本開示は、続いて微細構造物品を作製するために使用してもよい工具の製造方法に関する。本明細書に詳細に記述する方法は、マスター工具を作製するために基板上に微細構造アレイを形成するためのパターンのある微細構造工具構造体の形成について記載している。本方法は、基板の第１の面を光重合性液体でコーティングした部分的に透明な基板を提供する工程を含む。作製したマスター工具は、続いて、複製用工具の作製、ひいては導光体を作製するのに使用できる。 （もっと読む）

【課題】高記録密度を実現できる磁気記録媒体を高い生産性で安価に製造できる磁気記録媒体の製造方法を提供する。
【解決手段】本願発明の磁気記録媒体の製造方法は、凹凸パターンを有する樹脂製のモールドを用いて磁気的に分離した磁気記録パターンを有する方法であり、前記モールドは、互いに対向する一対の基体１１，１２間に液状あるいはゲル状の硬化性樹脂材料を挟み、該硬化性樹脂材料の周縁部分のみを硬化させて積層体１０を得る工程、積層体１０から一方の基体１２を剥離して硬化性樹脂材料の層１３を露出させる工程、露出して硬化性樹脂材料の層１３に、凹凸パターンを有するマスターモールドを押圧する工程、マスターモールドを押圧したまま硬化性樹脂材料の層１３を硬化させて樹脂製のモールドを得る工程、マスターモールドから樹脂製のモールドを剥離する工程を経て作製される。 （もっと読む）

【課題】温度によるＭＥＭＳの特性変化を低減することを目的の１つとする。
【解決手段】支持部と、前記支持部に架設された可撓部と、前記可撓部の変形または変位を検出するための検出手段と、前記支持部と前記可撓部とに連続して形成され、熱膨張係数および弾性率の温度変化に対する変化の割合がシリコンより低く密度がシリコンより大きいチタン合金からなる金属層と、を備えるＭＥＭＳ。 （もっと読む）

【課題】要求される高さ、根元幅、先端角度および／または表面粗さなど、形状についての規格を満たす針状体を具備する針状体アレイを容易に形成できる手段を提供する。
【解決手段】基体と、前記基体の第一の面に形成された針状体とを具備する針状体アレイを製造するための針状体原版の製造方法であって、
感光性ガラスにエネルギー分布を持たせて露光を行うことにより露光部を形成する工程と、
露光後に加熱処理により前記露光部を改質させて改質部を形成する工程と、
等方性エッチングにより前記改質部を除去する工程と、
を備えた針状体アレイ原版の製造方法。 （もっと読む）

【課題】 所望の長さを有し、先端が先鋭である、錐形状のマイクロニードルの製造方法を提供する。
【解決手段】 研削加工を用いて基板に第１の方向に沿って互いに平行な複数の第１の線状溝を形成する工程と、研削加工を用いて基板に第１の方向と交差する第２の方向に沿って互いに平行な複数の第２の線状溝を形成する工程とを有し、前記研削加工は、ダイシングブレードを用いた研削加工であり、前記ダイシングブレードは、側面と先端面とこれらの間の傾斜面とを含み、傾斜面と先端面との境界が面取りされているダイシングブレードであることを特徴とするマイクロニードルの製造方法。 （もっと読む）

【課題】流路や反応容器等に残留する気泡を減少させる。
【解決手段】カバー基板１１及びベース基板１３が貼り合わされ、その接合面には液体を流す流路１７，２３と反応容器１５が形成されている。両基板の接合面の材質は流路を流れる液体が両基板の接合面に対して９０°以上の接触角をもつように選定されている。両基板の少なくとも一方には、流路１７，１９及び反応容器１５とデバイスの端面との間に、凹凸が形成されていることにより空隙が形成されている。この空隙の大きさは気体を通過させ液体を通過させない大きさである。 （もっと読む）

【課題】所定のパターン形状及び曲面形状を有する微細構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】アウターレンズ１４の製造に際して、レジスト塗布、露光及び現像の各工程からなるフォトリソグラフィ工程を、平面基板２１及びフレキシブル基板２２からなる二層基板２３上で行うことにより、フォトマスク２５のドットパターンをレジスト層２４に正確に転写し、形成精度の確保されたレジスト微細構造体２４ａを製作する。この後、フレキシブル基板２２を平面基板２１から剥離して曲面構造体２７の表面に貼り付けることにより曲面母型Ｍを構成し、金属による電鋳を施すことにより金属微細構造体２８ａを形成する。レジスト微細構造体２４ａの形成精度が確保されていることから、レジスト微細構造体２４ａに基づき製造される金属微細構造体２８ａの成形精度、さらには金属微細構造体２８ａを金型として製造されるアウターレンズ１４の光学特性も確保される。 （もっと読む）

【課題】無痛で皮膚下に穿刺可能とするとともに、効果的な医薬物供与を広範囲に渡って高効率に行うことができる医薬物運搬用器具の提供。
【解決手段】基部と、その表面に凸部を有する医薬物運搬用器具であって、前記凸部が、前記基部に対して略垂直な第１の角度で立設された柱部と、該柱部上に前記第１の角度よりも小さい第２の角度で連設された略四角錐状をなす先端部とから形成されていることを特徴とする医薬物運搬用器具。 （もっと読む）

本発明は、例えば試料流体中の目標物質を検出するための又は分子篩いのためのマイクロ流体デバイスを提供するものである。該デバイスは、第１凹部１２４が設けられた実質的に平らな第１表面を持つ第１基板１２０と、第２凹部１３０が設けられた実質的に平らな第２表面を持つ第２基板１２８とを有する。第１凹部の少なくとも幾つかは、多孔質材料１１４で満たされている。交互の第１凹部及び第２凹部は、試料流体のための蛇行チャンネルを形成する。第２凹部は他の多孔質材料により満たすことができる。一実施例において、目標物質を結合するための捕捉物質が、上記多孔質材料内に又は該多孔質材料上に配置される。
（もっと読む）

【課題】小型化が図れ、大容量の電流のオン／オフを確実に行えるようにしたＭＥＭＳスイッチを提供する。
【解決手段】シリコン基板１は支持部２を有し、支持部２には板状の磁性体３の一端が固定されている。磁性体３の他端の内側には絶縁層３ａを介して第１の接点４Ａが設けられ、第１の接点４Ａに対向させてシリコン基板１上に第２の接点４Ｂが設けられている。更に、磁性体３の内側には絶縁層３ａを介して第１の電極６Ａが設けられ、第１の電極６Ａに対向させてシリコン基板１上に第２の電極６Ｂが設けられている。マグネット１１がＡ位置からＢ位置へ移動すると、その磁力により磁性体３が吸引され、更に、第１，第２の電極６Ａ，６Ｂに印加された直流電源（＋Ｂ）によって静電吸引力が磁性体３に生じるため、第１，第２の接点４Ａ，４Ｂは確実にスイッチオンになる。 （もっと読む）

【課題】微細貫通孔構造体を効率的に製造することができる微細貫通孔構造体の製造装置、微細貫通孔構造体の製造方法、微細貫通孔構造体、液滴吐出ノズル、液滴吐出フィルタ、液滴吐出ヘッド、および液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】 保持部材１０４に微細孔を穿孔する被加工体１０５を保持し、保持部材１０４に保持される被加工体１０５を加熱して軟化させ、被加工体１０５の厚みより高い突起１０３ａが配置された転写パターンを有する金型１０３を加熱し、被加工体１０５および金型１０３を加熱した状態で、被加工体１０５の応力が軟化した被加工体１０５の破断応力以上かつ金型１０３の耐力以下となるような荷重で金型１０３の転写パターンを被加工体１０５に押し付けることにより、金型１０３の転写パターンに配置された突起１０３ａによって被加工体１０５に微細孔を穿孔する。そして、被加工体１０５が硬化した後、金型１０３から被加工体１０５を取り出す。 （もっと読む）

【課題】相互接続構造などに必要な機能性材料を含む、高精度な複合多機能ミクロ構造とその製造方法を提供する。
【解決手段】第１の層（１６）、および第２の層（１７）を設ける。第２の層（１７）は、その上にレリーフ機構（１８）を有し、レリーフ機構間に溝（１９）を形成し保持機構とする。溝には導電材料などの機能性材料からなる第３の層（２０）が堆積され、オプションの浸漬オーバーレイヤ（２２）をその上に含む。層（２０）は、その基部にわたって連続する。 （もっと読む）

【課題】均一で微細な先端を持つ高アスペクト比構造を有し、欠陥の少ないアレイ状に形成された高アスペクト比構造を有する機能性膜の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】微細な凹部アレイが形成されたスタンパー１３に、ポリマー樹脂の溶解液１６を塗布する塗布工程と、ポリマー樹脂の溶解液１６の表面に基材２０を重ね合わせて接着する接着工程と、ポリマー樹脂の溶解液１６を乾燥する乾燥工程と、乾燥工程により乾燥し固化した樹脂ポリマーを、基材２０と一緒にスタンパー１３より剥離する剥離工程と、を有する、機能製膜を製造する方法において、接着工程は、基材２０のポリマー樹脂の溶解液１６との接着面側にゲル化材料２３を塗布し、ポリマー樹脂の溶解液１６と該ゲル化材料２３とで混合層２４を形成させることを特徴とする機能性膜の製造方法である。 （もっと読む）

本発明は、ベースプレート１、１１の第１のレベルから抜け出ることにより、マイクロ流体システムを含むベースプレート１、１１の第１のレベルに位置するチャネル４ａ、４ｂをベースプレート１、１１の第２のレベルに接続させ、チャネルピラー（複数可）２ａ、２ｂおよびチャネルブリッジ３を有する、レベルシフトを伴うマイク流体チャネル６の実装方法に関する。角のない長手方向のホローが、ベースプレート１、１１の第１のレベルから抜け出るチャネルピラー２ａ、２ｂとして作製され、その後、チャネルブリッジ３を形成するために、１つのホローが、ベースプレート１、１１内に、ベースプレート１、１１の第２のレベルまで延在するチャネルピラー２ａ、２ｂの端部のところにスライシングにより作製され、チャネルピラー２ａ、２ｂ区間に作製されるオリフィスに合わせ込む断面を有する除去可能な材料のパターニングプロフィルピースが、スライシングされたチャネルピラー２ａ、２ｂのオリフィスに挿入され、その後、ホロー内で材料のない状態として残ったベースプレート１、１１部分がパターニングプロフィルピースおよびチャネルピラー（２ａ、２ｂ）の周囲部分において、ベースプレート１、１１に合わせ込むのに適した充填材料７で充填され、その後、充填材料７を固体化させるのに必要な処置が実施され、その後、パターニングプロフィルピースが化学プロセスまたは物理プロセスによって除去される。
（もっと読む）

【課題】Ｘ線リソグラフィー工程による、従来のくびれ部をもった針状構造体の製造費用の低減、そして工程を簡略化する為になされたものであり、より安価で工程が簡便なフォトリソグラフィー工程により、従来と同様なくびれ部をもった針状構造体が得られる製造方法の提供を目的とする。
【解決手段】針状構造体の原版の製造と、原版を用いた転写成型工程によりなる針状構造体の製造方法であって、前記原版が、島状の吸光部を形成した基板上にネガ型のフォトレジストを塗布工程と、島状の遮光部を形成したフォトマスクを介し、基板に対して複数の方位から露光光を照射する露光する工程と、基板からフォトマスクを除去し現像する工程と、を含む原版の製造方法であって、基板上の島状の吸光部がフォトマスク上の島状の遮光部より大きい面積であることを特徴とする請求項１記載の針状構造体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】本発明は、中央に孔を設けた形状のマイクロニードルの製造に適したマイクロニードル製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のマイクロニードル製造方法は、基板に孔を設け、孔に充填剤を充填し、該充填剤の一部変形させ、基板にエッチングを行うことを特徴とする。本発明の構成によれば、充填剤の一部をマスクとして基板にエッチングを行うため、マイクロニードルの突起の部位の位置と、孔の部位の位置とが、ずれることなく１対１で対応するように、孔を設けたマイクロニードル形状を形成することが出来る。よって、中央に孔を設けた形状のマイクロニードルを好適に製造することが出来る。 （もっと読む）

【課題】微細な針状体を皮膚に接触させ、押圧を加えて皮膚を穿刺する際に、外部から力が加えられたとき破壊および変形の双方が抑制される針状体を提供する。
【解決手段】基板と、前記基板上の突起部を備え、前記突起部が、突起部外形を構成する構造層と、前記突起部内部に位置して前記突起部の強度を補強するための補強層とから構成されることを特徴とする針状体。突起部外形を構成する構造層に剛性の低い材料を用い、突起部内部の補強層に剛性の高い材質を用いることで、穿刺性能を低下させること無く、穿刺時に加えられる力による突起部の破壊および変形を抑制することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】水平方向からの応力による破損を抑制することの出来るマイクロニードルを提供することを目的とする。
【解決手段】本発明のマイクロニードルは、マイクロニードルの基底部形状がオーバル形状であることを特徴とする。本発明の構成によれば、基底部形状がオーバル形状であるため、オーバル形状の長軸方向に対する応力を緩和することが出来る。よって、水平方向からの応力を緩和することにより、水平方向からの応力による破損を抑制することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】生体分解性樹脂を用いて、微小針の先端部に欠損のない、品質の安定したマイクロアレイを大量に製造すること。更には、そのための金属母型を精度良く作製すること。
【解決手段】所望の微小針に対応する貫通孔を有するＰＤＭＳ製の鋳型を品質良く大量に作成し、生体分解性樹脂の遷移点から融点までの高温で転写加工を行い、遷移点近傍で樹脂を離型させ、それによって樹脂製の微小針を製造する方法を提供する。更に、良質なＰＤＭＳ製の鋳型を大量に作製するための金属製母型の製造方法を提供する。これらにより、製品規格的に信頼性の高い微小針が効率的に製造できることとなった。 （もっと読む）

【課題】突起部が形成されたアレイ領域外に薬液が過剰に流出することを抑制できる針状体を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の針状体は、基板に窪みを有し、突起部が窪みの部位に形成されていることを特徴とする。本発明の構成によれば、基板端部から基板中央部に向かって次第に深さが深くなる窪みにより、窪み内に薬液を留めることが出来、突起部が形成されたアレイ領域内に薬液を留めることが出来る。よって、突起部が形成されたアレイ領域外に薬液が過剰に流出することを抑制できる突起部を提供することが可能となる。 （もっと読む）