【課題】パターンが微細化しても、パターンは破壊されずに異物を十分に除去することのできるフォトマスクの物理洗浄の方法を提供する。
【解決手段】１）密閉可能な洗浄チャンバー１０内の上部に空間Ｋを残して充填された薬液又は純水６０中にフォトマスク５０が浸漬された状態で洗浄チャンバーを密閉し、２）前記空間にＮ₂ ガスを供給して洗浄チャンバー内を高圧にした後に、３）該洗浄チャンバー内の高圧の薬液又は純水を、瞬時に洗浄チャンバーから排出し、高圧から常圧への瞬時の圧力差によってフォトマスクの異物を離脱させ除去する。 （もっと読む）

【課題】短時間、低コストで効率よく洗浄でき、装置コストも安価な物品洗浄装置を得る。
【解決手段】物品表面上の付着不純物を洗浄する本発明物品洗浄装置１は、蓋手段２によって密閉可能である耐圧性の洗浄槽３と、洗浄槽３内に回転可能に設け、洗浄すべき物品を収容かつ保持することができる有孔容器４ｂと、洗浄槽３下部に設けた液体供給口５ａ及びガス供給口５ｂと、洗浄液タンク手段６から洗浄液７を液体供給口５ａに圧送する洗浄液供給手段と、ガス供給源１２からガスをガス供給口に圧送するガス供給手段と、有孔容器４ｂを洗浄槽３内で回転させる回転駆動手段４ａと、各手段を制御して協調動作させる制御手段とを具える。有孔容器の回転で生じる洗浄液の乱流によって発生した大量のガス気泡のハンマーリング作用により、有孔容器４ｂに保持した被洗浄物品を洗浄する。 （もっと読む）

【課題】洗浄槽の種類に関わらず、洗浄槽の清掃作業の作業効率を上げることができるインク容器洗浄装置、およびこれを用いたインク容器再生方法、インク容器リサイクルシステムを提供する。
【解決手段】インク容器洗浄装置１のハウジング本体２１１の内周面２１１ａには、内側係合部２１３が内側方へ突出して設けられている。一方、洗浄槽２２の外周面２２ａには、外側係合部２２３が外側方へ突出して設けられており、外側係合部２２３は、ハウジング本体２１１の内側係合部２１３と係脱可能に係合している。この外側係合部２２３と内側係合部２１３とにより、洗浄槽２２はハウジング２１に支持されている。 （もっと読む）

【課題】一定の幅を有する無端状ベルトを、複数本同時に均一かつ強力に、すすぎ洗浄する洗浄方法及び洗浄装置を提供すること。
【解決手段】すすぎ液槽内に一定方向に流れるすすぎ液流を形成し、無端状ベルトを、その幅方向がすすぎ液流の流れ方向に沿うようにすすぎ液槽内に配置する。その結果、無端状ベルトと水との間に発生するせん断力により、無端状ベルトが、すすぎ洗浄される。 （もっと読む）

【課題】コンパクトな装置で効率良く棒状部材の洗浄を行うことができる洗浄装置を提供すること。
【解決手段】内部にワーク１を収容可能な収容部５を有するケース１０ａ，１１Ａと、収容部５への洗浄液の給排を行う洗浄液給排装置２Ａとを備え、ケース１０ａ，１１Ａは、収容部５へのワーク１の出し入れを行うことができるよう開閉可能に分割して構成され、ワーク１は、収容部５内へ供給されて排出される洗浄液によって洗浄されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】設備を簡素化して洗浄水量を低減しながらも、粗大物等が混入した粉粒状の処理対象物から粗大物等を分離除去し、同時に粉粒体を分級して、水溶性成分や重金属等の障害物質を効率的に除去することができる湿式選別装置を提供する。
【解決手段】脈動発生装置３０を備えたＵ字管形状の洗浄槽２０と、開口部２０ａにフィーダ２４から投入された粉粒状の処理対象物に含まれる粗大物を洗浄して、重量物を分離搬出する網目状の搬送面を備えたコンベア装置２２と、上層の洗浄水を粗大物のうち軽量物とともに重量物の搬出方向と対向する方向に排水する溢流堰２６と、洗浄槽２０に沈降した処理対象物を槽外に搬出するバケット式のコンベア装置２９を備え、処理対象物を、洗浄槽２０内での沈降速度差によって微粒物と微粒物より粒径が大きい中粒物とに分離し、微粒物を上層の洗浄水とともに溢流堰２６から搬出し、中粒物を洗浄槽２０に沈降させる。 （もっと読む）

【課題】洗浄液に空気を混入させて微細気泡入りの洗浄液（泡洗剤）を吐出する泡洗剤吐出装置において、微細気泡を安定して発生させることができる泡洗剤吐出装置を提供する。
【解決手段】洗浄液Ｌを溜めるための洗剤タンク１と、洗剤タンク１から洗浄液Ｌを吐出ノズル２０へ搬送するための剤供給路３と、剤供給路３の途中に設けられて洗浄液Ｌ内に空気を混入させるためのエゼクター４と、エゼクター４の下流側に設けられたポンプ５と、を備えた泡洗剤吐出装置であって、剤供給路３のポンプ５と吐出ノズル２０の間の分岐部３０から分岐路６を分岐させると共に、分岐路６の下流側端部を剤供給路３のエゼクター４の上流側に接続した。 （もっと読む）

【課題】本発明は、マイクロバブルの特性を利用して使用済み活性炭、主にドライクリーニング溶剤のフィルタに使用される活性炭の吸着能力の回復を図るためのマイクロバブルによる活性炭の再生方法及びその装置を提供する。
【解決手段】本発明のマイクロバブルによる活性炭の再生装置は、水６を充填してフィルタ容器１を収容する円筒状の洗浄処理槽２と、該洗浄処理槽２中にフィルタ容器１を中空状に支持する支持部材３と、前記洗浄処理槽２中の貯留水６を循環させる循環ポンプ４と、該循環ポンプ４からの循環水とエアーとを混合して微細気泡を発生させるマイクロバブル発生装置５を備える。前記マイクロバブル発生装置５は、前記洗浄処理槽２の貯留水６に旋回流を与えるように微細気泡の吹き出し方向を前記洗浄処理槽２の円周方向に設定する。 （もっと読む）

【課題】鉛フリー半田用フラックスや高融点半田用フラックス等を洗浄する際であっても、優れた洗浄性を示すとともに、次工程におけるアルコール系溶剤を使用したリンスにおいても優れたリンス特性を示すことができる半田フラックス除去用洗浄剤および半田フラックスの洗浄方法を提供する。
【解決手段】 全体量に対して、グリコール化合物の含有量が１重量％未満の場合であって、ベンジルアルコールの含有量を７０〜９９．９重量％、およびアミノアルコールの含有量を０．１〜３０重量％とした半田フラックス除去用洗浄剤を構成し、それを鉛フリー半田用フラックスや高融点半田用フラックス等の洗浄に使用する。 （もっと読む）

本発明は、アルカリ過酸化物洗浄において低温洗浄を向上させるための活性化複合体の利用を提供する。活性化複合体、活性酸素源、およびアルカリ源を含む組成物が、約５℃〜約５０℃の温度で被洗浄面に塗布される。本発明の方法は、エネルギー、水および化学物質の消費量低減と共に、汚れ除去の強化を実現する。 （もっと読む）

【課題】長期間の使用により散気面に目詰まりが生じた場合において、散気板を水面に引き上げて清掃することなく、散気面の目詰まりの解消をできる散気装置の洗浄方法を提供する
【解決手段】本発明に係る散気装置の洗浄方法は、散気板４と、散気用給気配管３内へブロー水を供給するブロー水供給手段５と、一端が散気板４に連接され、他端が散気用給気配管３内に内挿された内挿管７とを備えた散気装置の洗浄方法であって、散気用給気配管３に対する給気を停止した後、洗浄液を散気用給気配管３内へ所定量供給する洗浄液供給工程と、散気用給気配管３内へ加圧空気を供給し、散気用給気配管３内の洗浄液を内挿管７を介して散気板４から所定時間継続して排出させる散気板洗浄工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】混合槽で生成される処理液の混合比率を一定に保つ。
【解決手段】まず排出弁２３，２４，２５を開弁し、供給弁２６〜３１を閉弁して、原料液体Ａ，Ｂ，Ｃを排出弁２３，２４，２５から外部に排出する。その後、ＬＦＣ２０，２１，２２が検出する原料液体Ａ，Ｂ，Ｃの流量が全て所定の流量に達した後に、排出弁２３，２４，２５を閉弁し、供給弁１７，２９，３１を開弁して、供給弁１７，２９，３１を通して原料液体Ａ，Ｂ，Ｃを第２の混合槽３に供給する。 （もっと読む）

【課題】長期間の使用により散気面に目詰まりが生じた場合において、散気板を水面に引き上げて清掃することなく、散気面の目詰まりの解消をできる散気装置の洗浄方法を提供する
【解決手段】本発明に係る散気装置の洗浄方法は、曝気槽１２に設置される微細気孔を有する散気板４と、散気板４に接続された散気用給気配管３と、散気用給気配管３に開閉弁１６を介して接続されて散気用給気配管３に散気用空気を供給する給気装置２と、一端が散気板４に連接され、他端が散気用給気配管３内に内挿された内挿管７とを備えた散気装置の洗浄方法であって、開閉弁１６を閉止した後、開閉弁１６の下流側の散気用給気配管３内に洗浄液を供給し、洗浄液を内挿管７を介して散気板４の微細気孔から流出させることを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】 処理槽内の異物を確実に除去することができる処理槽内の異物除去装置を提供する。
【解決手段】 ワークＷを処理槽２の処理液１に浸漬することでワークＷから取り除かれる異物を処理槽２内から除去する処理槽内の異物除去装置であって、処理槽２の少なくとも底面６にワーク搬送方向に沿って形成した複数の凹凸形状を有する溝部７と、処理槽２に設けたホッパ４と、このホッパ４を通って循環する処理液１を処理槽２に供給する処理液供給管１２と、この処理液供給管１２から分岐して溝部７の山部１０ｂ上に配設した複数の枝管１３と、これらの枝管１３の溝部７の底部１０ａに対向する部位にホッパ４に向けて設けた処理液吐出ノズル１４を備えた。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の回路基板と半導体素子との隙間の洗浄効果を高める。
【解決手段】回路基板２の表面にソルダーレジスト２２を形成し、ソルダーレジスト２２に第１の開口を形成して電極２１を露出させ、半導体素子３の表面にポリイミド３２を形成し、ポリイミド３２に第２の開口を形成して電極３１を露出させ、電極３１に半田バンプ３４を形成し、電極２１および半田バンプ３４の少なくとも一方にフラックスを塗布し、ソルダーレジスト２２とポリイミド３２とを対向させ電極２１に半田バンプ３４を接合し、回路基板２と半導体素子３との隙間に洗浄液を供給して隙間に存在するフラックスを洗浄する。フラックスを洗浄する工程前に、ソルダーレジスト２２およびポリイミド３２の少なくとも一方に凹部を形成する。 （もっと読む）

【課題】ろ過塔等から取り出してろ過材を洗浄するにあたり、洗浄されたろ過材に洗浄時の汚れが再付着することがなく、十分に洗浄を行えるようにすることにより、再利用されるろ過材のろ過機能や耐久性の低下をなくし、ランニングコストが高くなるのを防止する。
【解決手段】ふるい手段による分級工程並びにその分級工程を経て搬送手段により搬送されるときにろ過材が洗浄され、ふるい部材を透過したろ過材を貯留部に貯留し、この貯留部と取り出し口部分とを連通する部分に水洗洗浄部を設け、ふるい手段から供給されて洗浄部の洗浄容器内を下降するろ過材をその下方から吹き上げる方向に洗浄水を噴射することにより攪拌して洗浄し、洗浄済みのろ過材を取り出し口部分から取り出して再使用可能にするようにした。 （もっと読む）

【課題】オゾン層破壊の心配がなく、安定であって、優れた材料適合性と、優れた溶解性能と洗浄性能及び洗浄仕上がり性を有し、しかも発火の心配のない共沸混合物組成物、共沸混合物様組成物、該組成物を用いる洗浄用溶剤及び塗布用溶剤を提供する。
【解決手段】８５〜９５重量％の１，１，２，２，３，３，４−ヘプタフルオロシクロペンタンおよび５〜１５重量％の１，１，１，２，２，３，４，５，５，５−デカフルオロ−３−メトキシ−４−（トリフルオロメチル）−ペンタンを含むことを特徴とする共沸混合物組成物または共沸混合物様組成物、該組成物からなる洗浄用溶剤及び塗布用溶剤。 （もっと読む）

【課題】水中洗浄に際し、除去した異物が再度被洗浄物に再付着するのを防止する。
【解決手段】被洗浄物１０を挿入して水中に配置する洗浄槽１と、被洗浄物１０の配置位置下方側で前記洗浄槽１に設けられた仕切り板３と、仕切り板３上方で、洗浄槽１に配置された被洗浄物１０に水流を噴出して被洗浄物１０の異物１１を洗浄する洗浄ノズル２と、洗浄槽１内で仕切り板３の上方側から下方側に向けて水流を生じさせる強制水流装置（送水管５）を備え、仕切り板３には、強制水流装置で生じさせた水流が通過する開放部３ａを設け、仕切り板３の少なくとも一部を下方から上方に向けた水流の通過が可能なフィルター３ｂで構成する。 （もっと読む）

【課題】異物の除去率を向上させることができるシリンダヘッド洗浄方法を提供すること。
【解決手段】流路を狭くする狭小空間部Ｚと、狭小空間部Ｚより流路を広くする大空間部Ｙとを含むウォータジャケット１５が内部に形成され、ウォータジャケット１５に連通する複数の孔部１２Ａ〜１２Ｒ，１３，１４，１６Ａ〜１６Ｃが設けられたシリンダヘッド１を洗浄するシリンダヘッド洗浄方法において、複数の孔部１２Ａ〜１２Ｒ，１３，１４，１６Ａ〜１６Ｃのうち選択した孔部１６Ａ，１６Ｃからウォータジャケット１５内に洗浄ノズル２８Ａ，２８Ｃを挿入し、洗浄ノズル２８Ａ，２８Ｃから狭小空間部Ｚへ向けて洗浄液を噴出し、狭小空間部Ｚから大空間部Ｙへ流れた洗浄液を、大空間部Ｙに連通する孔部１６Ｂからシリンダヘッド１の外部へ排出する。 （もっと読む）

【課題】粒子の径が小さい粉砕用の微粒の媒体ビーズを容易に洗浄し、且つ媒体ビーズを流失させずに再利用することができる粉砕用媒体洗浄装置を提供する。
【解決手段】粉砕用媒体洗浄装置１は、洗浄ビーズ３４及び該洗浄ビーズ３４を洗浄する洗浄液を収容する洗浄室２を備えた円筒容器３と、上記洗浄液を上記洗浄室２に連続的に供給する洗浄液供給口７，８と、上記洗浄液を上記洗浄室２から連続的に排出する洗浄廃液排出口９と、上記洗浄室２に収容され、上記洗浄ビーズ３４及び上記洗浄液を上記洗浄室２の上方に移動させる複数の撹拌部材４と、回転駆動軸を中心として上記洗浄室２の外縁部まで延在して形成された複数の洗浄液排出用流路を備え、上記複数の撹拌部材４で上方に移動した上記洗浄ビーズ３４と上記洗浄液とを分離させる遠心分離羽根５と、上記撹拌部材４及び上記遠心分離羽根５を回転駆動する回転駆動軸６とを有する。 （もっと読む）