水を吹き付けられた基板に気体を吹き付け、次いで熱風を吹き付けることにより乾燥を行う項（１１）に記載の洗浄方法。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、過熱水蒸気を用いることにより、粘着性有機異物を効率的に除去することが可能であり、水膜が形成されていることから、一旦除去した粘着性有機異物が、再付着することを阻止することができる。
水膜の厚みが５〜１０００μｍである場合は、一旦除去した粘着性有機異物が再付着しないことは勿論、過熱水蒸気を粘着性有機異物に当てやすくなる。水膜の厚みが５μｍ未満であると、徐々に粘着性有機異物が再付着しやすくなり、１０００μｍを超えると、過熱水蒸気の圧力を高めて被洗浄体に当てる必要が強まる。
水膜の温度と過熱水蒸気との温度差が、１００℃以上である場合は、この温度差により、より一層除去性能を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明で洗浄する被洗浄体は、加熱水蒸気及び水により損傷をうけないものであれば、材質、形状等に特に制限はなく、塊状物、板状物、シート状物、テープ状物等を洗浄することができる。特に好適なものは長尺のテープ状物であり、例えば、長尺のテープ状物を移動させつつ連続的に洗浄することにより、洗浄を効率的に行うことができる。長尺のテープ状物としては、スペーサテープ、表面に微細な回路が形成されたテープ状物、例えばＣＯＦテープ（ｃｈｉｐ ｏｎ ｆｉｌｍ ｔａｐｅ）、ＴＡＢテープ（ｔａｐｅ ａｕｔｏｍａｔｅｄ ｂｏｎｄｉｎｇ ｔａｐｅ）等が挙げられる。ＴＡＢテープ、ＣＯＦテープ等のテープ状物は、可撓性のあるプラスチックフィルム、例えばポリイミドフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム等の片面又は両面に、銅、錫等の導体からなる微細な回路が、テープの長手方向に所定の間隔で複数形成されており、厚みは通常２５〜９０μｍ、幅は通常３５〜１０５ミリである。テープ状物の両側縁部には、複数のスプロケットホールが一定間隔で設けられていてもよい。スペーサテープとしては、例えば、可撓性のあるプラスチックフィルム、例えばポリイミドフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルムなどが挙げられ、厚みは通常５０〜１００μｍである。
【００１８】
被洗浄体を移動させる被洗浄体搬送手段は、洗浄を効率的に行うためには、被洗浄体が塊状物、板状物、枚葉化されたシート状物である場合には、複数の被洗浄体を連続して移動させるものが好ましい。例えば、並列配列した回転する複数対のローラー間で移動させて搬送するロール搬送、コンベアベルト又は並列配列した回転する複数のローラー上で移動させて搬送するコンベア搬送などが挙げられるが、これらに限定されるものではない。
【００１９】
被洗浄体が長尺のテープ状物である場合には、テープ状物をその長手方向に連続的に移動させる被洗浄体搬送手段であることが好ましく、例えば、ロール状に巻回されたテープ状物をその長手方向に繰り出す繰出しリール等の繰出し部と、洗浄後のテープ状物を巻き取る巻取りリール等の巻取り部を有するものが好適である。繰出し部と巻取り部のみを用いてその間の移動経路上で洗浄を行ってもよいし、必要に応じて繰出し部と巻取り部との間に１又は２個以上のガイドローラーを配置してテープ状物の移動方向を変化させ、繰出し部とガイドローラーとの間、又は巻取り部とガイドローラーとの間、又は２個のガイドローラーの間の移動経路上で洗浄を行ってもよい。テープ状物としてその長さ方向に一定間隔で設けられた複数のスプロケットホールを有するものを用い、ガイドローラーとしてスプロケットを用いてもよい。
【００２０】
また、繰出し部と移動経路上の洗浄を行う部分（以下、クリーニング機構部という。）との間に、回路形成工程等を行う前工程部を設けてもよいし、また、クリーニング機構部と巻取り部との間に、半導体チップ搭載工程等の後工程部を設けてもよい。
【００２１】
被洗浄体の表面に水膜を形成させる水供給手段としては、先端に設けた水供給ノズルから水を噴出するものが用いられ、先端の水供給ノズルの吐出口から水を噴出させる機能を有するものであれば特に制限はない。例えば、水供給ノズルとして二流体ノズルを用い、水供給ノズルに加圧水を供給する加圧水供給部及び圧縮エアーを供給する圧縮エアー供給部と、供給された加圧水と圧縮エアーを混合して噴出させる水供給ノズルとを有するものを用いることができる。加圧水の圧力は、通常、０．２〜０．６ＭＰａであることが好ましく、０．３〜０．５ＭＰａであることがより好ましい。圧縮エアーのエアー圧は、通常、０．２〜０．６ＭＰａであることが好ましく、０．３〜０．５ＭＰａであることがより好ましい。水供給ノズルの吐出口と被洗浄体との距離は、通常、２０〜５０ｍｍとすることが好ましく、３０〜４０ｍｍとすることがより好ましい。
【００２２】
水膜の厚みは５〜１０００μｍであることが好ましく、１００〜９００μｍであることがより好ましい。水膜の厚みのこのような微調整を可能にするためには、水供給手段は水供給圧力を調整できる圧力調整器等の水量調整機器を備えていることが好ましい。
【００２３】
水膜形成に用いられる水としては、純水、アルカリ電解水等が挙げられる。
【００２４】
過熱水蒸気を水膜に当てる過熱水蒸気供給手段としては、先端に設けた過熱水蒸気供給ノズルから水膜の温度よりも高い温度の過熱水蒸気を噴出するものが用いられ、先端の水蒸気供給ノズルの吐出口から過熱水蒸気を噴出させる機能を有するものであれば特に制限はない。例えば、過熱水蒸気を製造して過熱水蒸気ノズルに供給する過熱水蒸気製造機構部と、供給された過熱水蒸気を噴出させる吐出口を有する過熱水蒸気ノズルとを有するものを用いることができる。過熱水蒸気製造機構部としては、過熱水蒸気を製造しうる構成のものであれば特に制限はなく、例えば、電磁誘導過熱方式のボイラー装置で水蒸気を生成し、生成した水蒸気を電磁誘導過熱方式で更に過熱して過熱水蒸気を精製することのできる部品で構成されたもの等が挙げられる。過熱水蒸気の圧力は、通常、０．１〜０．３ＭＰａであることが好ましく、０．１５〜０．２ＭＰａであることがより好ましい。過熱水蒸気ノズルの吐出口と被洗浄体との距離は、通常、５〜３０ｍｍとすることが好ましく、１０〜２０ｍｍとすることがより好ましい。
【００２５】
水膜の温度と過熱水蒸気との温度差は、１００℃以上であることが好ましく、２００〜３５０℃であることがより好ましい。なお、本発明において、水膜の温度とは、水供給ノズルに供給される加圧水の温度を意味し、過熱水蒸気の温度とは、過熱水蒸気ノズルに供給される過熱水蒸気の温度を意味する。水膜の温度は、特に制限はないが、通常、１０〜３０℃が好ましく、１５〜２０℃がより好ましい。１０℃未満であると、配管に結露するおそれがあり、結露防止用カバー等が必要となりコスト高となる傾向があり、３０℃を超えると、過熱水蒸気温度を高く設定することが必要となり、ランニングコスト高となる傾向がある。
【００２６】
過熱水蒸気ノズルとしては、スリット状の吐出口を有するスリット状ノズルを用いることが好ましい。例えば、スリット状ノズルを、スリット状の吐出口を、被洗浄体の移動方向に対して垂直、かつ、被洗浄体の表面に平行に配置することにより、被洗浄体の被洗浄表面に均一に過熱水蒸気を当てることができる。吐出口の幅は、通常、０．５〜５ｍｍであることが好ましく、２〜３ｍｍであることがより好ましく、吐出口の長さは被洗浄体が吐出口に対向する面の幅と同一、又は＋１０ｍｍ程度とすることが好ましい。吐出口と被洗浄体との間隔は５〜３０ｍｍとすることが好ましく、１０〜２０ｍｍとすることがより好ましい。
【００２７】
被洗浄体に付着していた異物は、過熱水蒸気による加熱によって被洗浄体から剥がれて水膜中に浮遊するが、本発明の洗浄装置及び洗浄方法においては、被洗浄体上に残留する水膜及び浮遊する異物の除去方法は、特に制限するものではない。例えば、クリーニング機構部に、更に、過熱水蒸気を当てられた水膜を有する被洗浄体に洗浄水を吹き付ける洗浄水供給手段、及び、洗浄水を吹き付けられた基板を乾燥する乾燥手段を設けることによって、効率的かつ効果的に除去することができる。
【００２８】
洗浄水供給手段としては、例えば、先端に設けた洗浄用噴霧ノズルから洗浄水を噴出するものが用いらる。例えば、洗浄用噴霧ノズルとして二流体ノズルを用い、洗浄用噴霧ノズルに加圧洗浄水を供給する加圧洗浄水供給部及び圧縮エアーを供給する圧縮エアー供給部と、供給された加圧洗浄水と圧縮エアーを混合して噴出させる洗浄用噴霧ノズルとを有するものを用いることができる。加圧洗浄水の圧力は、通常、０．２〜０．６ＭＰａであることが好ましく、０．３〜０．５ＭＰａであることがより好ましい。圧縮エアーのエアー圧は、通常、０．２〜０．６ＭＰａであることが好ましく、０．３〜０．５ＭＰａであることがより好ましい。洗浄用噴霧ノズルの吐出口と被洗浄体との距離は、通常、２０〜５０ｍｍとすることが好ましく、３０〜４０ｍｍとすることがより好ましい。
【００２９】
洗浄水としては、純水、アルカリ電解水等を用いることができる。洗浄水の温度は、特に制限はなく、通常、１０〜３０℃とすることが好ましく、１５〜２５℃とすることがより好ましい。
【００３０】
尚、前述の洗浄水ノズル、過熱水蒸気ノズル、洗浄用噴霧ノズルは、各々、１つのみ設けられていてもよく、また、被洗浄体の形状や大きさ、洗浄を必要とする表面の状態等に応じ、各々、２つ以上設けられていてもよい。
【００３１】
乾燥手段としては、例えば、洗浄水を吹き付けられた基板に気体を吹き付けるエアナイフと、気体吹き付け後に基板に熱風を吹き付ける熱風エアナイフとを、又は、そのいずれか一方を設けることが好ましい。エアナイフに用いる気体、熱風エアナイフに用いる気体としては、空気、窒素ガス等が挙げられる。熱風の温度は、４０〜１２０℃とすることが好ましく、６０〜９０℃とすることがより好ましい。
【００３２】
尚、前述のエアナイフ、熱風エアナイフは、各々、１つのみ設けられていてもよく、また、被洗浄体の形状や大きさ、乾燥を必要とする表面の状態等に応じ、各々、２つ以上設けられていてもよい。
【００３３】
シート状物、テープ状物の被洗浄体を洗浄する際には、被洗浄体にテンションをかけることが好ましい。テンションをかけることにより、洗浄時の水、過熱水蒸気、洗浄水、気体の噴きつけによる被洗浄体のぶれを防止する効果がある。テンションの程度は、重しリールを用いる場合には、重しリールの重量として２００〜６００ｇとすることが好ましく、３００〜４００ｇとすることがより好ましい。
【００３４】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
図１は、本発明の洗浄装置を示す概略構成図である。被洗浄体である長尺テープ６は、繰出リール１から繰り出され、ガイドローラ３ａと３ｂとの間に配置された重しローラ２により張力を付加されて、クリーニング機構部４へと入る。クリーニング機構部４内では、ガイドローラ３ｃと３ｄとの間で上方に向かって移動する。洗浄を終えた長尺テープ６は、ガイドローラ３ｅを経て巻取リール５により巻き取られる。
尚、図中のガイドローラ３ａ〜３ｅは、長尺テープ６のガイド及び進行方向を変化させる際に用いている。
【００３５】
図２は、図１に示すクリーニング機構部４の内部機構図である。
長尺テープ６は、クリーニング機構部４の下方から内部に入り、ガイドローラ３ｃによって進行方向を上方に変え、機構部内を上昇して、ガイドローラ３ｄによって進行方向を巻取りリール５に変えられ、クリーニング機構部４上方から外部に出している。
【００３６】
長尺テープ６は、その両面に対向するように配置された一対の水供給ノズル１３から水を吹きかけられるが、水供給ノズル１３には流量制御機器（図示せず）が組み込まれ、長尺テープ６の表面に形成される水膜の厚みを５〜１０００μｍの間で調整可能にしてある。両面に水膜を形成した長尺テープ６は、温度制御機器を付設したスリット状過熱水蒸気ノズル１２から、過熱水蒸気を当てられる。スリット状過熱水蒸気ノズル１２も、長尺テープ６の両面に対向するように、１対配置されている。その後、長尺テープ６は、その両面に対向するように配置された一対の洗浄用噴霧ノズル７から水を当てられ、過熱水蒸気にてテープから剥がされた粘着性有機異物を、洗い流される。
尚、水膜形成を行う水供給ノズル１３は、洗浄用噴霧ノズル７からの水が、垂れさがる等して水膜形成を行うことができれば、省略することもできる。
【００３７】
洗浄用噴霧ノズル７により洗浄された長尺テープ６は、その両面に対向するように配置された一対の水切りエアーナイフ８により水切り処理された後に、更にその両面に対向するように配置された一対の熱風エアーナイフ９により乾燥させられる。
水切りエアーナイフ８は、水切り効率を上げるため、長尺テープ６に対して１０ｍｍ程度まで接近させるが、そのままエアーを当てると長尺テープ６がばたつくので、水切りエアーナイフ配置位置に対する移動方向の前後において、各々が隣接する１対のローラーからなる２組の押さえローラ１１により長尺テープ６を押さえこんでいる。
【００３８】
図１，２に示す実施態様では、クリーニング機構部４は上部及び下部にそれぞれ排気口１０を設けた筐体Ａでカバーされているが、筐体Ａは必須ではない。クリーニング機構部４を筐体Ａでカバーすることにより、噴霧された水、過熱水蒸気、洗浄水、気体の拡散を防ぐことができる。また、筐体Ａは、水供給手段の水供給ノズル１３、過熱水蒸気供給手段のスリット状過熱水蒸気ノズル１２及び洗浄水供給手段の洗浄用噴霧ノズル７が配置された部分、水切りエアーナイフ８及び押さえローラ１１が配置された部分、熱風エアーナイフ９が配置された部分で区分けされているが、区分けは必須ではない。区分けすることにより、各部分で噴霧された液体の微粒や熱風が他の部分に拡散することを防ぐことができ、効率上好ましい。
尚、排気口１０は、必要に応じて設置することができ、複数箇所に設けることもできる。排気口１０から排気ダクト（図示せず）を経て排気ファン（図示せず）によって廃棄することにより、筐体Ａ内の液体の微粒や気体を周囲に拡散させることなく、効率的に排出することができる。
【００３９】
図１、２に示す実施態様では、クリーニング機構部は縦型搬送で図示されているが、必要に応じて搬送方向を適宜変更してもよい。クリーニング機構部内での被洗浄体の移動速度は、特に制限はないが、通常、０．５〜１５ｍ／分の範囲が使用されるが、スプロケットやリールの回転数を任意に制御することにより変更できる。
【実施例】
【００４０】
以下、本発明の実施例について、図３乃至図８を用いて、詳細に説明する。なお、図３乃至図８においては、ＣＯＦテープ洗浄の際の片面側のみを図示している。
図３は、ＣＯＦテープの断面図を示している。本実施例で用いるＣＯＦテープ１５は、表面に微細回路１５ａが形成され、ポリイミド製で、厚み５０μｍ、幅３５ｍｍであり、その表面に粘着性有機異物１６が付着している。
【００４１】
図４は、水膜形成時の概略図である。ＣＯＦテープ１５の表面には、水供給手段の４つの水供給ノズル１３（二流体専用ノズル）から純水１７（温度：２０℃）を噴出され水膜が形成されるが、その際、図示を省略する水量調整機器により、水膜の厚みが１００μｍとなるようにしてある。図５に示すように、水膜１８を形成されたＣＯＦテープ１５は、水膜を維持したまま次工程へと移り、この段階では、粘着性有機異物１６も付着したままとなっている。尚、水供給用ノズルとしては二流体専用ノズルを用いており、その条件は、純水圧０．５Ｍｐａ、エアー圧０．５Ｍｐａで、ＣＯＦテープ１５迄の距離を４０ｍｍとしている。水量調整機器としては、純水圧及びエアー圧を調整する調整機器が用いられており、純水圧０．３〜０．５Ｍｐａ、エアー圧０．３〜０．５Ｍｐａで、水膜１００〜９００μｍを形成できるものである。
【００４２】
図６は、過熱水蒸気を当てる際の概略図である。過熱水蒸気は、水中に異物が混入しないように、ステンレス製のボイラーに貯留した水を使用し、この純水を、電磁誘導過熱装置（瀬田興産化工株式会社製、商品名「デュアルパックスヒータ」）にて加熱し、３５０℃の過熱水蒸気を得ている。
過熱水蒸気は、流量調整を行ってＣＯＦテープ１５に噴射されるが、この際、ＣＯＦテープ１５のテープ幅に合わせたスリット状過熱水蒸気ノズル１２（吐出口長さ：４５ｍｍ、吐出口幅：２ｍｍ）を用いて、吐出口とＣＯＦテープ１５との距離を１５ｍｍに設定してある。
粘着性有機異物１６は、過熱水蒸気を当てることでＣＯＦテープ１５の表面から剥がれ、水膜１８中に浮遊することとなる。
尚、水膜１８の水温と、過熱水蒸気の温度との差は、大きいほど、過熱水蒸気が水膜に衝突した際の衝撃が大きく、より一層粘着性有機異物が、除去されやすくなる。
【００４３】
図７は、洗浄水を当てる際の概略図である。粘着性有機異物１６を剥がされたＣＯＦテープ１５は、４つの洗浄用噴霧ノズル７（二流体専用ノズル）から噴出される洗浄用噴霧水２０（温度２０℃）を当てられ、粘着性有機異物１６を洗い流される。
本実施例では、洗浄用噴霧水２０として、純水を用いており、洗浄用噴霧ノズル７は、純水とエアーとを混合して噴射する二流体専用ノズルを用いている。
尚、二流体専用ノズルの条件は、純水圧０．５Ｍｐａ、エアー圧０．５Ｍｐａで、ＣＯＦテープ１５迄の距離を４０ｍｍとしている。
【００４４】
粘着性有機異物を除去されたＣＯＦテープは、水切りエアーナイフにより、表面に付着している水を除去される。水切りエアーナイフは、水切り効果を上げるため、ＣＯＦテープから１０ｍｍの距離迄近づけて、０．２Ｍｐａの吐出圧で噴出され、ＣＯＦテープのばたつきを押さえるために、ＣＯＦテープに４００ｇ程度の張力をかけながら、押さえローラにより押さえ込んでいる。
【００４５】
水切り処理を終えたＣＯＦテープは、目視観察によれば水が除去されているが、水気をなくすために、乾燥処理を行う。乾燥処理は、６５℃に加熱された熱風を、熱風エアーナイフ９（図２参照）よりＣＯＦテープに吹き付ける。熱風エアーナイフ９からＣＯＦテープまでの距離は、１０ｍｍ、圧力は０．１Ｍｐａである。
【００４６】
図８は、粘着性有機異物が除去されＣＯＦテープの断面を示す。
一連の洗浄処理が終了したＣＯＦテープは、図２に示すクリーニング機構部４より排出され、図１の巻取りリール５で巻き取られていく。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の１実施例である洗浄装置の概略構成図を示す
【図２】図１に示す洗浄装置のクリーニング機構部の内部構造図を示す
【図３】本発明の実施例に用いるＣＯＦテープの断面図を示す
【図４】図３に示すＣＯＦテープの水膜形成時の概略図を示す
【図５】図３に示すＣＯＦテープの水膜形成時断面図を示す
【図６】図５に示すＣＯＦテープに過熱水蒸気を当てる概略図を示す
【図７】図６に示すＣＯＦテープに洗浄水を当てる概略図を示す
【図８】図３に示すＣＯＦテープの洗浄後の断面図を示す
【符号の説明】
【００４８】
１ 繰出しリール
２ 重しローラ
３ａ〜３ｅ ガイドローラ
４ クリーニング機構部
Ａ 筐体
５ 巻取りリール
６ 長尺テープ
７ 洗浄用噴霧ノズル
８ 水切りエアーナイフ
９ 熱風エアーナイフ
１０ 排気口
１１ 押さえローラ
１２ スリット状過熱水蒸気ノズル
１３ 水供給ノズル
１４ 過熱水蒸気製造機構部
１５ ＣＯＦテープ
１５ａ 微細回路
１６ 粘着性有機異物
１７ 純水
１８ 水膜
１９ 噴射された過熱水蒸気
２０ 洗浄用噴霧水
【技術分野】
【０００１】
本発明は、洗浄装置及び洗浄装置に関し、特に微細な回路が形成されたテープ状物やスペーサテープに付着した異物を洗浄除去するために好適に用いられる洗浄装置及び洗浄方法に関する。
【背景技術】
【０００２】
例えば、液晶表示装置やプラズマ表示装置に使用されるＣＯＦテープ（ｃｈｉｐ ｏｎ ｆｉｌｍ テープ）は高精細化が進行し、付着異物が歩留まりに大きく影響するために、付着異物を洗浄除去する必要が増大している。そのため、洗浄方法としては、ドライ方式の高圧ブローを行い、付着異物を吸引する装置が使用されている。
【０００３】
また、ウエット方式の洗浄装置については、特許文献１に、クリーニング液を微粒化して吹き付ける方法が提案されている。
【特許文献１】特開２００５−１０９１１２号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記ドライ方式のものは、圧縮空気を付着異物に当てて、吹き飛ばすものであり、洗浄性が十分とは言い難い。
ウエット方式のものは、ドライ方式よりは洗浄性が向上するが、付着異物が粘着性有機異物であると、十分に除去することができない。
【０００５】
本発明は、除去することが困難であった、粘着性有機異物を効果的に除去することが可能な洗浄装置を、提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、以下のものに関する。
（１）被洗浄体の移動経路上で被洗浄体を洗浄する洗浄装置であって、
被洗浄体を移動させる被洗浄体搬送手段、
先端に設けた水供給ノズルから水を噴出して被洗浄体の表面に水膜を形成させる水供給手段、及び、
先端に設けた過熱水蒸気供給ノズルから水膜の温度よりも高い温度の過熱水蒸気を噴出して水膜に当てる加熱水蒸気供給手段
を備えることを特徴とする洗浄装置。
【０００７】
（２）水供給手段が、水膜の厚みを５〜１０００μｍに調整する水量調整機器を備えるものである項（１）に記載の洗浄装置。
（３）水膜の温度と過熱水蒸気との温度差が、１００℃以上である項（１）又は（２）に記載の洗浄装置。
【０００８】
（４）水供給手段が、加圧水を供給する加圧水供給部及び圧縮エアーを供給する圧縮エアー供給部と、供給された加圧水と圧縮エアーを混合して噴出させる水供給ノズルとを有し、過熱水蒸気供給手段が、過熱水蒸気を製造して供給する過熱水蒸気製造機構部と、供給された過熱水蒸気を噴出させる過熱水蒸気ノズルとを有するものである項（１）〜（３）いずれかに記載の洗浄装置。
【０００９】
（５）被洗浄体が長尺のテープ状物であり、被洗浄体搬送手段が、長尺のテープ状物である被洗浄体を被洗浄体の長手方向に移動させるものであり、過熱水蒸気供給手段が、過熱水蒸気を製造して供給する過熱水蒸気製造機構部と、供給された過熱水蒸気を噴出させる過熱水蒸気ノズルとを有し、過熱水蒸気ノズルがスリット状の噴出口を有するスリット状ノズルである項（１）〜（４）いずれかに記載の洗浄装置。
【００１０】
（６）過熱水蒸気を当てられた水膜を有する被洗浄体に洗浄水を吹き付ける洗浄水供給手段、及び、
洗浄水を吹き付けられた基板を乾燥する乾燥手段
を更に有する項（１）〜（５）いずれかに記載の洗浄装置。
【００１１】
（７）洗浄水供給手段が、加圧洗浄水を供給する加圧洗浄水供給部及び圧縮エアーを供給する圧縮エアー供給部と、供給された加圧洗浄水と圧縮エアーを混合して噴出させる洗浄用噴霧ノズルとを有するものであり、乾燥手段が、洗浄水を吹き付けられた基板に気体を吹き付けるエアナイフと、気体吹き付け後に基板に熱風を吹き付ける熱風エアナイフを有するものである項（５）に記載の洗浄装置。
【００１２】
（８）水供給ノズルから水を噴出して被洗浄体の表面に水膜を形成させ、次いで、過熱水蒸気供給ノズルから水膜の温度よりも高い温度の過熱水蒸気を噴出して水膜に当てることを特徴とする洗浄方法。
【００１３】
（９）被洗浄体表面に形成される水膜の厚みが５〜１０００μｍである項（８）に記載の洗浄方法。
（１０）水膜の温度と過熱水蒸気との温度差が、１００℃以上である項（８）又は（９）に記載の洗浄方法。
【００１４】
（１１）被洗浄体表面の水膜に過熱水蒸気を当てた後、被洗浄体に洗浄水を吹き付け、次いで乾燥する項（８）〜（９）いずれかに記載の洗浄方法。
（１２）被洗浄体が長尺のテープ状物であり、長尺のテープ状物である被洗浄体を被洗浄体の長手方向に移動させる移動経路上で洗浄を行う項（８）〜（１１）いずれかに記載の洗浄方法。
【００１５】
（１３）洗浄水を吹き付けられた基板に気体を吹き付け、次いで熱風を吹き付けることにより乾燥を行う項（１１）に記載の洗浄方法。
【発明の効果】
【００１６】
本発明によれば、過熱水蒸気を用いることにより、粘着性有機異物を効率的に除去することが可能であり、水膜が形成されていることから、一旦除去した粘着性有機異物が、再付着することを阻止することができる。
水膜の厚みが５〜１０００μｍである場合は、一旦除去した粘着性有機異物が再付着しないことは勿論、過熱水蒸気を粘着性有機異物に当てやすくなる。水膜の厚みが５μｍ未満であると、徐々に粘着性有機異物が再付着しやすくなり、１０００μｍを超えると、過熱水蒸気の圧力を高めて被洗浄体に当てる必要が強まる。
水膜の温度と過熱水蒸気との温度差が、１００℃以上である場合は、この温度差により、より一層除去性能を高めることができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
本発明で洗浄する被洗浄体は、加熱水蒸気及び水により損傷をうけないものであれば、材質、形状等に特に制限はなく、塊状物、板状物、シート状物、テープ状物等を洗浄することができる。特に好適なものは長尺のテープ状物であり、例えば、長尺のテープ状物を移動させつつ連続的に洗浄することにより、洗浄を効率的に行うことができる。長尺のテープ状物としては、スペーサテープ、表面に微細な回路が形成されたテープ状物、例えばＣＯＦテープ（ｃｈｉｐ ｏｎ ｆｉｌｍ ｔａｐｅ）、ＴＡＢテープ（ｔａｐｅ ａｕｔｏｍａｔｅｄ ｂｏｎｄｉｎｇ ｔａｐｅ）等が挙げられる。ＴＡＢテープ、ＣＯＦテープ等のテープ状物は、可撓性のあるプラスチックフィルム、例えばポリイミドフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム等の片面又は両面に、銅、錫等の導体からなる微細な回路が、テープの長手方向に所定の間隔で複数形成されており、厚みは通常２５〜９０μｍ、幅は通常３５〜１０５ミリである。テープ状物の両側縁部には、複数のスプロケットホールが一定間隔で設けられていてもよい。スペーサテープとしては、例えば、可撓性のあるプラスチックフィルム、例えばポリイミドフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルムなどが挙げられ、厚みは通常５０〜１００μｍである。
【００１８】
被洗浄体を移動させる被洗浄体搬送手段は、洗浄を効率的に行うためには、被洗浄体が塊状物、板状物、枚葉化されたシート状物である場合には、複数の被洗浄体を連続して移動させるものが好ましい。例えば、並列配列した回転する複数対のローラー間で移動させて搬送するロール搬送、コンベアベルト又は並列配列した回転する複数のローラー上で移動させて搬送するコンベア搬送などが挙げられるが、これらに限定されるものではない。
【００１９】
被洗浄体が長尺のテープ状物である場合には、テープ状物をその長手方向に連続的に移動させる被洗浄体搬送手段であることが好ましく、例えば、ロール状に巻回されたテープ状物をその長手方向に繰り出す繰出しリール等の繰出し部と、洗浄後のテープ状物を巻き取る巻取りリール等の巻取り部を有するものが好適である。繰出し部と巻取り部のみを用いてその間の移動経路上で洗浄を行ってもよいし、必要に応じて繰出し部と巻取り部との間に１又は２個以上のガイドローラーを配置してテープ状物の移動方向を変化させ、繰出し部とガイドローラーとの間、又は巻取り部とガイドローラーとの間、又は２個のガイドローラーの間の移動経路上で洗浄を行ってもよい。テープ状物としてその長さ方向に一定間隔で設けられた複数のスプロケットホールを有するものを用い、ガイドローラーとしてスプロケットを用いてもよい。
【００２０】
また、繰出し部と移動経路上の洗浄を行う部分（以下、クリーニング機構部という。）との間に、回路形成工程等を行う前工程部を設けてもよいし、また、クリーニング機構部と巻取り部との間に、半導体チップ搭載工程等の後工程部を設けてもよい。
【００２１】
被洗浄体の表面に水膜を形成させる水供給手段としては、先端に設けた水供給ノズルから水を噴出するものが用いられ、先端の水供給ノズルの吐出口から水を噴出させる機能を有するものであれば特に制限はない。例えば、水供給ノズルとして二流体ノズルを用い、水供給ノズルに加圧水を供給する加圧水供給部及び圧縮エアーを供給する圧縮エアー供給部と、供給された加圧水と圧縮エアーを混合して噴出させる水供給ノズルとを有するものを用いることができる。加圧水の圧力は、通常、０．２〜０．６ＭＰａであることが好ましく、０．３〜０．５ＭＰａであることがより好ましい。圧縮エアーのエアー圧は、通常、０．２〜０．６ＭＰａであることが好ましく、０．３〜０．５ＭＰａであることがより好ましい。水供給ノズルの吐出口と被洗浄体との距離は、通常、２０〜５０ｍｍとすることが好ましく、３０〜４０ｍｍとすることがより好ましい。
【００２２】
水膜の厚みは５〜１０００μｍであることが好ましく、１００〜９００μｍであることがより好ましい。水膜の厚みのこのような微調整を可能にするためには、水供給手段は水供給圧力を調整できる圧力調整器等の水量調整機器を備えていることが好ましい。
【００２３】
水膜形成に用いられる水としては、純水、アルカリ電解水等が挙げられる。
【００２４】
過熱水蒸気を水膜に当てる過熱水蒸気供給手段としては、先端に設けた過熱水蒸気供給ノズルから水膜の温度よりも高い温度の過熱水蒸気を噴出するものが用いられ、先端の水蒸気供給ノズルの吐出口から過熱水蒸気を噴出させる機能を有するものであれば特に制限はない。例えば、過熱水蒸気を製造して過熱水蒸気ノズルに供給する過熱水蒸気製造機構部と、供給された過熱水蒸気を噴出させる吐出口を有する過熱水蒸気ノズルとを有するものを用いることができる。過熱水蒸気製造機構部としては、過熱水蒸気を製造しうる構成のものであれば特に制限はなく、例えば、電磁誘導過熱方式のボイラー装置で水蒸気を生成し、生成した水蒸気を電磁誘導過熱方式で更に過熱して過熱水蒸気を精製することのできる部品で構成されたもの等が挙げられる。過熱水蒸気の圧力は、通常、０．１〜０．３ＭＰａであることが好ましく、０．１５〜０．２ＭＰａであることがより好ましい。過熱水蒸気ノズルの吐出口と被洗浄体との距離は、通常、５〜３０ｍｍとすることが好ましく、１０〜２０ｍｍとすることがより好ましい。
【００２５】
水膜の温度と過熱水蒸気との温度差は、１００℃以上であることが好ましく、２００〜３５０℃であることがより好ましい。なお、本発明において、水膜の温度とは、水供給ノズルに供給される加圧水の温度を意味し、過熱水蒸気の温度とは、過熱水蒸気ノズルに供給される過熱水蒸気の温度を意味する。水膜の温度は、特に制限はないが、通常、１０〜３０℃が好ましく、１５〜２０℃がより好ましい。１０℃未満であると、配管に結露するおそれがあり、結露防止用カバー等が必要となりコスト高となる傾向があり、３０℃を超えると、過熱水蒸気温度を高く設定することが必要となり、ランニングコスト高となる傾向がある。
【００２６】
過熱水蒸気ノズルとしては、スリット状の吐出口を有するスリット状ノズルを用いることが好ましい。例えば、スリット状ノズルを、スリット状の吐出口を、被洗浄体の移動方向に対して垂直、かつ、被洗浄体の表面に平行に配置することにより、被洗浄体の被洗浄表面に均一に過熱水蒸気を当てることができる。吐出口の幅は、通常、０．５〜５ｍｍであることが好ましく、２〜３ｍｍであることがより好ましく、吐出口の長さは被洗浄体が吐出口に対向する面の幅と同一、又は＋１０ｍｍ程度とすることが好ましい。吐出口と被洗浄体との間隔は５〜３０ｍｍとすることが好ましく、１０〜２０ｍｍとすることがより好ましい。
【００２７】
被洗浄体に付着していた異物は、過熱水蒸気による加熱によって被洗浄体から剥がれて水膜中に浮遊するが、本発明の洗浄装置及び洗浄方法においては、被洗浄体上に残留する水膜及び浮遊する異物の除去方法は、特に制限するものではない。例えば、クリーニング機構部に、更に、過熱水蒸気を当てられた水膜を有する被洗浄体に洗浄水を吹き付ける洗浄水供給手段、及び、洗浄水を吹き付けられた基板を乾燥する乾燥手段を設けることによって、効率的かつ効果的に除去することができる。
【００２８】
洗浄水供給手段としては、例えば、先端に設けた洗浄用噴霧ノズルから洗浄水を噴出するものが用いらる。例えば、洗浄用噴霧ノズルとして二流体ノズルを用い、洗浄用噴霧ノズルに加圧洗浄水を供給する加圧洗浄水供給部及び圧縮エアーを供給する圧縮エアー供給部と、供給された加圧洗浄水と圧縮エアーを混合して噴出させる洗浄用噴霧ノズルとを有するものを用いることができる。加圧洗浄水の圧力は、通常、０．２〜０．６ＭＰａであることが好ましく、０．３〜０．５ＭＰａであることがより好ましい。圧縮エアーのエアー圧は、通常、０．２〜０．６ＭＰａであることが好ましく、０．３〜０．５ＭＰａであることがより好ましい。洗浄用噴霧ノズルの吐出口と被洗浄体との距離は、通常、２０〜５０ｍｍとすることが好ましく、３０〜４０ｍｍとすることがより好ましい。
【００２９】
洗浄水としては、純水、アルカリ電解水等を用いることができる。洗浄水の温度は、特に制限はなく、通常、１０〜３０℃とすることが好ましく、１５〜２５℃とすることがより好ましい。
【００３０】
尚、前述の洗浄水ノズル、過熱水蒸気ノズル、洗浄用噴霧ノズルは、各々、１つのみ設けられていてもよく、また、被洗浄体の形状や大きさ、洗浄を必要とする表面の状態等に応じ、各々、２つ以上設けられていてもよい。
【００３１】
乾燥手段としては、例えば、洗浄水を吹き付けられた基板に気体を吹き付けるエアナイフと、気体吹き付け後に基板に熱風を吹き付ける熱風エアナイフとを、又は、そのいずれか一方を設けることが好ましい。エアナイフに用いる気体、熱風エアナイフに用いる気体としては、空気、窒素ガス等が挙げられる。熱風の温度は、４０〜１２０℃とすることが好ましく、６０〜９０℃とすることがより好ましい。
【００３２】
尚、前述のエアナイフ、熱風エアナイフは、各々、１つのみ設けられていてもよく、また、被洗浄体の形状や大きさ、乾燥を必要とする表面の状態等に応じ、各々、２つ以上設けられていてもよい。
【００３３】
シート状物、テープ状物の被洗浄体を洗浄する際には、被洗浄体にテンションをかけることが好ましい。テンションをかけることにより、洗浄時の水、過熱水蒸気、洗浄水、気体の噴きつけによる被洗浄体のぶれを防止する効果がある。テンションの程度は、重しリールを用いる場合には、重しリールの重量として２００〜６００ｇとすることが好ましく、３００〜４００ｇとすることがより好ましい。
【００３４】
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
図１は、本発明の洗浄装置を示す概略構成図である。被洗浄体である長尺テープ６は、繰出リール１から繰り出され、ガイドローラ３ａと３ｂとの間に配置された重しローラ２により張力を付加されて、クリーニング機構部４へと入る。クリーニング機構部４内では、ガイドローラ３ｃと３ｄとの間で上方に向かって移動する。洗浄を終えた長尺テープ６は、ガイドローラ３ｅを経て巻取リール５により巻き取られる。
尚、図中のガイドローラ３ａ〜３ｅは、長尺テープ６のガイド及び進行方向を変化させる際に用いている。
【００３５】
図２は、図１に示すクリーニング機構部４の内部機構図である。
長尺テープ６は、クリーニング機構部４の下方から内部に入り、ガイドローラ３ｃによって進行方向を上方に変え、機構部内を上昇して、ガイドローラ３ｄによって進行方向を巻取りリール５に変えられ、クリーニング機構部４上方から外部に出している。
【００３６】
長尺テープ６は、その両面に対向するように配置された一対の水供給ノズル１３から水を吹きかけられるが、水供給ノズル１３には流量制御機器（図示せず）が組み込まれ、長尺テープ６の表面に形成される水膜の厚みを５〜１０００μｍの間で調整可能にしてある。両面に水膜を形成した長尺テープ６は、温度制御機器を付設したスリット状過熱水蒸気ノズル１２から、過熱水蒸気を当てられる。スリット状過熱水蒸気ノズル１２も、長尺テープ６の両面に対向するように、１対配置されている。その後、長尺テープ６は、その両面に対向するように配置された一対の洗浄用噴霧ノズル７から水を当てられ、過熱水蒸気にてテープから剥がされた粘着性有機異物を、洗い流される。
尚、水膜形成を行う水供給ノズル１３は、洗浄用噴霧ノズル７からの水が、垂れさがる等して水膜形成を行うことができれば、省略することもできる。
【００３７】
洗浄用噴霧ノズル７により洗浄された長尺テープ６は、その両面に対向するように配置された一対の水切りエアーナイフ８により水切り処理された後に、更にその両面に対向するように配置された一対の熱風エアーナイフ９により乾燥させられる。
水切りエアーナイフ８は、水切り効率を上げるため、長尺テープ６に対して１０ｍｍ程度まで接近させるが、そのままエアーを当てると長尺テープ６がばたつくので、水切りエアーナイフ配置位置に対する移動方向の前後において、各々が隣接する１対のローラーからなる２組の押さえローラ１１により長尺テープ６を押さえこんでいる。
【００３８】
図１，２に示す実施態様では、クリーニング機構部４は上部及び下部にそれぞれ排気口１０を設けた筐体Ａでカバーされているが、筐体Ａは必須ではない。クリーニング機構部４を筐体Ａでカバーすることにより、噴霧された水、過熱水蒸気、洗浄水、気体の拡散を防ぐことができる。また、筐体Ａは、水供給手段の水供給ノズル１３、過熱水蒸気供給手段のスリット状過熱水蒸気ノズル１２及び洗浄水供給手段の洗浄用噴霧ノズル７が配置された部分、水切りエアーナイフ８及び押さえローラ１１が配置された部分、熱風エアーナイフ９が配置された部分で区分けされているが、区分けは必須ではない。区分けすることにより、各部分で噴霧された液体の微粒や熱風が他の部分に拡散することを防ぐことができ、効率上好ましい。
尚、排気口１０は、必要に応じて設置することができ、複数箇所に設けることもできる。排気口１０から排気ダクト（図示せず）を経て排気ファン（図示せず）によって廃棄することにより、筐体Ａ内の液体の微粒や気体を周囲に拡散させることなく、効率的に排出することができる。
【００３９】
図１、２に示す実施態様では、クリーニング機構部は縦型搬送で図示されているが、必要に応じて搬送方向を適宜変更してもよい。クリーニング機構部内での被洗浄体の移動速度は、特に制限はないが、通常、０．５〜１５ｍ／分の範囲が使用されるが、スプロケットやリールの回転数を任意に制御することにより変更できる。
【実施例】
【００４０】
以下、本発明の実施例について、図３乃至図８を用いて、詳細に説明する。なお、図３乃至図８においては、ＣＯＦテープ洗浄の際の片面側のみを図示している。
図３は、ＣＯＦテープの断面図を示している。本実施例で用いるＣＯＦテープ１５は、表面に微細回路１５ａが形成され、ポリイミド製で、厚み５０μｍ、幅３５ｍｍであり、その表面に粘着性有機異物１６が付着している。
【００４１】
図４は、水膜形成時の概略図である。ＣＯＦテープ１５の表面には、水供給手段の４つの水供給ノズル１３（二流体専用ノズル）から純水１７（温度：２０℃）を噴出され水膜が形成されるが、その際、図示を省略する水量調整機器により、水膜の厚みが１００μｍとなるようにしてある。図５に示すように、水膜１８を形成されたＣＯＦテープ１５は、水膜を維持したまま次工程へと移り、この段階では、粘着性有機異物１６も付着したままとなっている。尚、水供給用ノズルとしては二流体専用ノズルを用いており、その条件は、純水圧０．５Ｍｐａ、エアー圧０．５Ｍｐａで、ＣＯＦテープ１５迄の距離を４０ｍｍとしている。水量調整機器としては、純水圧及びエアー圧を調整する調整機器が用いられており、純水圧０．３〜０．５Ｍｐａ、エアー圧０．３〜０．５Ｍｐａで、水膜１００〜９００μｍを形成できるものである。
【００４２】
図６は、過熱水蒸気を当てる際の概略図である。過熱水蒸気は、水中に異物が混入しないように、ステンレス製のボイラーに貯留した水を使用し、この純水を、電磁誘導過熱装置（瀬田興産化工株式会社製、商品名「デュアルパックスヒータ」）にて加熱し、３５０℃の過熱水蒸気を得ている。
過熱水蒸気は、流量調整を行ってＣＯＦテープ１５に噴射されるが、この際、ＣＯＦテープ１５のテープ幅に合わせたスリット状過熱水蒸気ノズル１２（吐出口長さ：４５ｍｍ、吐出口幅：２ｍｍ）を用いて、吐出口とＣＯＦテープ１５との距離を１５ｍｍに設定してある。
粘着性有機異物１６は、過熱水蒸気を当てることでＣＯＦテープ１５の表面から剥がれ、水膜１８中に浮遊することとなる。
尚、水膜１８の水温と、過熱水蒸気の温度との差は、大きいほど、過熱水蒸気が水膜に衝突した際の衝撃が大きく、より一層粘着性有機異物が、除去されやすくなる。
【００４３】
図７は、洗浄水を当てる際の概略図である。粘着性有機異物１６を剥がされたＣＯＦテープ１５は、４つの洗浄用噴霧ノズル７（二流体専用ノズル）から噴出される洗浄用噴霧水２０（温度２０℃）を当てられ、粘着性有機異物１６を洗い流される。
本実施例では、洗浄用噴霧水２０として、純水を用いており、洗浄用噴霧ノズル７は、純水とエアーとを混合して噴射する二流体専用ノズルを用いている。
尚、二流体専用ノズルの条件は、純水圧０．５Ｍｐａ、エアー圧０．５Ｍｐａで、ＣＯＦテープ１５迄の距離を４０ｍｍとしている。
【００４４】
粘着性有機異物を除去されたＣＯＦテープは、水切りエアーナイフにより、表面に付着している水を除去される。水切りエアーナイフは、水切り効果を上げるため、ＣＯＦテープから１０ｍｍの距離迄近づけて、０．２Ｍｐａの吐出圧で噴出され、ＣＯＦテープのばたつきを押さえるために、ＣＯＦテープに４００ｇ程度の張力をかけながら、押さえローラにより押さえ込んでいる。
【００４５】
水切り処理を終えたＣＯＦテープは、目視観察によれば水が除去されているが、水気をなくすために、乾燥処理を行う。乾燥処理は、６５℃に加熱された熱風を、熱風エアーナイフ９（図２参照）よりＣＯＦテープに吹き付ける。熱風エアーナイフ９からＣＯＦテープまでの距離は、１０ｍｍ、圧力は０．１Ｍｐａである。
【００４６】
図８は、粘着性有機異物が除去されＣＯＦテープの断面を示す。
一連の洗浄処理が終了したＣＯＦテープは、図２に示すクリーニング機構部４より排出され、図１の巻取りリール５で巻き取られていく。
【図面の簡単な説明】
【００４７】
【図１】本発明の１実施例である洗浄装置の概略構成図を示す
【図２】図１に示す洗浄装置のクリーニング機構部の内部構造図を示す
【図３】本発明の実施例に用いるＣＯＦテープの断面図を示す
【図４】図３に示すＣＯＦテープの水膜形成時の概略図を示す
【図５】図３に示すＣＯＦテープの水膜形成時断面図を示す
【図６】図５に示すＣＯＦテープに過熱水蒸気を当てる概略図を示す
【図７】図６に示すＣＯＦテープに洗浄水を当てる概略図を示す
【図８】図３に示すＣＯＦテープの洗浄後の断面図を示す
【符号の説明】
【００４８】
１ 繰出しリール
２ 重しローラ
３ａ〜３ｅ ガイドローラ
４ クリーニング機構部
Ａ 筐体
５ 巻取りリール
６ 長尺テープ
７ 洗浄用噴霧ノズル
８ 水切りエアーナイフ
９ 熱風エアーナイフ
１０ 排気口
１１ 押さえローラ
１２ スリット状過熱水蒸気ノズル
１３ 水供給ノズル
１４ 過熱水蒸気製造機構部
１５ ＣＯＦテープ
１５ａ 微細回路
１６ 粘着性有機異物
１７ 純水
１８ 水膜
１９ 噴射された過熱水蒸気
２０ 洗浄用噴霧水
【特許請求の範囲】
【請求項１】
被洗浄体の移動経路上で被洗浄体を洗浄する洗浄装置であって、
被洗浄体を移動させる被洗浄体搬送手段、
先端に設けた水供給ノズルから水を噴出して被洗浄体の表面に水膜を形成させる水供給手段、及び、
先端に設けた過熱水蒸気供給ノズルから水膜の温度よりも高い温度の過熱水蒸気を噴出して水膜に当てる加熱水蒸気供給手段
を備えることを特徴とする洗浄装置。
【請求項２】
水供給手段が、水膜の厚みを５〜１０００μｍに調整する水量調整機器を備えるものである請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項３】
水膜の温度と過熱水蒸気との温度差が、１００℃以上である請求項１又は２に記載の洗浄装置。
【請求項４】
水供給手段が、加圧水を供給する加圧水供給部及び圧縮エアーを供給する圧縮エアー供給部と、供給された加圧水と圧縮エアーを混合して噴出させる水供給ノズルとを有し、過熱水蒸気供給手段が、過熱水蒸気を製造して供給する過熱水蒸気製造機構部と、供給された過熱水蒸気を噴出させる過熱水蒸気ノズルとを有するものである請求項１〜３いずれかに記載の洗浄装置。
【請求項５】
被洗浄体が長尺のテープ状物であり、被洗浄体搬送手段が、長尺のテープ状物である被洗浄体を被洗浄体の長手方向に移動させるものであり、過熱水蒸気供給手段が、過熱水蒸気を製造して供給する過熱水蒸気製造機構部と、供給された過熱水蒸気を噴出させる過熱水蒸気ノズルとを有し、過熱水蒸気ノズルがスリット状の吐出口を有するスリット状ノズルである請求項１〜４いずれかに記載の洗浄装置。
【請求項６】
過熱水蒸気を当てられた水膜を有する被洗浄体に洗浄水を吹き付ける洗浄水供給手段、及び、
洗浄水を吹き付けられた基板を乾燥する乾燥手段
を更に有する請求項１〜５いずれかに記載の洗浄装置。
【請求項７】
洗浄水供給手段が、加圧洗浄水を供給する加圧洗浄水供給部及び圧縮エアーを供給する圧縮エアー供給部と、供給された加圧洗浄水と圧縮エアーを混合して噴出させる洗浄用噴霧ノズルとを有するものであり、乾燥手段が、洗浄水を吹き付けられた基板に気体を吹き付けるエアナイフと、気体吹き付け後に基板に熱風を吹き付ける熱風エアナイフを有するものである請求項５に記載の洗浄装置。
【請求項８】
水供給ノズルから水を噴出して被洗浄体の表面に水膜を形成させ、次いで、過熱水蒸気供給ノズルから水膜の温度よりも高い温度の過熱水蒸気を噴出して水膜に当てることを特徴とする洗浄方法。
【請求項９】
被洗浄体表面に形成される水膜の厚みが５〜１０００μｍである請求項８に記載の洗浄方法。
【請求項１０】
水膜の温度と過熱水蒸気との温度差が、１００℃以上である請求項８又は９に記載の洗浄方法。
【請求項１１】
被洗浄体が長尺のテープ状物であり、長尺のテープ状物である被洗浄体を被洗浄体の長手方向に移動させる移動経路上で洗浄を行う請求項８〜１０いずれかに記載の洗浄方法。
【請求項１２】
被洗浄体表面の水膜に過熱水蒸気を当てた後、被洗浄体に洗浄水を吹き付け、次いで乾燥する請求項８〜１１いずれかに記載の洗浄方法。
【請求項１３】
洗浄水を吹き付けられた基板に気体を吹き付け、次いで熱風を吹き付けることにより乾燥を行う請求項１１に記載の洗浄方法。
【請求項１】
被洗浄体の移動経路上で被洗浄体を洗浄する洗浄装置であって、
被洗浄体を移動させる被洗浄体搬送手段、
先端に設けた水供給ノズルから水を噴出して被洗浄体の表面に水膜を形成させる水供給手段、及び、
先端に設けた過熱水蒸気供給ノズルから水膜の温度よりも高い温度の過熱水蒸気を噴出して水膜に当てる加熱水蒸気供給手段
を備えることを特徴とする洗浄装置。
【請求項２】
水供給手段が、水膜の厚みを５〜１０００μｍに調整する水量調整機器を備えるものである請求項１に記載の洗浄装置。
【請求項３】
水膜の温度と過熱水蒸気との温度差が、１００℃以上である請求項１又は２に記載の洗浄装置。
【請求項４】
水供給手段が、加圧水を供給する加圧水供給部及び圧縮エアーを供給する圧縮エアー供給部と、供給された加圧水と圧縮エアーを混合して噴出させる水供給ノズルとを有し、過熱水蒸気供給手段が、過熱水蒸気を製造して供給する過熱水蒸気製造機構部と、供給された過熱水蒸気を噴出させる過熱水蒸気ノズルとを有するものである請求項１〜３いずれかに記載の洗浄装置。
【請求項５】
被洗浄体が長尺のテープ状物であり、被洗浄体搬送手段が、長尺のテープ状物である被洗浄体を被洗浄体の長手方向に移動させるものであり、過熱水蒸気供給手段が、過熱水蒸気を製造して供給する過熱水蒸気製造機構部と、供給された過熱水蒸気を噴出させる過熱水蒸気ノズルとを有し、過熱水蒸気ノズルがスリット状の吐出口を有するスリット状ノズルである請求項１〜４いずれかに記載の洗浄装置。
【請求項６】
過熱水蒸気を当てられた水膜を有する被洗浄体に洗浄水を吹き付ける洗浄水供給手段、及び、
洗浄水を吹き付けられた基板を乾燥する乾燥手段
を更に有する請求項１〜５いずれかに記載の洗浄装置。
【請求項７】
洗浄水供給手段が、加圧洗浄水を供給する加圧洗浄水供給部及び圧縮エアーを供給する圧縮エアー供給部と、供給された加圧洗浄水と圧縮エアーを混合して噴出させる洗浄用噴霧ノズルとを有するものであり、乾燥手段が、洗浄水を吹き付けられた基板に気体を吹き付けるエアナイフと、気体吹き付け後に基板に熱風を吹き付ける熱風エアナイフを有するものである請求項５に記載の洗浄装置。
【請求項８】
水供給ノズルから水を噴出して被洗浄体の表面に水膜を形成させ、次いで、過熱水蒸気供給ノズルから水膜の温度よりも高い温度の過熱水蒸気を噴出して水膜に当てることを特徴とする洗浄方法。
【請求項９】
被洗浄体表面に形成される水膜の厚みが５〜１０００μｍである請求項８に記載の洗浄方法。
【請求項１０】
水膜の温度と過熱水蒸気との温度差が、１００℃以上である請求項８又は９に記載の洗浄方法。
【請求項１１】
被洗浄体が長尺のテープ状物であり、長尺のテープ状物である被洗浄体を被洗浄体の長手方向に移動させる移動経路上で洗浄を行う請求項８〜１０いずれかに記載の洗浄方法。
【請求項１２】
被洗浄体表面の水膜に過熱水蒸気を当てた後、被洗浄体に洗浄水を吹き付け、次いで乾燥する請求項８〜１１いずれかに記載の洗浄方法。
【請求項１３】
洗浄水を吹き付けられた基板に気体を吹き付け、次いで熱風を吹き付けることにより乾燥を行う請求項１１に記載の洗浄方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【公開番号】特開２００９−１９５８３２（Ｐ２００９−１９５８３２Ａ）
【公開日】平成２１年９月３日（２００９．９．３）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００８−４０３７７（Ｐ２００８−４０３７７）
【出願日】平成２０年２月２１日（２００８．２．２１）
【出願人】（０００００４４５５）日立化成工業株式会社 (4,649)
【出願人】（５０１０４１１５９）日化設備エンジニアリング株式会社 (15)
【出願人】（５９８０２６０３５）瀬田興産化工株式会社 (1)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２１年９月３日（２００９．９．３）
【国際特許分類】
【出願日】平成２０年２月２１日（２００８．２．２１）
【出願人】（０００００４４５５）日立化成工業株式会社 (4,649)
【出願人】（５０１０４１１５９）日化設備エンジニアリング株式会社 (15)
【出願人】（５９８０２６０３５）瀬田興産化工株式会社 (1)
【Ｆターム（参考）】
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