基板の処理装置
【課題】この発明は上下一対のエアーナイフの下方への撓みを矯正することができるようにした処理装置を提供することにある。
【解決手段】基板の上面に気体を所定の傾斜角度で噴射するとともに、長手方向中途部に上部フックが設けられた上部エアーナイフ７と、基板の下面に気体を所定の傾斜角度で噴射するとともに、長手方向中途部に下部フックが設けられた下部エアーナイフ８と、上部エアーナイフの上方と下部エアーナイフの下方に平行に設けられた上部支持部材２５及び下部支持部材２６と、上部支持部材の長手方向の中途部に垂直方向に位置決め可能に設けられ下端に上部フック３１が揺動可能に係合する上部係止部２９を有する吊り下げ部材２７と、下部支持部材の長手方向の中途部に垂直方向に位置決め可能に設けられ上端に下部フック３５が揺動可能に係合する下部係止部３４を有する押し上げ部材３２を具備する。
【解決手段】基板の上面に気体を所定の傾斜角度で噴射するとともに、長手方向中途部に上部フックが設けられた上部エアーナイフ７と、基板の下面に気体を所定の傾斜角度で噴射するとともに、長手方向中途部に下部フックが設けられた下部エアーナイフ８と、上部エアーナイフの上方と下部エアーナイフの下方に平行に設けられた上部支持部材２５及び下部支持部材２６と、上部支持部材の長手方向の中途部に垂直方向に位置決め可能に設けられ下端に上部フック３１が揺動可能に係合する上部係止部２９を有する吊り下げ部材２７と、下部支持部材の長手方向の中途部に垂直方向に位置決め可能に設けられ上端に下部フック３５が揺動可能に係合する下部係止部３４を有する押し上げ部材３２を具備する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
この発明は洗浄処理された基板に付着残留する処理液をエアーナイフから噴射される気体によって乾燥処理する基板の処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
たとえば、液晶表示装置や半導体装置の製造工程においては、これら装置の処理対象物であるガラス基板や半導体ウエハなどの基板にレジストを塗布し、この基板を現像処理してからエッチング処理することで、表面に回路パターンを精密に形成する。基板に回路パターンを形成したならば、その基板の表面に付着しているレジスト膜やレジスト残渣などの有機物を洗浄液によって除去する洗浄処理が行われる。
【０００３】
洗浄処理された基板に洗浄液が残留するとウオータマークなどの汚れの原因になる。そこで、洗浄液によって洗浄された基板の上下面にエアーナイフから気体を噴射し、基板に付着残留した洗浄液を除去する乾燥処理が行われる。
【０００４】
上記乾燥処理は、基板を処理装置のチャンバ内へ水平搬送し、この基板の上下面に上下一対のエアーナイフによって気体を噴射し、その気体によって基板に付着した洗浄液を除去するようにしている。
【０００５】
一対のエアーナイフを用いて基板を乾燥処理する場合、基板の板面をむらなく均一に、しかも効率よく確実に乾燥処理することが要求される。そのため、上下一対のエアーナイフと基板の板面との間隔をエアーナイフの長手方向全長にわたって精度よく均一に設定することが重要となる。
【０００６】
最近では基板が大型化する傾向にある。その場合、エアーナイフは基板の幅寸法よりも長尺にする必要があるから、たとえば３ｍ以上の長さのものが用いられることがある。長尺化したエアーナイフを、チャンバ内に基板の搬送方向と交差する方向に沿って架設すると、基板の上方のエアーナイフは自重によって下方へ撓んで長手方向の中途部が両端部に比べて基板の上面に接近することになる。また、下方のエアーナイフは同じく自重によって下方へ撓んで長手方向の中途部が両端部に比べて基板の下面との間隔が大きくなる。
【０００７】
このように、基板の上面及び下面に対してエアーナイフとの対向間隔が不均一になると、エアーナイフ長手方向において基板の板面が受ける気体の速度が一定とならないから、基板を幅方向全長にわたって均一に乾燥処理することができなくなるということがある。
【０００８】
そこで、エアーナイフを自重によって撓みが生じることのない剛性を備えた厚手の材料で構成するということが行われている。しかしながら、その場合、エアーナイフが高重量化するから、組立作業などの取扱いが不便となるばかりか、エアーナイフはステンレス鋼などの高価な材料が用いられるから、コスト高になるということがある。
【０００９】
そこで、特許文献１に示されるようにエアーナイフが長尺化した場合であっても、エアーナイフ自体の剛性を高めることなく、撓みが生じないようにすることが提案されている。すなわち、特許文献１の図８に示されるようにエアーナイフの長手方向の中途部に支持具を装着し、この支持具に連結部材の一端を連結する。この連結部材の他端は、上記エアーナイフと平行に配置された給気管に連結する。この給気管とエアーナイフはチューブによって接続され、エアーナイフに気体を供給できるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００６−２４５３２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
特許文献１に示されたエアーナイフの支持構造によると、連結部材の一端にエアーナイフに装着される支持具が連結固定されていて、この連結部材の他端は給気管に連結固定されている。そのため、給気管に撓みが生じた場合、この給気管の撓みを吸収することができないから、給気管とともにエアーナイフにも撓みが生じてしまうということがある。
【００１２】
また、エアーナイフは基板の板面に対して高さ及び傾斜角度を調整することが要求される。しかしながら、特許文献１に示されたように、エアーナイフに撓みが生じないようにするために、連結部材を介して給気管に連結固定された支持具にエアーナイフを装着する構成では、上記エアーナイフの高さや傾きを調整することができないということがある。
【００１３】
この発明は、エアーナイフの剛性を高めずに、撓みが生じるのを防止することができるようにし、しかも基板の板面に対してエアーナイフの高さや傾きを調整することができるようにした基板の処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
この発明は、チャンバ内を水平搬送される基板の上面と下面に気体を噴射してこの基板を乾燥処理する処理装置であって、
上記チャンバ内を搬送される上記基板の上面に対向して配置されこの基板の上面に気体を所定の傾斜角度で噴射するとともに、長手方向中途部に上部フックが設けられた上部エアーナイフと、
上記基板の下面に対向して配置されこの基板の下面に気体を所定の傾斜角度で噴射するとともに、長手方向中途部に下部フックが設けられた下部エアーナイフと、
上記上部エアーナイフの上方と上記下部エアーナイフの下方にそれぞれ各エアーナイフと同方向に沿って平行に設けられた上部支持部材及び下部支持部材と、
上記上部支持部材の長手方向の中途部に垂直方向に位置決め可能に設けられ下端に上記上部フックが揺動可能に係合する上部係止部を有する吊り下げ部材と、
上記下部支持部材の長手方向の中途部に垂直方向に位置決め可能に設けられ上端に上記下部フックが揺動可能に係合する下部係止部を有する押し上げ部材と
を具備したことを特徴とする基板の処理装置にある。
【００１５】
上記上部係止部と下部係止部は円柱状であって、
上記上部フックと下部フックは一端が上記上部エアーナイフ及び下部エアーナイフにそれぞれ固定され他端が上記上部係止部と下部係止部にそれぞれ係合する鉤部に形成されていることが好ましい。
【００１６】
上記上部エアーナイフと上記下部エアーナイフの長手方向の一端と他端は、連結部材の上下方向の中途部にそれぞれ傾斜角度及び上下方向の位置決め可能に取り付けられていて、
上記上部支持部材と上記下部支持部材の長手方向の一端部と他端部は、上記一対の連結部材の上端と下端にそれぞれ連結固定されることが好ましい。
【００１７】
上記上部支持部材と下部支持部材の長手方向の中途部には、複数の上記吊り下げ部材と押し上げ部材が設けられていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１８】
この発明によれば、上部エアーナイフに設けられた上部フックが吊り下げ部材の上部係止部に揺動可能に係合し、しかも上部支持部材に対して垂直方向に位置決め可能となっているから、上部エアーナイフが下方へ撓むのを防止することができるばかりか、上部エアーナイフの基板の板面に対する角度及び上下方向の位置決め調整が可能となる。
【００１９】
また、下部エアーナイフに設けられた下部フックが押し上げ部材の下部係止部に揺動可能に係合し、しかも下部支持部材に対して垂直方向に位置決め可能となっているから、下部エアーナイフが下方へ撓むのを防止することができるばかりか、下部エアーナイフの基板の板面に対する角度及び上下方向の位置決め調整が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】この発明の一実施の形態を示すチャンバの長手方向に沿う縦断面図。
【図２】エアーナイフユニットの一部を省略した正面図。
【図３】エアーナイフユニットの一端部の斜視図。
【図４】上部エアーナイフと下部エアーナイフの撓みを防止する機構を示す側面図。
【図５】上部エアーナイフの撓みを測定したグラフ。
【図６】下部エアーナイフの撓みを測定したグラフ。
【図７】（ａ）は上部エアーナイフの撓みが矯正されていないときの基板上における気体の風速を測定したグラフ、（ｂ）は上部エアーナイフの撓みを矯正したときの基板上における気体の風速を測定したグラフ、（ｃ）は基板上の風速を測定するときの条件を示した図。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、この発明の一実施の形態を図面を参照しながら説明する。
図１は基板の処理装置の長手方向に沿う縦断面図であって、この処理装置はチャンバ１を備えている。このチャンバ１内には図示しない駆動機構によって回転駆動される複数の搬送ローラ２が上記長手方向に沿って所定間隔で配置されている。
【００２２】
上記チャンバ１の長手方向一端には搬入口３が開口形成され、他端には搬出口４が開口形成されている。上記搬入口３からチャンバ１内には、前工程で洗浄処理された基板Ｗが供給される。チャンバ１内に供給された基板Ｗは上記搬送ローラ２によって矢印で示す方向に水平搬送されて上記搬出口４から搬出される。そして、上記基板Ｗは、上記チャンバ１内を搬送される間に、エアーナイフユニット６によって上下面に付着残留した洗浄液が除去される乾燥処理が行われる。
【００２３】
上記エアーナイフユニット６は、図２と図３に示すように先端面に気体の噴出孔７ａ，８ａが長手方向のほぼ全長にわたって形成された上部エアーナイフ７と下部エアーナイフ８を有する。これら各エアーナイフ７，８はステンレス鋼板などの耐蝕性を有する２枚の板材を重ね合わせて形成されている。
【００２４】
図３に示すように各エアーナイフ７，８の長手方向の一端と他端の側面（一方のみ図示）には、幅方向の一端部に一対の長孔１１が形成された矩形板状の高さ調整部材１２が上記長孔１１を介して一対の取り付けねじ１３によって連結されている。
【００２５】
なお、各エアーナイフ７，８の側面には上記噴出孔７ａ，８ａから噴出する圧縮空気などの気体を供給する気体供給部にチューブ（ともに図示せず）を介して接続される複数の気体供給口体７ｂ，８ｂが設けられている。
【００２６】
上記高さ調整部材１２の幅方向の一端には突出部１４が設けられている。この突出部１４には、上記各エアーナイフ７，８の後端面に設けられた取付け片１５に螺合された高さ調整ねじ１６によって押圧されるようになっている。
【００２７】
上記一対の取り付けねじ１３を緩めた状態で、上記高さ調整ねじ１６によって上記突出部１４を押圧すれば、上記高さ調整部材１２に対して各エアーナイフ７，８を各側面の高さ方向、つまり上下方向に沿って移動させることができるようになっている。
【００２８】
上記高さ調整部材１２の幅方向の他端部には帯板状の角度調整部材１８の端面が一対の止めねじ１９によって取り付け固定されている。上記角度調整部材１８は一端部を各エアーナイフ７，８の先端面から突出させている。一対の角度調整部材１８の一端部は重合されていて、その重合部分は側面形状がコ字状の連結部材２１の中途部に角度調整ねじ２２によって回動可能かつ所定の回動角度で固定可能に取り付けられている。
【００２９】
したがって、上部エアーナイフ７と下部エアーナイフ８は、上記連結部材２１に対し、上記角度調整部材１８を介して上記角度調整ねじ２２によって角度調整可能であり、上記高さ調整部材１２を介して上記高さ調整ねじ１６によって高さ調整可能となっている。
【００３０】
そして、図２に示すように上部エアーナイフ７と下部エアーナイフ８の長手方向の一端と他端に設けられた一対の連結部材２１の上辺には上部支持部材２５の長手方向の一端部と他端部が取り付け固定され、下辺には下部支持部材２６の長手方向の一端部と他端部が取り付け固定されている。
【００３１】
上記上部支持部材２５と下部支持部材２６は荷重に対して比較的撓みが生じ難い形状の部材、たとえばアングル材が用いられている。上部支持部材２５の長手方向中途部の２箇所にはボルトからなる吊り下げ部材２７が設けられている。
【００３２】
図４に示すように、上記吊り下げ部材２７の中途部には上記上部支持部材２５の一辺を挟んで一対の固定ナット２８が螺合されている。それによって、上記吊り下げ部材２７は上記上部支持部材２５に対して上下方向に位置決め調整可能となっている。
【００３３】
上記吊り下げ部材２７の下端には、円柱状の上部係止部２９が軸線を吊り下げ部材２７の軸線と直交させて設けられている。
【００３４】
上記上部係止部２９の円弧状の外周面には、上記上部エアーナイフ７の長手方向中途部の後端面に一端が取り付け固定された上部フック３１の他端に形成されたＬ字の鉤部３１ａが係合している。つまり、上記鉤部３１ａは上記上部係止部２９に対して揺動可能に係合している。なお、上記鉤部３１ａには溝部３１ｂが形成され、この溝部３１ａに上記吊り下げ部材２７が通されている。
【００３５】
それによって、上記上部支持部材２５に対する上記吊り下げ部材２７の上下方向の位置を一対の固定ナット２８によって調整すれば、この吊り下げ部材２７の下端に設けられた上部係止部２９と、上記上部エアーナイフ７に設けられた上部フック３１との係合によって上記上部エアーナイフ７の下方への撓みを除去することができるようになっている。
【００３６】
上記上部エアーナイフ７の角度を上記角度調整ねじ２２を緩めて上記角度調整部材１８を回動させて調整すると、上部エアーナイフ７の回動に応じて上部フック３１の鉤部３１ａが上部係止部２９に対して上部エアーナイフ７の長手方向と交差する方向に揺動するから、上部エアーナイフ７の角度を変更することができる。
【００３７】
図２に示すように、上記下部支持部材２６の長手方向中途部の２箇所にはボルトからなる押し上げ部材３２が設けられている。この押し上げ部材３２の中途部には図４に示すように上記下部支持部材２６の一辺を挟んで一対の固定ナット３３が螺合されている。それによって、上記押し上げ部材３２は上記下部支持部材２６に対して上下方向に位置決め調整可能となっている。
【００３８】
上記押し上げ部材３２の上端には、円柱状の下部係止部３４が軸線を押し上げ部材３２の軸線と直交させて設けられている。上記下部係止部３４の円弧状の外周面には、上記下部エアーナイフ８の長手方向中途部の後端面に一端が取り付け固定された下部フック３５の他端に形成されたＬ字状の鉤部３５ａが係合している。つまり、上記鉤部３５ａは上記下部係止部３４に対して上記下部エアーナイフ８の長手方向と交差する方向に対して揺動可能に係合している。
【００３９】
それによって、上記下部支持部材２６に対する上記押し上げ部材３２の上下方向の位置を一対の固定ナット３３によって調整すれば、この押し上げ部材３２の上端に設けられた下部係止部３４と、上記下部エアーナイフ８に設けられた下部フック３５との係合によって上記下部エアーナイフ８の下方への撓みを除去することができるようになっている。
【００４０】
また、下部エアーナイフ８の角度を上記連結部材２１に螺合された角度調整ねじ２２を緩めて上記角度調整部材１８を回動させて調整すると、下部エアーナイフ８の回動に応じて下部フック３５の鉤部３５ａが下部係止部３４に対して揺動するから、下部エアーナイフ８の角度を変更することができる。
【００４１】
上記上部エアーナイフ７、下部エアーナイフ８、上部支持部材２５及び下部支持部材２６は、これら一対のエアーナイフ７，８の両端部に設けられた一対の連結部材２１によって一体化された上記エアーナイフユニット６となっている。
【００４２】
このようにして構成されたエアーナイフユニット６はチャンバ１内に組み込まれる。すなわち、図に示すように上記チャンバ１の上記基板Ｗの搬送方向に対して交差する方向の幅方向両端部の外方には、Ｌ字状の支持部材３７が水平部分の先端部を上記チャンバ１内に突出させて設けられている。
【００４３】
上記支持部材３７の垂直部の下端は、チャンバ１が載置される架台などの固定部３８に固定されている。そして、左右一対の支持部材３７の水平部分の先端部に上記エアーナイフユニット６の連結部材２１の中間部の外面に設けられた取り付け部２１ａが連結固定される。
【００４４】
なお、上記エアーナイフユニット６の上下一対のエアーナイフ７，８は、これらの噴出孔７ａ，８ａを基板Ｗの搬送方向上流側に向くよう垂直方向に対して所定の角度、例えば５５度の角度で傾斜し、しかも基板Ｗの搬送方向と直交する幅方向と平行な水平方向に対して所定の角度で傾斜して配置されている。つまり、基板Ｗの花方向に対して斜めになっている。さらに、上下一対のエアーナイフ７，８は、これらの噴出孔７ａ，８ａが開口した先端面間に上記基板Ｗが通過する高さになるよう、上記一対の支持部材３７に取り付け固定されている。
【００４５】
このように構成された処理装置によれば、上部エアーナイフ７と下部エアーナイフ８を、厚手の板材を用いずに形成すると、十分な剛性が得られないから、上部エアーナイフ７は図４に矢印Ｄ１で示す斜め下方に向かって撓もうとし、下部エアーナイフ８が同図に矢印Ｄ２で示す斜め下方に向かって撓もうとする。
【００４６】
しかしながら、上部エアーナイフ７は長手方向の中途部の２箇所に上部フック３１が設けられ、これら上部フック３１が吊り下げ部材２７の下端に設けられた上部係止部２９に揺動可能に係合している。したがって、上記上部フック３１と上記上部係止部２９との係合によって上部エアーナイフ７が矢印Ｄ１で示す斜め下降に向かって撓むのが阻止されることになる。
【００４７】
上記吊り下げ部材２７は上部支持部材２５に取り付けられているから、この上部支持部材２５に上記吊り下げ部材２７を介して上部エアーナイフ７の重量が加わることで、上部支持部材２５とともに上部エアーナイフ７が撓む虞がある。
【００４８】
しかしながら、上記吊り下げ部材２７は上部支持部材２５に対して上下方向の取り付け位置を調整することができるから、上部支持部材２５に下方への撓みが生じた場合には、その分、吊り下げ部材２７の上部支持部材２５に対する取り付け位置を上方へずらせば、上部エアーナイフ７の撓みを除去することができる。
【００４９】
上部エアーナイフ７は矢印Ｄ１で示すように斜め下方に向かって撓みが生じる。それに対して吊り下げ部材２７は垂直方向に上下動する。しかしながら、上部エアーナイフ７に設けられた上部フック３１の鉤部３１ａは吊り下げ部材２７の下端に設けられた上部係止部２９に対して揺動可能に係合している。
【００５０】
そのため、上部エアーナイフ７の撓み方向Ｄ１に対して吊り下げ部材２７の上昇方向が同一直線状に位置する逆方向とならなくても、上記吊り下げ部材２７を上部エアーナイフ７の撓み量に応じて上昇させることで、この上部エアーナイフ７の撓みを確実に除去することができる。
【００５１】
しかも、連結部材２１に対する角度調整部材１８の取り付け角度を変えて基板Ｗの板面に対する上部エアーナイフ７の傾斜角度の変更する場合、上部エアーナイフ７に設けられた上部フック３１の鉤部３１ａが吊り下げ部材２７の下端に設けられた上部係止部２９に対して揺動するから、その角度変更を確実に行うことができる。
【００５２】
すなわち、上部エアーナイフ７の撓みを除去するため、従来のように上部エアーナイフ７に設けられた上部フック３１と上部支持部材２５を連結固定せずにすむ。そのため、上部支持部材２５に対する吊り下げ部材２７の取り付け位置を調整して上部エアーナイフ７の撓みを除去することができるばかりか、上部エアーナイフ７の角度設定も行うことが可能となる。
【００５３】
上部エアーナイフ７と同様に、下部エアーナイフ８の長手方向の中途部の２箇所には下部フック３５が設けられ、これら下部フック３５が押し上げ部材３２の上端に設けられた下部係止部３４に揺動可能に係合している。
【００５４】
したがって、下部エアーナイフ８が矢印Ｄ２で示す斜め下方に撓んでも、その撓み量に応じて押し上げ部材３２を垂直方向に上昇させて位置決めすれば、下部エアーナイフ８の斜め下方への撓みを除去することができる。しかも、下部フック３５が押し上げ部材３２の上端に設けられた下部係止部３４に揺動可能に係合しているから、下部エアーノズル８の角度設定も可能である。
【００５５】
図５のグラフにおいて、折れ線Ａは上部エアーナイフ７が吊り下げ部材２７によって支持されていないときの撓み量を測定したグラフであり、折れ線Ｂは上部エアーナイフ７の長手方向中途部を１つの吊り下げ部材２７で支持したときの撓み量を測定したグラフであり、折れ線Ｃは長手方向中途部を２つの吊り下げ部材２７で支持したときの撓み量を測定したグラフである。なお、図５のグラフの縦軸は撓み量（ｍｍ）で、横軸はエアーナイフ７の長手方向を１１等分した位置を示す。
【００５６】
このグラフＡ〜Ｃから明らかなように、上部エアーナイフ７を吊り下げ部材２７で支持することで、撓み量が大きく減少することが分かる。なお、上部エアーナイフ７は長さが３ｍで、材質はステンレス鋼板で作られたものである。
【００５７】
図６のグラフにおいて、折れ線Ｄは下部エアーナイフ８が押し上げ部材３２によって支持されていないときの撓み量を測定したグラフであり、折れ線Ｅは下部エアーナイフ８の長手方向中途部を１つの押し上げ部材３２で支持したときの撓み量を測定したグラフであり、折れ線Ｆは長手方向中途部を２つの押し上げ部材３２で支持したときの撓み量を測定したグラフである。
【００５８】
このグラフＤ〜Ｆから明らかなように、下部エアーナイフ８を押し上げ部材３２で支持することで、撓み量が大きく減少することが分かる。なお、下部エアーナイフ８は上部エアーナイフ７と同様、長さが３ｍで、材質はステンレス鋼板である。図６のグラフの縦軸は撓み量（ｍｍ）で、横軸はエアーナイフ７の長手方向を１１等分した位置を示す。
【００５９】
なお、下部エアーナイフ８は上部エアーナイフ７と撓み方向が図４にＤ１とＤ２で示すように基板Ｗの搬送方向に対して上部エアーナイフ７と逆方向となる。したがって、上部エアーナイフ７の下方への撓み量をマイナスで示し、下部エアーナイフ８の下方への撓み量をプラスで示している。
【００６０】
図７（ａ）は上部エアーナイフ７の撓みを矯正することなく、その上部エアーナイフ７に圧縮気体を３０００ＮＬ／ｍｉｎで供給したときの基板Ｗの板面における気体の速度を長手方向の３８箇所で測定したグラフである。上部エアーナイフ７は、図７（ｃ）に示すように基板Ｗの板面に対する傾斜角度θは５５度で、かつ上部エアーナイフ７の長手方向中心の下端と基板Ｗの板面との間隔ｄは５ｍｍになるよう配置した。
【００６１】
つまり、上部エアーナイフ７の撓みが矯正されない状態であると、上部エアーナイフ７の長手方向中心ではその先端から基板Ｗまで距離が５ｍｍであるが、両端に行くにつれてその距離が大きくなる。つまり、上部エアーナイフ７の先端と基板Ｗの上面との距離が一定とならない。
【００６２】
上部エアーナイフ７の先端と基板Ｗの上面との距離が一定でないと、図７（ａ）に示すように上部エアーナイフ７の長手方向において、基板Ｗの上面での気体の流速が上部エアーナイフ７の先端と基板Ｗとの距離に応じて差が生じる。つまり、距離が大きくなるにつれて流速が低くなる。それによって、基板Ｗの幅方向の乾燥処理が均一に行えなくなるから、乾燥ムラが生じることになる。
【００６３】
図７（ｂ）は上部エアーナイフ７の撓みを矯正し、その上部エアーナイフ７に圧縮気体を３０００ＮＬ／ｍｉｎで供給したときの基板Ｗの板面における気体の速度を長手方向の３８箇所で測定したグラフである。なお、基板Ｗの板面に対する上部エアーナイフ７の配置は、図７（ｃ）に示すよう５５の角度で傾斜し、長手方向中央に先端と基板Ｗの上面との距離が５ｍｍとなるよう設定した。
【００６４】
図７（ｂ）から分かるように、上部エアーナイフ７の撓みが矯正されると、この上部エアーナイフ７の長手方向において、基板Ｗの上面での気体の流速にほとんど差が生じなくなる。それによって、基板Ｗの幅方向の乾燥処理が均一に行われるから、乾燥ムラが生じることもなくなる。
【００６５】
図７（ａ），（ｂ）のグラフにおいて、縦軸は基板Ｗの上面における風速で、横軸は上部エアーナイフ７の長手方向における測定位置を示している。
【００６６】
なお、上記一実施の形態では上部及び下部のエアーナイフの長手方向中途部の２箇所を吊り下げ部材及び押し上げ部材で保持するようにしたが、各エアーナイフを保持する箇所は２箇所に限定されず、１箇所或いは３箇所以上であっても差し支えない。
【符号の説明】
【００６７】
１…チャンバ、６…エアーナイフユニット、７…上部エアーナイフ、８…下部エアーナイフ、１２…高さ調整部材、１６…高さ調整ねじ、１８…角度調整部材、２５…上部支持部材、２６…株支持部材、２７…吊り下げ部材、２９…上部係止部、３１…上部フック、３２…押し上げ部材、３４…下部係止部、３５…下部フック、支持部材。
【技術分野】
【０００１】
この発明は洗浄処理された基板に付着残留する処理液をエアーナイフから噴射される気体によって乾燥処理する基板の処理装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
たとえば、液晶表示装置や半導体装置の製造工程においては、これら装置の処理対象物であるガラス基板や半導体ウエハなどの基板にレジストを塗布し、この基板を現像処理してからエッチング処理することで、表面に回路パターンを精密に形成する。基板に回路パターンを形成したならば、その基板の表面に付着しているレジスト膜やレジスト残渣などの有機物を洗浄液によって除去する洗浄処理が行われる。
【０００３】
洗浄処理された基板に洗浄液が残留するとウオータマークなどの汚れの原因になる。そこで、洗浄液によって洗浄された基板の上下面にエアーナイフから気体を噴射し、基板に付着残留した洗浄液を除去する乾燥処理が行われる。
【０００４】
上記乾燥処理は、基板を処理装置のチャンバ内へ水平搬送し、この基板の上下面に上下一対のエアーナイフによって気体を噴射し、その気体によって基板に付着した洗浄液を除去するようにしている。
【０００５】
一対のエアーナイフを用いて基板を乾燥処理する場合、基板の板面をむらなく均一に、しかも効率よく確実に乾燥処理することが要求される。そのため、上下一対のエアーナイフと基板の板面との間隔をエアーナイフの長手方向全長にわたって精度よく均一に設定することが重要となる。
【０００６】
最近では基板が大型化する傾向にある。その場合、エアーナイフは基板の幅寸法よりも長尺にする必要があるから、たとえば３ｍ以上の長さのものが用いられることがある。長尺化したエアーナイフを、チャンバ内に基板の搬送方向と交差する方向に沿って架設すると、基板の上方のエアーナイフは自重によって下方へ撓んで長手方向の中途部が両端部に比べて基板の上面に接近することになる。また、下方のエアーナイフは同じく自重によって下方へ撓んで長手方向の中途部が両端部に比べて基板の下面との間隔が大きくなる。
【０００７】
このように、基板の上面及び下面に対してエアーナイフとの対向間隔が不均一になると、エアーナイフ長手方向において基板の板面が受ける気体の速度が一定とならないから、基板を幅方向全長にわたって均一に乾燥処理することができなくなるということがある。
【０００８】
そこで、エアーナイフを自重によって撓みが生じることのない剛性を備えた厚手の材料で構成するということが行われている。しかしながら、その場合、エアーナイフが高重量化するから、組立作業などの取扱いが不便となるばかりか、エアーナイフはステンレス鋼などの高価な材料が用いられるから、コスト高になるということがある。
【０００９】
そこで、特許文献１に示されるようにエアーナイフが長尺化した場合であっても、エアーナイフ自体の剛性を高めることなく、撓みが生じないようにすることが提案されている。すなわち、特許文献１の図８に示されるようにエアーナイフの長手方向の中途部に支持具を装着し、この支持具に連結部材の一端を連結する。この連結部材の他端は、上記エアーナイフと平行に配置された給気管に連結する。この給気管とエアーナイフはチューブによって接続され、エアーナイフに気体を供給できるようになっている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【００１０】
【特許文献１】特開２００６−２４５３２８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【００１１】
特許文献１に示されたエアーナイフの支持構造によると、連結部材の一端にエアーナイフに装着される支持具が連結固定されていて、この連結部材の他端は給気管に連結固定されている。そのため、給気管に撓みが生じた場合、この給気管の撓みを吸収することができないから、給気管とともにエアーナイフにも撓みが生じてしまうということがある。
【００１２】
また、エアーナイフは基板の板面に対して高さ及び傾斜角度を調整することが要求される。しかしながら、特許文献１に示されたように、エアーナイフに撓みが生じないようにするために、連結部材を介して給気管に連結固定された支持具にエアーナイフを装着する構成では、上記エアーナイフの高さや傾きを調整することができないということがある。
【００１３】
この発明は、エアーナイフの剛性を高めずに、撓みが生じるのを防止することができるようにし、しかも基板の板面に対してエアーナイフの高さや傾きを調整することができるようにした基板の処理装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【００１４】
この発明は、チャンバ内を水平搬送される基板の上面と下面に気体を噴射してこの基板を乾燥処理する処理装置であって、
上記チャンバ内を搬送される上記基板の上面に対向して配置されこの基板の上面に気体を所定の傾斜角度で噴射するとともに、長手方向中途部に上部フックが設けられた上部エアーナイフと、
上記基板の下面に対向して配置されこの基板の下面に気体を所定の傾斜角度で噴射するとともに、長手方向中途部に下部フックが設けられた下部エアーナイフと、
上記上部エアーナイフの上方と上記下部エアーナイフの下方にそれぞれ各エアーナイフと同方向に沿って平行に設けられた上部支持部材及び下部支持部材と、
上記上部支持部材の長手方向の中途部に垂直方向に位置決め可能に設けられ下端に上記上部フックが揺動可能に係合する上部係止部を有する吊り下げ部材と、
上記下部支持部材の長手方向の中途部に垂直方向に位置決め可能に設けられ上端に上記下部フックが揺動可能に係合する下部係止部を有する押し上げ部材と
を具備したことを特徴とする基板の処理装置にある。
【００１５】
上記上部係止部と下部係止部は円柱状であって、
上記上部フックと下部フックは一端が上記上部エアーナイフ及び下部エアーナイフにそれぞれ固定され他端が上記上部係止部と下部係止部にそれぞれ係合する鉤部に形成されていることが好ましい。
【００１６】
上記上部エアーナイフと上記下部エアーナイフの長手方向の一端と他端は、連結部材の上下方向の中途部にそれぞれ傾斜角度及び上下方向の位置決め可能に取り付けられていて、
上記上部支持部材と上記下部支持部材の長手方向の一端部と他端部は、上記一対の連結部材の上端と下端にそれぞれ連結固定されることが好ましい。
【００１７】
上記上部支持部材と下部支持部材の長手方向の中途部には、複数の上記吊り下げ部材と押し上げ部材が設けられていることが好ましい。
【発明の効果】
【００１８】
この発明によれば、上部エアーナイフに設けられた上部フックが吊り下げ部材の上部係止部に揺動可能に係合し、しかも上部支持部材に対して垂直方向に位置決め可能となっているから、上部エアーナイフが下方へ撓むのを防止することができるばかりか、上部エアーナイフの基板の板面に対する角度及び上下方向の位置決め調整が可能となる。
【００１９】
また、下部エアーナイフに設けられた下部フックが押し上げ部材の下部係止部に揺動可能に係合し、しかも下部支持部材に対して垂直方向に位置決め可能となっているから、下部エアーナイフが下方へ撓むのを防止することができるばかりか、下部エアーナイフの基板の板面に対する角度及び上下方向の位置決め調整が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００２０】
【図１】この発明の一実施の形態を示すチャンバの長手方向に沿う縦断面図。
【図２】エアーナイフユニットの一部を省略した正面図。
【図３】エアーナイフユニットの一端部の斜視図。
【図４】上部エアーナイフと下部エアーナイフの撓みを防止する機構を示す側面図。
【図５】上部エアーナイフの撓みを測定したグラフ。
【図６】下部エアーナイフの撓みを測定したグラフ。
【図７】（ａ）は上部エアーナイフの撓みが矯正されていないときの基板上における気体の風速を測定したグラフ、（ｂ）は上部エアーナイフの撓みを矯正したときの基板上における気体の風速を測定したグラフ、（ｃ）は基板上の風速を測定するときの条件を示した図。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２１】
以下、この発明の一実施の形態を図面を参照しながら説明する。
図１は基板の処理装置の長手方向に沿う縦断面図であって、この処理装置はチャンバ１を備えている。このチャンバ１内には図示しない駆動機構によって回転駆動される複数の搬送ローラ２が上記長手方向に沿って所定間隔で配置されている。
【００２２】
上記チャンバ１の長手方向一端には搬入口３が開口形成され、他端には搬出口４が開口形成されている。上記搬入口３からチャンバ１内には、前工程で洗浄処理された基板Ｗが供給される。チャンバ１内に供給された基板Ｗは上記搬送ローラ２によって矢印で示す方向に水平搬送されて上記搬出口４から搬出される。そして、上記基板Ｗは、上記チャンバ１内を搬送される間に、エアーナイフユニット６によって上下面に付着残留した洗浄液が除去される乾燥処理が行われる。
【００２３】
上記エアーナイフユニット６は、図２と図３に示すように先端面に気体の噴出孔７ａ，８ａが長手方向のほぼ全長にわたって形成された上部エアーナイフ７と下部エアーナイフ８を有する。これら各エアーナイフ７，８はステンレス鋼板などの耐蝕性を有する２枚の板材を重ね合わせて形成されている。
【００２４】
図３に示すように各エアーナイフ７，８の長手方向の一端と他端の側面（一方のみ図示）には、幅方向の一端部に一対の長孔１１が形成された矩形板状の高さ調整部材１２が上記長孔１１を介して一対の取り付けねじ１３によって連結されている。
【００２５】
なお、各エアーナイフ７，８の側面には上記噴出孔７ａ，８ａから噴出する圧縮空気などの気体を供給する気体供給部にチューブ（ともに図示せず）を介して接続される複数の気体供給口体７ｂ，８ｂが設けられている。
【００２６】
上記高さ調整部材１２の幅方向の一端には突出部１４が設けられている。この突出部１４には、上記各エアーナイフ７，８の後端面に設けられた取付け片１５に螺合された高さ調整ねじ１６によって押圧されるようになっている。
【００２７】
上記一対の取り付けねじ１３を緩めた状態で、上記高さ調整ねじ１６によって上記突出部１４を押圧すれば、上記高さ調整部材１２に対して各エアーナイフ７，８を各側面の高さ方向、つまり上下方向に沿って移動させることができるようになっている。
【００２８】
上記高さ調整部材１２の幅方向の他端部には帯板状の角度調整部材１８の端面が一対の止めねじ１９によって取り付け固定されている。上記角度調整部材１８は一端部を各エアーナイフ７，８の先端面から突出させている。一対の角度調整部材１８の一端部は重合されていて、その重合部分は側面形状がコ字状の連結部材２１の中途部に角度調整ねじ２２によって回動可能かつ所定の回動角度で固定可能に取り付けられている。
【００２９】
したがって、上部エアーナイフ７と下部エアーナイフ８は、上記連結部材２１に対し、上記角度調整部材１８を介して上記角度調整ねじ２２によって角度調整可能であり、上記高さ調整部材１２を介して上記高さ調整ねじ１６によって高さ調整可能となっている。
【００３０】
そして、図２に示すように上部エアーナイフ７と下部エアーナイフ８の長手方向の一端と他端に設けられた一対の連結部材２１の上辺には上部支持部材２５の長手方向の一端部と他端部が取り付け固定され、下辺には下部支持部材２６の長手方向の一端部と他端部が取り付け固定されている。
【００３１】
上記上部支持部材２５と下部支持部材２６は荷重に対して比較的撓みが生じ難い形状の部材、たとえばアングル材が用いられている。上部支持部材２５の長手方向中途部の２箇所にはボルトからなる吊り下げ部材２７が設けられている。
【００３２】
図４に示すように、上記吊り下げ部材２７の中途部には上記上部支持部材２５の一辺を挟んで一対の固定ナット２８が螺合されている。それによって、上記吊り下げ部材２７は上記上部支持部材２５に対して上下方向に位置決め調整可能となっている。
【００３３】
上記吊り下げ部材２７の下端には、円柱状の上部係止部２９が軸線を吊り下げ部材２７の軸線と直交させて設けられている。
【００３４】
上記上部係止部２９の円弧状の外周面には、上記上部エアーナイフ７の長手方向中途部の後端面に一端が取り付け固定された上部フック３１の他端に形成されたＬ字の鉤部３１ａが係合している。つまり、上記鉤部３１ａは上記上部係止部２９に対して揺動可能に係合している。なお、上記鉤部３１ａには溝部３１ｂが形成され、この溝部３１ａに上記吊り下げ部材２７が通されている。
【００３５】
それによって、上記上部支持部材２５に対する上記吊り下げ部材２７の上下方向の位置を一対の固定ナット２８によって調整すれば、この吊り下げ部材２７の下端に設けられた上部係止部２９と、上記上部エアーナイフ７に設けられた上部フック３１との係合によって上記上部エアーナイフ７の下方への撓みを除去することができるようになっている。
【００３６】
上記上部エアーナイフ７の角度を上記角度調整ねじ２２を緩めて上記角度調整部材１８を回動させて調整すると、上部エアーナイフ７の回動に応じて上部フック３１の鉤部３１ａが上部係止部２９に対して上部エアーナイフ７の長手方向と交差する方向に揺動するから、上部エアーナイフ７の角度を変更することができる。
【００３７】
図２に示すように、上記下部支持部材２６の長手方向中途部の２箇所にはボルトからなる押し上げ部材３２が設けられている。この押し上げ部材３２の中途部には図４に示すように上記下部支持部材２６の一辺を挟んで一対の固定ナット３３が螺合されている。それによって、上記押し上げ部材３２は上記下部支持部材２６に対して上下方向に位置決め調整可能となっている。
【００３８】
上記押し上げ部材３２の上端には、円柱状の下部係止部３４が軸線を押し上げ部材３２の軸線と直交させて設けられている。上記下部係止部３４の円弧状の外周面には、上記下部エアーナイフ８の長手方向中途部の後端面に一端が取り付け固定された下部フック３５の他端に形成されたＬ字状の鉤部３５ａが係合している。つまり、上記鉤部３５ａは上記下部係止部３４に対して上記下部エアーナイフ８の長手方向と交差する方向に対して揺動可能に係合している。
【００３９】
それによって、上記下部支持部材２６に対する上記押し上げ部材３２の上下方向の位置を一対の固定ナット３３によって調整すれば、この押し上げ部材３２の上端に設けられた下部係止部３４と、上記下部エアーナイフ８に設けられた下部フック３５との係合によって上記下部エアーナイフ８の下方への撓みを除去することができるようになっている。
【００４０】
また、下部エアーナイフ８の角度を上記連結部材２１に螺合された角度調整ねじ２２を緩めて上記角度調整部材１８を回動させて調整すると、下部エアーナイフ８の回動に応じて下部フック３５の鉤部３５ａが下部係止部３４に対して揺動するから、下部エアーナイフ８の角度を変更することができる。
【００４１】
上記上部エアーナイフ７、下部エアーナイフ８、上部支持部材２５及び下部支持部材２６は、これら一対のエアーナイフ７，８の両端部に設けられた一対の連結部材２１によって一体化された上記エアーナイフユニット６となっている。
【００４２】
このようにして構成されたエアーナイフユニット６はチャンバ１内に組み込まれる。すなわち、図に示すように上記チャンバ１の上記基板Ｗの搬送方向に対して交差する方向の幅方向両端部の外方には、Ｌ字状の支持部材３７が水平部分の先端部を上記チャンバ１内に突出させて設けられている。
【００４３】
上記支持部材３７の垂直部の下端は、チャンバ１が載置される架台などの固定部３８に固定されている。そして、左右一対の支持部材３７の水平部分の先端部に上記エアーナイフユニット６の連結部材２１の中間部の外面に設けられた取り付け部２１ａが連結固定される。
【００４４】
なお、上記エアーナイフユニット６の上下一対のエアーナイフ７，８は、これらの噴出孔７ａ，８ａを基板Ｗの搬送方向上流側に向くよう垂直方向に対して所定の角度、例えば５５度の角度で傾斜し、しかも基板Ｗの搬送方向と直交する幅方向と平行な水平方向に対して所定の角度で傾斜して配置されている。つまり、基板Ｗの花方向に対して斜めになっている。さらに、上下一対のエアーナイフ７，８は、これらの噴出孔７ａ，８ａが開口した先端面間に上記基板Ｗが通過する高さになるよう、上記一対の支持部材３７に取り付け固定されている。
【００４５】
このように構成された処理装置によれば、上部エアーナイフ７と下部エアーナイフ８を、厚手の板材を用いずに形成すると、十分な剛性が得られないから、上部エアーナイフ７は図４に矢印Ｄ１で示す斜め下方に向かって撓もうとし、下部エアーナイフ８が同図に矢印Ｄ２で示す斜め下方に向かって撓もうとする。
【００４６】
しかしながら、上部エアーナイフ７は長手方向の中途部の２箇所に上部フック３１が設けられ、これら上部フック３１が吊り下げ部材２７の下端に設けられた上部係止部２９に揺動可能に係合している。したがって、上記上部フック３１と上記上部係止部２９との係合によって上部エアーナイフ７が矢印Ｄ１で示す斜め下降に向かって撓むのが阻止されることになる。
【００４７】
上記吊り下げ部材２７は上部支持部材２５に取り付けられているから、この上部支持部材２５に上記吊り下げ部材２７を介して上部エアーナイフ７の重量が加わることで、上部支持部材２５とともに上部エアーナイフ７が撓む虞がある。
【００４８】
しかしながら、上記吊り下げ部材２７は上部支持部材２５に対して上下方向の取り付け位置を調整することができるから、上部支持部材２５に下方への撓みが生じた場合には、その分、吊り下げ部材２７の上部支持部材２５に対する取り付け位置を上方へずらせば、上部エアーナイフ７の撓みを除去することができる。
【００４９】
上部エアーナイフ７は矢印Ｄ１で示すように斜め下方に向かって撓みが生じる。それに対して吊り下げ部材２７は垂直方向に上下動する。しかしながら、上部エアーナイフ７に設けられた上部フック３１の鉤部３１ａは吊り下げ部材２７の下端に設けられた上部係止部２９に対して揺動可能に係合している。
【００５０】
そのため、上部エアーナイフ７の撓み方向Ｄ１に対して吊り下げ部材２７の上昇方向が同一直線状に位置する逆方向とならなくても、上記吊り下げ部材２７を上部エアーナイフ７の撓み量に応じて上昇させることで、この上部エアーナイフ７の撓みを確実に除去することができる。
【００５１】
しかも、連結部材２１に対する角度調整部材１８の取り付け角度を変えて基板Ｗの板面に対する上部エアーナイフ７の傾斜角度の変更する場合、上部エアーナイフ７に設けられた上部フック３１の鉤部３１ａが吊り下げ部材２７の下端に設けられた上部係止部２９に対して揺動するから、その角度変更を確実に行うことができる。
【００５２】
すなわち、上部エアーナイフ７の撓みを除去するため、従来のように上部エアーナイフ７に設けられた上部フック３１と上部支持部材２５を連結固定せずにすむ。そのため、上部支持部材２５に対する吊り下げ部材２７の取り付け位置を調整して上部エアーナイフ７の撓みを除去することができるばかりか、上部エアーナイフ７の角度設定も行うことが可能となる。
【００５３】
上部エアーナイフ７と同様に、下部エアーナイフ８の長手方向の中途部の２箇所には下部フック３５が設けられ、これら下部フック３５が押し上げ部材３２の上端に設けられた下部係止部３４に揺動可能に係合している。
【００５４】
したがって、下部エアーナイフ８が矢印Ｄ２で示す斜め下方に撓んでも、その撓み量に応じて押し上げ部材３２を垂直方向に上昇させて位置決めすれば、下部エアーナイフ８の斜め下方への撓みを除去することができる。しかも、下部フック３５が押し上げ部材３２の上端に設けられた下部係止部３４に揺動可能に係合しているから、下部エアーノズル８の角度設定も可能である。
【００５５】
図５のグラフにおいて、折れ線Ａは上部エアーナイフ７が吊り下げ部材２７によって支持されていないときの撓み量を測定したグラフであり、折れ線Ｂは上部エアーナイフ７の長手方向中途部を１つの吊り下げ部材２７で支持したときの撓み量を測定したグラフであり、折れ線Ｃは長手方向中途部を２つの吊り下げ部材２７で支持したときの撓み量を測定したグラフである。なお、図５のグラフの縦軸は撓み量（ｍｍ）で、横軸はエアーナイフ７の長手方向を１１等分した位置を示す。
【００５６】
このグラフＡ〜Ｃから明らかなように、上部エアーナイフ７を吊り下げ部材２７で支持することで、撓み量が大きく減少することが分かる。なお、上部エアーナイフ７は長さが３ｍで、材質はステンレス鋼板で作られたものである。
【００５７】
図６のグラフにおいて、折れ線Ｄは下部エアーナイフ８が押し上げ部材３２によって支持されていないときの撓み量を測定したグラフであり、折れ線Ｅは下部エアーナイフ８の長手方向中途部を１つの押し上げ部材３２で支持したときの撓み量を測定したグラフであり、折れ線Ｆは長手方向中途部を２つの押し上げ部材３２で支持したときの撓み量を測定したグラフである。
【００５８】
このグラフＤ〜Ｆから明らかなように、下部エアーナイフ８を押し上げ部材３２で支持することで、撓み量が大きく減少することが分かる。なお、下部エアーナイフ８は上部エアーナイフ７と同様、長さが３ｍで、材質はステンレス鋼板である。図６のグラフの縦軸は撓み量（ｍｍ）で、横軸はエアーナイフ７の長手方向を１１等分した位置を示す。
【００５９】
なお、下部エアーナイフ８は上部エアーナイフ７と撓み方向が図４にＤ１とＤ２で示すように基板Ｗの搬送方向に対して上部エアーナイフ７と逆方向となる。したがって、上部エアーナイフ７の下方への撓み量をマイナスで示し、下部エアーナイフ８の下方への撓み量をプラスで示している。
【００６０】
図７（ａ）は上部エアーナイフ７の撓みを矯正することなく、その上部エアーナイフ７に圧縮気体を３０００ＮＬ／ｍｉｎで供給したときの基板Ｗの板面における気体の速度を長手方向の３８箇所で測定したグラフである。上部エアーナイフ７は、図７（ｃ）に示すように基板Ｗの板面に対する傾斜角度θは５５度で、かつ上部エアーナイフ７の長手方向中心の下端と基板Ｗの板面との間隔ｄは５ｍｍになるよう配置した。
【００６１】
つまり、上部エアーナイフ７の撓みが矯正されない状態であると、上部エアーナイフ７の長手方向中心ではその先端から基板Ｗまで距離が５ｍｍであるが、両端に行くにつれてその距離が大きくなる。つまり、上部エアーナイフ７の先端と基板Ｗの上面との距離が一定とならない。
【００６２】
上部エアーナイフ７の先端と基板Ｗの上面との距離が一定でないと、図７（ａ）に示すように上部エアーナイフ７の長手方向において、基板Ｗの上面での気体の流速が上部エアーナイフ７の先端と基板Ｗとの距離に応じて差が生じる。つまり、距離が大きくなるにつれて流速が低くなる。それによって、基板Ｗの幅方向の乾燥処理が均一に行えなくなるから、乾燥ムラが生じることになる。
【００６３】
図７（ｂ）は上部エアーナイフ７の撓みを矯正し、その上部エアーナイフ７に圧縮気体を３０００ＮＬ／ｍｉｎで供給したときの基板Ｗの板面における気体の速度を長手方向の３８箇所で測定したグラフである。なお、基板Ｗの板面に対する上部エアーナイフ７の配置は、図７（ｃ）に示すよう５５の角度で傾斜し、長手方向中央に先端と基板Ｗの上面との距離が５ｍｍとなるよう設定した。
【００６４】
図７（ｂ）から分かるように、上部エアーナイフ７の撓みが矯正されると、この上部エアーナイフ７の長手方向において、基板Ｗの上面での気体の流速にほとんど差が生じなくなる。それによって、基板Ｗの幅方向の乾燥処理が均一に行われるから、乾燥ムラが生じることもなくなる。
【００６５】
図７（ａ），（ｂ）のグラフにおいて、縦軸は基板Ｗの上面における風速で、横軸は上部エアーナイフ７の長手方向における測定位置を示している。
【００６６】
なお、上記一実施の形態では上部及び下部のエアーナイフの長手方向中途部の２箇所を吊り下げ部材及び押し上げ部材で保持するようにしたが、各エアーナイフを保持する箇所は２箇所に限定されず、１箇所或いは３箇所以上であっても差し支えない。
【符号の説明】
【００６７】
１…チャンバ、６…エアーナイフユニット、７…上部エアーナイフ、８…下部エアーナイフ、１２…高さ調整部材、１６…高さ調整ねじ、１８…角度調整部材、２５…上部支持部材、２６…株支持部材、２７…吊り下げ部材、２９…上部係止部、３１…上部フック、３２…押し上げ部材、３４…下部係止部、３５…下部フック、支持部材。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
チャンバ内を水平搬送される基板の上面と下面に気体を噴射してこの基板を乾燥処理する処理装置であって、
上記チャンバ内を搬送される上記基板の上面に対向して配置されこの基板の上面に気体を所定の傾斜角度で噴射するとともに、長手方向中途部に上部フックが設けられた上部エアーナイフと、
上記基板の下面に対向して配置されこの基板の下面に気体を所定の傾斜角度で噴射するとともに、長手方向中途部に下部フックが設けられた下部エアーナイフと、
上記上部エアーナイフの上方と上記下部エアーナイフの下方にそれぞれ各エアーナイフと同方向に沿って平行に設けられた上部支持部材及び下部支持部材と、
上記上部支持部材の長手方向の中途部に垂直方向に位置決め可能に設けられ下端に上記上部フックが揺動可能に係合する上部係止部を有する吊り下げ部材と、
上記下部支持部材の長手方向の中途部に垂直方向に位置決め可能に設けられ上端に上記下部フックが揺動可能に係合する下部係止部を有する押し上げ部材と
を具備したことを特徴とする基板の処理装置。
【請求項２】
上記上部係止部と下部係止部は円柱状であって、
上記上部フックと下部フックは一端が上記上部エアーナイフ及び下部エアーナイフにそれぞれ固定され他端が上記上部係止部と下部係止部にそれぞれ係合する鉤部に形成されていることを特徴とする請求項１記載の基板の処理装置。
【請求項３】
上記上部エアーナイフと上記下部エアーナイフの長手方向の一端と他端は、連結部材の上下方向の中途部にそれぞれ傾斜角度及び上下方向の位置決め可能に取り付けられていて、
上記上部支持部材と上記下部支持部材の長手方向の一端部と他端部は、上記一対の連結部材の上端と下端にそれぞれ連結固定されることを特徴とする請求項１記載の基板の処理装置。
【請求項４】
上記上部支持部材と下部支持部材の長手方向の中途部には、複数の上記吊り下げ部材と押し上げ部材が設けられていることを特徴とする請求項１記載の基板の処理装置。
【請求項１】
チャンバ内を水平搬送される基板の上面と下面に気体を噴射してこの基板を乾燥処理する処理装置であって、
上記チャンバ内を搬送される上記基板の上面に対向して配置されこの基板の上面に気体を所定の傾斜角度で噴射するとともに、長手方向中途部に上部フックが設けられた上部エアーナイフと、
上記基板の下面に対向して配置されこの基板の下面に気体を所定の傾斜角度で噴射するとともに、長手方向中途部に下部フックが設けられた下部エアーナイフと、
上記上部エアーナイフの上方と上記下部エアーナイフの下方にそれぞれ各エアーナイフと同方向に沿って平行に設けられた上部支持部材及び下部支持部材と、
上記上部支持部材の長手方向の中途部に垂直方向に位置決め可能に設けられ下端に上記上部フックが揺動可能に係合する上部係止部を有する吊り下げ部材と、
上記下部支持部材の長手方向の中途部に垂直方向に位置決め可能に設けられ上端に上記下部フックが揺動可能に係合する下部係止部を有する押し上げ部材と
を具備したことを特徴とする基板の処理装置。
【請求項２】
上記上部係止部と下部係止部は円柱状であって、
上記上部フックと下部フックは一端が上記上部エアーナイフ及び下部エアーナイフにそれぞれ固定され他端が上記上部係止部と下部係止部にそれぞれ係合する鉤部に形成されていることを特徴とする請求項１記載の基板の処理装置。
【請求項３】
上記上部エアーナイフと上記下部エアーナイフの長手方向の一端と他端は、連結部材の上下方向の中途部にそれぞれ傾斜角度及び上下方向の位置決め可能に取り付けられていて、
上記上部支持部材と上記下部支持部材の長手方向の一端部と他端部は、上記一対の連結部材の上端と下端にそれぞれ連結固定されることを特徴とする請求項１記載の基板の処理装置。
【請求項４】
上記上部支持部材と下部支持部材の長手方向の中途部には、複数の上記吊り下げ部材と押し上げ部材が設けられていることを特徴とする請求項１記載の基板の処理装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【公開番号】特開２０１０−２５８０３５（Ｐ２０１０−２５８０３５Ａ）
【公開日】平成２２年１１月１１日（２０１０．１１．１１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−１０３１５４（Ｐ２００９−１０３１５４）
【出願日】平成２１年４月２１日（２００９．４．２１）
【出願人】（０００００２４２８）芝浦メカトロニクス株式会社 (907)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２２年１１月１１日（２０１０．１１．１１）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年４月２１日（２００９．４．２１）
【出願人】（０００００２４２８）芝浦メカトロニクス株式会社 (907)
【Ｆターム（参考）】
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