【課題】処理対象物の貫通孔の内部を効果的に洗浄することができる洗浄装置及び洗浄方法を得る。
【解決手段】薄板コイルとされた処理対象物１０は、洗浄槽１４に収容され、貫通孔の貫通方向一端側がキャップ３８によって塞がれる。洗浄槽１４の内部は真空ポンプ３０によって負圧にされる。また、洗浄液は、キャップ３８における処理対象物１０側へ通じる開口部を経て処理対象物１０の貫通孔へ供給される。このため、洗浄液は、負圧の作用によって、貫通孔の貫通方向一端側から貫通方向他端側へ流動する。 （もっと読む）

【課題】 気泡を含んだ洗浄水（含気水）を洗浄水槽の底部から噴射させるとき、気泡による曝気と水流が洗浄水槽の全体に亘って均一に分散するように噴射させることで、洗浄対象食品を全体的に満遍なく下から煽って、効果的な洗浄を行なうことができ、更に、コスト、メンテナンス、コンパクト化の面で有利になるようにした食品洗浄装置の提供。
【解決手段】 内部に洗浄水を収容させる洗浄水槽２と、オーバーフロー用スクリーン筒部２２と、底部スクリーン部材２８と、濾過水槽７と、循環ポンプ８と、含気水噴射装置５とを備え、含気水噴射装置５は、循環ポンプと洗浄水槽の底部室２９との間に配管した圧力水管５１の先端に噴射ストレーナ６を取り付けると共に、その圧力水管の途中に曝気用泡発生装置を設けている。 （もっと読む）

【課題】あらゆるタイプの汚れに対して、ＨＣＦＣ２２５に匹敵するような洗浄力を示すと共に低毒性で、引火性が低く、オゾン層破壊の恐れが全くない洗浄性に優れる高沸点溶剤を含有する洗浄剤を用いて、被洗浄物表面における汚れの再付着による洗浄性の低下を防止し、かつ、揮発性に優れるＨＦＣやＨＦＥによるリンス工程がなく省スペースを可能とする洗浄方法及び洗浄装置を提供することを課題とする。
【解決手段】蒸発速度の異なる２０℃における蒸気圧が１．３３×１０^３Ｐａ以上の非塩素系フッ素化合物（ａ）と２０℃における蒸気圧が１．３３×１０^３Ｐａ未満の成分（ｂ）とを一定の組成比で併用し、かつ、洗浄時の洗浄条件として、「洗浄槽温度」と「洗浄槽温度と蒸気ゾーン温度との温度差」とを規定することで、洗浄剤を加熱して得られる凝縮液によるリンス工程のない洗浄方法で洗浄する。 （もっと読む）

【課題】 汚砂だけでなくし渣をも対象として内部に目詰まりを起こすことなく洗浄処理が効率的になされるようにした汚砂・し渣洗浄処理方法ならびにその装置を提供すること。
【解決手段】 沈砂池から導かれる汚砂を、洗浄水を満たした処理槽内に投入してのち、エアーあるいは水などの流体の導入により上昇流を発生可能なリフト管内に汚砂を含む洗浄水を吸引・上昇させるとともに処理槽内に放出することでリフト管内と処理槽内との間で循環攪拌流を形成して汚砂を洗浄処理する工程と、沈砂池から導かれたし渣を洗浄水中に投入してリフト管を通して処理槽内に循環攪拌流を形成してし渣を洗浄処理したあと一方向に押しやって掻き揚げ処理する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】手作業での洗浄に比べ、格段に迅速かつ簡単に刷毛を洗浄することができ、その構造がきわめて簡素で、作業現場への持ち運びや運用、使用後のメンテナンスなどもきわめて容易な洗浄器具を提供すること。
【解決手段】洗浄器具１は、容器３と、クランク部材５を備える。クランク部材５は、回転中心に配置される第一主軸部５Ａ、第二主軸部５Ｃ、および工具接続部５Ｄと、回転中心から偏った位置に配置される偏心軸部５Ｂを有する形状で、工具接続部５Ｄが電動工具２１に取り付けられる。電動工具２１を作動させると、クランク部材５が回転駆動され、その際、偏心軸部５Ｂに追従して動作する刷毛３１が、容器３内の洗浄液中で上下方向への移動を伴う往復運動をする状態となって、刷毛３１が洗浄される （もっと読む）

【課題】アルカリアルミノシリケートガラスからなるガラス円板について、酸化セリウム砥粒を含むスラリーを用いる研磨工程を経て情報記録媒体用ガラス基板を製造する方法において、酸化セリウム砥粒の残留を抑制し、更に主表面の面荒れを少なくする。
【解決手段】（ＳｉＯ_２−Ａｌ_２Ｏ_３）が６２モル％以下のＬｉ_２Ｏ−Ａｌ_２Ｏ_３−ＳｉＯ_２系ガラスからなる円板を、酸化セリウム研磨工程の跡、硫酸濃度２０質量％以上８０質量％以下、過酸化水素濃度１質量％以上１０質量％以下である洗浄液を用いて５０℃以上１００℃以下の液温にて洗浄し、その後、ガラス円板の主表面をコロイダルシリカ砥粒を含むスラリーを用いて仕上げ研磨する。 （もっと読む）

【課題】スラリー流通経路の内壁面に堆積した遊離砥粒のアルカリ性水溶液による洗浄に伴い、遊離砥粒から溶出した金属イオンによるシリコンウェーハの金属汚染を防止可能なスラリー流通経路の洗浄液およびその洗浄方法を提供する。
【解決手段】ｐＨ９以上のアルカリ性水溶液に、キレート剤が添加されたスラリー流通経路用洗浄液を使用してスラリー流通経路を洗浄する。これにより、スラリー流通経路の内壁面に堆積した遊離砥粒をアルカリ性水溶液により洗浄する際、遊離砥粒から溶出した金属イオンによるシリコンウェーハの金属汚染を防止することができる。 （もっと読む）

【課題】適切にマスクを清浄する方法を提供する。
【解決手段】マスクを清浄するための方法および装置が、説明される。一実施形態において、本発明は、マスクを清浄する方法である。その方法は、マスクを清浄溶液の中に配置することを含む。また、この方法は、予め定められた攪拌レベルで予め定められた時間だけ清浄溶液を攪拌することを含む。 （もっと読む）

【課題】物品への汚れの再付着を低減できる物品洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄すべき物品を内部に密閉可能に収容する洗浄槽３と、洗浄槽３に形成される液体供給口５ａ及び上部に形成される液体排出口８に接続され、浄化されて循環する洗浄液７を貯留する洗浄液タンク手段６と、洗浄槽３に形成される液体供給口５ａ及び上部に形成される液体排出口８に接続され、浄化されて循環するすすぎ液１６を貯留するすすぎ液タンク手段１５と、一端が液体排出口８に接続され、他端が洗浄液タンク手段６又はすすぎ液タンク手段１５に切り替え可能に接続されると共に、循環により通過する洗浄液７又すすぎ液１６を浄化させるフィルタ手段９ｃと、フィルタ手段９ｃに接続され、液体排出口８とフィルタ手段９ｃとの間に滞留する洗浄液７又はすすぎ液１６を排出可能なバルブ手段２０ｇを有する。 （もっと読む）

【課題】連続して被洗浄物を洗浄する場合であっても、被洗浄物の洗浄度が低下することを容易に抑制することができる洗浄装置を得る。
【解決手段】中間部が狭窄な貫通孔５ａと、この貫通孔５ａの狭窄部５ｂに連通し、貫通孔５ａに入った洗浄水１が狭窄部５ｂを流れることで空気が狭窄部５ｂへ吸引されるガス吸引孔５ｃとが形成され、洗浄水１とともに金属屑２が貫通孔５ａを通過することで、洗浄水１に微細気泡４を生成し、微細気泡４と金属屑２とを混ぜ合わせながら、洗浄水１および金属屑２を外へ出す気泡生成器５を備えている。 （もっと読む）

【課題】基板洗浄用治具を用いて電子部品が搭載された基板を回転式洗浄する場合に、基板両面の洗浄を可能としつつ回転中心からの距離に関係なく良好な洗浄品質を確保する。
【解決手段】一端側が洗浄液の入口１１ａ、他端側が洗浄液の出口１１ｂとされている貫通した開口部１１を有するフレーム１０を備え、開口部１１の内面には、基板間に隙間を有しつつ基板の板面と直交する方向に沿って配列するように、複数個の基板２００を取り付け、この基板取り付け状態で、洗浄液を入口１１ａから導入し開口部１１内を流通させて出口１１ｂから導出することにより、複数個の基板２００を洗浄する基板洗浄用治具であって、開口部１１内のうち隣り合う基板２００間の隙間となる位置には、邪魔板２０が設けられており、基板取り付け状態で、開口部１１内にて、洗浄液を板材２０と基板２００との隙間にて流通させるようにした。 （もっと読む）

【課題】基板の処理を良好に行うことができる基板処理装置及び基板処理方法並びに基板処理プログラムを格納した記憶媒体を提供すること。
【解決手段】本発明では、基板(2)を処理液(23)で処理する処理槽(24)と、処理槽(24)に第１の薬液(21)を供給する第１薬液供給機構(25)と、第１の薬液(21)と反応して処理液(23)を生成する第２の薬液(22)を処理槽(24)に供給する第２薬液供給機構(26)と、処理槽(24)に接続した循環流路(45)を用いて処理液(23)を循環させる処理液循環機構(27)と、第１及び第２の薬液の処理槽への供給を制御する制御部とを備え、所定の循環流量で処理液を循環させて基板(2)を処理する基板処理装置(1)を用い、第２の薬液(22)の供給を開始するとともに第２の薬液(22)の供給開始に基づいて循環流量を変化させることにした。 （もっと読む）

【課題】専用の設備を要せずともプラスチック廃材の再利用化の工程を利用して簡易な構成でプラスチック廃材の洗浄が可能なプラスチック廃材の洗浄方法を提供する。
【解決手段】亜臨界水または超臨界水によるプラスチック廃材の分解処理後に水およびこれに溶解する樹脂成分から固液分離した無機物を主成分とし水分を含有する固形物を乾燥および粉砕して無機物を回収する際に、固形物を熱風により乾燥して固形物が含有する水分を水蒸気として除去する熱風乾燥器５の下流における水蒸気を含む熱風のラインに設けた洗浄槽１０に、再利用に供する別途のプラスチック廃材を投入し、洗浄槽１０内のプラスチック廃材に水蒸気を含む熱風を接触させてプラスチック廃材を洗浄することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】酸性の処理液などのように腐食性の高い処理液で土壌を洗浄するのに適した土壌洗浄装置の提供を目的とした。
【解決手段】土壌洗浄装置１０は、処理槽２０と、この処理槽２０の内容物を外部に取り出した後、再び処理槽２０内に戻すことによって攪拌可能な攪拌手段３０とを有する。攪拌手段３０は、処理槽２０の外部に配されており、攪拌物流路３４と、高圧気体導入手段３６と、取出流路３２とを有する。取出流路３２は、処理槽２０の底部２２に設けられた排出口２４と高圧気体導入手段３６の中途部分に設けられた合流部３７とをつないでいる。高圧気体導入手段３６により攪拌物流路３４内に気体を高圧状態で導入すると、攪拌物流路３４内が負圧になり、処理槽２０の内容物が取出流路３２を介して吸引される。その後、内容物は、攪拌物流路３４内を上昇し、処理槽２０に対して上方から戻される。 （もっと読む）

【課題】本発明は、水処理機器の内部の手の届き難い部分まで洗浄することができる水処理機器用洗浄装置及びその洗浄方法に関する。
【解決手段】本発明による水処理機器用洗浄装置は、水処理機器の流路に洗浄水を循環させるために水処理機器の流路に連結される循環部材と、上記循環部材に連結されて上記水処理機器の流路と循環部材に洗浄水を循環させて上記水処理機器の流路を洗浄する循環モジュールとを含むことができる。本発明による水処理機器の洗浄方法は、循環部材に洗浄水を流入させる洗浄水流入操作と、循環モジュールを稼働して水処理機器の流路に洗浄水を循環させて上記水処理機器の流路を洗浄する循環洗浄操作とを含むことができる。 （もっと読む）

【課題】比較的少ない量の洗浄液で攪拌機の洗浄を行うことのできる攪拌機の洗浄用装置を提供する。
【解決手段】回転駆動源に連結された回転駆動軸及び回転駆動軸に固定された攪拌翼を有する攪拌機を洗浄液によって洗浄するために用いられる攪拌機の洗浄用装置において、隙間を隔てた内筒及び外筒を有し洗浄液が収容される二重構造容器体と、二重構造容器体の下方側に設けられ内筒の内側空間と隙間とを連通する下側開口部と、二重構造容器体の上方側に設けられ内筒の内側空間と隙間とを連通する上側開口部と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板の表面に付着した塵埃などを効率良く除去すると共に、洗浄後にこれらが基板の表面に再付着することを防止した流水式洗浄方法及び流水式洗浄装置を提供する。
【解決手段】洗浄槽２内で洗浄液Ｌを横方向に流し、この洗浄液Ｌに被洗浄物Ｗを浸漬させた状態で、洗浄液Ｌに超音波振動を印加しながら、被洗浄物Ｗの洗浄を行う流水式洗浄方法であって、洗浄槽２に洗浄液Ｌを供給する複数の供給口３と、洗浄槽２から洗浄液Ｌを排出する複数の排出口５とのうち、何れかの供給口３及び／又は排出口５を流れる洗浄液Ｌの流量を調整することによって、洗浄槽２内の洗浄液Ｌが層流の状態で流れるようにする。 （もっと読む）

マルチウェルプレート（１０）のサンプルウェル（１２）から残留物質を除去するための方法及び装置。マルチウェルプレート（１０）にあるウェル（１２）は、洗浄液溜め（２０）の洗浄液ウェル（２２）と流体連結するように配置され、それにより、マルチウェルプレート（１０）のサンプルウェル（１２）から残留物質（１４）を除去すべくクリーニング流体が与えられる。 （もっと読む）

本発明は、汚れた支持体のクリーニング方法であって、固体パーティキュレートクリーニング材料を有する配合物で濡れた該支持体を処理する過程を具備しており、該配合物が有機溶剤を含まず、該処理が少なくとも１つのシールされたコンテナー内で該支持体及び該配合物を攪拌する過程を有する該方法を提供する。好ましくは、該シールされるコンテナーは金属コンテナー、又は堅い又は柔軟なプラスチック材料で形成されるコンテナーを有するのがよい。好ましくは、該少なくとも１つのコンテナーは回転乾燥機の様な回転デバイス内で攪拌されるのがよい。好ましくは、該支持体は濡らされ、該固体パーティキュレートクリーニング材料は、界面活性剤を含むのが好ましい少なくとも１つの追加クリーニング剤を有する多数のポリマー粒子を備えるのがよい。最も好ましくは、該支持体は紡織繊維を有するのがよい。典型的に、該ポリマー粒子はナイロン又はポリエステルの粒子を有する。得られた結果は従来のクリーニング過程を行った時、観察される結果と合致しており、そして該方法は、コスト及び環境考慮の意味で全ての付随欠点を伴う、溶剤の使用が避けられると云う著しい利点を提供する。
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【課題】プラスチックフィルムの製造ラインやコーティングライン、あるいは輸送ラインなどのフィルム搬送過程においてフィルムへのゴミや埃などの付着を簡便かつ効果的に防止できる装置を提供する。
【解決手段】プラスチックフィルムが搬送される搬送路の下方に空中から落下するゴミや埃などを捕捉する水を収容した水バスを備えたフィルムへのゴミ付着防止装置とする。 （もっと読む）