【課題】ＰＣＢ汚染フィルム素子の洗浄後に保管する場合における保管施設内の作業環境の悪化を防止することができるＰＣＢ汚染フィルム素子の処理装置及び方法を提供する。
【解決手段】細分化（粉砕、裁断等）されたＰＣＢ汚染フィルム素子１１をＰＣＢ除去溶剤（ＩＰＡ、ＮＳ１００、ヘキサン等）１２で洗浄するＰＣＢ除去洗浄装置１３と、前記ＰＣＢ除去洗浄装置１３で洗浄した後、ＰＣＢ除去フィルム素子１４中の残留ＰＣＢ濃度を判定する卒業判定装置１５と、判定合格ＰＣＢ除去フィルム素子１４Ａが詰め込まれた網目状の袋に、ドライアイスを投入し、ドライアイスの昇華により二酸化炭素を発生しつつ、残留するＰＣＢ除去溶剤１２を揮発・除去させ、脱溶剤ＰＣＢ除去フィルム素子１４Ｂとする溶剤除去装置１６と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】中心部が非円筒形状となるように巻回された拭き取りシートを、円筒状の巻芯に巻き付け直すことなく容易に収容できるようにした付着物除去装置を提供する。
【解決手段】付着物Ｐの拭き取りに使用された後で巻回された拭き取りシートＳは、収容ユニット２０に収容される。巻回された拭き取りシートＳの中心部には、軸部材２５が挿通されており、拭き取りシートＳが引き出されて回転すると、巻回された拭き取りシートＳの中心部内を軸部材２５が相対的に摺動しながら移動する。 （もっと読む）

【課題】装置の大型化を抑制し基板上の薬液が累積することなく液切りが良好に行える薬液処理装置を提供する。
【解決手段】帯状の基板(1)を長手方向(DR1)に搬送する基板搬送部(51)を備え基板(1)を搬送しつつその上表面(1u)に付着した薬液(LQ)の液切りを行う。基板搬送部(51)は、基板(1)を上下から対向挟持して搬送させる上ローラと下ローラとからなるローラ組を、第１〜第３のローラ組(R3〜R5)として長手方向(AR1)に沿ってその順に有する。上ローラと下ローラとによって基板(1)を挟む挟持位置について、第２のローラ組(R4)の挟持位置(KP4)が第１及び第３のローラ組の挟持位置(KP3,KP5)よりも低い位置にある。 （もっと読む）

【課題】井戸水等の汎用の水を使用して、エラストマからなる基体の表面を、水性塗料の塗りむらが発生して表面層の厚みが不均一にならない状態に洗浄できるエラストマの洗浄方法と、エラストマからなる無端ベルト状の基体の表面に、水性塗料の塗りむらによる厚みの不均一のない均一な表面層が形成されたシームレスベルトとを提供する。
【解決手段】洗浄方法は、エラストマからなる基体を、水溶性洗浄剤の水溶液によって洗い、水によって濯いだのち、
(ア) 第三級アセチレングリコールとアルコールとの混合物、または
(イ) 第三級アセチレングリコールのポリエーテル化物
の、濃度０．２〜０．７質量％の水溶液に浸漬してかく拌する最終濯ぎをしたのち乾燥させる。シームレスベルトは、無端ベルト状の基体を前記洗浄方法によって洗浄後、その表面に水性塗料を塗布して形成された表面層を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、微生物が関与する様々な分野において、硬質表面等に形成されたバイオフィルムを効果的に除去でき、更に除菌作用も発揮できるバイオフィルム除去用組成物を提供することである。
【解決手段】定構造の第四級アミン化合物を使用することにより、バイオフィルムを効果的に除去でき、しかも微生物の除菌も可能になる。 （もっと読む）

【課題】金属帯の表面を電解洗浄するにあたって、板幅方向に均一に電解洗浄することを可能とする。
【解決手段】連続的に搬送される金属帯１の表面を電解洗浄する金属帯１の連続電解洗浄方法において、金属帯１の電解洗浄すべき洗浄面１ａと相対向してその金属帯１の搬送方向Ｐに順に第１電極３１及び第２電極３３を配設する。第１電極３１及び第２電極３３から金属帯１の洗浄面１ａに金属帯１の板幅以上の幅をもつ層状のラミナー流Ｗｒとしての電解液を噴射する。第１電極３１及び第２電極３３の何れか一方を陽極、他方を陰極としてこれらの間で電圧を印加して、噴射している電解液Ｗｒ及び金属帯１を通して通電させる。これにより、金属帯１の板幅方向端部での電流集中を抑えて、金属帯１の板幅方向に均一に電解洗浄することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 ガラス・シリコン薄膜・フイルム等の大面積基板の薬液反応において、薬液との接液を面状態とし、さらに節液状態で行える超音波薬液反応装置を提供することにある。
【解決手段】 薬液供給口２１，３２より薬液６０を上下薬液槽２０，３０に送り、上部薬液槽２０の液吸引パイプ２３からの流量バランスで、基板出入り口になる上下槽間の空隙部１２に薬液６０を保持する。薬液６０には下部槽３０より超音波定在波１３が付加され、振動波の最大振幅位置と一致させた空隙レベルに基板５０をローラー４０で搬送し、キャビテーション効果で基板表裏の薬液反応を促進化させる。液吸引パイプ２３の位置を振動波の最小振幅位置と一致させ液面レベルを反射面として機能させる。 （もっと読む）

【課題】可撓性を有する樹脂成形体に付着した付着物を有効に洗浄できるとともに、上記樹脂成形体を脱臭することができる樹脂成形体の洗浄処理装置を提供する。
【解決手段】樹脂成形体が投入される投入口１１と、水平方向に長さを有し、一端側には上記投入口１１と連通し、内部には上記樹脂成形体が収容される収容空間を有してなり下面には複数の開口が形成された処理槽３１と、この処理槽３１内に配置され、駆動装置２１により回転駆動する回転軸７２と、基端が上記回転軸７２にそれぞれ固定され、先端は上記処理槽３１の内側に位置してなる複数の回転羽根と、上記処理槽３１の他端側に形成され、上記樹脂成形体が洗浄された後に排出される排出路６９と、上記処理槽内の上流側に洗浄水を噴射する洗浄水噴射ノズル７６と、この洗浄水噴射ノズル７６よりも下流側に殺菌水を噴射する殺菌水噴射ノズル７８と、がそれぞれ配置されてなる。 （もっと読む）

【課題】不良デバイスの発生を抑制できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置は、第１供給部からの帯状の基板を第１回収部へ送る第１送り機構と、第１供給部から送られた基板の裏面の少なくとも一部にカバー部材を着ける第１装置と、裏面にカバー部材が着けられた状態で第１装置から送られた基板の表面の処理を行う表面処理装置と、表面処理装置と第１回収部との間に配置され、表面処理装置から送られた基板からカバー部材を離す第２装置と、を備える。 （もっと読む）

【課題】フィルムに傷などの物理的欠陥を起こさないフィルム洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄液を供給する供給部材と、前記供給部材に形成され、走行するフィルム面に洗浄液を吹付ける洗浄液吐出口を設け、前記供給部材とフィルム面の間に洗浄液を流す洗浄部を構成したフィルム洗浄装置において、前記供給部材に、前記洗浄部を流れた洗浄液を回収する洗浄液回収口と、気体をフィルム面に供給する気体供給口を設け、前記洗浄液回収口付近の圧力がフィルムと前記供給部材が接触しない圧力以上に維持されるように、前記気体供給口からフィルム面に気体を供給することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】洗浄水の水流により微細な異物（埃）を効果的に除去することができる、フィルム洗浄装置を提供する。
【解決手段】１または２枚の供給部材と、前記供給部材に形成され供給部材に平行に走行するフィルムの表裏面の少なくとも一方の面に対して洗浄液を吹付ける洗浄液吐出口を備え、前記洗浄液吐出口を、走行するフィルムの面に対して複数方向の洗浄液の流れを形成するように構成した。前記洗浄液吐出口を、走行するフィルムに対してＶ字状に構成するのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】複数の半導体ウエハ等といった複数の被処理物を処理液に浸漬するに際して、これら被処理物の間で処理具合にばらつきが生じないようにする。
【解決手段】処理装置１が、処理液３０が貯留される処理槽２と、処理槽２内に配置され、処理槽２内で回転する回転車４と、被処理物３２をそれぞれ保持し、回転車４に取り付けられ、回転車４の第１の回転軸６を中心にした円周方向に沿って配列された複数の保持具１０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】高い清浄度でウェブを洗浄する。
【解決手段】表面に洗浄液が供給される洗浄ローラ５に、当該洗浄ローラ５上に形成される洗浄液の液膜を介してウェブ２を巻装させた状態で、当該ウェブ２が搬送させられ、洗浄ローラ５の周速度とウェブ２の搬送速度とが異なる速度に制御される。これにより、洗浄ローラ５とウェブ２との間に、大きな速度勾配を持った液流を有する薄い液膜が容易に形成され得る。かかる液流により、ウェブ２へのダメージを抑えて、効果的に異物がウェブ２から除去される。 （もっと読む）

【課題】高い清浄度でウェブを洗浄する。
【解決手段】ウェブ２の表裏面の少なくとも一方の面に対して、洗浄液が供給される。これにより、ウェブ２の面に沿った液流が発生させられる。この洗浄液には、ウェブ２の面に存在する異物１１に接触させるためのブラスト材１２が混入されている。したがって、ウェブ２の表面に沿った液流自体による剥離作用だけでなく、ブラスト材１２が接触することによる剥離作用が、異物１１に対して働く。このようにして、ウェブ２の面に沿った液流により、ウェブ２の面に存在する異物１１が除去される。 （もっと読む）

【課題】帯状金属のメッキ前処理における超音波洗浄装置において、被洗浄対象面に対し超音波洗浄適正距離を確保し、かつ被洗浄対象反対面に対しても有効な超音波洗浄を与える装置を提供する。
【解決手段】超音波照射手段１を有し、この超音波照射手段によって洗浄液に超音波振動８を与え超音波洗浄液を生成する。超音波洗浄液中に周波数に応じた、１/２波長の整数倍の距離に被洗浄物表面５を通過させ、超音波洗浄を行い、被洗浄物表面５に照射されず通過した超音波振動を超音波振動子と相対して設置された９０°の開き角を持った反射部品４にて反射させ、超音波振動子側から隠れた被洗浄物の反対面に対しても超音波振動を照射し洗浄することを可能とした超音波洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】メタルマスク版の表面にはみ出した半田等の付着物の拭き取りに使用した拭き取りシートから付着物を除去して、拭き取りシートを何度も再利用できるようにした付着物除去装置を提供する。
【解決手段】拭き取りシートＳに染み込んだ液媒体及び振動ユニット４０により剥離された後で拭き取りシートＳ表面に再付着した付着物を吸引除去する吸引除去ユニット５０を備える。吸引除去ユニット５０は、拭き取りシートＳが巻き掛けられる面に吸引孔５１ａが形成された筒状の吸引ノズル５１と、吸引ノズル５１内の空気を吸引する吸引ポンプ５２とを有する。吸引ノズル５１には、吸引ポンプ５２が接続される一方、開口部には蓋部材が着脱自在に取り付けられる。 （もっと読む）

【課題】金属条（金属板、ストリップ）を連続的に酸洗を行うに当たり、酸洗むらの発生がなく、しかも金属化合物等によって金属条に疵等が付かない金属条の酸洗装置及びその方法を提供する。
【解決手段】水平搬送される金属条１１の表裏面を酸洗液により洗浄する金属条の酸洗装置及び方法であって、金属条１１を隙間を有して囲む内側断面長方形の矩形流路１２、１３と、矩形流路１２、１３の下流側にあって、金属条１１の全幅の表裏面に向けて斜め下流方向から酸洗液を吹き出す上スリット２５、２６及び下スリット２７、２８と、これらから噴出される酸洗液を回収する液受け手段３０〜３２と、液受け手段３０〜３２によって回収された酸洗液をタンク３４に溜めて、上スリット２５、２６及び下スリット２７、２８に送る循環ポンプ３５とを有する。 （もっと読む）

【課題】マイクロスクラッチの発生を抑制して、ステンレス鋼板の研磨を行う。
【解決手段】帯状ステンレス鋼板１を研磨した後、鋼板上の研磨液３の洗浄及び、鋼板１の乾燥を行う鋼板１の研磨方法であって、（１）鋼板１を研磨した領域の鋼板１の長手方向の両端近傍の上部に設けられた１対の洗浄ノズルから鋼板上に洗浄液を供給し、鋼板上の１対の洗浄ノズル間に研磨液３と洗浄液を滞留させた後、研磨液３を、研磨液除去材料を用いて洗浄液と共に鋼板１の幅方向端部から外部へと洗い流す。（２）鋼板１の長手方向において、研磨した領域、洗浄ノズル及び乾燥ノズルの順で鋼板１の上部に設けられた乾燥ノズルから鋼板上にガスを供給し、洗浄ノズルと乾燥ノズルの間に洗浄液を滞留させ、かつ鋼板１を洗浄ノズルから乾燥ノズル方向へ向って移動させながら前記ガスにて鋼板上の洗浄液を順次吹き払って鋼板１を乾燥する。 （もっと読む）

【課題】小粒子、すなわちおよそ１〜５０μｍの粒子を、１．２ｍｍ以下の厚さを有するガラスシートの表面から効果的に洗い落とす方法を提供する。
【解決手段】コンベヤ４０がガラスシート２を支持し、流体散布器２０のノズルバンク２２ｃ，２２ｄに設けられたノズル２４から、ガラスシート２の主表面６に向けて流体３２が噴出される。流体３２は１０〜８０ｋｇ／ｍ²（９８．０７〜７８４．５Ｐａ）の圧力および１〜２０Ｌ／分の流量でノズル２４に送り込まれ、かつガラスシート２はノズル２４に対し搬送速度４〜６ｍ／分で搬送方向４に移動する。ノズル２４はガラスシート２から１００ｍｍ未満離れて配置される。 （もっと読む）

【課題】 養殖物や天然物を水中から引上げるときに、それらがスリップせずに確実にかつ容易に引上げられる洗浄装置を提供する。
【解決手段】 被洗浄物を水中から引上げる引上げガイドと、引上げた被洗浄物を搬送しながら洗浄液で洗浄する洗浄機を設け、引上げガイドを洗浄機の入口側手前から船の外まで突設し、引上げガイドは被洗浄物を水中から引上げ可能な回転コンベア式とし、洗浄機は引上げガイドで引上げられた被洗浄物を搬送する搬送体と、搬送中に被洗浄物に洗浄液を噴射する噴射体を備えたものとした。引上げガイドを、被洗浄物を引上げる引上げ駆動体とそれにより水中から引上げられた被洗浄物を洗浄機に案内する非駆動式のスライド台で構成した。 （もっと読む）