【課題】液体への投入・排出時におけるワークへの負荷を低減して、ワークの折損や装置からの脱落を防止できると共に、貯留槽からリークする液体の量を削減でき、また、装置全長を短縮することができる搬送装置を提供する。
【解決手段】この搬送装置１は、板状のワークＷを貯留槽の液体に対して投入・排出を行う搬送装置において、前記ワークＷの保持を行う保持部１１、１２、２１、２２を有すると共に回転可能に支持されたワーク保持手段１０、２０を備え、前記ワークＷを保持させた前記ワーク保持手段１０、２０を回転させて該ワークＷを前記貯留槽３０の液体Ｌに対して投入・排出を行う。 （もっと読む）

【課題】大口径高重量シリコン単結晶ブロックを自動で洗浄する装置及び方法を提供することを目的とする。
【解決手段】単結晶インゴットをブロック状に切断した単結晶ブロックの表面を洗浄する洗浄装置であって、少なくとも、
前記単結晶ブロックを洗浄するための洗浄槽部と、
前記単結晶ブロックを洗浄前工程部から洗浄工程部、更には洗浄後工程部へと搬送する搬送手段と、
前記単結晶ブロックの端面を把持して、前記搬送手段から前記洗浄槽部内へロードし、前記洗浄槽部内の洗浄槽に浸漬して前記単結晶ブロックを洗浄し、洗浄工程終了後に前記洗浄槽部から前記搬送手段へアンロードする把持ロボットと、
洗浄後の前記単結晶ブロックの表面を乾燥させる乾燥手段と
を具備するものであることを特徴とする単結晶ブロックの洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】洗浄剤などの薬剤を使用する洗浄処理を完結でき、環境を汚染せず省エネの要請にも応えることができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】飽和蒸気圧を超える圧力を維持して流通水を過熱する過熱ラインＨＴと、過熱ラインＨＴの過熱水を、大気開放状態で洗浄対象物に噴射して洗浄対象物に付着した加工油を除去する洗浄部１と、加工油を含有する凝縮水を洗浄部１から受けて、凝縮水から油分を分離する油水分離部３と、を有して構成され、洗浄処理用の薬剤を使用することなく脱脂洗浄処理を完結することができる。 （もっと読む）

【課題】基板の周縁部に形成された処理膜を除去する基板処理装置において、基板単位の処理時間を短縮し、処理膜形成のスループットを向上すると共に、歩留まりの低下を抑制する。
【解決手段】基板Ｇを基板搬送路に沿って平流しに搬送する基板搬送手段２１と、前記基板搬送手段により第一の搬送方向に搬送される前記基板Ｇの、搬送方向に沿った両側縁部の処理膜を除去する第一の除去手段５ｂと、前記第一の除去手段により前記両側縁部の処理膜が除去された基板の搬送方向を、前記第一の搬送方向に直交する第二の搬送方向に転換する搬送方向転換手段７と、前記基板搬送手段により第二の搬送方向に搬送される前記基板Ｇの、搬送方向に沿った両側縁部の処理膜を除去する第二の除去手段６ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、レジスト剥離後に、静電気で引き寄せられて再付着したゴミを洗浄するためのマスク洗浄装置及びマスク洗浄方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明は、プラズマアッシャーでマスクからレジストを剥離するドライ洗浄機と、前記ドライ洗浄機でレジストを剥離した後、マスクにオゾン水をかけながら２２２ｎｍＵＶ光を照射してレジストを除去するオゾン水洗浄機と、前記オゾン水洗浄機で洗浄した後、薬剤とブラシによりパーティクルを除去するＳＣ−１洗浄機と、前記ＳＣ−１洗浄機で洗浄した後、１７２ｎｍＵＶ光を照射してレジスト残渣及びフッ素樹脂のパーティクルを除去するＵＶ洗浄機と、前記ＵＶ洗浄機で洗浄した後、オゾン水と純水でマスクを濯ぐ最終洗浄機と、前記最終洗浄機で洗浄した後、加温又は冷却することによりマスクを乾燥させる乾燥機とからなることを特徴とするマスク洗浄装置の構成とした。 （もっと読む）

【課題】ワークの保持手段自体による陰の部分を解消するとともに、そのワークに対する保持作用及び洗浄作用の安定化を図り、長期間の稼働により搬送チェーン等の無端状走行帯に伸びが生じたとしても、ワークの各停止位置における洗浄作用に支障が生じることのない洗浄装置を提供する。
【解決手段】ワークが載置されるワーク載置部と、ワークの上面を押えつける押圧部材と、洗浄媒体を噴射する噴射ノズルとを備え、ワーク載置部７に載置されたワーク１を押圧部材１９により押えつけながら洗浄媒体を吹付ける洗浄装置において、押圧部材１９を噴射ノズル２０と一体的に設け、それらの押圧部材１９と噴射ノズル２０を移動させることにより、押圧部材１９による陰の問題を解消するとともに、ワーク載置部を移動するための搬送チェーン等の無端状走行帯の伸びに起因する押圧部材１９や噴射ノズル２０の移動上の問題を解消する。 （もっと読む）

【課題】大型基板に対して高品質な洗浄を行うとともに、生産効率を向上させることが可能な洗浄装置及び洗浄方法の提供。
【解決手段】洗浄装置１は、第一洗浄槽２，第二洗浄槽３，第一投入回収手段４，第二投入回収手段５，連結用搬送部６及び制御部７とからなっており、左から右に向かって、第一投入回収手段４，第一洗浄槽２，連結用搬送部６，第二洗浄槽３及び第二投入回収手段５が直線的に並設された構成とする。 （もっと読む）

【課題】サイズの異なるガラス材料製のハードディスクを効率よく洗浄できるようにしたガラスハードディスクの洗浄装置を提供する。
【解決手段】ローダーカセット（２）から送り出されたハードディスク（１）を第１ウォーターベアリング（６）で搬送する。第１検出間隙（８）を設けて第２ウォーターベアリング（７）を連接し、ハードディスク（１）をスクラブ洗浄部へ送る。このスクラブ洗浄部で、ハードディスク（１）はテーパー付のドライブローラ（１０）の傾斜面に当って回転される。スクラブ洗浄後のハードディスクは第３ウォーターベアリング（２４）及び第２検出間隙（２７）をあけて設けた第４ウォーターベアリング（２６）でアンローダーカセット（３１）に収納される。上記第１検出間隙（８）及び第２検出間隙（２７）には、ハードディスクを横方向から検出するセンサー（９）、（２９）がある。 （もっと読む）

【課題】 再使用されるボトル内部をボトル内の隅々まで洩れなく完全に、しかも効率よく洗浄する。
【解決手段】 空ボトルＢを倒立支持させた状態で、天井部から洗浄水を噴射する洗浄槽２内を循環コンベヤＣにより所定のピッチで間欠運転によって下流に搬送させながら、空ボトルＢの内外面を洗浄、殺菌洗浄、すすぎ洗浄を連続で行うボトルの洗浄装置１において使用される洗浄水の噴射装置であって、前記倒立支持された空ボトルＢの口部５１からボトルＢ内部に略垂直に挿入され、ボトル内面５２に向けて洗浄水Ｆを噴射する複数の噴射口３３，３４，３５，３６，３７が配された洗浄ノズル３２を有し、前記洗浄ノズル３２が洗浄水Ｆを噴射しながらボトルＢ内部を上下動する。
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【課題】洗浄液の噴射によって容器内の内容物を適切に排出できるとともに容器の内面を適切に洗浄できる洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄装置１は、容器Ｗを搬送方向に搬送しながら、容器Ｗの姿勢を開口部が上方を向いた上方向き姿勢から開口部が搬送方向側方を向いた側方向き姿勢に変更する搬送手段２を備える。また、洗浄装置１は、側方向き姿勢の容器Ｗの開口部に向けて洗浄液を噴射することにより、この容器Ｗ内の内容物を排出すると同時にこの容器の内面を洗浄する洗浄液噴射手段３を備える。
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【課題】 基板洗浄装置の工程流れ方向に対するコンパクト化を図りつつ、基板の支持を確実化させると共に、基板のエッジ部分の異物残存を回避し、製品歩留まりを向上させる。
【解決手段】 基板２を移送しつつ、スクラビング洗浄工程、リンス洗浄工程、および乾燥工程を順次実行する基板洗浄装置１において、スクラビング洗浄工程を実行する第一の槽４と、リンス洗浄工程および乾燥工程を実行する第二の槽５とを備える。そして、第二の槽５に、基板２を垂直姿勢に保持してスピンリンス洗浄およびスピン乾燥を行うための単一のスピン部５８を配備する。 （もっと読む）