【課題】高い剛性と、拡大された作業領域へのアクセスとを可能にする工作機械を提供すること。
【解決手段】本発明は、上側水平リニア・ガイド４、５を備えた寸法的に剛性の側壁２、３を含む機械フレーム１と、リニア・ガイド４、５上を変位可能な複合スライド６、１１であって、その前部で、スピンドル・ヘッド１５を有する機械加工ユニット１４が垂直方向に変位可能に案内される複合スライドと、側壁２、３の間の空間内に配設された被削材取付けユニット２４〜２８とを有する工作機械であって、被削材取付けユニットが、被削材テーブル２８又は被削材チャッキング・デバイスを有し得る工作機械に関する。工作機械の作業領域への拡大されたアクセス域を形成するために、一方の側壁３が他方の側壁２よりも前部で短く、また側壁２、３に取り付けられたリニア・ガイド４、５は、機械フレーム１の垂直中心面に対して鋭角αに整列されている。 （もっと読む）

【課題】テーブルを駆動する際に、その移動方向と平行な鉛直面内においてテーブルが回転方向に変位するのを抑制することができる工作機械を提供する。
【解決手段】工作機械１は、ベッド１１と、ベッド１１上にＺ軸方向へ移動自在に配設され、ワークＷを固定可能に構成されたテーブル１４と、テーブル１４をＺ軸方向へ送る為の送り機構３５とを備える。送り機構３５は、ベッド１１のＸ軸方向における両端部に、互いに平行に配設された２つのボールねじ３６と、ベッド１１に配設され、各ボールねじ３６をその軸線中心に回転させる駆動モータ３７と、各ボールねじ３６にそれぞれ螺合し、テーブル１４に固設された２つのナット３８とから構成され、各ボールねじ３６は、それぞれ異なる高さ位置に配置される。 （もっと読む）

【課題】 光学顕微鏡や電子顕微鏡に使用される試料ステージを、所定位置にミクロン単位で移動させ或いは秒単位角度の傾斜姿勢となるように、精度高く制御し、且つ装置全体の大きさを極力抑えることができるようにすることにある。
【解決手段】 固定ベースプレート１１と、この固定ベースプレート１１上に、Ｘ方向に延出する一対のＸ方向クロスローラガイド１４を介してＸ方向に水平移動可能に組み付けられる中テーブル１２と、この中テーブル１２に、Ｙ方向に延出する一対のＹ方向クロスローラガイド１５を介してＹ方向に水平移動可能に組み付けられ、上面に試料が載置される設置テーブル１３とから構成され、Ｘ方向クロスローラガイド１４とＹ方向クロスローラガイド１５とを同一平面上に配する構成で、Ｘ方向クロスローラガイドをθＸ方向に、Ｙ方向クロスローラガイドをθＹ方向に夫々湾曲延出する形態として、揺動移動可能にすることもできる。 （もっと読む）

【課題】第２主軸台を前後方向に関してバランスよく支持することができる工作機械を提供する。
【解決手段】工作機械１は、機械本体１１と、工具を保持し機械本体に移動可能に設けられた刃物台１４と、機械本体に設けられて工作物を保持可能な主軸台と、この主軸台に対向して機械本体に設けられ、工作物を保持可能な第２主軸台６０と、この第２主軸台の下方に左右方向に延びて機械本体に配置されたクーラントタンク８０および切り屑用コンベア８１の一方または両方とを有する。工作機械１は、第２主軸台６０の重心Ｇ3のほぼ下方に左右方向に延びて機械本体のベッド１７に取付けられ、第２主軸台６０を左右方向に移動可能に支持する主ガイドレール６６と、この主ガイドレールの後部に左右方向に延びてベッドに取付けられ、第２主軸台６０を振れ止めしながら左右方向に移動可能に支持する少なくとも１本の補助ガイドレール６７とを備えている。 （もっと読む）

本発明は、工作機械用ガイドキャリッジ・アセンブリに関するものである。それは少なくとも２つの平行な第１のガイドレール２を有する第１の直線軌道１を備え、この軌道には、第１のスライド部３が直線移動可能に取り付けられていて、このスライド部は空間を取り囲んでおり、その中を第２のスライド部４が、第１の軌道１に対して直角に直線移動可能であり、上記空間は、互いに離間して配置された２つのベアリング要素５により形成されている。 （もっと読む）

【課題】摺動支持部及び摺動部の間の機械的な接触を最小限に抑え、潤滑剤を継続して安定供給することにより、摺動時の熱の発生を抑制し、長時間に亘って安定した摺動を可能とする摺動機構を提供することを課題とする。
【解決手段】摺動機構１は、断面略Ｓ字形状に形成された長手状の摺動支持部４と、該摺動支持部４のそれぞれの摺動支持面６ａ等と空隙を保持した状態で摺動可能に取設された摺動部５と、潤滑剤７の流通する流路８が摺動部５の内部に穿設された潤滑剤流路部９と、流路８に潤滑剤７を空気圧を利用して流通させ、摺動支持面６ａ等と相対する摺動部５の摺動面１０ａ等に流路８と連通して開口した開口部１１から潤滑剤７を放射状に噴出させる潤滑剤噴出部と、開口部１１から噴出された潤滑剤７が空隙を満たして形成される潤滑剤層２とを主に具備して構成されている。 （もっと読む）

【課題】 復元を短時間で行うことができ、元の状態に正確に復元することができ、復元のための作業乃至操作が簡単である走行ガイド付き載物台を提供すること。
【解決手段】 左右の前部ガイドベース（１０４，１０５）のそれぞれと左右の後部ガイドベース（２０４，２０５）のそれぞれとの分割点（Ｐ２）は、前部定盤（１０３）と後部定盤（２０３）との分割点（Ｐ１）よりも所定距離（Ｌ１）だけ前部ブロック側へと進入した点に位置決められており、かつ左右の前部ガイドレール（１０９）のそれぞれと左右の後部ガイドレール（２０９）のそれぞれとの分割点（Ｐ３）は、左右の前部ガイドベースのそれぞれと前記左右の後部ガイドベースのそれぞれとの分割点（Ｐ２）よりも所定距離（Ｌ２，Ｌ３）だけ前部ブロック側へと進入した点に位置決められている。 （もっと読む）

【課題】高速・高加速度で載置台を動作させた場合であっても、ガイドレールにかじりの生じない載置台搬送技術を提供する。
【解決手段】本発明においては、基板７を載置する載置台４０を、第１及び第２のガイドレール１１、１２上を支持しリニアモータで駆動して搬送させる。第１のガイドレール１１を、載置台４０の移動方向と直交する横方向に付勢して載置台４０を拘束された状態で案内する拘束エアベアリング２３と、第１のガイドレール１１を、載置台４０の移動方向と直交する横方向に付勢して載置台４０を弾性的な緩衝状態で案内する緩衝用エアベアリング２４とを有する。 （もっと読む）

【課題】耐久性を向上させ、且つ、加工精度を維持することができる加工機を提供する。
【解決手段】本発明は、上面にスライド面２２ａを備える基台２０と、基台２０に対してＸ軸方向にスライド可能となるように基台２０のスライド面２２ａの上に配置される移動台３０とを備え、移動台３０の前方側に加工領域を形成する加工機において、移動台３０は、スライド面２２ａの上にスライド可能に配置され、移動台３０が基台２０に対してスライド可能な全領域において前方の端部がスライド面２２ａの前方の端部より前方に位置する移動台本体部３１を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】フットプリントを低減し、装置のコンパクト化を図ることのできるステージ装置を提供する。
【解決手段】Ｙ軸移動体４を移動させるＹ軸駆動部３として、磁石を内部に有するＹ軸シャフト３Ａ，３Ｂ及び当該Ｙ軸シャフト３Ａ，３Ｂを取り囲むコイルからなるＹ軸可動子９Ａ，９Ｂを用いることによって、リニアモータなどに比して駆動部を小さくし、これにより、側面側滑走面２ｄに対向する側部４ｂを一方のＹ軸可動子９Ａの下方に配置し、Ｙ軸駆動部３Ａと横並びになった場合に側部４ｂが占めるフットプリントを省略する。 （もっと読む）

【課題】低姿勢・低重心を実現することができるステージ装置、及びこれを備える半導体検査装置を提供する。
【解決手段】
ステージ装置１は、開口部３ａを有する定盤３と、該定盤３の開口部３ａに設けられるＹ軸シャフトモータ５と、該Ｙ軸シャフトモータ５と平行に設けられる２つのＹ軸ガイドレール１２Ａと、該Ｙ軸ガイドレール１２Ａに案内されながらＹ軸シャフトモータ５の駆動により定盤３に対して可動であり、凹部４ｂを有するＹ軸ステージ４と、該Ｙ軸ステージ４の側部に設けられるＸ軸シャフトモータ６と、該Ｘ軸シャフトモータ６と平行に設けられる２つのＸ軸ガイドレール１５Ａと、該Ｘ軸ガイドレール１５Ａに案内されながらＸ軸シャフトモータ６の駆動によりＹ軸ステージ４に対して可動に設けられたＸ軸ステージ７と、を備える。 （もっと読む）

【課題】上下・左右方向の走行精度の安定化・高精度化を図る。
【解決手段】運動案内装置１０は、長手方向に延びる一対の傾斜面１１ａ，１１ａを有するベース部材１１と、一対の傾斜面１１ａ，１１ａのそれぞれに設置される一対のレール部材１３，１３と、一対のレール部材１３，１３のそれぞれに対して複数の転動体を介して設置されるとともにレール部材１３の長手方向に沿って移動自在とされる一対の移動部材１４，１４と、一対の移動部材１４，１４に掛け渡して設置されるテーブル部材１６と、を備え、テーブル部材１６がベース部材１１の長手方向に沿って案内運動自在とされている。そして、一対のレール部材１３，１３は平行配置されており、また、ベース部材１１を幅方向の縦断面で見たときに、一対のレール部材１３，１３が、ベース部材１１の設置面に対して傾斜角度を持って設置されている。 （もっと読む）

【課題】ガイドレールを精度よく連結するガイドレールの連結構造を提供する。
【解決手段】ガイドレール１Ａ、１Ｂを連結して定盤１００上に載置し、ガイドレール１Ａ、１Ｂに設けられた連結用偏心ブッシュ５０Ａ、５０Ｂを通して、横溝１０２に連結用ピン５９Ａ、５９Ｂを差し込んで定盤１００に位置決めすることにより、連結用偏心ブッシュ５０Ａ、５０Ｂを回転させてレールベース１０Ａ、１０Ｂ間の距離が調節できる。また、ガイドレール１Ａ、１Ｂに設けられた固定用偏心ブッシュ６０Ａ、６０Ｂを通して、縦溝１０１に固定用ピン６９Ａ、６９Ｂを差し込んで定盤１００に位置決めすることにより、固定用偏心ブッシュ６０Ａ、６０Ｂを回転させてガイドレール１Ａ、１Ｂの取り付け位置（レールの延長方向と直交する方向の位置）を調節することができる。よって、ガイドレール１Ａ、１Ｂの側面に段差や隙間ができることなく、かつ両者が一直線となるように連結することができる。 （もっと読む）

【課題】温度変化の大きな環境下において使用されても、温度の影響で特に問題となる位置決め装置の反りが抑制されて、高精度で位置決めすることができる位置決め装置を提供する。
【解決手段】位置決め装置１０は、長尺部材であるベース１２と、ベース１２の表面１２ａに長手方向に沿って固定されたガイドレール１３と、ガイドレール１３に摺動して移動自在に配設されるスライダ１５と、スライダ１５をガイドレール１３に沿わせて移動させる駆動機構１７と、を有し、ベース１２の裏面１２ｂには、ガイドレール１３と同じ熱膨張率αを有するカウンタガイドレール１４が固定される。 （もっと読む）

【課題】位置決め可能な機械工具を担持するための相互連結する可撓性精密レールシステムを与える。
【解決手段】レールシステムは、所定の長さで第１の端部から終端まで延在する第１の段部を下表面に有する第１のレール要素、および第１の段部を受取るよう第２の端部から延在する対になる段部を上表面に有する第２のレール要素を用いる。第１のクリップの対は、第１の端部に隣接する第１のレール要素の上面に第１のピンで、かつ第２のレール要素に第２のピンで、取外し可能に取付けられる。第２のクリップの対は、第２の端部に隣接して第２のレール要素の上面に第３のピンで、かつ第１のレール要素に第４のピンで、取外し可能に取付けられる。ピンを受取る位置合わせ穴は段部の所定の長さに関して規定された許容誤差を有し、段部の長さにより許容誤差が減じられ得る。第１および第２のクリップの対ならびに関連するピンがレール要素を合わせて係合して横方向に固定する。 （もっと読む）

【課題】本発明はリニアモータの反力が床面を介してステージに伝播しないことを課題とする。
【解決手段】ステージ用反力処理装置１００は、ステージ装置１０の架台１２を支持する第１の床下構造体１１０と、リニアモータ支持部４６を支持する第２の床下構造体１２０とを有する。第１の床下構造体１１０と第２の床下構造体１２０とは、分離して設けられている。また、第１の床下構造体１１０及び第２の床下構造体１２０は、床面１３０のステージ装置１０が設置されるステージ設置部１３２の下方に形成された床下凹部１４０内に収納されている。この床下凹部１４０内では、第１の床下構造体１１０と第２の床下構造体１２０とを所定距離離間させており、第１の床下構造体１１０と第２の床下構造体１２０との間を非接触とする非接触空間１５０が形成されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、所定の領域における変形量を抑制して信頼性の向上を得られる中間ベースと、この中間ベースを用いたＸＹテーブルと、この ＸＹテーブルを用いたシール剤塗布装置と、このシール剤塗布装置を用いた液晶パネルの製造方法を提供する。
【解決手段】中間ベース２３は横長矩形状の板体であり、下面略中央部に長手方向とは直交する方向に亘るとともに両側端縁から突出して設けられ、端部に駆動モータ２９が連結される第１のボールねじ２７および、この両側部で軸方向に沿って並行して設けられる複数の第１のＬＭガイド２６を備え、中央部２本の第１のＬＭガイド相互間で第１のボールねじが設けられる部位を領域Ａとし、この領域Ａの両側部位を領域Ｂとしたとき、領域Ａにおける第１のボールねじに近接した位置に追設される少なくとも１本の第３のＬＭガイド３０と、領域Ｂにおける板厚中に長手方向に沿って設けられ長手方向と直交する方向に互いに並行な複数の丸孔３８とを具備する。 （もっと読む）

【課題】テーブルが１本のネジ軸と１つのメネジによって位置決め加工することを原因としてのテーブルの位置が微妙に位置がずれるという問題がなく、又、縦移動部材に複数の主軸ヘッドを装着した場合、ネジ軸とメネジのバックラッシュによって微妙に傾斜するということのない加工装置を提供する。
【解決手段】縦移動部材は４つの主軸ヘッド１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄが装着され、又、縦移動部材は２つのサーボモータ１０ａ、１０ｂで上下に移動され、さらに、横支持部材３の下部に２つのテーブル台１４ａ、１４ｂが装着され、テーブル台１４ａ、１４ｂのそれぞれの両側にネジ軸２０ａ、２０ｂが装着され、ネジ軸２０ａ、２０ｂにそれぞれテーブル１７ａ、１７ｂに固着したメネジが係合され、これらのネジ軸２０ａ、２０ｂはサーボモータ１８ａ、１８ｂでそれぞれ駆動する。 （もっと読む）

【課題】加工時間の短縮や加工精度を向上させることができ、しかも分割することもできる加工機を提供する。
【解決手段】加工機は、複数に分割された円弧状のインナーリングセグメント２６ａ，２６ｂをワークを囲むように合体させてなるインナーリング２６と、複数に分割された円弧状のアウターリングセグメント２５ａ，２５ｂをインナーリング２６を囲むように合体させてなるアウターリング２５と、インナーリング２６がアウターリング２５に対して回転するのを案内するころがり案内装置３８と、インナーリング２６を回転させる駆動機構３５，３６，３３と、を備える。ころがり案内装置３８は、複数に分割された円弧状のレールセグメント４１を連結してなる円形状の軌道レール３９と、軌道レール３９に沿って周方向に移動可能に組み付けられる移動ブロック４０と、軌道レール３９と移動ブロック４０との間に転がり運動可能に介在される複数のボール４２と、を有する。 （もっと読む）

【課題】小型の運動案内装置の軌道レールを簡単にベースに取り付けることができる運動案内装置の軌道レール取付け方法を提供する。
【解決手段】運動案内装置は、ベース７に対してテーブル等の移動体が運動するのを案内し、軌道レール１と、ボール３を介して軌道レール１に沿ってスライドする移動ブロック２とを備える。密着させた軌道レール１及びベース７の周囲に締結部材８を巻き、該締結部材８で軌道レール１及びベース７を締め付けることによって、軌道レール１をベース７に取り付ける。 （もっと読む）