【課題】工具寿命を長くすることが可能な超砥粒工具を提供することを目的とする。
【解決手段】ダイヤモンドロータリードレッサー１は、台金１０と、台金１０に配置された柱状ダイヤモンド２０とを備える。柱状ダイヤモンド２０の表面が露出している先端部２５にはＲ０．０５ｍｍ〜Ｒ１ｍｍの丸みが設けられている。 （もっと読む）

【課題】 複列の軌道溝を有する旋回軸受において、生産性を損なわずコスト的に可能な範囲内で、軸受寿命の長期化が図れる軌道溝間距離の相互差を提示する。
【解決手段】 旋回軸受は、内輪１および外輪２の複列の軌道溝１ａ，１ｂ，２ａ，２ｂ間に複数のボール３が介在する。内輪１における複列の軌道溝１ａ，１ｂ間の距離ｅ_ｉまたは外輪２における複列の軌道溝２ａ，２ｂ間の距離ｅ_ｏがボール３の直径Ｄｗの１ないし１．７倍であり、かつボールの直径Ｄｗが３０ｍｍから８０ｍｍであって、前記軌道溝間距離ｅ_ｏと軌道溝間距離ｅ_ｏとの差Δｅを５μｍないし５０μｍとする。複列の軌道溝１ａ，１ｂ，（２ａ，２ｂ）を、アランダム系の砥石を用いて同時に加工する。 （もっと読む）

工作物スピンドル１８が、第１の線形移動ユニット１５の上に設置された第１の枢動移動ユニット１７上に支持される、歯切り研削盤において、回転自在に駆動され得るドレッシング・スピンドル２１が上に設置される第２の線形移動ユニット１９が、第１の線形移動ユニット１５の上に配設される。
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【課題】導波路を成形する型の凸部の面の高精度な研磨を容易に行うことができる研磨治具を提供する。
【解決手段】凹部３２の各面が別々の部材に具備されるように研磨治具３０を分割可能にすることにより、凹部の各面を高精度に仕上げることができる。研磨治具３０が第１、第２及び第３の治具部材３４、３６及び３８に分割可能であり、第１治具部材３４が凹部３２の側面３２ａ、第２治具部材３６が凹部３２の底面３２ｂ、第３治具部材３８が凹部３２の側面３２ｃをそれぞれ備える。 （もっと読む）

【課題】砥石車４３の外径に応じて砥石車４３の外周面形状が変化する研削を行う研削盤において、高精度な研削が可能となる砥石車４３のドレッシングを行う研削盤を提供する。
【解決手段】砥石車４３の外径を検出する砥石外径検出手段６１と、砥石外径検出手段６１により検出された砥石車４３の外径に応じた砥石車４３の外周面形状を取得する面形状取得手段６２と、面形状取得手段６２により取得された砥石車４３の外周面形状に基づいて砥石車４３を成形する砥石成形手段６３とを備える。 （もっと読む）

【課題】磁気ディスク用ガラス基板の端面の面取り加工に用いる砥石の再調整を適切に行い、ガラス基板の端面研削の精度を適切に向上させる。
【解決手段】磁気ディスク用ガラス基板の製造方法であって、砥粒を埋設した回転砥石２０によりガラス基板の端面の面取り加工を行う形状加工工程と、回転砥石２０に押し当てられるドレス材３０と、回転砥石２０とが取り付けられるドレッシング装置２００を用いて、回転砥石２０にドレッシング処理を行うドレッシング工程とを備え、ドレッシング装置２００は、ドレス材３０と回転砥石２０との位置関係を合わせ、位置関係を管理しつつドレス材３０と回転砥石２０とを圧接触させることにより、回転砥石２０にドレッシング処理を行う。 （もっと読む）

【課題】研削ホイールの寿命を向上させ、ウェハーエッジを品質規格に適合するように加工できる研削ホイールのツルーイング工具及びその製作方法、これを用いたツルーイング装置、研削ホイールの製作方法、並びにウェハーエッジ研削装置を提供する。
【解決手段】本発明によるツルーイング工具（truing tool）は、ウェハーエッジを精削するための精削ホイールのグルーブを補正するためのツルーイング工具であって、前記精削ホイールのグルーブの傾斜面と同じ傾斜を持ち、前記グルーブの断面形状と対応する形状で形成されたツルーア（truer）からなる。前記ツルーイング工具を用いることでウェハーエッジを精削する研削ホイールのグルーブを容易に加工することができる。 （もっと読む）

【課題】総型ドレッサの形状と同等の形状に砥石を成形する。
【解決手段】ワークＷに溝Ｇを形成するための突条17を有している砥石16外周面をドレッシングするドレッシング方法は、突条17の先端面のみをドレッシングする部分的ドレッシング工程と、溝Ｇを形成するために使用していた突条17を除去するように砥石16の外周面全体を円筒状にドレッシングし、その後に、新たな突条17を形成するように外周面をドレッシングする全体的ドレッシング工程とよりなる。全体的ドレッシング工程によって形成された突条17の高さが、ワークＷに形成すべき溝Ｇの深さよりも大である。部分的ドレッシング工程および全体的ドレッシング工程を組み合わせて行う。 （もっと読む）

【課題】
ツルアーの劣化を防ぎ、面取り加工用砥石への形状転写効率を向上させるウェーハ面取り砥石のツルーイング方法及びウェーハ面取り装置を提供すること。
【解決手段】
低速で回転するツルアー４１を、低速で回転する外周精研削砥石５５に対して所定の切り込み深さに切り込める位置で外周精研削砥石５５の接線方向に移動させ、外周精研削砥石５５に対して面取り加工用溝５５ａを形成することにより、ツルアー４１の回転速度を抑え、外周精研削砥石５５への形状転写効率を向上させる （もっと読む）

【課題】ツルーイング後の研削砥石の断面形状を正確に把握することができる溝加工装置および溝加工法を提供することを課題としている。
【解決手段】円筒状の加工対象物Ｒの外周面に対し、周方向に連続して溝加工を行う溝加工装置１において、加工対象物Ｒに溝加工を行う円盤状の研削砥石３１と、研削砥石３１を回転させる研削砥石回転手段３２と、加工対象物Ｒが着脱自在に装着され、溝加工に際し加工対象物Ｒを研削砥石３１と異なる周速で回転させる対象物回転手段８と、研削砥石３１にツルーイングを行うツルーイング手段９と、略直角の交わる２つの面から成る加工部を有し、ツルーイング結果を検証するために、ツルーイング後の研削砥石３１により加工部に一方の面側から他方の面に平行に切り込むように溝加工されるダミーワーク１０と、加工面に形成された検証用の溝の断面形状を画像認識する画像認識手段１１と、を備えるように構成する。 （もっと読む）

【課題】研削砥石とツルーイング砥石との周速の相対速度を簡単に制御することができると共に、研削部が断面山形に形成された研削砥石を効率よくツルーイングすることができるツルーイング装置、ツルーイング方法、これらに用いるツルーイング砥石および溝加工装置を提供する。
【解決手段】切刃となる研削部が断面山形に形成された円盤状の研削砥石３１に対し、回転接触してツルーイングを行うツルーイング装置９において、切刃となるツルーイング部が研削部の斜面に対応する傾斜周面に形成された円盤状のツルーイング砥石５１と、ツルーイング砥石５１を研削砥石３１の回転軸を平行な回転廻りに回転させる回転機構５２と、研削砥石３１に対しツルーイング砥石５１を、研削部の斜面方向に相対的に往復移動させる往復動機構５６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】
効率的なウェーハ面取り砥石のツルーイング方法及びウェーハ面取り装置を提供する。
【解決手段】
回転するウェーハテーブル３４に載置されたウェーハＷの外周部を、回転する砥石により所定の形状に加工する面取り装置１０において、外周精研削砥石５５へのツルーイングの際、ツルアー４１の端部を、Ｙテーブル２８とＺテーブル３１とによりウェーハＷ外周部の面取り形状に相当する軌道上を移動させてツルーイングを行なうことにより、ツルアー４１の交換を行うことなく、あらゆる形状の面取り用溝を外周精研削砥石５５に形成する効率的な面取り砥石のツルーイングが可能となる。 （もっと読む）

【課題】
同じツルーイング砥石によるウェーハ外周部、オリフラ部、又はノッチ部の面取り加工用溝形状のツルーイングが可能であり、ウェーハの径が異なってもツルーイング砥石の変更が必要ない効率的な面取り用砥石のツルーイング方法を提供する。
【解決手段】
ウェーハＷの回転軸に対して平行な回転軸で回転するツルアー４１を、ウェーハＷと平行な面内において、ウェーハＷ外周の接線方向に回転軸が傾斜した外周精研砥石５５に向けて接近させるとともに、ウェーハＷと平行な面内において、ツルアー４１の外周精研砥石５５に対する接近方向と直行する方向に外周精研砥石５５を所定量往復移動させ、外周精研砥石５５にウェーハＷのオリエンテーションフラット部の面取り形状に対応した形状の溝を形成することにより、外周精研砥石５５へオリエンテーションフラット部の面取りに適した形状の溝を形成することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 砥石車を用いる研削技術を改良して、ワーク１の微細なプロファイル（例えば超精密溝１ａ，１ｂ，１ｃ）を、サブマイクロメートルの超高精度で研削仕上げする。
【解決手段】 研削砥石４の精密リング突条４ａ，４ｂ，４ｃでワークの超精密溝１ａ，１ｂ，１ｃを超高精度で研削しつつ、これと同時にドレッサ５の成形溝５ａ，５ｂ，５ｃで上記の精密リング突条４ａ，４ｂ，４ｃをドレッシングする。これによって研削砥石４は、常にドレッシングされた直後の状態（正確な形状寸法・良い切れ味）でワーク１を研削する。 （もっと読む）