【課題】基板がエアー洗浄部に接触することにより損傷を受けることを防止可能な基板処理装置を提供する。
【解決手段】上側エアー洗浄部５は、搬送路の途中に設けられた洗浄領域４の上方に配置され、基板２の上面にカーテン状にエアーを噴き付けつつ、噴き付けたエアーを吸入することにより基板２を洗浄する。下側エアー洗浄部は、搬送路の下方において上側エアー洗浄部５と対向する位置に配置され、基板２の下面にカーテン状にエアーを噴き付けつつ、噴き付けたエアーを吸入することにより基板２を洗浄する。上側エアー洗浄部５および下側エアー洗浄部は、端辺３が伸びる方向に対して基板２上において交差するようにカーテン状にエアーを噴き付ける。洗浄領域４には基板案内部１３が配置され、下側エアー洗浄部によるエアーの吸入によって基板２が下側エアー洗浄部に接触することを、基板案内部１３が基板２の下面を支持することによって防止する。 （もっと読む）

【課題】排気効率およびスペース効率を改善し、液切り乾燥直後の乾いた基板にミストが付着するのを十全に防止する。
【解決手段】上部および下部エアナイフ１２２Ｕ，１２２Ｌがそれらの間を通過する基板Ｇに対してナイフ状の鋭利な高圧エア流を吹き付けることにより、両エアナイフ１２２Ｕ，１２２Ｌの上流側の空間に多量のミストが発生する。基板Ｇの上で発生したミストの大部分は、下流側のＦＦＵ１３６から隙間Ｋを通って廻ってくる空気および入口１１８から入ってくる空気と一緒に上部排気口１２４に吸い込まれる。基板Ｇの下で発生したミストは、その全部がＦＦＵ１３６から廻ってくる空気および入口１１８から入ってくる空気と一緒に下部排気口１２６，１２８に吸い込まれる。 （もっと読む）

【課題】ロール洗浄部材の形状の最適化を図り、基板表面を高い洗浄度で効率的に洗浄して、基板表面に残存するディフェクト数を低減できるようにする。
【解決手段】表面に多数のノジュールを有し基板の直径のほぼ全長に亘って直線状に延びて基板表面との間に洗浄エリアを形成するロール洗浄部材と基板とを共に一方向に回転させつつ、ノジュールと基板表面とを互いに接触させて該表面をスクラブ洗浄する基板洗浄方法において、洗浄エリア（長さＬ）上のロール洗浄部材１６と基板Ｗの相対回転速度が相対的に低い順方向洗浄エリア（長さＬ_ｆ）では、洗浄エリア上のロール洗浄部材と基板の相対回転速度が相対的に高い逆方向洗浄エリア（長さＬ_ｉ）よりも少ない面積でノジュール１６ａと基板Ｗの表面とを互いに接触させる。 （もっと読む）

【課題】トンネル式洗浄機において、流体排気通路で洗浄機の各チャンバからの均等な蒸気排気を容易にし、各チャンバからの熱損失を最小限にするため最適化される。
【解決手段】トンネル式洗浄機には、トンネル式洗浄機のチャンバを分離する間隔を保つ二重壁カーテンが含まれ、チャンバ間およびトンネル式洗浄機外への流体および熱移動が防止される。二重壁カーテンにはトンネル式洗浄機の操作の間にカーテンが互いに粘着することを抑制する表面が含まれる。またトンネル式洗浄機には種々の寸法の物品に対し乾燥効率を均等にする空気マニホールドが含まれる。 （もっと読む）

【課題】 搾乳作業の際に搾乳ユニットが汚れた場合でも、汚れが発生した場所での洗浄を可能にするとともに、十分な汚れの除去（洗浄）及び洗浄処理の時間短縮を可能にする。また、搾乳ユニットに対する的確かつ最適な洗浄を可能にする。
【解決手段】 外部への洗浄液Ｗの飛散を防止する飛散防止用のキャビネット部２，このキャビネット部２の内部に搾乳ユニット５１をセットするためのセッティング部３．及びこのセッティング部３にセットされた搾乳ユニット５１の複数の部位に洗浄液Ｗを噴射することにより当該搾乳ユニット５１の洗浄を行う複数のノズルｎ…を有する洗浄液噴射部４とを有する搾乳ユニット洗浄手段Ｆｗと、洗浄液噴射部４に対して洗浄液Ｗを供給する洗浄液供給手段Ｆｓと、少なくとも使用時における搾乳ユニット５１をセット可能な位置まで搾乳ユニット洗浄手段Ｆｗを移動可能な移動手段Ｆｍとを備える。 （もっと読む）

【課題】フィルムに傷などの物理的欠陥を起こさないフィルム洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄液を供給する供給部材と、前記供給部材に形成され、走行するフィルム面に洗浄液を吹付ける洗浄液吐出口を設け、前記供給部材とフィルム面の間に洗浄液を流す洗浄部を構成したフィルム洗浄装置において、前記供給部材に、前記洗浄部を流れた洗浄液を回収する洗浄液回収口と、気体をフィルム面に供給する気体供給口を設け、前記洗浄液回収口付近の圧力がフィルムと前記供給部材が接触しない圧力以上に維持されるように、前記気体供給口からフィルム面に気体を供給することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】洗浄液やすすぎ液を昇温するためのエネルギ使用量を大幅に削減し、しかも二酸化炭素排出量の削減にも寄与することができる、洗浄機を提供する。
【解決手段】少なくとも上部が開口された略箱状の洗浄機本体２内に、搬送手段を介して順次搬送されてくる容器８に対し、加温された洗浄液による洗浄と、加温されたすすぎ液によるすすぎとを行い、さらに洗浄に使用された洗浄液と、すすぎに使用されたすすぎ液とを、洗浄機本体２の下方に配置されたタンク１２内に戻すようにした洗浄機１０であって、洗浄機本体２の上部開口を覆うように天蓋９の内部に、排熱回収装置２０を設置し、箱状の洗浄機本体２内に充満する水蒸気を、排熱回収装置２０に導入し、導入された水蒸気から熱交換により回収した余剰熱量を供給水に蓄熱し、蓄熱され温水となった供給水を再使用することを特徴とする洗浄機。 （もっと読む）

【課題】洗浄水の水流により微細な異物（埃）を効果的に除去することができる、フィルム洗浄装置を提供する。
【解決手段】１または２枚の供給部材と、前記供給部材に形成され供給部材に平行に走行するフィルムの表裏面の少なくとも一方の面に対して洗浄液を吹付ける洗浄液吐出口を備え、前記洗浄液吐出口を、走行するフィルムの面に対して複数方向の洗浄液の流れを形成するように構成した。前記洗浄液吐出口を、走行するフィルムに対してＶ字状に構成するのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】洗浄力の低下が生じる頻度を少なくすることのできる洗浄機構を提供する。
【解決手段】流通管１２０から供給された流体を吐出する吐出部１１０を含む洗浄機構において、前記吐出部１１０から吐出される流体の吐出方向を周期的に変化させる流体素子１０が前記吐出部１１０に設けられる。蛇口１００には、流通管１２０から供給された水を吐出する吐出部１１０が設けられている。吐出部１１０内には、吐出される水の吐出方向を周期的に変化させる流体素子１０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】階層状に並んだ複数の洗浄ラインに設けられる、ロールブラシ等の回転洗浄ロールの使用本数を低減可能な基板の洗浄装置の提供。
【解決手段】本発明の洗浄装置１は、載せられた基板Ｗを各々が上流側から下流側へ向けて搬送し、互いに間隔を置いて階層状に並んだ複数の搬送路２と、各搬送路２上を通過する基板Ｗをその上面側とその下面側とから挟むように配置する複数の回転洗浄ロール３を備える。前記回転洗浄ロールは、最上階の搬送路上を通過する基板をその上面側から接触して回転洗浄する最上階専用回転洗浄ロールと、最下階の搬送路上を通過する基板をその下面側から接触して回転洗浄する最下階専用回転洗浄ロールと、上下方向で隣り合う搬送路の間に配置し、上階側の搬送路上を通過する基板をその下面側から接触して回転洗浄し、かつ下階側の搬送路上を通過する基板をその上面側から接触して回転洗浄する兼用回転洗浄ロールとからなる。 （もっと読む）

【解決手段】 パレット３の水切りを行う水切り手段３９は、コンテナ２を吊り下げて保持する保持機構４１と、パレット３を支持した両搬送コンベヤＣ７，Ｃ８を退没位置まで下降させる昇降機構４２と、パレット３を支持して高速回転させる遠心脱水機構４３とを備えている。
保持機構４１によってコンテナ２を保持し、その後、昇降機構４２によって両搬送コンベヤＣ７、Ｃ８を下降させると、コンテナ２からパレット３が離隔するとともに十字フレーム４７上に支持される。次に、パレット３を支持した十字フレーム４７を高速回転させることで、パレット３の水切りが行われる。
【効果】 水切り後の乾燥工程においてパレット３とコンテナ２を容易に乾燥させることができる。 （もっと読む）

【課題】凹凸のある歯車のようなワークであっても、切屑、切粉等の異物および油分をきれいに除去することができ、また空圧源だけでも作動させることができる、装備および設置が容易な洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄液を貯留するタンク１０と、洗浄室４０内に回転軸を支持することにより回転自在に設けられたワーク保持具４６と、回転軸に設けられたフィン４８に対し圧縮空気を噴射することによりワーク保持具を回転動させる。ワークＷに相対するように洗浄室内に設けた対物ノズルと、洗浄液を吸引して対物ノズルに圧送する空圧作動式給液ポンプ２０と、圧縮空気を供給する空圧源とからなり、回転動用ノズルから圧縮空気を所定時間噴射することによりワークを回転させると同時に、空圧作動式給液ポンプを作動させて対物ノズルから洗浄液を所定時間噴射し、その後は対物ノズルの流入路が空圧源に切換えられて圧縮空気が所定時間噴射される。 （もっと読む）

【課題】基板の厚みにかかわらず、その少なくとも一方表面の周縁領域および周端面を良好に洗浄することができる、基板処理装置および基板処理方法を提供することである。
【解決手段】ブラシ１６は、略円板状の胴部２７と、先端側に向けて拡がる略円錐台状の第１周端面当接部２８と、先端側に向けて拡がる略円錐台状の第２周端面当接部７２とを備えている。胴部２７の先端側の端面における第１周端面当接部２８の周囲の円環帯状の部分が、基板の一方表面の周縁領域に当接する第１洗浄面２９Ａとなっている。第１周端面当接部２８の側面が、基板の周端面に当接する第２洗浄面２９Ｂとなっている。第１周端面当接部２８の大径側端面における第２周端面当接部７２の周囲の円環帯状の部分が、基板の一方表面の周縁領域に当接する第３洗浄面７４Ａとなっている。第２周端面当接部７２の側面が、基板の周端面に当接する第４洗浄面７４Ｂとなっている。 （もっと読む）

【課題】エアナイフから噴射されるエアによって液滴を残さず、かつ高速で無駄な工程を経ることなくウェブを乾燥することができるウェブの乾燥方法及びその装置を提供する。
【解決手段】本発明の乾燥装置３８は、フィルム１２が洗浄工程又はリンス工程を経た直後、液体槽６２に浸漬しているロール８８を介して、フィルム１２を鉛直方向上向き搬送することで、液体槽６２の表面の液体６４がフィルム１２とともに上昇し、液膜９０がフィルム１２に形成される。そして、エアナイフ９４からのエアをこの液膜９０の頂点９１付近に噴射することで、エアナイフ９４を利用した乾燥を効率良く行うことができる。 （もっと読む）

【課題】複数のロールブラシと押えブラシを備えた大根等の洗浄機において、大根等の表皮を剥くことなく大根等に付着した土等を略完全に洗浄し、大根等をロールブラシの回転軸と平行に整列した状態で移動すること。
【解決手段】洗浄機は、押えブラシとその押えブラシに対向するロールブラシを備えた予備洗浄部、加圧水を大根等に噴射して洗浄する加圧水洗浄部、仕上洗浄部からなり、加圧水洗浄部は、ロールブラシ２１ｂ１、無毛ロール２１ｃ１、ロールブラシ２１ｂ２、無毛ロール２１ｃ２、中継押えブラシ２３１、低速押えブラシ２３２、加圧水供給手段を備えている。無毛ロール２１ｃ１，２１ｃ２は、プラスチック、金属、木材等からなる。また無毛ロール２１ｃ１，２１ｃ２は、ロールブラシの周囲を塩ビ等のプラスチックで被覆したものでもよい（図（ｃ））。 （もっと読む）

【課題】洗浄の不十分な缶体を排除でき、確実に洗浄された缶体の提供を可能にする。
【解決手段】成形工程により形成され缶体９０を塗装工程の前に洗浄する缶洗浄装置１０であって、開口部９１を下方に向けた倒立状態で缶体９０を搬送する搬送路１１，１２，１３と、この搬送路上の缶体９０に向けて薬液または純水からなる洗浄処理液を噴霧する噴霧装置２１，３１と、倒立状態ではない缶体９０を搬送路１１，１２，１３上から落下させて、缶体９０を回収する缶体回収部５０，６０，７０と、この缶体回収部において回収された缶体９０の内部に溜まっていた洗浄処理液の水質を測定する水質測定部６１，７１と、この水質測定部６１，７１における測定結果に応じて、その洗浄処理液を溜めていた缶体９０の周辺に配置されていた缶体９０を塗装工程前に排除するための排除制御部８０とを備える缶洗浄装置１０。 （もっと読む）

【課題】基板の主面及び裏面の汚染を防止する基板処理方法、基板処理装置及び半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】基板処理装置１は、マスク用基板３の側面３ｃ、３ｄを保持する保持部としての基板チャック１４と、マスク用基板３の処理対象面に処理液５を吐出する処理液吐出部１２６と、マスク用基板３に吐出した処理液５に向けて気体４を吐出し、処理液５をマスク用基板３から分離させる気体吐出部１２２と、を備えて概略構成されている。 （もっと読む）

【課題】携帯型ダクトの洗浄作業を自動化することのできる装置を提供する。
【解決手段】押上機構の大滑車を回転させながらダクト外周面に対して前進させ、小滑車をダクトの樹脂シート部に当接して内周面側へ押し込む。大滑車の回転に応じて小滑車は樹脂シートを上方へ押し上げるようになる。このようにしてダクトの樹脂シートを順送りに自動的に押し上げる。
一方、ダクト載置台の中心側と、ダクト外周面に対向する位置には洗浄ノズルが配置されている。これらの洗浄ノズルから洗浄水を噴射することにより、ダクト内周面及び外周面の洗浄が可能である。しかも、前記押上機構により、ダクトの樹脂シートが順送りに押し上げられるので、ダクトの全長に亘って自動洗浄が可能となる。更に、ダクト載置台は、揺動シリンダーによって上下動するので、洗浄ノズルがダクトに対して上下動するようになり、反復洗浄が自動的に行える。 （もっと読む）

【課題】この発明は上下一対のエアーナイフの下方への撓みを矯正することができるようにした処理装置を提供することにある。
【解決手段】基板の上面に気体を所定の傾斜角度で噴射するとともに、長手方向中途部に上部フックが設けられた上部エアーナイフ７と、基板の下面に気体を所定の傾斜角度で噴射するとともに、長手方向中途部に下部フックが設けられた下部エアーナイフ８と、上部エアーナイフの上方と下部エアーナイフの下方に平行に設けられた上部支持部材２５及び下部支持部材２６と、上部支持部材の長手方向の中途部に垂直方向に位置決め可能に設けられ下端に上部フック３１が揺動可能に係合する上部係止部２９を有する吊り下げ部材２７と、下部支持部材の長手方向の中途部に垂直方向に位置決め可能に設けられ上端に下部フック３５が揺動可能に係合する下部係止部３４を有する押し上げ部材３２を具備する。 （もっと読む）

【課題】フラックス入り溶接ワイヤの製造工程において、洗浄された帯鋼が成型工程へと走行する途中で、表面に付着した洗浄液を連続的に液切りするエア消費量の低減可能な帯鋼の液切り方法を提供する。
【解決手段】フラックス入り溶接ワイヤの製造工程において、洗浄された帯鋼Ｒが成型工程へと走行する途中で、この帯鋼Ｒ表面に付着した洗浄液を連続的に液切りする方法であって、多数の細孔が並列された吐出孔を有するエアノズル１を用い、このエアノズル１によるエア吹付け方向を、前記帯鋼Ｒの走行方向に対して対向する上下両面の傾斜する方向からとする帯鋼Ｒの液切り方法。 （もっと読む）