【課題】槽容量が小さい小型の洗浄槽において複雑な揺動機構を用いずに、洗浄対象物と超音波振動子との位置関係により生ずる超音波出力の不均一性の問題を解決し、安価に超音波洗浄を行なうことができる洗浄治具および洗浄装置を提供する。
【解決手段】超音波振動子１２の振動発振面１２ａに対して回転軸心を平行にして配置する可動筐体１５と、可動筐体１５と一体的に回転し、洗浄対象物２１を可動筐体１５の回転軸心と平行な軸心廻りに回動自在に懸垂状態に支持する懸架部材１８を備え、懸架部材１８を可動筐体１５の回転軸心から等距離の位置で、かつ回転軸心の周囲の複数個所に設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】洗浄処理に使用された汚液中に含まれる略全ての溶剤を効率よく短い時間で分離回収することができる溶剤回収装置を提供する。
【解決手段】溶剤回収装置１０に、汚液貯溜槽２０と、スクリュー２１と、汚液加熱手段とを備えた。上記回転軸２１ｂは、上記汚液貯溜槽２０の上部で軸受され下端が上記汚液貯溜槽２０の底部に接触しない構成とされている。上記螺旋羽根２１ａは、傾斜面を上記回転軸２１ｂの外周面に沿って螺旋方向に連続して形成されている。上記スクリュー２１は、上記汚液Ａを、液面上に露出する上記螺旋羽根２１ａの斜面に連続して乗り上げさせ略均一に薄膜状に展開する構成である。上記汚液加熱手段は、上記汚液貯溜槽２０に貯溜された汚液Ａ全体を該汚液Ａ中に含まれる溶剤Ｃが蒸発気化する温度に加熱する構成である。 （もっと読む）

【課題】被処理基板の板面内における処理の均一性を向上させることができるとともに複数の処理を効率的に行うことができる基板処理方法を提供する。
【解決手段】基板処理方法は、整流部材２８が内部に設けられ、整流部材の上側に位置し被処理基板Ｗを収容する第１領域１２と整流部材の下側に位置する第２領域１２ｂとを含む処理槽１２ａを用いて被処理基板を処理する方法である。処理方法は、第１の薬液を第２領域に供給しながら被処理基板を処理する工程と、第２の薬液を第１領域に供給しながら被処理基板を処理する工程と、を有する。第１の薬液は、少なくともウエハの周囲で上昇流が形成されるよう、供給される。第２の薬液は、少なくともウエハの周囲の液体を攪拌するよう、供給される。 （もっと読む）

【課題】複数の薬液について被処理基板に対する処理方法を異なるものとすることにより、各薬液を用いた場合における被処理基板に対するそれぞれの処理性能を向上させることができる基板処理装置等を提供する。
【解決手段】薬液の種類が第１の薬液に設定された場合には、処理液が貯留されるとともに被処理基板が収容された処理槽１２に対してまず第２領域１２ｂに第１の薬液を供給し、整流部材２８を介して第２領域１２ｂから第１領域１２ａに第１の薬液を流入させ、この際に第１領域１２ａ内において第１の薬液の上昇流の整流を形成する。一方、薬液の種類が第２の薬液に設定された場合には、処理液が貯留されるとともに被処理基板が収容された処理槽１２に対して第１領域１２ａあるいは第１領域１２ａおよび第２領域１２ｂの両方に第２の薬液を供給する。 （もっと読む）

【課題】被処理基板の板面内における処理の均一性を向上させることができる基板処理方法を提供する。
【解決手段】基板処理方法は、整流部材２８が内部に設けられ、整流部材の上側に位置する第１領域１２ａと整流部材の下側に位置する第２領域１２ｂとを含む処理槽１２を用いて行われる。基板処理方法は、第１領域内に被処理基板Ｗを配置し、処理槽に貯留された処理液に基板を浸漬する工程と、第２領域に薬液を供給して処理槽内の処理液を薬液で置換する工程と、第２領域に水を供給して処理槽内の薬液を水で置換する工程と、を備える。置換時に、第２領域に供給された液体は、整流部材を介して第１領域に流入し、第１領域内の少なくとも基板の近傍において上昇流が形成される。 （もっと読む）

【課題】ＰＣＢ含有絶縁油が用いられた柱上トランスの処理において、処理効率に優れた柱上トランス洗浄処理装置と、優れた処理効率で柱上トランスの洗浄処理を実施させ得る柱上トランス洗浄処理方法とを提供することを課題としている。
【解決手段】ＰＣＢを含有する絶縁油が用いられた柱上トランスの筐体内部に付着している前記絶縁油が前記筐体を破砕することなく洗浄液で洗浄される筐体洗浄装置を備えた柱上トランス処理装置であって、前記筐体洗浄装置は、前記筐体の開口部を閉塞可能に形成されており、前記開口部の閉塞に用いられる蓋部と、洗浄液を前記筐体内に収容させ且つ前記開口部を閉塞させた状態で前記洗浄液を筐体内で流動させ得るように形成されている洗浄液流動化機構とを有し、前記洗浄液流動化機構が前記蓋部に固定されて備えられていることを特徴とする柱上トランス処理装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】洗浄水を供給する際に大きな動力を必要としないノズル洗浄装置の提供
【解決手段】油燃料によって燃焼を行うガスタービンの油燃料供給ノズル４の先端部から洗浄水を噴出するノズル洗浄装置１は、内部に高圧空気と洗浄水とを保持するアキュムレータ６と、アキュムレータ６から油燃料供給ノズル４に流出する洗浄水の流れを制御する洗浄水供給バルブ１３ａと、を備える。そして、洗浄水供給バルブ１３ａを開けることでアキュムレータ６に保持されている高圧空気によって洗浄水が押し出され、油燃料供給ノズル４が洗浄される。このように、洗浄水供給バルブ１３ａを開けるという動作のみでノズル洗浄装置１を動作させることができる。 （もっと読む）

【課題】破砕プラスチックをローコスト、かつ低い環境負荷で洗浄する。
【解決手段】破砕プラスチック及び洗浄水を洗浄タンク３７内で螺旋状に渦流させ、吸入口３７ｃ、搬送パイプ４５、循環パイプ５０、吐出口５０ａを流して複数回循環させる。破砕プラスチックは、破砕プラスチック同士の摩擦、洗浄タンクとの摩擦、洗浄水の気泡や流れなどによって付着していた汚れや破砕粉が洗い流される。洗浄タンク３７内での洗浄中に、パンチ穴３７ｅから微細な破砕屑が排出され、再成形に適したサイズの破砕プラスチックだけが選別される。 （もっと読む）

残留物よりも下にポリマーコーティングを有する基板処理構成部品の表面から、残留物を除去する。一変形例においては、構成部品表面を有機溶媒と接触させて、ポリマーコーティングに損傷を与えることなく、またはポリマーコーティングを除去することなく残留物を除去する。残留物はプロセス残留物でも可能であり、または接着剤残留物でも可能である。この洗浄プロセスは、改装プロセスの一部として行うことができる。別の変更形態においては、構成部品表面にわたってレーザを走査させることによって、残留物をアブレーションする。さらに別の変形例においては、ことによって、構成部品の表面にわたってプラズマ切断機を走査させることによって、残留物を蒸発させる。 （もっと読む）

【課題】ＣＩＰ洗浄において、泡立ちを抑え、効率良く残存フレーバーを除去でき、洗浄後にＣＩＰ用洗浄剤組成物由来の基剤臭が殆ど残存しないＣＩＰ用洗浄剤組成物を提供する。
【解決手段】エステル化合物、シリコーン化合物、及び２５℃でのＳＰ値が６〜９である炭化水素からなる群より選ばれる１種以上の溶剤（Ａ）５〜５０重量％、（Ｃ）成分以外の界面活性剤（Ｂ）５課R３０重量％、下記一般式（１）で表される化合物（Ｃ）０．５〜２０重量％、並びに炭素数１０〜１８の脂肪族アルコール（Ｄ）０．５〜２０重量％を含有するＣＩＰ用洗浄剤組成物。Ｒ−ＯＣＨ₂ＣＨ（ＯＨ）ＣＨ₂ＯＨ （１）（式中、Ｒは炭素数６〜１４の直鎖若しくは分岐鎖のアルキル基又は炭素数６〜１４の直鎖若しくは分岐鎖のアルケニル基を示す。） （もっと読む）

【課題】昇降体に搭載される被洗浄物を昇降による洗浄力と、自転による洗浄力とにより効率よく洗浄することができる洗浄装置を提供する。
【解決手段】被洗浄物が搭載される昇降体１を昇降方向の回転中心で回転可能とし、該昇降体１に、昇降方向に対して傾斜し、且つ昇降の際に液体中で回転方向一方及び他方へ自転用液流を発生させる複数の液流発生面１ａを設け、昇降体１の昇降により発生する液流と、自転により発生する液流とにより被洗浄物を効率的に洗浄するようにした。 （もっと読む）

【課題】基板の周囲に処理液を飛散させることなく、基板の表面に処理液による処理を施すことができる、基板処理装置を提供する。
【解決手段】この基板処理装置１は、ウエハＷを非接触状態で保持するためのプッシュプルチャック２と、ウエハＷの処理に用いる処理液を貯留するための処理液貯留容器３とを備えている。ウエハＷを保持したプッシュプルチャック２を下降させて、処理液が貯留された処理液貯留容器３に近接させ、ウエハＷの表面を処理液貯留容器３に貯留されている処理液に接液させることにより、ウエハＷの周囲に処理液を飛び散らせることなく、ウエハＷの表面に対する処理液による処理を達成することができる。 （もっと読む）

【課題】精密部品を保持するための精密部品保持装置及びその精密部品保持装置を組み入れた精密部品組立装置に関し、洗浄効率のよい精密部品の保持が可能となり、高精度の精密組立部品を得ることができる。
【解決手段】精密部品Ｐを搭載する３方向から突出した第１の支持部１１と、第１の支持部１１上に搭載された精密部品Ｐを保持する第２の支持部１２と、第２の支持部１２と対峙し精密部品Ｐを挟持する可動支持部１３とを有し、第１の支持部１１、第２の支持部１２及び可動支持部１３により保持された精密部品Ｐの周囲に媒体流路１６を設けた。 （もっと読む）

【課題】より効率的に、除外物を処理対象物から分離することを目的とする。
【解決手段】水槽１２の横断面は、少なくとも底壁が円弧状を形成し、水槽１２の一方の上側縁部２１ａに側縁開口部２２を設けると共に、すだれ部２３を設け、側縁開口部２２を設けた上側縁部２１ａの外側に樋部２６を設け、この樋部２６の一部に分離部２７ａを設け、分離部２７ａの下方に排水回収部２７を設け、側縁開口部２２が設けられた側の側壁又は底壁に水送出装置３１を設け、水送出装置３１から、所定の水流を生じさせ、かつ、この水流を、所定の第１水流、及び第２水流に分離させ、側縁開口部２２に向かう第１水流にのって、除外物を樋部２６に排出させると共に、水槽１２の底部に向かう第２水流にのって、除外物を分離した処理対象物を水槽１２の底部に送って、再び、上記水流にのせることにより、処理対象物に付随する除外物を分離除去する。 （もっと読む）

【課題】アルコキシシランの縮合物を含む感光性組成物を基板上に塗布し、感光性組成物を硬化させて得られた膜を基板から剥離する方法であって、酸やアルカリ、又は有機溶剤等の特殊な液を用いることなく、膜を基板から剥離することを可能とする膜の剥離方法を提供する。
【解決手段】アルコキシシランの縮合物（Ａ）と、活性エネルギー線の照射によりアルコキシシランの縮合物を架橋させる物質（Ｂ）とを含む感光性組成物１を基板２上に塗布した後に、活性エネルギー線を照射することにより感光性組成物１を硬化させて得られた膜１Ｃを基板２から剥離する方法であって、８０〜１００℃の水中で超音波を膜１Ｃにあてることにより膜１Ｃを基板２から剥離する、膜１Ｃの剥離方法。 （もっと読む）

【課題】この発明は、上述した事情に鑑み、簡単な作業で配管の洗浄と、配管の脱臭および殺菌処理をより一層効果的に行なうようにした配管の洗浄方法および装置を提供する。
【解決手段】微細気泡を大量に含んだ洗浄液を生成する工程と、前記微細気泡を大量に含んだ洗浄液をノズルを介し配管の内周面へ向けて噴射する工程とを少なくとも含んだ配管の洗浄方法である。
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ＨＳＰ原油がスラッジ蓄積を清掃することおよび定期的に使用されるときにいかなる有意のスラッジ堆積をも防ぐことの両方によってスラッジレベルに対処するために原油貯蔵タンクでプロセス・ストリームとして使用される。ＨＳＰ原油はまた清掃ルーチンを最適化するためにも使用される。指定のＨＳＰ源を提供することによってＨＳＰ油を容易にアクセス可能にすると、タンク保守がより効率的になり、製油所がＨＳＰ油の利点を最大限に行使することを可能にするであろう。 （もっと読む）

【課題】有機物の分解作用、微生物の殺菌作用及び膜状物の剥離作用に優れた風呂釜洗浄剤を用いて、安全かつ簡易に、そして効果的に風呂釜内の洗浄を行う風呂釜洗浄方法を提供すること。
【解決手段】少なくとも風呂水出入穴が水没する水位まで風呂水を浴槽内に張った状態で、風呂水出入穴の浴槽内部側の周囲を所定の容積に区画するように風呂釜洗浄用具を浴槽の壁面に当接する洗浄用具設置工程と、風呂釜洗浄用具で区画された風呂水に、発泡性過炭酸ナトリウムを含有する風呂釜洗浄剤Ａを投入して風呂釜を洗浄する洗浄工程Ａとを含む風呂釜洗浄方法である。 （もっと読む）

【課題】移送効率を向上できて省エネルギー化及び移送配管内洗浄を達成できる液体移送方法および液体移送装置を提供する。
【解決手段】この液体移送装置によれば、マイクロナノバブル発生ユニット７によってマイクロナノバブルを液体に含有させて移送配管１１内を移送する。これより、マイクロナノバブルを含有していない液体を移送する場合に比べて、移送配管１１内での配管摩擦抵抗を低減できる。また、マイクロナノバブルを含有する液体によって移送配管内洗浄ができる。よって、移送効率を向上でき、移送ポンプの消費電力を低減できて、省エネルギー化を達成できる。 （もっと読む）

【課題】第１及び第２の薬液タンクを有する薬液処理装置を用いた薬液処理工程において、第１の薬液タンクと第２の薬液タンクとを切替える際に、流路中に残留する旧薬液が新薬液に混入して、薬液濃度の変化や薬液の劣化を生じさせるのを未然に防止すること。
【解決手段】本発明では、薬液を用いて被処理体を処理する薬液処理部(12,13)に循環流路(10)を介して第１及び第２の薬液タンク(2,3)を連通し、制御部(22)で第１又は第２の薬液タンク(2,3)を切替えて薬液処理部(12,13)に薬液を供給するように構成した薬液処理装置(1)において、制御部(22)は、第１の薬液タンク(2)から第２の薬液タンク(3)に切替えるときに、第２の薬液タンク(3)から供給される薬液を循環流路(10)を介して第１の薬液タンク(2)に送る薬液切替流路(D)を一時的に形成することにした。 （もっと読む）