【課題】無電力の場合でも真空状態を保ち続ける真空保持設備を提供する。
【解決手段】第１電磁弁１４の一端は、吸気ポート１１に接続し、他端は真空生成器１３のガス入口１３１に接続しており、電力により動作するとき、ガスが第１電磁弁１４を流れ、真空生成器１３のガス入口１３１に入り、真空出力を生成する。第２電磁弁１５の一端は、吸気ポート１１と真空生成器１３の真空出口１３３と並列的に接続し、他端は出力ポート１２に接続しており、それを操作して出力ポート１２をガス出力または真空出力とすることができる。また、切り替えスイッチ１６の一端は吸気ポート１１に接続し、他端は真空生成器１３に接続し、正常な操作のときには切り替えスイッチ１６を閉じ、突発的な電力のない状況が発生した場合に切り替えスイッチ１６を開き、ガス源がこの通路を介し真空生成器１３に供給され、真空を生成し続け、ウェハの吸着を継続する。 （もっと読む）

【課題】チャックテーブルに負圧を作用せしめる吸引経路に大気開放経路を付設することなく、ウエーハの吸引保持を解除する際にはウエーハをチャックテーブルの保持面から確実に剥がすことができる研削装置のチャックテーブル機構を提供する。
【解決手段】電磁開閉弁６３３と電磁流量調整弁６４５および比例制御弁６４７を制御する制御手段６６は、チャックテーブル６０に吸引保持された被加工物の吸引保持を解除する際には、電磁開閉弁６３３を閉路し電磁流量調整弁６４５を開路するとともに比例制御弁６４７の流量が徐々に増大するように比例制御弁６４７に印加する電圧を制御する。 （もっと読む）

【課題】チャックテーブルに負圧を作用せしめる吸引経路に大気開放経路を付設することなく、ウエーハの吸引保持を解除する際にはウエーハをチャックテーブルの保持面から確実に剥がすことができる研削装置のチャックテーブル機構を提供する。
【解決手段】被加工物を吸引保持する保持面および保持面に連通する連通路を備えたチャックテーブルであって、連通路内６１３の圧力を検出する圧力検出手段６５と、圧力検出手段６５からの検出信号に基いて第１の電磁開閉弁６３３および第２の電磁開閉弁６４３を制御する制御手段６６とを具備し、制御手段６６はチャックテーブル６０に吸引保持された被加工物の吸引保持を解除する際には、第１の電磁開閉弁６３３を閉路するとともに第２の電磁開閉弁６４３を断続的に開閉し、圧力検出手段６５からの検出信号が大気圧に達したら該第２の電磁開閉弁６４３を開路せしめる。 （もっと読む）

【課題】ウエハ研磨プロセスにおける研磨パッドの表面温度の変化を小さく抑えることを可能とするウエハ研磨装置を提供する。
【解決手段】ウエハ研磨装置１００では、研磨パッド１４に研磨剤を供給しながらウエハＷを研磨パッド１４に押し当てて研磨する。ウエハ研磨装置１００は、ウエハＷを研磨パッド１４に押し付ける研磨ヘッド１８と、底面がウエハＷの研磨面よりも研磨パッド１８側に位置するとともにウエハＷの外周を囲むように研磨ヘッド１８に着脱自在であり、温調媒体としての冷却液を流すための溝２２ａを備えたリテーナーリング２２と、リテーナーリング２２を研磨ヘッド１８に取り付けたときに溝２２ａにより形成される流路２３に冷却液を供給するための第２冷却機構２４を具備する。 （もっと読む）

【課題】機械加工装置の回転側に取り付けた近接センサに対する電源を効率的に供給可能とすること。
【解決手段】機械加工装置の固定側に電源供給コイル５０を配置し、機械加工装置の回転側の回転に伴い電源供給コイル５０に近接することにより電源供給コイル５０からの電磁誘導により電圧が誘起する誘導コイル５２を含み、誘導コイル５２に誘起した電圧を近接センサ２２に供給可能とした構成。 （もっと読む）

【課題】ワークの形状精度、特にセンタ穴近傍の形状精度をより高精度にすることが可能であり、より短い加工時間で加工することが可能な加工装置を提供する。
【解決手段】加工対象のワークＷを両端部から挟み込んで支持するとともに支持した両端部を通る回転軸回りにワークを回転させる一対のセンタ部材２３Ｃ、２４Ｃと、加工手段３０と、制御手段とを備え、一対のセンタ部材は、ワークの両端部の回転軸上に設けられたセンタ穴Ｈに回転軸の方向に沿って嵌合可能である。そして、制御手段は、センタ穴Ｈに嵌合されたセンタ部材２３Ｃ、２４ＣがワークＷを両端部から挟み込む加圧力Ｆｃを調整可能であり、加工手段３０にてワークＷの被加工部を加工する際、センタ穴から被加工部までの距離に応じてセンタ部材２３Ｃ、２４Ｃの加圧力Ｆｃを変更する。 （もっと読む）

【課題】 手動で駆動できる簡易な構造の砥石交換装置の提供。
【解決手段】 研削装置のフレ−ム上に起立して固定される円柱状固定支持軸２、その上部に回転自在に一方の端が固定され他方の端が円柱状移動支持軸５を固定する水平方向に張り巡された第一回転移動リンクア−ム４、前記円柱状移動支持軸５に一方の端が回転自在に固定され他方の端が円筒状移動支持軸８を固定する水平方向に張り巡された第二回転移動リンクア−ム７、前記円筒状移動支持軸８の中空内にスプリング９を介して昇降可能に設けられたロッド１０、および、該ロッドの下部に回転可能に設けられた砥石ホルダ−２０を備える砥石搬送装置１。砥石ホルダ−２０を手で掴んで研削盤の砥石待機位置や砥石軸５３手前に砥石５０を搬送できる。 （もっと読む）

【課題】ワークを複数枚収容したカセットを効率的に投入できるようにして滞りなくワークを加工するようなワーク加工装置を提供する。
【解決手段】ワーク供給装置１３から空のカセット５０が空カセット搬送装置１４へ搬出された後にバッファコンベヤ１２からワーク供給装置１３へ直ちにカセット５０が供給されるワーク加工装置１とした。また、カセット供給コンベヤ１１は、バッファコンベヤ１２の直前に複数のカセット５０を待機させるとともに、バッファコンベヤ１２からカセット５０が搬出された後に直ちにバッファコンベヤ１２へカセット５０を供給するワーク加工装置１とした。 （もっと読む）

【課題】 センタレス研削機の研削能率を向上させても、これにマッチし得るようにワー
ク搬入，搬出機構の作業能率を向上させる。
【解決手段】 ブレード１と調整砥石２と研削砥石４とで構成されている１組のセンタレ
ス支持ユニットに対して、搬入専用チャック８と搬出専用チャック９とを配設する。上記
双方のチャックが相互に干渉しないように（ぶっつからないように）それぞれのチャック
をＸ，Ｙ，Ｚの３次元方向に駆動する。例えば搬入専用チャック８は、矢印ｄの運動と矢
印χ′の運動とを同時に行なって矢印ｄ′のように斜めに搬入動作を行なう。同様にして
搬出専用チャック９は、矢印ｅ′のように斜めに搬出動作を行なう。このため双方のチャ
ック（８，９）が干渉しない。 （もっと読む）

【課題】着色された眼鏡レンズやコーティングされた眼鏡レンズ等においても、吸着治具の装着位置を特定することができる吸着治具取付装置を提供する。
【解決手段】吸着治具取付装置は、眼鏡レンズを開口部内に配置できる載置台と、開口部に載置された眼鏡レンズの画像を撮影する撮像手段と、撮像された前記眼鏡レンズの画像から吸着治具の取付位置を特定する位置決定手段と、吸着治具を眼鏡レンズの取付位置に配置する装着手段とを備えている。しかも、位置決定手段は、撮像手段の光量を調整し、眼鏡レンズの種類に応じて露光時間を変化させ、眼鏡レンズの輪郭を検出し、撮像できなかった箇所を点線Ｓａで表示させるように制御し、検出した眼鏡レンズの輪郭をもとに眼鏡レンズにおける吸着治具の装着位置を求めるようになっている。 （もっと読む）

【課題】 表面粗さが滑らかで高い寸法精度を有し、かつアスペクト比が大きく極細のマイクロツールを、加工効率が高く短時間で加工することができるマイクロツール研削装置及び方法を提供する。
【解決手段】 細長い棒状のワーク１を所定の位置に保持するワーク保持装置２０と、ワークの軸心Ｚを中心に軸対称又は等間隔に配置されワークの外周面を加工する同一形状の砥石３１を有する複数の砥石装置３０と、複数の砥石をワークに向けて移動する砥石移動装置４０とを備える。砥石移動装置４０により、各砥石３１を、ワーク１に向けて軸対称又は等間隔に同期して移動し、研削時のワーク１の変形を砥石自体により抑制する。 （もっと読む）

【課題】工具を自動交換装置により交換する主軸装置において、回転軸先端の孔部と工具とが嵌脱自在に係合する係合面の清浄性を維持し、孔部に侵入した異物を排除するカバー部材を提供する。
【解決手段】主軸装置の回転軸先端に形成され、工具を係合する孔部を密封するカバー部材１において、前記孔部に係合する係合部３ａに、溝部３ｃを刻設し、さらに溝部３ｃに払拭部材３ｄを配設し、係合部３ａが係合する際、払拭部材３ｄが前記孔部の表面を払拭することを特徴とした。 （もっと読む）