【課題】最適の噴射液塗布(洗浄)性能が発揮できるようにする。
【解決手段】互いに離隔配列される二つの支持体と、ボトムシャフト両端部に結合される二つのボトム移送ローラーの外周面に放射状に２以上の整数個のワイヤ両端部が連結されるボトム連結部材とを有する複数のボトム回転移送体と、トップシャフトの両端部に結合されるトップ移送ローラーとを含む複数のトップ回転移送体と、ボトム及びトップ回転移送体のボトム及びトップシャフトを回転させボトム及びトップ回転移送体の間に移送対象体を移送させる駆動手段と、中継シャフト両端部にそれぞれ結合される二つの中継移送ローラーの外周面に放射状に２以上の整数個のワイヤ両端部が連結される中継連結部材とを含む複数の中継回転移送体の中継シャフトを回転させるために駆動手段の動力を中継シャフトに伝達する連動手段とからなる。 （もっと読む）

【解決手段】 物品洗浄装置１は、洗浄液１３を貯溜した洗浄槽３と、洗浄液１３を攪拌する攪拌手段２１とを備えている。攪拌手段２１は、対向する壁面３Ａ，３Ａ’に配置された複数の噴射ノズル２２と、複数の電磁開閉弁２５とを備えており、それらの作動は制御手段２６によって制御される。
複数の金属部品Ｗを収容した洗浄カゴＢを洗浄液１３内に浸漬させ、その状態において制御手段２６がポンプＰを作動させるとともに所要箇所の電磁開閉弁２５を開放させる。すると、開放された電磁開閉弁２５と対応する噴射ノズル２２から洗浄液１３が噴射されて、洗浄槽３内の洗浄液１３は例えば時計方向に流動し、攪拌される。
【効果】 金属部品Ｗを効率的、かつ均一に洗浄することができる。 （もっと読む）

【課題】液切処理にかかる時間を短縮できる液切処理装置、液処理装置及び液切処理方法を提供する。
【解決手段】液処理装置１は、キャリア２に液処理を施す液処理部１０と、液処理後のキャリア２が搬送される搬送部２０とを有する。搬送部２０は、搬送レール２１と、液切処理部２２とを有する。液切処理部２２は、回転テーブル２４と、回転テーブル２４上に固定され、搬送レール２１から搬送されるキャリア２を水平状態に保持する回転レール２３と、回転テーブル２４を回転駆動し、回転レール２３に保持されたキャリアを高速回転させる駆動モータとを有する。 （もっと読む）

【課題】 端縁に段差を有する基板を処理する場合であっても、端縁を十分清浄に洗浄処理し、乾燥させることが可能な基板処理装置を提供する。
【解決手段】 電子ペーパ製造用基板１０は、最初にレジストの剥離処理がなされる。次に、電子ペーパ製造用基板１０は、洗浄液噴出ノズル５１からその長辺Ｓ１に洗浄液が噴出され、その長辺Ｓ１を洗浄処理されるとともに、表面および裏面に洗浄液を供給されて洗浄処理され、さらに、洗浄液噴出ノズル５２からその短辺Ｓ２に洗浄液が噴出され、その短辺Ｓ２を洗浄処理される。そして、電子ペーパ製造用基板１０はエアナイフ８０によりその両面の洗浄液を除去された後、ヒータ部９０によりその長辺Ｓ１および短辺Ｓ２を乾燥処理される。 （もっと読む）

【課題】排気効率およびスペース効率を改善し、液切り乾燥直後の乾いた基板にミストが付着するのを十全に防止する。
【解決手段】上部および下部エアナイフ１２２Ｕ，１２２Ｌがそれらの間を通過する基板Ｇに対してナイフ状の鋭利な高圧エア流を吹き付けることにより、両エアナイフ１２２Ｕ，１２２Ｌの上流側の空間に多量のミストが発生する。基板Ｇの上で発生したミストの大部分は、下流側のＦＦＵ１３６から隙間Ｋを通って廻ってくる空気および入口１１８から入ってくる空気と一緒に上部排気口１２４に吸い込まれる。基板Ｇの下で発生したミストは、その全部がＦＦＵ１３６から廻ってくる空気および入口１１８から入ってくる空気と一緒に下部排気口１２６，１２８に吸い込まれる。 （もっと読む）

【課題】 多量の処理液を消費することなく基板の表面全域に有効に処理液を供給することが可能であり、さらに、処理液を回収して再利用することが可能な基板処理装置を提供する。
【解決手段】 各塗布ユニット１ａ、１ｂは、複数の搬送ローラ９により搬送されるガラス基板１００の表面に処理液を供給するための第１処理液吐出ノズル２と、この第１処理液吐出ノズル２との間に処理液の液溜まりを形成するとともに、複数の搬送ローラ９により搬送されるガラス基板１００の裏面に処理液を供給するための第２処理液吐出ノズル４とを備える。搬送ローラ９により搬送されるガラス基板１００に対し、このような構成を有する２個の塗布ユニット１ａ、１ｂの作用により、その表面および裏面への処理液の塗布が、繰り返し実行される。 （もっと読む）

【課題】ハニカム構造体封口用マスクを良好に洗浄することが可能な洗浄方法を提供する。
【解決手段】本発明の一実施形態に係る洗浄方法は、上面１ａから下面１ｂにかけて厚さ方向Ｄ１に貫通している複数の貫通孔５を有するマスク１の洗浄方法であって、マスク１がホイールコンベア７により厚さ方向Ｄ１に挟持された状態で、厚さ方向Ｄ１に直交する搬送方向Ｄ２にマスク１をホイールコンベア７により搬送する搬送工程と、搬送されるマスク１の上面１ａ又は下面１ｂの少なくとも一方に対し洗浄液又は風を供給する洗浄工程と、を備え、ホイールコンベア７が、マスク１の搬送方向Ｄ２に沿って千鳥状に配列された複数の一対のホイール７ａ，７ｂを有している。 （もっと読む）

【課題】簡便な方法で、周囲の空気との干渉による水流の微粒化を抑制でき、高いデスケーリング又は洗浄能力を発現できる噴射ノズル装置を提供する。
【解決手段】フラットパターンの主水流５０を噴射可能な主吐出口１５と、主水流の厚み方向の両側から、それぞれ第１の被覆気流５１及び第２の被覆気流５２を噴射可能であり、主水流を第１及び第２の被覆気流のサンドイッチ状に被覆して噴射するための第１の補助吐出口及び第２の補助吐出口とを備えた噴射ノズルを用いて鋼板表面のスケールを除去する。前記主水流の噴射圧力は、被覆気流の噴射圧力の７０倍以上に調整する。補助吐出口の噴射出口は、主吐出口の噴射出口よりも５〜１００ｍｍ上流側に位置させてもよい。主水流の噴射方向に向かって５〜３５°の角度で被覆気流を噴射してもよい。 （もっと読む）

【課題】 多目的な洗浄に対応するワーク洗浄装置を提供する。
【解決手段】 本願発明では、ワークＷを洗浄するワーク洗浄装置において、洗浄液の噴射部と、複数のプレート４…４と、プレート移動部５とを備え、プレート移動部５は、少なくとも一部のプレート４を移動させて、洗浄するワークの周囲を各プレート４…４にて取り囲むことにより、洗浄液の液溜まりを形成することができ、且つ、移動させたプレート４…４を元の位置に後退させることができるものであり、 噴射部６は、洗浄するワークを、プレート４…４にて取り囲んだ状態と取り囲んでいない状態の何れにおいても、ワークに向け洗浄液を噴射することができるものである。 （もっと読む）

【課題】 洗浄液の使用量を低減させながら、パーティクルや異物が基板に固着することを防止して、清浄に基板を洗浄することが可能な基板洗浄装置を提供する。
【解決手段】 洗浄液を貯留する貯留槽１２と、貯留槽１２に貯留された洗浄液をガラス基板１００の表面に供給するスプレーノズル１と、ガラス基板１００に供給された洗浄液を貯留槽１２に回収する回収槽１９とを備えた第１洗浄部１０１と、下方を向く洗浄液吐出口を有する洗浄液吐出ノズル２と、洗浄液の液溜まりを保持する洗浄液保持面を備えた液溜まり保持部材３と、ガラス基板１００の裏面に純水を供給する裏面洗浄部４とを備えた第２洗浄部１０２と、第１洗浄部１０１におけるスプレーノズル１と、第２洗浄部１０２における洗浄液吐出ノズル２との間に配設されガラス基板１００の表面から洗浄液を除去する上下一対のエアナイフ８とを備える。 （もっと読む）

【課題】 ガラス基板の研磨された端面を迅速且つ適正に洗浄して、ガラス基板の特に表面におけるパーティクル付着の問題に的確に対処する。
【解決手段】 ガラス基板製造工程で、一枚のみのガラス基板３の研磨された端面を洗浄用液体により洗浄するガラス基板洗浄装置であって、洗浄用液体７をガラス基板３の研磨された端面３ａの微小凹部内に存する異物を掻き出すために必要な噴射圧力であって且つガラス基板３を損傷させない噴射圧力で該端面３ａに対して噴射する液体噴射手段５が、ガラス基板３の端面３ａの外方側から、該端面３ａが存する辺の長手方向と直交する面内に存し且つ該ガラス基板３の表裏面と平行であって該ガラス基板３の表裏方向の中心を通る直線Ｌ、を基準として、その表側と裏側とにおけるそれぞれの角度が２０〜７０°の範囲で当該端面３ａに対して洗浄用液体７を噴射するように構成される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、洗浄液を節水してコストを低減すると共に、洗浄工程の省スペース化を図ることが可能な洗浄装置を提供することを目的とする。
【解決手段】外部から搬入された基板Ｗを略垂直姿勢で収容する洗浄槽５１Ａと、該洗浄槽５１Ａ内の基板Ｗに両面から洗浄液を噴射する洗浄液噴射部と、洗浄槽５１Ａから洗浄液を回収する洗浄液回収部とを備え、洗浄槽５１Ａは、基板Ｗに直交する断面における下部Ｋが上部Ｊよりも狭い幅で、かつ、中間部Ｔの幅が上から下に向かって狭くなっている。 （もっと読む）

【課題】洗浄液やすすぎ液を昇温するためのエネルギ使用量を大幅に削減し、しかも二酸化炭素排出量の削減にも寄与することができる、洗浄機を提供する。
【解決手段】少なくとも上部が開口された略箱状の洗浄機本体２内に、搬送手段を介して順次搬送されてくる容器８に対し、加温された洗浄液による洗浄と、加温されたすすぎ液によるすすぎとを行い、さらに洗浄に使用された洗浄液と、すすぎに使用されたすすぎ液とを、洗浄機本体２の下方に配置されたタンク１２内に戻すようにした洗浄機１０であって、洗浄機本体２の上部開口を覆うように天蓋９の内部に、排熱回収装置２０を設置し、箱状の洗浄機本体２内に充満する水蒸気を、排熱回収装置２０に導入し、導入された水蒸気から熱交換により回収した余剰熱量を供給水に蓄熱し、蓄熱され温水となった供給水を再使用することを特徴とする洗浄機。 （もっと読む）

【課題】基板表面上に吐出された処理液の滞留を防止し基板全面における処理の均一化を有効に達成できる基板処理装置を提供する。
【解決手段】スプレーパイプ部２２と、スプレーパイプ部２２の長手方向に一列に互いに近接して形設され処理液をその吐出口２６から基板Ｗの表面１０２へ吐出する複数のノズル部２４から構成される複数のスプレーノズル１４とを備える基板処理装置において、基板Ｗの表面１０２に対する複数のノズル部２４の吐出口２６の対向角度を、水平姿勢で搬送される基板Ｗの表面１０２の基板搬送方向Ｘに関して交差する方向における中央部付近から両端部付近にかけて、鉛直線に対して漸次大きくなるように、複数のノズル部２４を複数のスプレーパイプ部２２に形設することにより、基板Ｗの表面１０２上において吐出後の処理液の積極的な液流れを発生させる。 （もっと読む）

【課題】基板主面の全面に亙るウェット処理の均一化を図り、処理の歩留まりの向上や品質改善を達成することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】スプレーパイプ部２２と、スプレーパイプ部２２の長手方向に一列に互いに近接して形設され薬液をその吐出口２６から基板Ｗの表面１０２へ吐出する複数のノズル部２４から構成される複数のスプレーノズル１４とを備え、基板Ｗの表面１０２に対する複数のノズル部２４の吐出口２６の対向角度を、傾斜させた姿勢で搬送される基板Ｗの表面１０２の傾斜下端方向に向けて、基板Ｗの表面１０２の傾斜上端部付近から傾斜下端部付近にかけて、基板Ｗの表面１０２の法線３００に対して漸次小さくなるように、複数のノズル部２４を複数のスプレーパイプ部２２に形設することにより、基板Ｗの表面１０２上において吐出後の薬液の流速を傾斜上端部付近では相対的に小さく傾斜下端部付近では相対的に大きくする。 （もっと読む）

【課題】洗浄水の水流により微細な異物（埃）を効果的に除去することができる、フィルム洗浄装置を提供する。
【解決手段】１または２枚の供給部材と、前記供給部材に形成され供給部材に平行に走行するフィルムの表裏面の少なくとも一方の面に対して洗浄液を吹付ける洗浄液吐出口を備え、前記洗浄液吐出口を、走行するフィルムの面に対して複数方向の洗浄液の流れを形成するように構成した。前記洗浄液吐出口を、走行するフィルムに対してＶ字状に構成するのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】汚れ物質の再付着を防止でき、洗浄能力に優れた、また洗浄液面近傍に浮上した汚れ物質を迅速、確実に除去可能な洗浄装置を得る。
【解決手段】搬送アーム５に保持された被洗浄物６が洗浄槽１０中の洗浄液４中に浸漬され、汚れ物質である油脂が離脱され洗浄液４の液面近傍に浮上する。この浮上した汚れ物質をスクレーパー２を矢印Ａ方向に動かすことにより手前側に掻き寄せ、しかる後、被洗浄物６を保持した搬送アーム５を矢印Ｂ方向に移動させ汚れ物質が掻き寄せられて綺麗になった洗浄液４の液面部分において被洗浄物６を引き上げる。綺麗な液面部分において被洗浄物６を引き上げるので、汚れ物質の再付着を防止でき、洗浄能力に優れる。 （もっと読む）

【課題】ドラム容器の洗浄を安定して行う。
【解決手段】２つの回転ローラが水平に設けられる。回転ローラは、ドラム容器１８を横たわった状態で支持する。図示しない移動手段は、これらの回転ローラを移動する。この移動により、ノズル３１ｂ〜３３ｂがドラム容器１８内に挿入された状態となる。モータは、回転ローラを一方向へ回転させる。回転ローラの回転により、ドラム容器１８は一方向へ回転する。ノズル３１ｂ〜３３ｂは、鉛直の反対方向から回転方向へ角度θ１だけ移動した部分へ洗浄液を噴射する。角度θ１は、１０°以上９０°以下である。 （もっと読む）

【課題】凹凸のある歯車のようなワークであっても、切屑、切粉等の異物および油分をきれいに除去することができ、また空圧源だけでも作動させることができる、装備および設置が容易な洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄液を貯留するタンク１０と、洗浄室４０内に回転軸を支持することにより回転自在に設けられたワーク保持具４６と、回転軸に設けられたフィン４８に対し圧縮空気を噴射することによりワーク保持具を回転動させる。ワークＷに相対するように洗浄室内に設けた対物ノズルと、洗浄液を吸引して対物ノズルに圧送する空圧作動式給液ポンプ２０と、圧縮空気を供給する空圧源とからなり、回転動用ノズルから圧縮空気を所定時間噴射することによりワークを回転させると同時に、空圧作動式給液ポンプを作動させて対物ノズルから洗浄液を所定時間噴射し、その後は対物ノズルの流入路が空圧源に切換えられて圧縮空気が所定時間噴射される。 （もっと読む）

【課題】より完全に洗浄液と油分とを分離させることができる油水分離回収機を提供する。
【解決手段】油分が付着したワークＷを洗浄室４０にセットして洗浄液を噴射することにより該ワークから油分を離脱させる洗浄装置において、洗浄室から排出された洗浄液を貯留するタンク１０を設け、該タンク内の洗浄液中に吸液管１０２を垂下させるとともに該洗浄液中に浮遊するフロート１０５を設けることにより該吸液管の吸液口が洗浄液面に従い上下動するようにし、該吸液管の上端部にエゼクタポンプ１０７を設け、該エゼクタポンプのスロート部１０８に空圧源から圧縮空気を供給し該吸液管内を負圧にすることによりタンク内の上層部分の液体が吸引されるようにし、該液体を該エゼクタポンプにより圧縮空気と混合させることにより霧状にしてサイクロン分離器１１０に導くことにより、サイクロン分離器の内面に洗浄液中の油分を付着させ回収する。 （もっと読む）