【課題】洗浄効率の向上と処理能力の向上を図ることで、装置の小型化を図り、さらに処理量の調整が可能なスクリーンドラムを提供する。
【解決手段】スクリーンドラム１は、洗浄部１０と、この洗浄部１０を駆動する駆動部３０と、洗浄部１０の角度を調整する角度調整機構４０と、を備えており、これら洗浄部１０、駆動部３０及び角度調整機構４０は、架台３の上で組み立てられている。角度調整機構４０は、外側ケース１１の外側部１１ｃに取り付けられ、洗浄部１０を上下移動させる上下移動手段としてのシリンダ４１と、駆動部３０の下部に設けられ、洗浄部１０の上下移動の支点となる軸部を構成するヒンジ４２とを備える。 （もっと読む）

【課題】大面積の基板上のＣｕ膜若しくはＣｕ合金膜をウェットエッチングすることによって配線等とする際に、Ｃｕ膜にダメージを与えないように剥離し、なおかつ、Ｃｕ膜の上に堆積させる層との間の接着力を低下させないフォトレジストの剥離液を用いた剥離液リサイクルシステムを提供する。
【解決手段】主剤と極性溶媒と水からなる混合液およびレジスト成分からなる剥離液を繰り返し使用し、剥離液中のレジスト濃度が所定の値に達したら、剥離液の一部を排出管から排出し、新たな剥離液の供給を受けるレジスト剥離装置と、廃液タンクと、廃液タンク中の剥離液を蒸留する蒸留再生装置と、前記分離液中の主剤と極性溶媒の組成比率を調べる成分検査装置と、分離液の主剤と極性溶媒および水の比率が予め決められた比率になるように不足分の主剤と極性溶媒および水を追加して、混合液を調製する調合装置と混合液を貯留する供給タンクを有する。 （もっと読む）

【課題】溶剤蒸気の流出や引火の危険を減少し洗浄効率の良い迅速な洗浄作業を可能にする。複数の洗浄部を設けて同時に被洗浄物を挿入したり複数の洗浄部を順次移動しながら異なる洗浄作業を被洗浄物に加える。この復数の洗浄部を個々に密閉可能にするとともに被洗浄物の外部への出入口を一個とし、溶剤蒸気の外部への流出を極度に減少させる。
【解決手段】蓋体２にて密閉可能な出入口３を上端に設けた基準室１を設ける。この基準室１の外周に基準室１との連通および遮断を可能にした側室８、９を設ける。前記基準室１に被洗浄物７を出入する上下搬送機構５と、被洗浄物７を側室８、９内に搬入または基準室１に搬出可能とした水平搬送機構１１，１２とを設ける。この水平搬送機構１１、１２に接続し、側室８、９と基準室１との連通または遮断を可能とした遮断壁２６、２７とから成る被洗浄物の洗浄装置である。 （もっと読む）

【課題】基板の洗浄処理を効率よく行うことができ、設置スペースを小さくすることができる基板洗浄装置を提供する。
【解決手段】供給台３０と、回収台３６と、供給台３０から回収台３６までの搬送経路に沿って配置され、基板を洗浄する一連の洗浄処理工程を行う複数個の洗浄処理槽２２，２４，２６と、互いに隣接する洗浄処理槽２２，２４，２６の間に配置された仮置台３２，３４と、基板が収納されたラック２，４，６，８を搬送する複数の搬送アーム部４４，４６，４８とを備える。搬送アーム部４４，４６，４８は、それぞれ、搬送経路の互いに異なる区間において、基板が収納されたラック２，４，６，８を、供給台３０又は仮置台３２，３４から洗浄処理槽２２，２４，２６に搬送する第１の動作と、洗浄処理槽２２，２４，２６から仮置台３２，３４又は回収台３６に搬送する第２の動作とを繰り返す。 （もっと読む）

【課題】アルミニウム屑に付着している油脂分、水分を、環境負荷なく、かつエネルギー消費量を抑え、効率的に除去し、アルミニウム屑の溶融リサイクル使用でのアルミニウムの回収率を高めるとともに環境改善を図る。
【解決手段】付着液が随伴したアルミニウム屑を洗浄槽内に投入し、アルミニウム屑の充填層に溶剤を通過させて、アルミニウム屑を洗浄する工程を含むアルミニウム屑の処理方法であって、上記洗浄槽内のアルミニウム屑を洗浄中、又は洗浄後に加温し、次いで、アルミニウム屑の顕熱にて前記アルミニウム屑に付着した溶剤を後工程の真空乾燥工程において蒸発できる程度の付着量以下まで減少させた後、当該アルミニウム屑を真空乾燥工程においてアルミニウム屑を加熱することなく前記付着した溶剤を減圧下において蒸発させて乾燥させることを特徴とするアルミニウム屑の処理方法。 （もっと読む）

【課題】前工程から横姿勢で搬送されるガラス板を縦姿勢に姿勢変換をして次工程に受け渡すという一連の処理を、先行するガラス板から後続のガラス板に亘って的確に行い、無駄な待ち時間を可及的に低減させ、作業時間の短縮ひいては生産性の向上を図る。
【解決手段】横軸２廻りに一方向Ａに間欠回転する回転体３の外周部に、ガラス板４を保持する保持部５を複数配列し、回転体３の回転停止時に一の保持部５が受取エリア６で横姿勢のガラス板４を受け取り、その受け取り完了時に回転体３の回転を開始させ、その回転に伴ってガラス板４が縦姿勢で受渡エリア７に位置した時点で回転体３の回転を停止させ、その回転停止時に、一の保持部５が受渡エリア７で縦姿勢のガラス板４を受け渡し可能となると同時に、一の保持部５の回転方向後側に存する他の保持部５が受取エリア６で後続の横姿勢のガラス板４を受け取り可能となるように構成する。 （もっと読む）

【課題】ドラム容器の洗浄を安定して行う。
【解決手段】２つの回転ローラが水平に設けられる。回転ローラは、ドラム容器１８を横たわった状態で支持する。図示しない移動手段は、これらの回転ローラを移動する。この移動により、ノズル３１ｂ〜３３ｂがドラム容器１８内に挿入された状態となる。モータは、回転ローラを一方向へ回転させる。回転ローラの回転により、ドラム容器１８は一方向へ回転する。ノズル３１ｂ〜３３ｂは、鉛直の反対方向から回転方向へ角度θ１だけ移動した部分へ洗浄液を噴射する。角度θ１は、１０°以上９０°以下である。 （もっと読む）

【課題】 外装体と洗浄治具本体の間に水晶素板が入り込み、水晶素板が破損してしまうことを低減し、洗浄での歩留まりを向上させることができる洗浄治具を提供する。
【解決手段】 本発明の洗浄装置は、洗浄治具を搬送するための搬送手段と、洗浄ノズル手段の内部流路と接続する複数の洗浄ノズル部と、洗浄ノズル手段が接続された噴出手段と、純水が蓄えられている純水槽と、純水槽から前記噴出手段へ純水を送る高圧ポンプ手段と、を備え、洗浄ノズル手段が円筒形の洗浄ノズル部とこの洗浄ノズル部とつながる内部流路とを備え、洗浄ノズル部が、前記搬送手段と平行となる平行線に対して、３０度〜６０度の角度で傾斜して円筒形の洗浄ノズル部の円筒の中心線が設けられていることを特徴とすることを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】充填用容器や栓部材の洗浄において洗浄に用いる水の使用量を削減可能なリンサー排水回収システム等を提供する。
【解決手段】充填用容器に製品液を充填して栓部材で閉栓する充填設備に設けられるリンサー排水回収システムであって、製品液が充填される前の充填用容器を洗浄するボトルリンサー２ｂに接続する経路と栓部材を洗浄するキャップリンサー２ｅに接続する経路とに分岐してボトルリンサー及びキャップリンサーにリンサー水を供給する供給配管５１，５２と、ボトルリンサーからのリンサー排水を回収する配管５３，５５とキャップリンサーからのリンサー排水を回収する配管５４，５５とを有する回収系と、回収系により回収されるリンサー排水中に含まれる殺菌剤を活性炭により分解し、リンサー水として再使用するための処理を行う回収装置４と、を含む。 （もっと読む）

【課題】容器内周面へのワークの付着を抑制して、ワークを効率的に洗浄できるとともに、容器からワークを簡単に取り出すことができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】筒状部１１内に矩形平板状の水晶チップを収容し、筒状部１１内に供給される洗浄液により水晶チップを洗浄する洗浄ボトル１０において、筒状部１１の内周面には、凹凸部３１が形成され、凹凸部３１のピッチＰ１は、水晶チップを厚さ方向から見て水晶チップの最短幅よりも狭く設定されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】二酸化炭素を短時間で昇温昇圧することができ、二酸化炭素を速やかに超臨界流体または亜臨界流体に変えることができる流体生成装置を提供する。
【解決手段】流体生成装置１０では、昇圧ポンプ１４を利用して第１管路１８に二酸化炭素を流入させつつ、昇圧ポンプ１４と加熱器１５とを利用して二酸化炭素を昇温昇圧するとともに、循環ポンプ１６を利用して第２管路１９に二酸化炭素を流入させつつ、循環ポンプ１６と加熱器１５とを利用して二酸化炭素を昇温昇圧し、二酸化炭素を超臨界流体または亜臨界流体に変える。 （もっと読む）

【課題】浸漬作業を行うことなくプラスチックコンテナーを洗浄することに適しており、さらに自動コンテナー洗浄機に投入した場合にも泡立ちが少ない前処理洗浄剤組成物を提供すること。
【解決手段】アルカリ剤を１〜４０重量％、キレート剤を０．１〜１０重量％、炭素数６〜１０の脂肪族カルボン酸及び／又は上記脂肪族カルボン酸の脂肪族カルボン酸塩を、上記脂肪族カルボン酸と上記脂肪族カルボン酸塩の合計で０．１〜１０重量％含むことを特徴とする前処理洗浄剤組成物。 （もっと読む）

【課題】装置の大型化が不要で、かつ安価なランニングコストで溶剤中の水分量を効率よく除去することができる水切り装置を提供する。
【解決手段】ワークＷ表面の水を、溶剤１００を用いて置換する水切り装置１は、溶剤１００が充填されてワークＷが浸漬される水切り槽１０と、水切り槽１０内の溶剤１００が流入可能に水切り槽１０と接続された第１水分離槽２０と、第１水分離槽２０内の溶剤１００を加熱可能なヒーター２３と、第１水分離槽２０内で加熱された溶剤１００の蒸気が流入可能に第１水分離槽２０に取り付けられた蒸留部３０とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】低環境負荷で、より洗浄力の高い洗浄方法、その方法を実施するための洗浄ユニット、およびその洗浄ユニットを組み込んだ洗浄装置を提供すること。
【解決手段】洗浄方法は、洗浄液としての電解アルカリ性水にマイクロバブルを発生させ、その液中で超音波を間欠照射させて処理することを特徴とし、洗浄ユニットは、洗浄液としての電解アルカリ性水を内部に蓄えるための洗浄槽（１０２）と、該洗浄槽（１０２）内にマイクロバブルを発生させるためのマイクロバブル発生ノズル（１０３）と、前記洗浄槽（１０２）の内部に蓄えた電解アルカリ性水中に超音波を照射可能な超音波振動子と、を具備したことを特徴とし、洗浄装置は、被洗浄物を洗浄するための洗浄ユニットと、被洗浄液に付着した洗浄液を除去するためのリンスユニットと、被処理物を水切り乾燥する乾燥ユニットを具備し、洗浄ユニットとして、前記洗浄ユニットを用いたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 一対の通水用面材を有するケース内に夫々平行に配設された多数本の杆状の器具押さえパッドにより、洗浄するべきマイクロ器具を閉じ込めた状態でジェット洗浄などで洗浄するに用いられる洗浄器において、高さや太さの異なる全てのマイクロ器具を、その高さか太さに応じて器具押さえパッド間に円滑且つ安定良好に閉じ込め、洗浄し得られるようにした洗浄器を提供する。
【解決手段】 通水用多孔面材2bを有する筐体2内に、その対向枠壁間2a,2aに亘り杆状の器具押さえパッド3,3,…の多数本を平行に配設して成るケース1の一対をその各開口面を対向させて互いに開閉自在として成る洗浄器において、両ケース1,1の少なくともいずれか一方のケース1内に配設して成る各器具押さえパッド3をばね6により上下方向に可動自在に支持せしめた。 （もっと読む）

【課題】基板の表面に付着した塵埃などを効率良く除去すると共に、洗浄後にこれらが基板の表面に再付着することを防止した基板洗浄装置及び基板洗浄方法を提供する。
【解決手段】浸漬槽２内に洗浄液Ｌを層流の状態で水平方向に流しながら、この浸漬槽２内の洗浄液Ｌに基板Ｗを保持したホルダ５０を浸漬させることによって、基板Ｗの洗浄を行う。このとき、基板Ｗの主面が洗浄液Ｌの流れる方向と平行となるように浸漬槽２内にホルダ５０を配置して、このホルダ５０よりも上流側を流れる洗浄液Ｌの一部に乱流を発生させながら、基板Ｗの洗浄を行う。 （もっと読む）

【課題】簡易であり、組付性及びメンテナンス性が良好な噴射設備を提供すること。
【解決手段】液体用配管兼支持用配管と、該液体用配管兼支持用配管を介して供給される液体の噴射流を発生させ、かつ、液体用配管兼支持用配管に設けられつつ該液体用配管兼支持用配管に固定された噴射ノズル本体部を備えた少なくとも１つの噴射ノズルと、回転可能及び／又は揺動可能に駆動される噴射軸と、該噴射軸を覆いつつ噴射ノズル本体部に支持されたヘッド部とを備えて成る噴射設備において、ヘッド部を、噴射ノズル本体部上で、スライド及び／又は係止して、好ましくは着脱可能に支持した。
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この発明は、ある表面へ高伝搬超音波エネルギーを印加することでその表面を洗浄する方法に関するものであり、この方法は、その表面の少なくとも一部を高伝搬超音波エネルギー放出用アセンブリに接触している流体の中に浸漬するステップと、上記アセンブリからの高伝搬超音波エネルギーを上記流体の中へ放射して、上記表面にキャビテーションを発生させ、それによって、上記表面を洗浄するステップとを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】一度しか使用されていない網が、使用後、廃棄されているという現状と、資源の低消費（reduce）、再使用（reuse）、リサイクル（recycle）（低消費（reduce）、再使用（reuse）、リサイクル（recycle）の頭文字のＲを用いて３Ｒとも呼ばれている）が叫ばれている社会的ニーズに鑑みて、使用済みの網に付着した付着物を完全に除去することができ、かつ短時間に大量に網を洗浄し得るような洗浄装置を案出すること。
【解決手段】本発明の網洗浄装置は、網を洗浄し、網への付着物を除去するための洗浄装置であって、該洗浄装置が洗浄すべき網が通過する１または２以上の通路と、該通路に設けられた切欠き部から網に圧水を噴射する１または２以上の高圧ノズルとからなり、前記通路が入口から出口にかけて漸次高くなる勾配が形成されてなることを特徴とする。 （もっと読む）

結晶シリコン基板に表面凹凸を形成する方法が提供される。１つの実施形態では、前記方法は、結晶シリコン基板を供給する工程と、前記基板を、濡れ剤を含むアルカリ性溶液で濡らす工程と、そして約１μｍ〜約１０μｍの深さを有する構造を持つ凹凸形成表面を前記基板に形成する工程と、を含む。別の実施形態では、基板凹凸形成プロセスを実行する方法は、結晶シリコン基板を供給する工程と、前記基板をＨＦ水溶液でプレクリーニングする工程と、前記基板を、ポリエチレングリコール（ＰＥＧ）化合物を含むＫＯＨ水溶液で濡らす工程と、そして約３μｍ〜約８μｍの深さを有する構造を持つ凹凸形成表面を前記基板に形成する工程と、を含む。
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