【課題】切込み末期のみならず切込み初期における切断面のうねり成分をも低減し、結果として切断終了後のウェーハの表面のうねり成分を十分に低減することが可能なワイヤーソー装置を提供する。
【解決手段】本発明のワイヤーソー装置１０のワーク保持機構１８は、スライス台２２と、ワークプレート２４と、ワークプレート保持部２６と、を有する。ワークプレート２４は、本体部２８の側面からワイヤー延在方向Ｚの両側に突出し、両側それぞれに開口部３２Ａ，３２Ｂを有する一対の突出プレート３０Ａ，３０Ｂを有し、突出プレート３０Ａ，３０Ｂの両外側のうち、少なくともノズル２０が位置する側に溝部材３４Ａ，３４Ｂを有し、ワイヤー群１６からワークプレート保持部２６に向けて舞い上がるスラリーを、開口部３２Ａ，３２Ｂを通過させて３４Ａ，３４Ｂ溝部材で捕集可能としたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ワイヤーの断線率が低減されるワイヤーソー装置を提供すること。
【解決手段】 表面に砥粒が固着されたワイヤー３と、ワイヤー３の上に設置される被加工物を接着するスライス台２と、スライス台２を保持するベースプレート１０と、ベースプレート１０を固定する装置固定体１１と、被加工物１の切断部分に加工液を供給する供給ノズル４と、を備え、ワイヤー３の走行方向において、被加工物１の端部より外側に、スライス台２、ベースプレート１０または装置固定体１１の一部を位置させた突出部を有し、被加工物１とスライス台２との界面ｅから突出部までの距離ｄが、加工液の跳ねを受けない距離に設定されていることを特徴とするワイヤーソー装置Ｓ１とする。 （もっと読む）

【課題】給水ノズルから当接部に供給される冷却水の飛沫が広範囲に亘って飛散するのを防止し、これにより、飛沫が板材の表面に付着し難くすること。
【解決手段】 板材の端面加工装置１は、回転砥石１０の外周面に凹に周設された研磨溝１１に加工対象である板材Ｂの外周端部を挿入して当接させ、当該圧接加工部１７へ冷却水を供給する装置において、給水ノズル１２の水出口１２１を、回転砥石１０の径方向の外側から研磨溝１１の溝底に向けて冷却水を供給するように配向し、給水ノズル１２の下流側に水出口１２１から圧接加工部１７まで回転砥石１０の外周に沿って延伸する水ガイド１５を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ワークの切り出しをより精度良く行えるようにする。
【解決手段】ワイヤソーは、ワイヤ群１２に供給されることにより飛散したスラリを捕集する加工液捕集装置を有する。この装置は、スラリを捕集するための捕集部材１６ａ，１６ｂと、これら捕集部材１６ａ，１６ｂをワイヤ群１２の上方であってその近傍となる高さ位置に配置しかつワイヤ群１２の走行方向に変位可能に支持するガイド軸２２等と、捕集部材１６ａ，１６ｂを駆動する油圧シリンダ２４と、捕集部材１６ａ，１６ｂがワークＷに対して所定の間隔を隔てた位置に配置されるようにワークＷの切り込み送りの位置に応じて前記油圧シリンダ２４の駆動を制御する制御手段（ＮＣ装置４０）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】複数の排気装置を用いることなく研削加工を行う雰囲気中と研磨加工を行う雰囲気中の排気を支障なく行えるようにする。
【解決手段】排気手段１５が、研削領域Ｅ１側に連通する第１のダクト１５２に結合される第１の結合口１５４ａと研磨領域Ｅ２側に連通する第２のダクト１５３に結合される第２の結合口１５４ｂと吸引用の吸引口１５１に結合される第３の結合口１５４ｃとを有する連結ダクト１５４を備え、第１の結合口１５４ａ及び第２の結合口１５４ｂを第３の結合口１５４ｃの近傍に配置させることで、吸引口１５１の直前位置まで研削による噴霧と研磨による研磨屑が第１，第２のダクト１５２，１５３なる別のダクトで吸引されるようにした。 （もっと読む）

【課題】ガラス板の端面研削工程において、研削液がガラス板の平面へ飛散するのを効果的に抑制し、また、研削液の効率的な回収を図る。
【解決手段】遮蔽板６は、接触部４をガラス基板２の平面中央側から包囲する包囲部９を有する。この包囲部９の一端は砥石３の回転方向前方側でガラス基板２の端面２ａと交差して延びている。また、遮蔽板６を挟んで砥石３とは反対側の位置にはパージノズル７が配設されている。このパージノズル７には、遮蔽板６とガラス基板２との間隙を通って研削液がガラス基板２の平面に侵入するのを阻止するためのパージ水１３を噴射する複数のノズル開口部が並列に配列されている。 （もっと読む）

【課題】ガラス板の割断によって生じた鋭い縁を整形加工や丸め加工する装置に関し、定盤面の洗浄作業を自動化することにより、装置の稼働率の向上と省人化を図る。定盤上のカレットを定盤表面に添着されている樹脂シートないし樹脂コーティング層を傷めることなく短時間で自動洗浄できるようにする。
【解決手段】回転砥石が配置されているガラス板加工領域に隣接して、定盤の上方に、昇降するブラシ２６と、このブラシの摺擦位置に洗浄水を供給する水供給管２４と、定盤の表面に空気流を吹付ける空気噴射管２５とを備えている。定盤が加工済のガラス板を次工程に送る送出位置４８から復帰移動するときに、洗浄水と空気噴流の存在下でブラシ２６を下降して定盤表面を摺擦することにより、定盤表面を自動洗浄する。 （もっと読む）

【課題】シュー組立体を支持する一対の開閉アーム及び前記開閉アームに取り付けられたアーム開閉装置を一体的に組付けたフイルムラップ装置において、フイルムラップ加工中にクーラントが飛散し、開閉アームと側板との間にクーラントが侵入し、支点軸が破損することがないフイルムラップ装置のクーラント侵入防止装置を提供。
【解決手段】モジュール本体21に固定された一対の側板 24,24と一対の側板 24,24の中央に固定された軸受け 3に回転可能に支持された一対の開閉アーム 6、6 と、各開閉アーム 6、6 にそれぞれ支持された一対の比較的剛性の凹面を有するシュー組立体 5、5 及び各アーム開閉用クランプシリンダ 7を有し、モジュール本体21のアーム開閉用クランプシリンダ 7側上下に１対のエアー流入口30及びエアー流入口30から連通穴31を通り一対の側板 24,24の間にエアーブロー33を噴出するエアー噴出口32を設けた。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、目的とする研削面に研削液を効率よく供給して、研削点に到達する研削液の到達効率を向上させた研削液供給装置を提供する。
【解決手段】砥石３の研削面３ａに研削液を供給する研削液ノズル１０を備えた研削液供給装置１において、前記砥石３の外周を覆うようにして砥石３の回転方向上流側から下流側に向けて延出され、砥石３の回転によって発生する空気流を収集する収集フード１３と、前記収集フード１３に接続され、該収集フード１３にて収集された空気流を加速してノズル口１４ｃより噴出し、該ノズル口１４ｃが前記研削液ノズル１０よりも前記砥石３の半径方向外側に配置される空気流ノズル１４とを備える。 （もっと読む）

【課題】ワークの被研磨面の平面度を良好に出し易くし、かつ、鏡面研磨加工の精度を向上する研磨工具を提供する。
【解決手段】ＮＣマシーンに装着して使用する研磨工具であって、ＮＣマシーンの出力軸４の回転動力で回転する回転軸１と、下端を開口した円筒カップ状に形成され、上端部を回転軸１に固定して設けた研磨ヘッド２と、ヘッド２の下端面に接着等で固着して設けた複数個の研磨チップ３…３とを備え、回転軸はヘッド内へ研磨液を導入する液体導入孔１３を備える。各研磨チップはヘッドの下端面に任意の間隔部３１を存して配置されている。 （もっと読む）

【課題】エッジ研磨時にデバイス面に薬液やスラリーが飛散することがなく、被処理基板の移動を少なくして処理効率を上げるとともに小型で安価に実現できるベベル処理方法及びベベル処理装置を提供すること。
【解決手段】被処理基板Ｗのベベル部を含むエッジ部を研磨するベベル処理部７を用いたベベル処理方法において、ベベル処理部７によりエッジ部の一部を覆い、エッジ部を覆った状態で被処理基板Ｗを１周又は複数周回転させてベベル処理部７で覆われたエッジ部に洗浄液を供給してエッジ部を研磨するとともに、エッジ部の外周縁に沿った比較的長い流路を形成してエッジ部を洗浄した後に、使用済み洗浄液及び研磨で被処理基板Ｗから離脱したカス等の種々の物質を吸引・排出することにより、研磨されたエッジ部がベベル処理部７から抜け出る際にエッジ部が乾燥状態となるように処理する。 （もっと読む）