【課題】基板の撓みを抑制可能な波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、電子機器、及び波長可変干渉フィルターの製造方法を提供する。
【解決手段】波長可変干渉フィルター５は、固定反射膜５４を有する固定基板５１と、可動反射膜５５を有する可動基板５２と、固定基板５１及び可動基板５２を接合する接合部５３と、を具備し、可動基板５２は、可動部５２１と、保持部５２２と、基板外周部５２５と、を備え、保持部５２２は、均一厚み寸法の平坦部５２２Ａと、平坦部５２２Ａの外周側に設けられ、基板外周部５２５に向かうに従って厚み寸法が増大する曲面部５２２Ｂと、を備え、接合部５３は、固定基板５１及び可動基板５２の互いに対向する面のうち、各基板外周縁に沿った外周領域に設けられ、かつ、接合部５３の内周縁５３Ａが、曲面部５２２Ｂの外周縁５２２Ｅよりも内側に設けられた。 （もっと読む）

【課題】電気機械変換エレメント間の静電容量を低減して、エレメント間の信号のクロストークを低減することができる電気機械変換装置を提供する。
【解決手段】電気機械変換装置１０では、絶縁部７を介して対向する位置に設けられた第１電極３と第２電極６とを含む電気機械変換エレメント２が半導体基板１の一方の面に形成された絶縁層５上に複数形成されている。第１電極３とは絶縁されて絶縁層５上のエレメント２間に配設された導体配線４と、導体配線４に電圧を印加する第１電圧印加部１２と、導体配線４とは極性の異なる電圧を第１電極３に印加する第２電圧印加部１３が設けられている。半導体基板１の他方の面の一部は接地されている。 （もっと読む）

【課題】気密封止光偏向器パッケージを有する画像表示装置における往復走査の同期方式はパッケージ外に設けた光ビーム検出器の検出信号に基づいて行っていたために、有効光ビームへの影響が大きく、装置が大型化する。
【解決手段】封止ガラス１は中央に光学透過窓１１を有し、その周辺に遮光カバー１２ａが形成された遮光部１２を有する。光偏向器２をセラミック実装基板３のキャビティ３ａ内に配置し、セラミック実装基板３のキャビティ３ａを封止ガラス１によって気密封止してある。有機薄膜フォトセンサ４ａ、４ｂはパッケージ内部にあって、光偏向器２のマイクロミラー２１から反射される走査光ビームが通過する光学透過窓１１の極近傍に設けられている。 （もっと読む）

【課題】ミラー面の振れ角に応じて出力が変化するように配置された受光素子を備えた構成の採用による小型化を図ながらも、ミラー面において光ビームを入射させる位置が制限されたりミラー面の振れ角が制限されるのを防止することが可能なＭＥＭＳ光スキャナを提供する。
【解決手段】外側フレーム部１０、ミラー面２１が設けられた可動部２０、一対の捩りばね部３０，３０を有するミラー形成基板１と、ミラー形成基板１に接合された第１のカバー基板２および第２のカバー基板３とを備える。受光素子６は、ミラー面２１で反射された光のうち第１のカバー基板２を透過する主光線Ｉ１ではなく第１のカバー基板３におけるミラー面２１側の表面で反射された副光線Ｉ２を受光しミラー面２１の振れ角に応じて出力が変化するように、第１のカバー基板２の上記表面側に配置してある。 （もっと読む）

【課題】安価な構成でＭＥＭＳミラーの偏向状態を高精度にモニターすることができる光走査装置を提供すること。
【解決手段】光源から出射される光ビームを偏向するＭＥＭＳミラーと、該ＭＥＭＳミラーを一定の周期で駆動する駆動手段と、前記光源から出射される光ビームを検知する光検知素子（ＢＤセンサ）を備えた光走査装置において、前記駆動手段に入力される駆動位相信号の位相と前記光検知素子の検知信号の位相との関係から前記ＭＥＭＳミラーの偏向状態を求める。例えば、駆動位相信号が出力されてから光検知素子の検知信号が出力されるまでの時間Ｔを検出し、この時間Ｔと光検出素子の設置偏向角θ_０ 及びＭＥＭＳミラーの偏向周波数νを用いて次式：
θ_ｍ ＝θ_０ ／ｓｉｎ（２πνＴ−π／２）
にてＭＥＭＳミラーの最大偏向角θ_ｍを求める。 （もっと読む）

【課題】本発明は、単位エネルギー当たりの光輻射力の発生効率及び検出効率を高く保ちつつ、外部からの光の入力を容易にする光学微小機械装置を提供することを目的とする。
【解決手段】所定間隔１２を有して対向して配置された２枚のフォトニック結晶スラブ、１１を有し、
前記所定間隔は、前記２枚のフォトニック結晶スラブの定在波モードの波長の光が前記フォトニック結晶スラブの面上に照射されたときに、該定在波モードが結合して結合モードとなる距離であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】所望の方向に光を正確に反射するマイクロミラー装置を得る。
【解決手段】カバーガラス２００は、平板状の直方体であって、カバーガラス底面２０２には、ＣｄＳを蒸着して形成される光検出部材が設けられる。光検出部材は、第１から第６のＸ方向光検出部ＰＤｘ１−ＰＤｘ６と、第１から第６のＹ方向光検出部ＰＤｙ１−ＰＤｙ６とから成る。第１のマイクロミラー装置１０は、カバーガラス底面２０２上において、第１の可動部１２０が、第１のＹ方向光検出部ＰＤｙ１と第２のＹ方向光検出部ＰＤｙ２との間から第５のＹ方向光検出部ＰＤｙ５と第６のＹ方向光検出部ＰＤｙ６との間まで、第２の可動部１３０が、第１のＸ方向光検出部ＰＤｘ１と第２のＸ方向光検出部ＰＤｘ２との間から第５のＸ方向光検出部ＰＤｘ５と第６のＸ方向光検出部ＰＤｘ６との間までレーザ光を反射するように制御される。 （もっと読む）

【課題】機能素子を構成する機能構造体が下方に間隙を有する可動部を備えてなる電子装置において、上記間隙が小さくなっても可動部をリリースするための犠牲層エッチングを適度に行うことができる電子装置の構造及び製法を提供する。
【解決手段】本発明の電子装置１０は、基板１１と、該基板上に形成され、下方に間隙１３ｇを有する可動部１３ｍを備えた機能構造体１３と、前記基板上において前記可動部と同じ層により形成され、下方に間隙１４ｇを有しその平面形状によって前記可動部よりも上下方向に変形容易に構成された変形部１４ｍを備えたモニタ用構造体１４と、該変形部上に固定され、前記変形部の変形状態に応じた姿勢を取る検出用構造体１４ｒと、を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】温度特性のあるセンサでも、安定して光スキャナの駆動状態検出を行うことができる光スキャナ装置を提供する。
【解決手段】回動可能に構成された光スキャナ部１と、光スキャナ部１を回動駆動させるための駆動部４とを備え、光スキャナ部１を回動させることにより、光スキャナ部１で反射した光を対象物に走査する光スキャナ装置１０であって、光スキャナ部１の駆動状態を検出する駆動検出部５と、光スキャナ部１周辺の温度を測定する温度測定部８と、光スキャナ部１に照射される光の照射量を出力する照射量提供部９と、測定された周辺温度と光の照射量に基づいて、駆動検出部５の検出結果を補正する検出結果補正部７と、駆動検出部５の補正後の検出結果に基づいて、駆動部４が光スキャナ部１を自己の共振周波数で捩り変形させるよう制御する駆動制御部６を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】簡単な流路構成であっても、圧力差に依存せずに微細流路内の液体を所定の位置に送液することが可能なマイクロチップを提供する。
【解決手段】微細流路ｒと、微細流路ｒを送液された液体を貯留する貯留部１３９と、
を有するマイクロチップであって、
貯留部１３９は、貯留部１３９に対する上流側の微細流路ｒ１と下流側の微細流路ｒ２とを連通し、断面積が上流側の微細流路ｒ１の断面積よりも小さい側道路１３９ｓ、を備えていることを特徴とするマイクロチップとする。 （もっと読む）

【課題】比較的高速且つ正確に揺動体の共振周波数を検知することができる機能を持った揺動体装置を提供する。
【解決手段】本発明の揺動体装置は、揺動体と弾性支持部とを少なくとも有する共振駆動可能な振動系10と、揺動体の揺動振幅を検出するための検出手段5と、揺動体を駆動する駆動手段7と、揺動体を駆動するための駆動信号を生成し駆動信号を駆動手段に供給する制御手段6と、を有する。制御手段6は、振動系の共振周波数が掃引する周波数の範囲内に含まれるように駆動信号の駆動周波数を往復掃引して、この往復掃引により得られる揺動振幅値が極大となる少なくとも2つの周波数に基づいて共振周波数を決定し、この共振周波数に基づいて駆動信号を生成する。 （もっと読む）

【課題】マイクロチップに試料溶液を送液する配管が詰まったとき等の異常時に配管内の圧力を制御することができると共に、正常時の測定を精度よく行うことができる圧力ヒューズを提供する。
【解決手段】マイクロ化学システム１は、流路２及びこれに合流する圧力ヒューズ３を内部に備えるマイクロチップ１００と、マイクロチップ１００に試料溶液を供給するチューブ７１と、外部にマイクロチップ１００内の試料溶液を排出するチューブ７２と、チューブ７１に試料溶液を送液するシリンジポンプ７とを備える。シリンジポンプ７による試料溶液の送液中に、流路２に異物等が混入して詰まった場合などでチューブ７１内部の試料溶液にかかる圧力Ｐ１がＰｇｍの最大値（１０ｋＰａ）以上になると、圧力ヒューズ３内に試料溶液を流れ込ませることにより圧力Ｐ１を下げる。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳデバイスの製造プロセスおよびその結果をモニタリングする方法とそれに適したデバイスを提供する。
【解決手段】ＭＥＭＳデバイス１０８の製造に用いられるプロセスステップと同じプロセスステップの少なくとも一部を用いて製造されるプロセスコントロールモニター１００、１０２、及び１０４が開示される。プロセスコントロールモニター１００、１０２、及び１０４の分析は、ＭＥＭＳデバイス１０８の性質及び前記デバイス内の構成要素又は副構成要素に関する情報を提供することができる。この情報は、加工の際の誤りを識別するために又はＭＥＭＳデバイス１０８を最適化するために用いることができる。幾つかの実施形態においては、プロセスコントロールモニター１００、１０２、及び１０４の分析は、光学的測定値を利用することができる。 （もっと読む）

マイクロ流体装置は、その内部で注入チャンバー、任意の反応チャンバー、および少なくとも１つの検出チャンバーが流体連通するフォトレジスト層と、フォトレジスト層の下に配置される支持体と、フォトレジスト層の上に配置されるカバーを装備する。装置は、さらに、最後尾の検出チャンバーの下流に一連の吸収チャンバーを備える。生体または免疫活性物質を反応チャンバーおよび検出チャンバーに内蔵させる。液体試料を注入チャンバーに入れると、試料液が毛管作用によって装置内に引き込まれる。検出方法としては、電気化学検出、比色検出、蛍光検出が挙げられる。
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カソードからのとるに足らないスパッタリングと、その後のキャビティ内の不活性ガスを葬ることを最小にすることにより、検出器の長い寿命を生じさせ、高圧キャビティ（２６）を可能にし、カソード（１８）とアノード（１５）との間の小さなギャップを備えた光検出器（１０）を有するセンサ。検出器は、ＭＥＭＳ技術で作られる。センサは、光センサ（１０）のアレイを包含しうる。検出器のいくつかは、ＵＶ検出器であって良い。
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本発明は単極モータ（110）を有する流体置換装置（100）に関する。単極モータは、少なくとも１つの流体置換構造（120）が配置された回転可能な円板（115）を含んでいる。この流体置換構造は翼板とし得る。回転可能な円板は、例えばセラミック基板、液晶高分子基板、又は半導体基板などの基板（105）に形作られた空洞（145）内に配置されている。回転可能な円板の回転速度を制御するために閉ループ制御回路（235）が含められ得る。例えば、この制御回路は、回転可能な円板に電圧を印加する電圧源又は電流源を制御する。この制御回路はまた、回転可能な円板の回転軸（155）に実質的に整合された磁場（205）を印加する磁石（210）の強度を制御し得る。
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マイクロ流体制御バルブ（１００）は少なくとも１つのキャビティ（２６０）を規定する誘電体構造（１０５）を有する。電気活性ポリマーのような電気活性材料（３０５）がキャビティの一部に備えられている。電気活性材料は、電気活性材料の寸法が第１値を有する第１状態と、その寸法が第２状態を有する第２状態との間で動作可能である。２つの導体（２４０、２５０）は、第１状態と第２状態との間で電気活性材料を変化させるように、電気活性材料に電位を印加するために備えられている。第１流体ポート（３１０）は、電気活性材料が第１状態にあるときに、流体が第１流体ポートを通って流れ、電気活性材料が第２状態にあるときに、電気活性材料は第１流体ポートを少なくとも一部で遮るように、電気活性材料に近接して位置している。

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