【課題】液化炭酸ガスの無駄を抑えて、安定してドライアイススノーを生成して噴射させることができるドライアイススノー装置およびドライアイススノーの噴射方法を提供する。
【解決手段】真空断熱容器である炭酸ガス貯蔵容器を有し、冷却ユニットに設けられた圧力測定ユニットで測定された炭酸ガスの圧力に基づいて炭酸ガスを冷却する制御を行なう制御ユニットを備えたドライアイススノー噴射装置と、炭酸ガスの冷却前の圧力に基づいて炭酸ガスを冷却する工程を含むドライアイススノーの噴射方法である。 （もっと読む）

【課題】フォトマスク上に付着した異物を、微小なパターンの破壊を抑制しつつ異物を除去し、かつ洗浄による新たな異物を付着させない洗浄方法を提供すること。
【解決手段】フォトマスクのパターン表面上に付着した異物を除去する洗浄方法であって、異物付着面に、液体状の異物除去材料を塗布して異物を囲む膜を形成する工程と、液体状の異物除去材料を固体化した膜とする工程と、固体化した膜を異物とともに除去する異物除去工程と、異物除去工程後にフォトマスク上に残存する異物除去材料に触媒を接触させる工程と、残存する異物除去材料を触媒により分解、除去する工程と、を有することを特徴とする、フォトマスクの洗浄方法である。 （もっと読む）

【課題】 しつこい汚れに対しても、生地を傷めることなく比較的短時間でクリーニングできるようにする。
【解決手段】 ベッド１のある場所において、そのスプリングマットレス２の表面を作業者ｈが持ち運び可能な吸引装置で吸引して塵・埃を除去し、その塵・埃が除去されたスプリングマットレス２の表面に洗浄剤を散布し、その洗浄剤が散布されたスプリングマットレス２の表面に作業者ｈが持ち運び可能なスチーム洗浄機５でスチーム５ａを噴射し、そのスチーム５ａが噴射されたスプリングマットレス２の表面にハンドポリシャー６で振動を繰り返し加えて汚れを分解し、その汚れが分解されたスプリングマットレス２の表面を作業者ｈが持ち運び可能な汚水吸引装置で吸引して汚水を除去し、その汚水が除去されたスプリングマットレス２の表面を作業者ｈが持ち運び可能な乾燥装置で赤外線を照射して乾燥する。 （もっと読む）

【課題】１台の昇圧ポンプと１台の循環ポンプとを利用して複数の気密容器の成分抽出サイクルを短時間に行うことができる成分抽出システムを提供する。
【解決手段】成分抽出システム１０Ｂは、サブ流路第１循環手段の実行時に昇圧ポンプ１３を利用してメイン流路３３から他方の気密容器１６に流入する流体を第２昇圧時間の間に所定の圧力に昇圧する第２昇圧手段、メイン流路第１循環手段の実行時に循環ポンプ４３を利用して流体をサブ流路３４から気密容器１６に第３洗浄時間の間流通させるサブ流路第２循環手段、第１減圧手段の実行時に昇圧ポンプ１３を利用して流体をメイン流路３３から気密容器１６に第４洗浄時間の間流通させるメイン流路第２循環手段、メイン流路第２循環手段を実行してから第４洗浄時間経過後であって第１昇圧手段の実行中に気密容器１６内の流体の圧力を大気圧に向かって第２減圧時間の間に減圧する第２減圧手段とを有する。 （もっと読む）

【課題】汚泥処理システムの稼働中において、余剰汚泥を移送する移送管の内部を確実に洗浄できる余剰汚泥移送管の洗浄装置の提供を目的とする。
【解決手段】本発明は、メタン発酵用の余剰汚泥を移送する余剰汚泥移送管を洗浄する洗浄装置であって、上記余剰汚泥移送管の内部に高温蒸気を噴出させる高温蒸気噴出部を備えることを特徴とする余剰汚泥移送管の洗浄装置である。本発明は、上記高温蒸気により加熱される加熱余剰汚泥と加熱前の余剰汚泥との熱交換を行う熱交換部をさらに備えるとよい。また、本発明は、上記熱交換部が上記加熱余剰汚泥を移送する余剰汚泥移送管と加熱前の余剰汚泥を移送する余剰汚泥移送管との二重管式であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】ランニングコストや設備投資の増大、さらにはガラス基板の生産性低下を極力招くことなく、ガラス基板の有効面を効果的に清浄化することができる技術を提供する。
【解決手段】搬送されるガラス基板Ｇの有効面に対し、洗浄液２１を供給しつつ、洗浄ヘッド１５を回転させながら押し当てることにより、ガラス基板Ｇの有効面に付着した異物を取り除く洗浄工程において、洗浄ヘッド１５または洗浄ヘッド１５を保持する第１保持部材１３の少なくとも一方の膨張収縮を利用して、ガラス基板Ｇに対する洗浄ヘッド１５の接触圧を調整する。具体的には、洗浄ヘッド１５がある程度摩耗したときに、洗浄液２１の供給温度を上昇させて、洗浄ヘッド１５または第１保持部材１３の少なくとも一方を熱膨張させ、洗浄ヘッド１５の摩耗によって低下したガラス基板Ｇに対する洗浄ヘッド１５の接触圧を再度高める。 （もっと読む）

【課題】 パターン部材上に固形物が残存することのない塵の除去を可能とするパターン部材洗浄方法及び洗浄装置を提供すること。
【解決手段】 基板上にパターンが形成されたパターン部材に付着した塵を除去するパターン部材洗浄方法であって、前記パターン部材のパターン形成面に、冷却により固化可能な液状塵除去材料を付与する工程、前記液状塵除去材料を冷却し、固体又はゲル状の塵除去層を形成する工程、及び前記塵除去層を、前記パターン部材に付着した塵とともに除去する工程を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板の処理に使用される処理液の消費量を低減すること。
【解決手段】基板処理装置は、処理液を吸収可能で弾性変形可能なスポンジ４１と、スポンジ４１に処理液を供給する貯留槽４０と、基板Ｗを保持する基板搬送ロボット２１とを含む。基板搬送ロボット２１は、スポンジ４１と基板Ｗとを相対移動させてスポンジ４１と基板Ｗの下面とを接触させることにより、スポンジ４１に吸収されている処理液を基板Ｗの下面に供給させる。 （もっと読む）

【課題】搬送中のウェブ基材に付着している異物を、従来よりも一層のクリーン度に確実に除去することのできる微小異物除去ロールを提供する。
【解決手段】光学機能性フィルム等の柔軟性を有するウェブ基材に付着した微小異物の除去ロールであって、搬送されるウェブ基材の表面に接しながらウェブ基材の搬送方向に回転し、且つウェブ基材の表面に接する外周に網目状の構造を有する外刃ロールと、ダンパーを有し前記外刃ロールの内周に接して配置された内刃と、外刃ロールの内部のエアーをロールの外部に排気する手段と、外刃ロールを加温する手段と、を有することを特徴とする微小異物除去ロール。 （もっと読む）

【課題】トンネル式洗浄機において、流体排気通路で洗浄機の各チャンバからの均等な蒸気排気を容易にし、各チャンバからの熱損失を最小限にするため最適化される。
【解決手段】トンネル式洗浄機には、トンネル式洗浄機のチャンバを分離する間隔を保つ二重壁カーテンが含まれ、チャンバ間およびトンネル式洗浄機外への流体および熱移動が防止される。二重壁カーテンにはトンネル式洗浄機の操作の間にカーテンが互いに粘着することを抑制する表面が含まれる。またトンネル式洗浄機には種々の寸法の物品に対し乾燥効率を均等にする空気マニホールドが含まれる。 （もっと読む）

【課題】放射性物質を含む酸化皮膜が形成された系統配管等の配管・機器の除染効果が高く、除染工期を短縮することができる除染方法および除染装置を提供すること。
【解決手段】除染装置１０は、放射性物質を含む酸化皮膜からなる除去対象酸化皮膜が表面に付着された金属製の除染対象部位３に、化学除染処理系統から供給した化学除染処理液を接液させて、化学除染処理により除去対象酸化皮膜を除去する除染装置であって、化学除染処理系統２０は、除染対象部位３に化学除染処理液を供給する除染処理液配管２１と、除染処理液配管２１に化学除染処理液を供給する薬液タンク３０と、薬液タンク３０内の化学除染処理液中に微小気泡を発生させる微小気泡発生装置４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】洗浄液やすすぎ液を昇温するためのエネルギ使用量を大幅に削減し、しかも二酸化炭素排出量の削減にも寄与することができる、洗浄機を提供する。
【解決手段】少なくとも上部が開口された略箱状の洗浄機本体２内に、搬送手段を介して順次搬送されてくる容器８に対し、加温された洗浄液による洗浄と、加温されたすすぎ液によるすすぎとを行い、さらに洗浄に使用された洗浄液と、すすぎに使用されたすすぎ液とを、洗浄機本体２の下方に配置されたタンク１２内に戻すようにした洗浄機１０であって、洗浄機本体２の上部開口を覆うように天蓋９の内部に、排熱回収装置２０を設置し、箱状の洗浄機本体２内に充満する水蒸気を、排熱回収装置２０に導入し、導入された水蒸気から熱交換により回収した余剰熱量を供給水に蓄熱し、蓄熱され温水となった供給水を再使用することを特徴とする洗浄機。 （もっと読む）

【課題】各種の設備や機器に沈積されたスラッジを効率よく除去する方法を提供すること。
【解決手段】本発明は、水、ＥＴＡ（ｍｏｎｏｅｔｈａｎｏｌａｍｉｎｅ）、ＮＨ_３、ＤＴＰＡ（Ｄｉｅｔｈｙｌｅｎｅ ｔｒｉａｍｉｎｅ ｐｅｎｔａａｃｅｔｉｃ ａｃｉｄ）、ＥＤＴＡ（ｅｔｈｙｌｅｎｅｄｉａｍｉｎｅｔｅｔｒａａｃｅｔｉｃ ａｃｉｄ）及びＮ_２Ｈ_２からなる群より選択される少なくとも一種を含む洗浄液に気体窒素、液体窒素、及びドライアイスからなる群より選択される少なくとも一種を注入してスラッジを除去する物理化学的洗浄方法を提供する。上記洗浄方法は、各種の設備や機器の母材の表面、構成品の表面、隙間に発生しまたは沈積されたスラッジを効率よく除去することができ、且つ原子力発電所において使用される蒸気発生器、ボイラー、熱交換器などの洗浄に活用可能である。 （もっと読む）

【課題】マイクロ波の損失を極力低減し、高密度プラズマを効率良く生成できるプラズマ生成装置を提供する。
【解決手段】プラズマ生成装置１００は、マイクロ波を発生させるマイクロ波発生装置２１と、マイクロ波発生装置２１に接続され、マイクロ波の伝送方向に長尺をなすとともに、該伝送方向に直交する方向の断面が矩形をした中空状の矩形導波管２２と、矩形導波管２２に接続されてその内部へ処理ガスを供給するガス供給装置２３と、矩形導波管２２の一部分であって、内部で生成したプラズマを外部で放出するアンテナ部４０とを備えている。アンテナ部４０は、その断面において短辺をなす壁４０ａに１又は複数のスロット孔４１を有しており、大気圧状態の矩形導波管２２内に供給された処理ガスをマイクロ波によってプラズマ化し、スロット孔４１から外部の被処理体へ向けて放出する。 （もっと読む）

【課題】効率よく、かつ医療器具の細部分まで洗浄できる医療器具の洗浄方法および医療器具の洗浄装置を提供する。
【解決手段】医療器具にオゾンガスを接触させること、および、医療器具を洗浄液で洗浄する液体洗浄工程をさらに含むこと、また、前記液体洗浄工程で用いた洗浄液を貯水する工程を含み、前記貯水工程で貯水された洗浄液を前記液体洗浄工程で再利用することにより、前記医療器具を洗浄する。また、オゾンガスを発生させるオゾンガス発生部１６と、前記オゾンガスを利用して前記医療器具を洗浄する洗浄部１７とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】びん、缶等の容器に飲料等を充填する充填機器或いは充填液の液処理機器或いはこれらの機器を接続する配管機器等の機器を定置洗浄する洗浄方法において、充填液に接する箇所の洗浄度を大幅に向上させ、しかも洗浄時間を短縮でき、洗浄液等のユーティリティの使用量を軽減できる機器洗浄方法を提供する。
【解決手段】びん、缶等の容器に飲料等を充填する充填機器４或いは充填液の液処理機器３或いはこれらの機器を接続する配管機器４ｐ等の機器の液通路を定置洗浄する洗浄方法において、前記機器にナノバブルを含んだ液体を送液して所定時間静置浸漬するようにしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、間接加熱部の伝熱効率の低下を抑制することができる蒸発濃縮機の洗浄方法、蒸発濃縮機の洗浄装置、排水処理方法及び排水処理装置を提供することにある。
【解決手段】本発明は、少なくとも水性塗料を含む排水を加熱する間接加熱部を備え、前記排水中の低沸点成分を含む水を蒸発させ、高沸点成分を濃縮する蒸発濃縮機の洗浄方法であって、前記蒸発させた低沸点成分を含む水の少なくとも一部を回収し、該低沸点成分を含む水で前記間接加熱部を洗浄する。 （もっと読む）

【課題】薄膜の表面に付着された塵埃を簡単な構成で確実に剥離して除去できる薄膜表面の塵埃除去装置を提供する。
【解決手段】薄膜の走行を案内する複数のローラと、走行途中の薄膜の表面に付着した塵埃を除去する塵埃除去部を備えた薄膜表面の塵埃除去装置において、前記塵埃除去部は前記ローラの間を走行する薄膜を伸縮させる伸縮付与手段と、伸縮によって薄膜から剥離した塵埃を捕捉する捕捉手段を備え、伸縮付与手段は、薄膜の走行を案内する一部のローラを振動させて薄膜を伸縮させる振動子を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】複雑な構造を持つ流路においても、流路の壁面に付着している異物を効果的に除去する流路洗浄方法を提案する。
【解決手段】流路１に液体状態の洗浄材４を注入する（注入工程）。次に、流路１に注入された洗浄材４を凝固点以下の温度に冷却する（冷却工程）。この冷却により流路１の洗浄材４は、固体成分４ａを含む固液二相流となる。この固液二相流の洗浄材４を流路１において往復流動させ、流路１の壁面３をスクラブ洗浄する（洗浄工程）。 （もっと読む）