【課題】蒸着マスクに強固に付着した付着物を、蒸着マスクにダメージを与えるおそれを低減しつつ、効率よく除去する蒸着マスク洗浄装置、蒸着マスク洗浄システムおよび蒸着マスク洗浄方法を提供する。
【解決手段】有機ＥＬデバイスの製造工程に用いられる蒸着マスク１６を洗浄するための蒸着マスク洗浄装置としての電解洗浄装置１３は、蒸着マスク１６を収容する洗浄槽としての電解槽２０と、電解槽２０にアルカリ性の電解液を供給するポンプ２１および貯留槽２２からなる電解液供給部と、洗浄槽内に設けられている陽極電極２３および陰極電極２４の電極と、陽極電極２３および陰極電極２４の電極間に通電する通電部２６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、射出成形で得られる樹脂基板をマイクロ流路デバイスとして用いる場合であってもウェルドラインの発生が問題とならないようなマイクロ流路デバイスの製造方法を提供することにある。
【解決手段】 本発明のマイクロ流路デバイスの製造方法は、一方の面に流路用溝が形成された樹脂基板と、前記流路用溝が形成された面を覆うように配置される樹脂フィルムとを、貼り合わせて接合体を得る貼着工程と、前記接合体を加熱処理する加熱工程とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 傾斜面に沿って斜めに載置される可撓性対象を効率よく洗浄でき、しかもコンパクトな洗浄装置を提供する。
【解決手段】 傾斜面と直交するように配置される平行な第１、第２縦レール４、５と、第１、第２縦レール４、５に沿って走行可能な第１、第２フレーム６、７と、第１、第２フレームを連結する横レール９と、横レール９に沿って傾斜面に沿って横行するノズルフレーム１１とを備え、横レールは、傾斜面に平行で間隔を開けて位置する水平上片及び水平下片と、これらを連結する起立片とを有し、ノズルフレーム１１の上部には、水平下片の上面に接する上部ローラ１６と水平下片の下面に接する下部ローラ１７とが設けられ、ノズルフレーム１１は、上部ローラ１６と下部ローラ１７が横レール９を挟持することにより支持される。 （もっと読む）

【課題】 養殖物や天然物を水中から引上げるときに、それらがスリップせずに確実にかつ容易に引上げられる洗浄装置を提供する。
【解決手段】 被洗浄物を水中から引上げる引上げガイドと、引上げた被洗浄物を搬送しながら洗浄液で洗浄する洗浄機を設け、引上げガイドを洗浄機の入口側手前から船の外まで突設し、引上げガイドは被洗浄物を水中から引上げ可能な回転コンベア式とし、洗浄機は引上げガイドで引上げられた被洗浄物を搬送する搬送体と、搬送中に被洗浄物に洗浄液を噴射する噴射体を備えたものとした。引上げガイドを、被洗浄物を引上げる引上げ駆動体とそれにより水中から引上げられた被洗浄物を洗浄機に案内する非駆動式のスライド台で構成した。 （もっと読む）

【課題】ザラボヤとか他の雑物が大量に付着した貝付きロープであっても、それがスリップせずに確実に引き上げ可能な漁業用回転体と、洗浄装置を提供する。
【解決手段】海中に吊るしてある貝付きロープを胴体に掛けて引き上げる漁業用回転体において、細幅の長板を波形に曲げて貝付きロープを係止可能とした波板、又はその波板を波の高さ方向に多数本連続させて貝付きロープを係止可能とした波状網を胴体表面に取り付けた。貝類が吊下げロープに係止された貝付きロープを海中から引き上げる回転体を備え、回転体の外周に掛けて引き上げた貝付きロープを洗浄可能な洗浄装置の回転体として前記漁業用回転体を備えた。 （もっと読む）

【課題】彫刻欠陥、特にキャップの効果的な除去方法であって、彫刻エッジを損傷しない方法を提案する。
【解決手段】本発明は、フレキシブルキャリア上に堆積された金属膜からマスク投影レーザーアブレーション彫刻欠陥を除去する方法に関する。本発明によると、前記方法は、約１５００ＰＳＩから約３０００ＰＳＩの間で加圧された液体を前記欠陥上に噴霧することを含む。 （もっと読む）

【課題】気体溶解膜モジュールを用いてガス溶解水を製造する方法及び装置において、溶存ガス濃度を変動させることなく、凝縮水を排出することができるガス溶解水製造方法及び装置を提供する。
【解決手段】原水を水室５に通水し、気体室６内に気体室６にガス供給源１０からガスを供給し、ガス溶解水を製造する。運転を継続すると、気体透過膜４を透過した水が凝縮して気体室６に徐々に凝縮水が溜まってくる。気体室６内の水量が増加してくるとそれに伴って徐々に気体室６内の圧力が増大してくる。この気体室６内の圧力がチャッキ弁１４のクラッキング圧力以上になるとチャッキ弁１４が開弁し、気体室６内の水が配管１５を通って排出される。 （もっと読む）

【課題】微細な回路が形成されたテープ状物やスペーサテープに付着した異物を洗浄除去するために好適に用いられる洗浄装置及び洗浄方法を提供する。
【解決手段】被洗浄体の移動経路上で被洗浄体を洗浄する洗浄装置であって、被洗浄体を移動させる被洗浄体搬送手段、先端に設けた水供給ノズルから水を噴出して被洗浄体の表面に水膜を形成させる水供給手段、及び、先端に設けた過熱水蒸気供給ノズルから水膜の温度よりも高い温度の過熱水蒸気を噴出して水膜に当てる加熱水蒸気供給手段を備える洗浄装置。 （もっと読む）

【課題】 スポンジ板を搬送している間にスポンジ板の搬送姿勢を前縁が搬送方向に対して直角な方向になるように正すことができるスポンジ板洗い機を提供する。
【解決手段】 正逆回転可能な供給側絞りローラ対６と、正逆回転可能な排出側絞りローラ対７と、供給側絞りローラ対と排出側絞りローラ対の間に位置する正逆回転可能な送りローラ対８とを備え、供給側絞りローラ対６と排出側絞りローラ対７の距離をスポンジ板５の搬送方向長さより大きくし、供給側絞りローラ対６と送りローラ対８間及び排出側絞りローラ対７と送りローラ対８間の距離を夫々スポンジ板５の搬送方向長さより小さくし、送りローラ対８の上下ローラ間の間隙をスポンジ板５の厚みより僅かに小さくしてある。 （もっと読む）

【課題】陰極用のエッチング箔のケミカル洗浄における過度の溶解に起因するエッチング減量の増加、および容量低下を防ぐことのできる電解コンデンサ用陰極箔の製造方法を提供する。
【解決手段】アルミニウムまたはアルミニウム合金からなる箔を塩素イオンを含有するエッチング液中で電気化学的または／および化学的にエッチングするエッチング工程と、エッチング後の箔をケミカル洗浄液と接触させて当該箔に付着している塩素イオンを除去するケミカル洗浄工程とを行ってアルミニウム電解コンデンサ用陰極箔を製造する際、ケミカル洗浄液には、錫イオンや鉛イオンなどの金属イオンを０．０５〜１ｐｐｍ添加しておく。 （もっと読む）

【課題】 基板に機械的接触をすることなく、かつ少ない洗浄用液の使用量で基板表面に存在する異物を充分に除去することができる基板洗浄装置を提供する。
【解決手段】 基板洗浄装置１は、基板２の一方の表面である被洗浄面２ａを臨んで設けられる洗浄液供給部４と、被洗浄面２ａを臨み洗浄液供給部４と略平行になるように設けられる洗浄ローラ５とを備える。洗浄液供給部４は、被洗浄面２ａに洗浄液３を供給し、洗浄ローラ５は、矢符１７方向へ回転することによって、供給された洗浄液３を被洗浄面２ａと洗浄ローラ５との間に形成される間隙６へ送込み、間隙６に洗浄液３のせん断流れを形成して被洗浄面２ａを洗浄する。 （もっと読む）

【課題】効率良くしかも連続してパネルのクリーニング作業が行なえるパネル用クリーニング装置を提供する。
【解決手段】搬送経路中には、回転駆動によりパネルの表面をクリーニングするためのクリーニングローラ機構３と、クリーニングローラ機構にパネルを搬入するためのパネル搬入部４と、パネル搬出部５とが備えられ、パネル搬入部及びパネル搬出部には、パネルを挟持して搬送するためのニップローラ対４１，４２が備えられており、クリーニングローラ機構が、パネルの両面を同時にクリーニングするための一対のクリーニングローラ３ａ，３ｂから構成されるとともに、帯状のクリーニングテープ３１をローラ本体のローラ面に螺旋状に巻き付けて構成し、またクリーニングローラ機構の近傍には、洗浄液をパネルに吹きつけるための洗浄液噴射部６が設けられた。 （もっと読む）

【課題】大型基板を洗浄する場合でも、基板全面に均一に洗浄液を供給でき、しかも洗浄力を上げるために洗浄液の供給圧を高めても膨れなど変形を起こすことなく、噴射開口部の長手方向のどの部位でも、常にほぼ一定の噴射液量を維持することができる基板洗浄ノズルおよびそれを含む基板洗浄装置を提供する。
【解決手段】基板洗浄ノズル２と、基板搬送手段３０と、洗浄液供給手段３１とを含む基板洗浄装置１において、基板洗浄ノズル２を、凹所が形成される第１の構成部材５と、第１の構成部材５との接合面２０が段差を有する第１平面部２０ａと第２平面部２０ｂとからなる第２の構成部材６との接合体であって、第１平面部２０ａが第１の構成部材５に当接し、第２平面部２０ｂが第１の構成部材５に当接しないように形成する。 （もっと読む）

【課題】 少量のシート状材料を洗浄する場合であっても、均一に効率よく洗浄できるシート状材料の洗浄治具およびその洗浄治具を用いた洗浄方法を提供すること。
【解決手段】 洗浄治具１は、シート状材料６の上辺部をクランプしてシート状材料６を吊下げるハンガー３と、このハンガー３により吊下げられるシート状材料６に隣合い、シート状材料６の水平方向の移動を制限するとともに液体が流通する開口部４ａを有するセパレータ４とをラック２に組み込んで構成されている。この洗浄治具１を、洗浄液を充填した洗浄槽に浸漬してシート状材料６を洗浄する。 （もっと読む）

【課題】マスク洗浄方法を提供する。
【解決手段】マスクに付着された物質にレーザビームを照射するステップと、マスクに付着された物質を除去するステップと、を含むことを特徴とするマスク洗浄方法である。これにより、マスクに付着された物質を迅速かつ効率的に除去できる。また、マスクに付着された物質を除去するステップは、マスクを超純水に浸漬するステップと、マスクを有機溶剤に浸漬するステップと、を含むものであることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 処理ごとにカップ内の洗浄を行うことにより、乾燥固化が著しい処理液であっても確実に洗浄可能で、装置稼働率を低下させることがない回転塗布装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 基板Ｗの処理ごとにエッジリンスノズル２１に対する飛散防止カップ７及び整流板１７の位置を変えることによって、飛散防止カップ７の一部が少しずつ洗浄され、ある枚数の基板Ｗに対する処理を終えた時点でその全面を洗浄できる。したがって、ＳＯＧ液が飛散防止カップ７で固化してしまう前に洗浄するので、付着したＳＯＧ液を容易に除去でき、装置稼働率を低下させることがない。その上、飛散防止カップ７の全面を一度に洗浄するのではなく、一部を少しずつ洗浄してゆくので、洗浄液の気化に伴う雰囲気温度の著しい低下が抑制でき、膜厚の面内均一性を低下させることがない。 （もっと読む）

【課題】アッシング残渣の剥離液を提供する。
【解決手段】0.007〜0.04mol/kgの酸、前記酸の２０倍以上の濃度の非金属フッ化物塩および水を含む、ドライエッチング及び／又はアッシングにより生じたCu/low-k多層配線構造のアッシング残渣の剥離液。 （もっと読む）

【課題】 破砕された樹脂製シート等が回転軸に絡まないような洗浄装置を提供する。
【解決手段】 異物により汚染された樹脂製シート等の投入口と、投入樹脂製シート等が滑る傾斜板２３ｄとを有するホッパーと、水平方向に長さを有し、一端側には該ホッパーと連通した開口を有するとともに、内部は上記汚染樹脂製シート等を洗浄する円筒状の処理槽と、該処理槽内に配設された回転軸と、基端が回転軸に固定され、先端が該処理槽の内周面側に位置し、該処理槽の長さ方向と同じ方向に長さを有する複数の回転羽根と、該処理槽内に洗浄液を噴射する噴射ノズルと、異物および洗浄液の排出口と、該処理槽の他端側に形成された洗浄後の樹脂製シート等の排出路とを備え、上記傾斜板の処理槽側端部は上記複数の回転羽根が水平とされた状態において、該回転羽根の上面よりも上方に位置し、該複数回転羽根の傾斜板側端部は回転方向に傾斜してなる。 （もっと読む）

【課題】 基板処理装置のさらなるコンパクト化を実現することができるようにする。
【解決手段】 搬送路１７１に沿って略水平姿勢で搬送されつつある基板Ｂに所定の処理を施す基板処理装置１０であって、搬送中の基板Ｂに所定の処理液を供給する処理液供給装置としての、供給した処理液を基板Ｂから回収可能に構成された液回収型ノズル装置２０と、前記処理液が供給された後の基板Ｂ上に残留している処理液を除去する処理液除去装置としての、基板Ｂ上の残留処理液を気流によって吹き飛ばすように構成されたエアナイフ３０とが搬送路１７１に沿って直列に配設されている。 （もっと読む）