【課題】液体噴射装置の旋回傾斜角度の調整が容易な機構の提供。
【解決手段】オイルタンクの内部に堆積したスラッジに共油等の洗浄液体をノズルから噴射して洗浄させる液体噴射装置であって、回転軸により液体供給筒の先端回転筒部を軸周りに回転させ、回転筒部先端で噴射ノズル筒を傾斜端部を回転面とし，旋回するようにしてなる液体噴射装置において、前記回転軸を回転軸芯５１とそれを内包する回転軸筒５２とからなり二重に構成して、回転軸筒５２を介して回転筒部５２を回転させる一方、回転軸芯５１を介して噴射ノズル筒を旋回させ、回転軸筒５２と回転軸芯５１の回転をそれぞれ受ける太陽歯車を備える第１遊星歯車機構８１と第２遊星歯車機構８２とからなるインジケータ機構を設け、インジケータ機構に軸線に対する噴射ノズル筒の傾斜角度を表示させ、スイッチ機構により液体噴射ノズルの振り角度の設定を容易に行わせる。 （もっと読む）

【課題】廃棄電気製品から塵埃等の除去を確実に行い得る電気製品の清浄化装置を提供する。
【解決手段】電気製品の清浄化装置は、（ａ）電気製品６０Ａを清浄化するために電気製品を収納する清浄化室２０、（ｂ）電気製品６０Ａに振動を与える振動装置３０、（ｃ）電気製品６０Ａに高圧流体を吹き付ける高圧流体吹付け装置４０、及び、（ｄ）電気製品６０Ａの清浄化のために用いられた高圧流体を清浄化するための高圧流体清浄装置５０を備えている。 （もっと読む）

【課題】洗浄ライン上を搬送されるワーク全体の水切りを行うと共にエアーブロー位置を局所的にエアーブローしても、エアー消費量を少なくする。
【解決手段】外周面１１ａに３つのノズル１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃが設けられたノズルヘッド１１が回転プレート１３によってノズル筐体１４に回転可能に取り付けられ、３つのノズル１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃそれぞれに別系統でエアーを供給するように当該ノズルの数だけエアー導入経路１５Ａ、１５Ｂ、１５Ｃがノズル筐体１４内に設けられたエアーブロー用自動ガン１と、ノズル筐体１４に固定されエアーブロー用自動ガン１をワークＷの所定のエアーブロー位置に移動させる移動手段２と、ノズル筐体１４に内蔵されると共に回転プレート１３に固定され、当該回転プレート１３を回動させる回動手段３とを備えている。 （もっと読む）

【課題】基板の主面及び裏面の汚染を防止する基板処理方法、基板処理装置及び半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】基板処理装置１は、マスク用基板３の側面３ｃ、３ｄを保持する保持部としての基板チャック１４と、マスク用基板３の処理対象面に処理液５を吐出する処理液吐出部１２６と、マスク用基板３に吐出した処理液５に向けて気体４を吐出し、処理液５をマスク用基板３から分離させる気体吐出部１２２と、を備えて概略構成されている。 （もっと読む）

【課題】 洗浄対象物に洗浄液混合の圧縮気を噴射可能であると共に、周囲にミストが飛散しなよう吸引回収可能であり、洗浄液を切り替えて汚れや塵埃などを除去し、最終的に圧縮空気のみを噴射して、洗浄の全工程を一挙に完了可能とする新たな洗浄技術を提供する。
【解決手段】 グリップ２の先端に一体化してなる吸引筒７の先端中央に、同吸引筒７に対して同心状配置で、その先端がわ方向に向けた洗浄ノズル８を設け、該グリップ２の基端から該洗浄ノズル８に達する主圧縮気回路３の適所に噴射スイッチ６を配し、該主圧縮気回路３適所から分岐した負圧誘導回路３３の末端を、当該吸引筒７内壁適所において、同吸引筒７末端がわに向けて開口し、当該グリップ２内の一液回路４１および別液回路４２の各内端に液路切換器５を接続し、且つ、同液路切換器５の吐出路５１を、当該主圧縮気回路３の適所に配した気液混合器３５に接続してなる洗浄ガン１である。 （もっと読む）

【課題】特に地下タンクの撤去作業前に可燃性蒸気対策として、比較的安価且つ安全性の高い地下タンクの洗浄方法を提供する。
【解決手段】高圧ホース１０の先端には洗浄ノズル２０が装着され、後端には高圧洗浄機３０が接続されて、高圧水が供給される。高圧ホース１０は、通気管・油面計口Ｌを通って地下タンクＴ内に挿入されている。サクション口Ｓには、先端が地下タンクＴの底面近くまで延びたサクションパイプ４０が差し込まれ、サクションパイプ４０の他端には、ホース５０を介してエアー駆動式ダイヤフラムポンプ６０が接続され、さらにホース７０を介してバキューム車８０に接続されている。高圧ホース１０に高圧洗浄機３０から高圧水が供給されると、洗浄ノズル２０から高圧水Ｈが噴き出し、地下タンクＴ内面に残っていたガソリン等の付着物を洗い流す。同時に、地下タンクＴ内に溜まった洗浄廃水Ｗをサクションパイプ４０から回収する。 （もっと読む）

【課題】ヘッドキャップにおける機能液が接触する可能性のある部分の全てに洗浄液を行き渡らせた状態とすることを、吸引ユニットのヘッドキャップの周辺が大きくなることを抑制して実現することができる液状体吐出装置、及びヘッド保守装置を提供する。
【解決手段】液状体吐出装置は、液状体を吐出する吐出ノズルが形成されたノズル基板を備える液状体吐出ヘッドと、液状体吐出ヘッドの吐出ノズルが形成されたノズル形成面を封止するヘッドキャップと、ヘッドキャップに連通し、ヘッドキャップ内の気体又は液体を吸引する吸引手段と、ヘッドキャップ内に洗浄液を供給する洗浄液供給手段と、ヘッドキャップ内の液体の液面を検出する液面検出手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】微細化した水粒子の粒径が大きくなることを防止して、被洗浄面に水膜が形成されることを防止し、被洗浄ノズルを効率的に洗浄可能なノズル洗浄装置を提供する。
【解決手段】複数の被洗浄ノズル１を着脱自在に保持するノズルホルダ１１と、微細化した水粒子と圧縮空気とを混合してなる二流体を生成する二流体生成装置１２と、二流体生成装置１２に接近配置され、ノズルホルダ１１に保持した被洗浄ノズル１へ向けて二流体を噴き付ける二流体噴射ノズル１３と、二流体噴射ノズル１３が被洗浄ノズル１に順次対面するように、二流体生成装置１２及び二流体噴射ノズル１３をノズルホルダ１１に対して相対移動させる移動手段１４とを備えた。 （もっと読む）

【課題】キャピラリ内でのパーティクルの発生を防止できるドライアイススノー洗浄装置を提供する。
【解決手段】供給源から供給された液化炭酸ガスを膨張させ冷却させるオリフィス３と、上記オリフィス３から噴射ノズル１に至るキャピラリ２と、上記キャピラリ２が接続されてドライアイススノーを噴射する噴射ノズル１と、上記噴射ノズル１に対してドライアイススノーの噴射ガスを供給する噴射ガス供給管４とを備え、上記キャピラリ２における噴射ガス供給管４の合流部よりも上流側の部分に、キャピラリ２を外側から加温する加温手段を設けたことにより、キャピラリ２内面をドライアイスの温度よりも高い温度に保ってキャピラリ２内面に薄いガス層を形成し、固体のドライアイスがキャピラリ２内面に衝突することを防止してパーティクルの発生を防止する。 （もっと読む）

【課題】複数の突出物が突出して狭隘となった被清掃面を隈なく確実に且つ迅速に清掃できること。
【解決手段】被清掃面である炉底の内面の塵埃を吸引する吸引口１６を備えた吸引ノズル１１と、一端が吸引ノズルに、他端が、吸引ポンプを備えた吸引ユニットにそれぞれ接続された吸引ホース１２と、この吸引ホースに配設され、この吸引ホースの湾曲変形時に支点となる低重心支持部材１３と、先端が吸引ノズルに支持され、吸引ホースに沿って配設されたワイヤ１４Ａ〜１４Ｄと、このワイヤの引っ張りまたは押し出し操作を行い、低重心支持部材１３を支点に吸引ホース１２を湾曲変形させる操作部と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】洗浄媒体の飛翔方向と姿勢を制御して運動速度と清浄度とを高めることにより洗浄品質と洗浄効率とを向上させると共に、幅の小さな溝が形成された複雑な形状の部品でも傷付けたり洗浄残しを発生したりすることなく洗浄可能な乾式洗浄装置を実現する。
【解決手段】本発明の乾式洗浄装置１は、可撓性洗浄媒体を収容した洗浄槽２と、飛翔した薄片状の可撓性洗浄媒体８を高速気流により洗浄対象物９に衝突させて洗浄対象物に付着した塵や粉体の付着物を除去する洗浄媒体加速手段４と、洗浄対象物に衝突した洗浄媒体に付着した付着物を吸引して除去して洗浄媒体を再生する洗浄媒体再生手段５と、洗浄槽に収容した洗浄媒体を洗浄媒体加速手段まで搬送させる循環手段３とを備えた構成であり、さらに、洗浄媒体加速手段４からの高速気流により搬送された洗浄媒体８を整流し、洗浄媒体加速手段以外からの外乱を防ぐ洗浄媒体整流手段６を備えた構成とした。 （もっと読む）

【課題】長尺の円筒形状の部品を自動的に洗浄可能であり、部品にダメージを与えることなく洗浄可能な非研磨性洗浄装置を提供する。
【解決手段】ブラスト剤を洗浄対象となる部品に吹き付けて上記部品に付着した汚れを除去する洗浄機と、上記部品を上記洗浄機へ出し入れするために、上記洗浄機の左右に配置された２台の送り装置から構成し、上記送り装置は、２列に配置された、水平方向及び垂直方向の角度が可変である複数のローラーと、上記ローラーを回転させる駆動ドラムと、上記ローラーと上記駆動ドラムを制御するためのコントローラとを備え、上記コントローラで、上記ローラーの回転速度、および上記ローラーの１回転あたりに上記部品を上記洗浄機に対して移動させる距離を示す送り速度を変化させる。 （もっと読む）

【課題】成膜用治具に擦過痕などの疵をつけず、除去効率が悪くならず、大掛かりな装置を必要としないで洗浄する。
【解決手段】成膜用治具１を洗浄する装置である。成膜用治具１を設置する洗浄台３と、この洗浄台３に設置された成膜用治具１の洗浄面１ａに電解液７を噴射すべく、洗浄面１ａに対向配置されたノズル体５と、このノズル体５を一方の電極、洗浄台３を他方の電極とすべく、これらノズル体５と洗浄台３の間に電圧を印加する電源８と、ノズル体５に電解液７を供給する電解液供給手段６と、洗浄面１ａを洗浄した後の廃液を回収し、再び電解液７として電解液供給手段６に供給する循環経路１０を備える。
【効果】成膜用治具に擦過痕などの疵をつけず、また成膜用治具の形状に関係なく、簡易な装置で成膜用治具に付着した金属系付着物を洗浄して除去できる。 （もっと読む）

【課題】ディスク・ドライブ装置内の塵埃を効果的に除去する。
【解決手段】本発明の一実施形態は、ディスク・ドライブ装置の製造において使用する塵埃除去装置である。塵埃除去の対照であるディスク・ドライブ装置の好適な例は、ハードディスク・ドライブ装置である。塵埃除去装置は、ノズル１３内の気体吸引口とノズル内を移動する気体噴き出し口１５２ａ、１５２ｂとを有する。ディスク・ドライブ装置の製造において発生した塵埃は、ノズル内の気体吸引口から吸引されて除去される。移動する気体噴き出し口からの気流によりノズル内に定常流が発生することを抑制し、塵埃除去対象部分から効果的に塵埃を除去することができる。また、移動する気体噴き出し口が塵埃除去対象部分に対して気体を噴き当てることで、塵埃除去対象部分近傍での定常流の発生を抑制し、より効果的な塵埃除去を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】被処理物の全面からの静電気と埃等の異物の除去と、除去された異物の被処理物への再付着の防止とが有利に実現可能な除電除塵技術を提供する。
【解決手段】イオンを気体と共に被処理物に吹き付ける複数の吹付ヘッド１３を、互いに所定距離を隔てて離間して、配設すると共に、それら吹付ヘッド１３同士の間を該被処理物１０が通過するように、該吹付ヘッド１３と該被処理物１０のうちの少なくとも何れか一方を移動させる移動手段１２を設け、更に、該吹付ヘッド１３同士の離間方向内方で、且つ該吹付ヘッド１３の移動方向の前方側又は該被処理物の移動方向の後方側に向かって、該吹付ヘッド１３から前記気体が噴射されるように構成した。 （もっと読む）

【課題】基板を真空吸着することなく、基板の下面側に処理液が回り込むことなく処理することができる基板の保持装置を提供することにある。
【解決手段】基板とほぼ同じ大きさに形成されたベースプレート２と、ベースプレートの上面に環状に設けられた側壁体３と、側壁体の上面に形成され基板の下面の外周縁よりも径方向の内側の部分を支持する支持面２４及び支持面の外側に支持面よりも低く形成され基板の支持面によって支持された部分よりも径方向外側の部分の下面に所定の隙間Ｇを介して非接触で対向する非接触面２５と、非接触面に開口して形成され基板の上面を処理液によって処理するときに隙間に気体を供給し、その圧力によって隙間に処理液が侵入するのを阻止する給気管１４と、非接触面の給気管よりも径方向の外側に形成され基板の上面を洗浄液によって洗浄処理するときに隙間に洗浄液を供給し、その洗浄液によって側壁体の上面に残留する処理液が隙間に侵入するのを防止する供給する給液管１８を具備する。 （もっと読む）

【課題】 従来の電気装置における粉塵除去のやり方は、筐体のカバーを固定しているネジ等を外し、粉塵の除去終了後は筐体のカバーを固定しているネジ等を取り付けるといった分解と組立の作業が必要であり、また、作業スペースの確保も必要なため、粉塵除去の効率が非常に悪かった。
【解決手段】 筐体と、前記筐体内に設けられた部品と、少なくとも一部が前記筐体内にあり内部に流体を通すものであって前記部品に対して前記流体を噴き出す孔を有する管を備えることにより、電気装置内の部品等の粉塵を容易でかつ効率的に除去する。 （もっと読む）

【課題】スループットを低下させることなく基板搬送部材に付着した異物を完全に除去することができる基板搬送部材の洗浄方法を提供する。
【解決手段】基板処理システム１０が備える基板搬送装置としてのトランスファモジュール１１は、チャンバ４１と、該チャンバ４１内に配置された基板搬送ユニット２９と、フォーク３１の斜め上方に配置された洗浄剤噴出ノズル４３とを備え、洗浄剤噴出ノズル４３は、フォーク３１の表面、特にテーパパッド３２の切頭円錐状部に向けて液相及び気相の２つの相状態を呈する洗浄物質、例えば、純水と、不活性ガス、例えば、窒素ガスとが混合された洗浄剤を噴出する。 （もっと読む）

【課題】建物の床面や壁面を対象とする有効適切な蒸気洗浄具を提供する。
【解決手段】蒸気洗浄機の付属品として使用されて被洗浄面に蒸気を吹き付けて洗浄作業を行うための蒸気洗浄具であって、被洗浄面としての床面１等に蒸気を吹き付けるためのノズル３と、被洗浄面に対してケレン作業を行って付着物２０を削り落としたり掻き落とすためのスクレーパー４とを、柄を兼用する蒸気管２の先端部に装着し、蒸気管の基端部に蒸気の供給停止操作を行うための蒸気噴射ガン７等の操作機構を設ける。ノズルおよびスクレーパーを装着する蒸気管の先端部を装着部２ｂとしてそこに屈曲部を設け、その装着部の軸線方向を蒸気管の本体部２ａの軸線方向に対して傾斜させる。ノズルからの蒸気の噴射方向を可変とし、蒸気管の本体部の長さを調節可能とする。 （もっと読む）

【課題】リードタイムを短くし、処理性能において従来よりも信頼性のある処理装置及び処理方法を提供する。
【解決手段】チャンバー１と、チャンバー内に設けられ、被処理物２を保持する保持手段３と、チャンバー内に活性原子を供給する活性原子供給手段４と、チャンバー内に薬液を供給する薬液供給手段５とを有し、被処理物の表面に対し、活性原子供給手段から供給される活性原子によるドライ処理及び薬液供給手段から供給される薬液によるウェット処理を行なう。 （もっと読む）