【課題】研磨加工時に発生する静電気を抑制して、ブラシ屑や研磨屑の付着による汚れを防止することができ、さらには耐久性に優れかつ持続的な研磨性能を発揮する研磨ブラシ用毛材および研磨ブラシを提供する。
【解決手段】砥材粒子含有熱可塑性樹脂組成物からなるモノフィラメント１の表面長手方向の少なくとも一部に、カーボンブラック粒子を５〜４０重量％含有する導電性樹脂層２を設けてなり、前記モノフィラメント１と前記導電性樹脂層２の重量比率を７０〜９５：３０〜５としたことを特徴とする研磨ブラシ用毛材。 （もっと読む）

【課題】安定して放電ツルーイングまたは放電ツルーイング・ドレッシングをすることが可能な超砥粒ホイールを提供する。
【解決手段】超砥粒ホイールの表面の超砥粒層の表面は導電性皮膜によって被覆されており、導電性皮膜の厚みは０．１μｍ以上である。 （もっと読む）

【課題】十分な砥粒保持力を確保することができると同時に、加工効率や加工精度に優れ、しかも、寿命が長く生産性にも優れた固定砥粒ワイヤーソーを提供する。
【解決手段】高強度で導電性を有する断面略円形の芯線２の外周面上に、表面に導電性被覆３ａを有する多数の砥粒３を、電着による金属メッキ４によって固着させて成る固定砥粒ワイヤーソー１において、上記金属メッキ４を内側の第１メッキ層４ａと外側の第２メッキ層４ｂとの２層により形成し、外側の第２メッキ層４ｂの硬度が内側の第１メッキ層４ａの硬度よりも小さくなるように調整した。 （もっと読む）

【課題】乾式研磨で発生する静電気を効果的に除電して静電気による支障発生を防ぐ。
【解決手段】ゴム粉末からなるマトリックス中に、酸化金属からなる砥粒と、体積比で２．２％を超え、かつ５％未満の割合で混入された炭素繊維とが、分散し、かつ結合保持されている乾式研磨砥石を用いて乾式研磨する。 （もっと読む）

【課題】加工中のウェーハが帯電するのを防止することができる乾式研磨装置を提供する。
【解決手段】研磨パッド５２によってウェーハ１の被加工面を乾式研磨すると、両者の摩擦によって静電気が発生する。研磨パッドの除電部５２Ｒは、ウェーハ１に常に接触しているから、発生した静電気は除電部５２Ｒを介してフレーム５１に流れ、フレーム５１からモータのスピンドルシャフト２２等を伝わって接地電流として放散される。 （もっと読む）

【課題】 現在使用されているレジノイド、メタルボンド切断砥石等に比較して、切れ味のよいビトリファイド切断砥石に、通電機能を付与することにより、現実の切断加工工程の生産性や良品率の改善に寄与すること。
【解決手段】 ガラス結合橋部5〜30vol%、気孔部15〜55部、砥粒部30〜60vol%で構成され、ガラス結合橋及び砥粒表面を無電解メッキ法による金属被覆することにより通電機能を付与した厚さ0.04〜5mmのビトリファイド切断砥石。
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【課題】柔軟性を維持しつつ、砥粒の食い込みを向上して、高精度、高能率での切断が可能なレジンボンドワイヤソーを提供する。
【解決手段】レジンボンドワイヤソー１は、ピアノ線等からなる芯線２の周囲に、砥粒３を紫外線硬化樹脂からなるレジンボンド４で固定した砥粒層５を形成してなるものである。レジンボンド４の表面上には金属層６が形成されている。レジンボンド４の表面からの砥粒突出し量は、平均砥粒粒径Ｄの１０％以上４０％以下であり、レジンボンド４の表面に被覆された金属層６の厚みは、砥粒突出し量の１０％以上４０％以下としている。 （もっと読む）

【課題】シリコンウェハーのスライシング加工などに供するレジンボンドワイヤーソーで、ワイヤーソー自体に通電性を持たせ、且つ、砥粒保持力が高く、切れ味の良いワイヤーソーを提供する。
【解決手段】金属被覆砥粒の一端を金属芯線１に接触させ、且つ、一部分をボンド面より露出させることでワイヤーソーの外表面から芯線に通電性を持たせ、加工中の断線検知を可能とする。又、金属被覆砥粒２を用いることでボンドとなる樹脂３との接合性を良くした上、金属芯線１に銅又は銅合金メッキすることでボンド３との接合性をより高め、砥粒の脱落やボンド剥離をなくす。２ヶの導電性ロールを用いて上記ワイヤーソーの断線検査を行う。 （もっと読む）

【課題】 砥粒およびフィラーの電着強度を高める手段を提供する。
【解決手段】 基材４の表面に、第１砥粒層の砥粒１４と導電性のフィラー２１が付着する。次に、基材４に付着した第１砥粒層の砥粒１４とフィラー２１の表面に、第１砥粒層の鍍金層１６が形成され、第１砥粒層の砥粒１４とフィラー２１が電着される。次に、第１砥粒層の砥粒１４に、第２砥粒層の砥粒１８とフィラー２１が付着する。次に、第２砥粒層の砥粒１８とフィラー２１の表面に、第２砥粒層の鍍金層２０が形成され、第２砥粒層の砥粒１８とフィラーが電着される。導電性のフィラーを用い、多層構造の砥粒層を一層づつ形成していくため、砥粒の電着強度は強いものとなる。 （もっと読む）

【課題】 砥粒およびバルーンの電着強度を高める手段を提供する。
【解決手段】 基材４の表面に、第１砥粒層の砥粒１４と導電性のバルーン２１が付着する。次に、基材４に付着した第１砥粒層の砥粒１４とバルーン２１の表面に、第１砥粒層の鍍金層１６が形成され、第１砥粒層の砥粒１４とバルーン２１が電着される。次に、第１砥粒層の砥粒１４に、第２砥粒層の砥粒１８とバルーン２１が付着する。次に、第２砥粒層の砥粒１８とバルーン２１の表面に、第２砥粒層の鍍金層２０が形成され、第２砥粒層の砥粒１８とバルーンが電着される。導電性のバルーンを用い、多層構造の砥粒層を一層づつ形成していくため、砥粒の電着強度は強いものとなる。 （もっと読む）

【課題】 放電ツルーイング性の向上した放電ツルーイング用メタルボンドホイールと、その製造方法を提供すること。
【解決手段】 砥粒をメタルボンドで結合した砥粒層１が台金５に固着されたメタルボンドホイールであって、メタルボンドがＣｕ６２〜４８質量％及びＳｎ３８〜５２質量％の組成を持ち、且つ、砥粒層１と台金５との間に、Ｆｅ：Ｃｕ：Ｓｎの質量比が８０〜４０：４４〜１５：１６〜５の補強層４が位置する放電ツルーイング用メタルボンドホイールである。好ましくは、砥粒層１はその全体積に対して１〜３０体積％の潤滑剤を含む。 （もっと読む）

【課題】磁気記録媒体の磁性層を傷つけることなくその表面における付着物や不要な微小突起等を効率よく除去できる磁性層研磨用のラッピングテープを提供する。
【解決手段】非磁性支持体上に設けた研磨層中に、モース硬度0.５〜５の粉体粒子と、これらの粉体粒子を分散させる結合剤とを含有させる。このときの研磨層中のモース硬度0.５〜５の粉体粒子の含有量を２５〜８５重量％、結合剤の含有量を１５〜７５重量％にそれぞれ設定する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、強度・耐久性・精度に優れた、小径・極薄の樹脂単体及び研磨砥粒・静電気除去砥粒を練り込んだ糸材群で溶着・製造したボス型円筒ブラシを提供する。
【解決手段】樹脂単体及び研磨砥粒・静電気除去砥粒を練り込んだ糸材群でディスク型ボス付ブラシ単体を製造、その工程と連動して積層・挿通孔内溶着固定を自動化して進め、品質・精度の向上、製造コストの低減を実現する。 （もっと読む）