【課題】従来のような二流体ノズルや高圧ジェットを用いた場合、たとえば、パターン等が形成された基板を洗浄する場合、洗浄液の供給される力によって、基板上に形成されたパターンに損傷が生じる場合があり、一方、損傷を防止するために供給する力を抑制すれば、洗浄を十分に行えないという問題があった。
【解決手段】微細気泡を含む洗浄液を用いて基板の洗浄を行う。洗浄液を供給するノズルの先端を、基板上に形成された液膜の液面より低い位置に配置し、ノズルの先端部分付近（微細気泡発生領域）を洗浄液が通過する際に、洗浄液中に微細気泡が発生するように構成する。 （もっと読む）

【課題】カスケード方式の洗浄装置における菌体の繁殖を簡易な手段で防止することができ、被洗浄物の洗浄効率を向上させることができる洗浄装置及び方法を提供する。
【解決手段】ガラス基板１がローラー２で搬送され、ジェット洗浄ノズル３及び最終リンスノズル４で洗浄される。最終リンスノズル４に純水が供給される。最終リンスノズル４からの洗浄排水がタンク７に流入し、ポンプ９からノズル３に供給される。タンク７内の菌体数が増加した場合、タンク７内の水をオゾン水供給装置１２に循環通水し、タンク７内にオゾン水を供給し、殺菌する。 （もっと読む）

【課題】切削加工後のワークを傷付けずに、ワーク表面の付着物を効果的に除去して、洗浄品質を向上させる。
【解決手段】ノズル４１に接続した給水管４５には、純水中にマイクロナノバブルＢを発生させるマイクロナノバブル発生器４９が接続され、ノズル４１の先端はワークＷの被洗浄部近傍に配置されている。ノズル４１の吐出口部には圧力維持バルブ５１が設けられ、マイクロナノバブル発生器４９で生成した加圧過飽和状態のマイクロナノバブルＢを含む洗浄水Ｃが、洗浄中にノズル４１から吐出して、ワークＷの被洗浄部に至近距離から供給する。 （もっと読む）

【課題】管状部材の内部から開口側へ洗浄液を噴射させることにより管状部材の内面を洗浄するにあたり、洗浄ムラを生ずることなく、洗浄液の管状部材内部への逆流を防止して、洗浄効果をより高めることのできる洗浄ノズルを提供する。
【解決手段】ノズル先端側から順次、ノズル周方向にわたり形成され、ノズル先端側から後端側に向かい洗浄液を噴射する噴射スリット１１と、ノズル周方向に複数にて配置され、ノズル先端側から後端側に向かい洗浄液を噴射する噴射孔１２と、を備える洗浄ノズルである。噴射孔１２の形成方向ａとノズル軸方向ｚとがねじれの関係にあり、かつ、噴射孔１２の出口中心とノズル軸とを通る平面Ｘにおいて見た、噴射スリット１１の形成方向のノズル軸方向ｚとなす角θ_１と、噴射孔１２の形成方向ａのノズル軸方向Ｚとなす角θ_２とが、θ_１≧θ_２で示される関係を満足する。 （もっと読む）

【課題】管状部材の内部から開口側へ洗浄液を噴射させることにより管状部材の内面を洗浄するにあたり、洗浄液の管状部材内部への逆流を防止して、洗浄効果をより高めることのできる洗浄ノズルを提供する。
【解決手段】ノズル周方向にわたり形成され、ノズル先端側から後端側に向かい洗浄液を噴射する噴射スリットを備える洗浄ノズルである。噴射スリットとして、ノズル先端側から順次、第一および第二のスリット１１，１２が設けられてなり、かつ、ノズル軸方向断面における、第一のスリット１１の形成方向のノズル軸方向となす角θ_１、および、第二のスリット１２の形成方向のノズル軸方向となす角θ_２が、θ_１≧θ_２で示される関係を満足する。 （もっと読む）

【課題】外壁を洗浄するための洗浄剤を洗い流す工程に関連し、環境汚染を防ぐための新規な技術を提案する。
【解決手段】酸性洗浄剤を建物外壁の汚れ部分に直接塗布する第３工程Ｓ３と、アルカリ性洗浄水により酸性洗浄剤を洗い流す第４工程Ｓ４を有する。酸性洗浄剤を含む排水を中性に近づけることができ、そのまま下水に排水してしまう場合と比較して、環境負荷を低減することができ、環境汚染を防ぐことが可能となる。また、アルカリ性洗浄水による中和の作用によって、残留してしまった酸性洗浄剤のｐＨを高めて中性に近づけることができるため、仮に、酸性洗浄剤が完全に洗い流されない場合であっても、酸性洗浄剤を中性に近づけることによって、外壁１０の変色や劣化を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】高い洗浄力を有しながら節水効果も有する気液混合体を噴射させる洗浄水噴射装置を提供する。
【解決手段】圧縮空気９を流動させるための第１の中空部３を備えた第１の筒体２と、この第１の筒体２を，第２の中空部５を備えて収容する第２の筒体４と、第１の筒体２の外側面２ａと第２の筒体４の内側面４ａとの間に形成される水密な空隙６と、第２の筒体４の側面を貫通して形成され空隙６に洗浄水１０を供給する洗浄水供給口４ｂと、第１の筒体２の側面を貫通して形成され空隙６に供給された洗浄水１０を第１の中空部３内に導入して圧縮空気９と混合させて気液混合体１１を生成させる複数の洗浄水導入口２ｂと、第１の筒体２の端部に形成される導出口２ｄとを有し、複数の洗浄水導入口２ｂは，第１の筒体２の内側面において互いに対向して配置されることがなく、かつ、第１の筒体２の中心軸の周囲に回転対称に配置される洗浄水噴射装置１による。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成でかつ効率良く木材を洗浄できる洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄装置１は、傾斜しつつ回転可能に設けられた円筒状のドラム１０と、突出部がドラム１０の内周側に突出するように配置された複数の鋲１１と、ドラム１０の内周に水を噴霧するノズル１２と、ノズル１２に水を供給するパイプ１３と、を備える。突出部は、ドラム１０の側面に対してらせん状に設けられる。パイプ１３は、ドラム１０の外周側に沿って配置され、ドラム１０と一体回転可能に設けられるとともに、ドラム１０の一端側に開口する吸水口１３ａを有する。吸水口１３ａは、ホース１４により水源と接続され、ホース１４と吸水口１３ａは、連結器１５によって互いに相対回転可能に接続されている。 （もっと読む）

【課題】 基板の搬送速度を変更した場合においても、基板を均一に処理することが可能な基板処理装置を提供する。
【解決手段】 ガラス基板１００を水平方向に搬送する搬送ローラ９と、処理液吐出口２１が形成され、この処理液吐出口２１とガラス基板１００の表面との間が処理液の液膜により液密状態となる位置に配置された処理液吐出ノズル２と、処理液保持面３１を備え、処理液吐出口２１と処理液保持面３１との間に処理液の液溜まりを形成可能となる位置に配置された液溜まり保持部材３と、ガラス基板１００の表面に供給された処理液がガラス基板１００の搬送方向に対して上流側に流出することを防止するためのエアナイフ５と、ガラス基板１００の裏面に洗浄液を供給する一対の裏面洗浄部４とを備える。 （もっと読む）

【課題】被処理物に形成された凸パターンに対する超音波洗浄時のダメージを抑え、かつ凹パターンの底部及び側壁部も十分に洗浄し得る超音波処理技術を提供する。
【解決手段】被処理物を超音波により洗浄処理する超音波処理装置を、超音波振動を放射する超音波振動部と、前記超音波振動部に電力を印加する発振部と、前記被処理物と該被処理物を処理する処理液を収容する収容部を有し該収容部内へ前記処理液を供給する処理液供給部とを備えるように構成し、前記処理液供給部が、前記収容部内へ供給される前の前記処理液を脱気する。 （もっと読む）

【課題】操作性が高く、安価な車両用洗浄装置を提供すること。
【解決手段】車両用洗浄装置は、タンクＴに貯留された洗浄液を給送するための電動ポンプＰと、給送された洗浄液を車両後部に配置された車載カメラ１０のガラス窓１０ａに向けて噴射するためのカメラ・ウォッシャノズルＮ２とを備える。又、車両が後進状態であることを示す後進状態信号Ｘの入力に基づいてディスプレイＤＳＰに車載カメラ１０が撮像した画像を表示させるとともにカメラ洗浄用のタッチパネルスイッチＴＳＷを表示させ、該カメラ洗浄用のタッチパネルスイッチＴＳＷの操作に基づいてカメラ・ウォッシャノズルＮ２に洗浄液を給送すべく電動ポンプＰを駆動する制御部Ｓを備える。 （もっと読む）

【課題】清掃対象表面に付着した汚染物質を効率的に清掃して分離回収する。
【解決手段】清掃対象Ａ表面に対向して周縁部が接触配置される清掃ヘッド１と、清掃流体Ｆが清掃ベッド１の内部空間１ｃを介して循環する流体循環配管２と、清掃流体Ｆが補充可能に貯留される貯留タンク３と、貯留タンク３に貯留される清掃流体Ｆを流体循環配管２に循環させる循環駆動源４と、清掃流体Ｆに対し汚染物質Ｃがイオン結合する塵物質Ｗから分離可能となる特性の分離因子を供給する分離因子供給手段５と、流体循環配管２を循環する清掃流体Ｆを加圧した状態で清掃ヘッド１の流体吐出口１ａから清掃ヘッド１の内部空間１ｃに吐出させる加圧吐出手段６と、流体循環配管２のうち清掃ヘッド１の流体回収口１ｂから貯留タンク３に至る途中に設けられ、循環する清掃流体Ｆ中に含まれる塵物質Ｗと汚染物質Ｃとを分離した状態で回収する回収手段７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】従来マットレス等の福祉用具を洗浄・乾燥消毒等を行う衛生処理装置ではマットレスを横置きにし、片側面のみの自動洗浄液処理であるため効果が不十分であった。更に脱水・乾燥を伴う型式の装置では、長時間の運転が必要であり不経済であるばかりかマットレスが変形する可能性もあり、普及上の障害となっていた。そのためそれら普及阻害要因を解消し、リフレッシュ効果の高い装置を提供する。
【解決手段】乾燥室を形成するキャビネット1内に棚台を設けてマットレス等２を載置し、熱風を棚台３上方の空間から、マットレス等２を通過して棚台３下方の空間に至り循環する風路を形成し、熱風温度を可変に設定すると共に押さえ板１０によって、変形・劣化したマットレス２を再生できる機能を有し、更に局部汚れへの対応を図り、両面の洗浄から乾燥消毒までの一連の工程を自動的に行うように構成した。 （もっと読む）

【課題】蒸着マスクに強固に付着した付着物を、蒸着マスクにダメージを与えるおそれを低減しつつ、効率よく除去する蒸着マスク洗浄装置、蒸着マスク洗浄システムおよび蒸着マスク洗浄方法を提供する。
【解決手段】有機ＥＬデバイスの製造工程に用いられる蒸着マスク１６を洗浄するための蒸着マスク洗浄装置としての電解洗浄装置１３は、蒸着マスク１６を収容する洗浄槽としての電解槽２０と、電解槽２０にアルカリ性の電解液を供給するポンプ２１および貯留槽２２からなる電解液供給部と、洗浄槽内に設けられている陽極電極２３および陰極電極２４の電極と、陽極電極２３および陰極電極２４の電極間に通電する通電部２６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 大型基板洗浄工程における高圧水噴射ノズルの使用において、ミストを基板近傍点で回収し、装置全体に拡散しないクリーンな作業環境にできるミスト回収装置を提供することにある。
【解決手段】 高圧水ノズル２では本来の高圧ジェット微粒子３が高速噴射されるが、微粒子外縁部では周囲気流の巻き込みによるミスト４が拡散状に大量発生する。この拡張現象を利用し、密度の小さなミスト４はおわん型の内周カップ５と外周カップ６で形成される段差状の開口部よりリング状空間に自己誘導され、ミスト吸引管６ｂで外部に放出される。吸引に大きなエネルギーを要する基板上の洗浄拡散流水３ａは外周カップ６と基板７とのスキマＳｏより自己放出される。 （もっと読む）

【課題】分散機運転中の処理効率の低下が抑制される媒体撹拌型分散機を提供する。
【解決手段】被処理液を導入する液入口１６と処理後の処理液を排出する液出口２０とを有する分散容器１０と、分散容器１０の内部に設けられた撹拌手段と、分散容器１０の内部に設けられ、液出口２０を覆うスクリーン１４と、分散処理中に、液出口２０側からスクリーン１４の内部に備えた回転ノズルよりスクリーン１４の内面へ向かって流体を噴射する逆洗手段と、を有する媒体撹拌型分散機である。 （もっと読む）