【課題】研磨砥粒を含むフィルタからの研磨砥粒回収方法、研磨液再生方法、磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】フィルタに付着した研磨砥粒を、液体を用いてフィルタから分離する分離工程を含む、フィルタからの研磨砥粒回収方法、研磨液再生方法、磁気記録媒体用ガラス基板の製造方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】研磨砥粒回収装置のスクリューやボウルへのダメージが均一であり、かつ、制御精度良く、回収率が高い研磨砥粒回収装置を提供すること。
【解決手段】研磨砥粒を含むスラリから前記研磨砥粒を含む濃縮液を分離する研磨砥粒回収装置であって、当該研磨砥粒回収装置は、前記スラリを保持するボウルと、前記濃縮液をボウルからかき出すためのスクリューコンベアと、前記ボウル及び前記スクリューコンベアを回転駆動するための駆動手段と、前記駆動手段を制御する制御手段と、を有し、前記制御手段は、前記ボウル又は前記スクリューコンベアを回転駆動するための、前記駆動手段の駆動電流値に基づいて、前記ボウルの回転速度と前記スクリューコンベアの回転速度との差を制御するものである、研磨砥粒回収装置。 （もっと読む）

【課題】使用済み研磨材スラリーについて、簡易な再生処理により研磨材としての性能を再生させることを目的とする。
【解決手段】
ガラス材研磨用の酸化セリウム系研磨材スラリーの再生方法であって、次の工程を含む酸化セリウム系研磨材スラリーの再生方法。
第一工程：ガラス材研磨を行った後の使用済み研磨材スラリーから、研磨材よりも大粒子径の研磨屑を除去する工程
第二工程：ガラス材研磨を行った後の使用済み研磨材スラリーから、研磨材よりも小粒子径の研磨屑を除去する工程
第三工程：第一工程及び第二工程で研磨屑を除去して得られた回収研磨材スラリーに、金属フッ化物を添加して再生酸化セリウム系研磨材スラリーを得る工程 （もっと読む）

【課題】使用済クーラントから各成分を再利用可能に分離するとともに、一次遠心処理工程及び二次遠心処理工程のそれぞれの処理時間を近似させ、生産効率の向上を図ることのできる分離回収装置の提供を課題とするものである。
【解決手段】分離回収装置１は、ボウル状の一次回転体７及び一次回転駆動部８を備える一次遠心分離部９と、使用済クーラント２を一時的に貯留する使用済クーラント貯留槽１０と、一次回転体７の回転速度を変化させる一次回転速度制御部１１と、回収砥粒３及び破砕砥粒４を分別する砥粒分別回収部１２と、ボウル状の二次回転体１３及び二次回転駆動部１４を備える二次遠心分離部１５と、一次遠心分離液１６を吐出する一次遠心分離液貯留槽１７と、二次回転体１３の回転速度を変化させる二次回転速度制御部１８とを具備する。 （もっと読む）

【課題】高い歩留まりでクーラントを再生し、回転体に付着したスラッジを除去する機能を有するクーラント再生方法の提供することを課題とする。
【解決手段】クーラント再生方法１は、縦型遠心分離装置に洗浄液を吐出する洗浄液吐出工程Ｓ０’と、洗浄液の吐出される縦型遠心分離装置の回転体を遠心分離工程時の回転数よりも低速で回転させ、縦型遠心分離装置に付着したスラッジを洗浄及び除去するスラッジ洗浄工程Ｓ０”と、縦型遠心分離装置を有する遠心分離ユニットに使用済クーラントを供給するクーラント供給工程Ｓ１と、遠心分離ユニットに供給された使用済クーラントをシリコン切削屑を含む固形分と遠心分離液とに遠心分離する遠心分離工程Ｓ２と、遠心分離ユニットの縦型遠心分離装置を稼動させた状態で使用済クーラントの供給を間欠的に制御する間欠制御工程Ｓ３とを具備する。 （もっと読む）

【課題】０．１μｍ以下の粒径のシリコン微粒子の比率を抑えた再生クーラント、及びクーラント再生方法の提供することを課題とする。
【解決手段】クーラント再生方法１ａは、遠心分離ユニット２に使用済クーラント３を供給するクーラント供給工程Ｓ１と、使用済クーラント３を遠心分離する遠心分離工程Ｓ２と、分離した遠心分離液１９を回収する遠心分離液回収工程Ｓ３と、遠心分離液５を膜分離ユニット７に供給する遠心分離液供給工程Ｓ５と、遠心分離液１９を膜分離する膜分離工程Ｓ６と、分離された膜濾過液２１を回収する膜濾過液回収工程Ｓ７とを具備し、再生クーラント４は、残存シリコン成分が再生クーラント全体の０．０１重量％以上、３．０重量％以下であり、残存シリコン成分に含まれる０．１μｍ以下の粒径のシリコン粒子が残存シリコン成分全体の０．０１重量％以上、３０重量％以下になる。 （もっと読む）

【課題】非晶質固体が付着した酸化セリウム系研磨材から、酸化セリウム系研磨材を製造できる方法を提供する。
【解決手段】非晶質固体が表面に付着した酸化セリウム系研磨材を含む懸濁液を遠心分離し、非晶質固体が表面に付着した酸化セリウム系研磨材を含む分離堆積物を得る工程を行う。非晶質固体の溶解剤と分離堆積物とを水中で混合することにより、酸化セリウム系研磨材の表面に付着した非晶質固体を溶解させる溶解工程を行う。 （もっと読む）

【課題】例えば研磨材の製造工程から発生する余剰微粉を含むスラリー組成物のような、酸化アルミニウムとジルコンを含むスラリー組成物から酸化アルミニウムとジルコンを分離する方法を提供する。
【解決手段】本発明の分離の方法は、酸化アルミニウムとジルコンを含むスラリー組成物に対して、ｐＨを４．０〜１１．０に調整し、補収剤としての陰イオン性界面活性剤を少なくとも一種と抽出剤としての有機溶媒を添加し、添加する補収剤としての陰イオン性界面活性剤の量がスラリー組成物中の酸化アルミニウムおよびジルコンの混合物の総量に対して０．２５ｋｇ／トン以上であって、前記スラリー組成物を混合処理した後に酸化アルミニウムとジルコンをそれぞれ油相と水相に抽出する。 （もっと読む）

【課題】圧力損失の増大や、膜の閉塞による回収率の大幅な低下を抑制しながら、研磨剤が高濃度に濃縮されたスラリーを回収可能な研磨剤の回収装置および研磨剤の回収方法を提供する。
【解決手段】ＣＭＰ工程で使用された使用済み研磨スラリーから研磨剤を回収する装置であって、前記使用済み研磨スラリーが導入される孔道が円筒状で、かつ有効濾過部の長さが０．８ｍ以下である分離膜４１を有しており、前記使用済み研磨スラリーの研磨剤濃度を、１０質量％以上の濃度に濃縮する研磨剤の回収装置１。 （もっと読む）

【課題】研磨砥粒を固まらせることなく研磨液を研磨装置の研磨パッドに供給することができる研磨液供給装置を提供する。
【解決手段】底壁と天井壁および側壁とを有する研磨液収容タンクと、研磨液収容タンク内に収容された研磨液を研磨装置に供給する研磨液送給手段とを具備する研磨液供給装置であって、研磨液収容タンクを構成する少なくとも壁の内面に付着した研磨液を洗い流す洗浄水を噴射する洗浄手段を具備している。 （もっと読む）

【課題】精密研磨において使用される、ダイヤモンド砥粒を含有している研磨スラリーの廃液からからダイヤモンド砥粒のみを経済的に回収する方法と、この方法に用いられる治具及びその作製方法を提案する。
【解決手段】ダイヤモンド砥粒を含む研磨スラリー廃液からダイヤモンド砥粒を回収することに用いられるセパレーターであって、複数の分離孔が形成されているメッシュ構造基板からなり、当該分離孔の入口側の径の大きさが、前記研磨スラリー廃液に含まれている前記ダイヤモンド砥粒の平均粒径の２５〜８０％である。前記ダイヤモンド砥粒回収用セパレーターを用いてダイヤモンド砥粒を含む研磨スラリー廃液から前記分離孔を通過できないダイヤモンド砥粒を分離する研磨スラリー廃液からのダイヤモンド砥粒回収方法。 （もっと読む）

【課題】 分離効率、回収率及び回収純度の向上を図ることが可能であり、タンクとポンプなどの付属機器が必要最小限で済む湿式分離装置及びこれを用いた研磨材回収システムの提供。
【解決手段】 研磨材廃液などのスラリーを、液体サイクロン本体１に投入することにより、液体サイクロン本体１の筒状部１Ａにて遠心力により旋回流を生じさせるスラリー投入口２をサイクロン本体１に設置するとともに、筒状部１Ａに投入されたスラリーを遠心力によって分級し、スラリーのうち主として粗粉を含むスラリーを下方へ排出するアンダーフロー排出口３を筒状部１Ａに設け、液体サイクロン本体１の下方に調整チャンバ５を取り付けることにより、アンダーフロー排出口３を介して筒状部１Ａと調整チャンバ５とを連通させ、調整チャンバ５にスラリーを排出する粗粉スラリー排出口７、並びに第１の希釈用流体投入口８を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】混合するワークの切粉と未使用又は未破砕砥粒との十分な分離及び回収を実現すると共に、使用済み水溶性スラリーの状態によらず、良質な再生水溶性スラリーを安定的に生成することができる再生水溶性スラリーの生成方法を提供する。
【解決手段】本発明に係る方法は、遠心分離装置にて分離する前に、使用済み水溶性スラリーの温度、密度及び粘度を所定範囲となるように調整する第１工程と、調整された使用済み水溶性スラリーを遠心分離装置にて所定加速度にて分離することで、遠心分離後の再生水溶性スラリーの密度を安定的に所定範囲に調整する第２工程とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】再利用可能な資源用のシリコンスラッジ中への接着剤層の切削屑および固定板の切削屑の混入を防止できるワイヤソー切断スラッジの回収方法およびその装置を提供する。
【解決手段】シリコンインゴットの切断開始後、ワイヤ列が接着剤層に達する直前までに発生した資源用のシリコンスラッジと、その後のスライス中に発生した接着剤層の切削屑および固定板の切削屑を含む廃棄用スラッジとを別々に回収する。これにより、再利用可能な資源用のシリコンスラッジ中への接着剤層の切削屑および固定板の切削屑の混入を防止できる。 （もっと読む）

【課題】リン濃度が十分に低減された再生シリコンを得ることができるシリコン再生方法を提供する。
【解決手段】本発明のシリコン再生方法は、シリコンブロックを切断しその際副生したシリコン屑より、特別の脱リン処理をすることなく、太陽電池用原料として利用可能なリン濃度を有する再生シリコンを得るシリコン再生方法であって、シリコンブロックをダミー材に接着剤を用いて接着させた状態で、表面に砥粒を固着したワイヤーとクーラントとを用いて、シリコンブロックとダミー材の一部を切断してシリコンウエハを得、その際副生したシリコン屑を含む廃スラリーからシリコン屑含有固形分を回収する工程と、回収した固形分を第１洗浄液とそれと異なる第２洗浄液とで洗浄する工程と、洗浄した固形分を熔融して熔融シリコンを得る工程と、熔融シリコンを凝固する工程とを含み、ダミー材は、第１洗浄液に易溶性を有し、接着剤は、第２洗浄液に易溶性を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ワイヤソーからの廃液を処理するにあたり、クーラントの再利用率を９０％以上に高めることのできるクーラント回収システムを提供する
【解決手段】固定砥粒ワイヤソーの廃液からクーラントを回収するシステムであって、切削屑とクーラントを含む廃液を受け入れる濃度調整タンクと、濃度調整タンクに貯留された廃液を遠心分離機に供給する送液ポンプと、送液ポンプによって供給される廃液を遠心力の作用で重液と軽液とに分離し、切削屑を含む重液を系外に排出する一方で、軽液を濃度調整タンクに戻す遠心分離機と、濃度調整タンクに貯留された廃液をフィルターに供給する循環ポンプと、循環ポンプによって供給される廃液をクロスフローろ過方式で重液と軽液とに分離し、重液を濃度調整タンクに戻す一方で、軽液を再生クーラントとして再生クーラントタンクに供給するフィルターと、を含むようにする。 （もっと読む）

【課題】本発明は、効果的に不純物を除去したシリコン屑を回収することができるシリコン含有廃液処理方法を提供する。
【解決手段】本発明のシリコン含有廃液処理方法は、水溶性クーラントを供給しながらシリコン塊を機械加工することにより排出される廃液から再生クーラントと再生シリコン塊を得るためのシリコン含有廃液処理方法であって、前記廃液または前記廃液の濃縮分を蒸留することによって前記再生クーラントとシリコン回収用固形分とに分離する工程と、前記シリコン回収用固形分を洗浄液中に分散させ洗浄した後、前記シリコン回収用固形分と液分とに固液分離する工程と、前記シリコン回収用固形分を塩基性水溶液中に分散させ洗浄する工程と、前記塩基性水溶液と前記シリコン回収用固形分とを固液分離することなく、前記塩基性水溶液に酸性水溶液を添加することにより、酸性水溶液中で前記シリコン回収用固形分を洗浄する工程とを順次含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】廃棄する砥粒の量を低減するとともに、研磨処理の質を向上できるようにする。
【解決手段】新品砥粒群の切断処理による粒度分布変化を低減するための粒度分布を有する追加用砥粒群を用意し、切断処理に使用した砥粒群に、追加用砥粒群を所定量加えて混合し（ステップＳ４）、混合した砥粒群について砥粒の大きさが第１砥粒径以上かつ第２砥粒径以下となるよう分級処理を行うようにする（ステップＳ５）。これにより、混合された砥粒群の粒度分布を新品砥粒群の粒度分布又はそれに近い粒度分布にすることができ、これにより、混合した砥粒群を用いて、新品の砥粒群と同様な質の研磨処理を施すことができ、従来に比して研磨処理の質を向上することができる。 （もっと読む）

【課題】加工液の劣化を抑制しながら加工液をより有効的に再使用する。
【解決手段】ワイヤソーは、スラリ供給用のノズル１８と循環用タンク２０との間でスラリを循環させるスラリ循環装置２を有する。循環装置２は、切断領域の下方位置でスラリを回収する第１回収ボックス２４及び第１回収配管２８と、第１回収ボックス２４の両側の位置でスラリを回収する第２回収ボックス２６Ａ，２６Ｂ及び第２回収配管２９と、タンク２０内のスラリをノズル１８に供給するポンプ２１及び供給配管２２とを含む。タンク２０は、第１回収配管２８が接続される第１貯溜部４０と、第２回収配管２９が接続される第２貯溜部４２と、スラリを撹拌する撹拌装置とを備える。第１貯溜部４０と第２貯溜部４２とは互いに内底部で連通しておりかつ第１貯溜部４０の内底面４０ａは傾斜している。供給配管２２等は、第２貯溜部４２内のスラリのみをノズル１８に供給する。 （もっと読む）

【課題】全ての原石の切断面に研磨砥液を十分に行き渡らせることにより、原石を精度良く切断することができるウエハ製造方法およびウエハ製造装置を提供する。
【解決手段】Ｘ方向（第１方向）に並んだ複数の原石１０を、Ｘ方向に走行するワイヤで切断することにより、各原石１０から同時にウエハを切り出すウエハ製造方法であって、各原石１０のＸ方向の両外側においてワイヤ２２に研磨砥液３５を吐出しつつ、ワイヤ２２で各原石１０を切断することを特徴とする。 （もっと読む）