ＭＥＭＳ装置（８００）は、基板（８０２）と、基板（８０２）上の作動電極（８０４）と、作動電極（８０４）上の反射層（８１０）と、作動電極（８０４）と反射層（８１０）との間の支持層（８０８）とを含む。反射層（８１０）は、その反射層（８１０）を貫通する少なくとも一つの開口（８１４）を含む。支持層（８０８）は、作動電極（８０４）と少なくとも一つの開口（８１４）との間に凹部（８１２）を含む。制御信号を装置（８００）に印加する際に、反射層（８１０）の少なくとも第一の部分（８１６）は凹部（８１２）内に移動するように構成されていて、反射層（８１０）の少なくとも第二の部分（８１８）は静止したままであるように構成されている。ＭＥＭＳ装置（８００）の反射性は、第一の部分（８１６）から反射される光と第二の部分（８１８）から反射される光との間の位相差を変更することによって、支配的に変調される。
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（１）基材上に第一微細構造パターンを形成する工程と、（２）前記第一微細構造パターンを複製して、第二微細構造パターンを可撓性材料内に作製する工程と、（３）前記第二微細構造パターンを複数回複製して、第三微細構造パターンを架橋性材料内に形成して、第一キャリア上に工具を作製する工程と、（４）前記第三微細構造パターンをポリマーに複製して、少なくとも１つの微細構造物品を作製する工程と、を含む、微細構造物品を作製する方法。
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本発明は、小さいミクロな伝導性構造体を表面に製造することを可能にする方法を記述している。これは、ミクロチャネルを（ホット）スタンピングおよび／またはナノスケールのインプリンティングによって製造すること、次のこのようにして作り出されたチャネルへの毛細管現象および好適な伝導性材料の後処理を用いる伝導性材料の的を絞った導入によって達成される。
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【課題】 反応媒体を安定して反応させることができる反応装置を提供すること。
【解決手段】
高温部１ａと低温部１ｂとを有する基体２と、前記高温部１ａと前記低温部１ｂとを連通するとともに、前記低温部１ｂから前記高温部１ａへ反応媒体が流動する第１流路２ａと、前記高温部１ａと前記低温部１ｂとの間に設けられ、冷媒が流動する第２流路３ａと、を備えたものである。
また、好ましくは、前記反応媒体は、前記低温部１ｂで、複数の異なる媒体が合流することで構成されることを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】本発明は、吸引開始時にも大きな力を発生させることができる静電アクチュエータ、マイクロスイッチ、電子機器、および静電アクチュエータの製造方法を提供する。
【解決手段】基板上に設けられた吸引電極に電圧を印加することで膜体を静電的に吸引する静電アクチュエータであって、前記膜体には、前記吸引電極の主面との距離が漸次増加するような傾斜面が設けられていること、を特徴とする静電アクチュエータが提供される。 （もっと読む）

【課題】マイクロニードルの作製方法において、マスクを必要としない単純な作製工程により、作製に要するコストと時間を低減することを目的とする。
【解決手段】フェムト秒レーザ加工によりマスターモールドを作製する工程と、マスターモールドに対して転写成型を行う工程により、針状体アレイを作製する。マスターモールドは、フェムト秒レーザを被加工基材に照射することにより、被加工基材表面にテーパ角度を持った未貫通穴を複数形成する。次に、このマスターモールドに対して熱硬化性樹脂による転写成型を行うことで２次モールドを作製し、その２次モールドに対して同様の処理を行うことで３次モールドを作製し、さらにその３次モールドに対して生体適合性のある材料による転写成型を行い、針状体アレイを作製する。 （もっと読む）

【課題】微小流路構造体を用いて微粒子を生成するにあたり、安価に大量に作製した微小流路構造体を、立体的に微小流路の集積度を向上させて、すべての微小流路に均一に流体を送液し、生成物を大量に生産することが可能な液滴生成用製造装置を提供する。
【解決の手段】流体を導入する流体導入口と流体により微粒子を生成する微小流路と生成した微粒子を含有する流体を排出する流体排出口とを有する微小流路構造体であって、前記微小流路構造体は、流体を前記微小流路に供給する流体供給用構造体と微小流路を有する微小流路基板とこれらの間に介される板とから構成されており、前記微小流路基板の基材が、ＪＩＳ Ｋ ６２５３準拠のデュロメータ硬さ試験方法でタイプＤにおける硬度７０以上であり、かつＪＩＳ Ｋ ７１５２−４準拠の成形収縮率は３％以下の樹脂である液滴生成用微小流路集合体装置を用いる。 （もっと読む）

【課題】チッピングによるクラックの寸法を低減し、基板表面への異物の付着を抑制することが可能な加工方法を提供する。
【解決手段】基板１０上に保護膜５０を選択的に形成し、加工領域１８として基板１０の表面の一部を露出する工程と、加工領域１８の基板１０の上部を４００ｎｍ以上、かつ１０００ｎｍ以下の深さで除去して、算術平均粗さＲａが３０ｎｍ以上、かつ５００ｎｍ以下の範囲となるように粗化加工する工程と、加工領域１８において切削工具５２を用いて粗化加工された表面の一部を切削する工程とを含む加工方法である。 （もっと読む）

【課題】針状体内部に空孔や、針状体側面に溝などを設けた複雑な形状の針状体を好適に製造することが出来る針状体製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明の針状体製造方法は、光造型装置を用いて光硬化性樹脂溶液を露光することで針状体分割部位を形成し、該光硬化性樹脂溶液の外で、該針状体分割部位を接合することを特徴とする。光硬化性樹脂溶液の外で、針状体分割部位を接合するため、接合に際して、分割部位周囲の光硬化性樹脂により形状が損なわれることを抑制することが可能となる。 （もっと読む）

ガラスまたはガラス含有材料を有するマイクロ流体デバイスを作製する方法が説明される。方法は、現行手法を用いて作製された同様の成形ガラス品に優る、低減されたコスト及び／または改善された寸法特性を有する。詳しくは、パターン付成形面を有する、硬質非付着性材料の第１の型子が提供され、第１のガラス含有組成物塊が提供され、第１のガラス組成物塊がパターン付成形面と接触させられてパターン付成形面と第２の面の間でプレスされ、硬質非付着性材料の型子及び第１のガラス組成物塊がともに、パターン付成形面が第１のガラス組成物塊に転写されて成形ガラス含有品を形成するように、ガラス組成物塊を軟化させるに十分に加熱され、少なくとも１つの通過流路を有するマイクロ流体デバイスを形成するために成形ガラス含有品の少なくとも一部がシールされる。
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【課題】大量生産に適し、側面が滑らかなテーパ角を有し、針状体の先端部を先鋭化した形状であっても製造可能な針状体の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】本発明は、透明基材にネガ型フォトレジストを塗布する工程と、前記ネガ型フォトレジストに、開口部を有するマスクを用いて、前記透明基材側から露光処理を行う工程と、を含み、前記開口部を有するマスクは、開口部を通過した通過光を前記ネガ型フォトレジストに集光させるマイクロレンズを有することを特徴とし、マイクロレンズの径および曲率を制御することにより、針状体の寸法および形状を制御することが出来る。 （もっと読む）

【課題】流体を流すための微小流路に相当する凹部と、流体を導入、あるいは排出するための貫通孔が１回の成形で形成され、かつ微小流路に相当する凹部と貫通孔が連通した微小流路基板の製造方法を提供する。
【解決の手段】流体を流すための微小流路及び貫通孔を備えた微小流路基板を有し、かつ前記微小流路と前記貫通孔が連通部において連通していることを特徴とする微小流路構造体を製造するための微小流路基板に貫通孔を形成するためのピンを備え前記ピンの位置及びピンの本数を任意に変更可能な金型及び、金型を用いて一回の成形により微小流路に相当する凹部及び所定の位置に貫通孔を形成する方法を用いる。 （もっと読む）

薬学的用途向けの錠剤(４)は、その表面の少なくとも一部の上に、可視スペクトル領域で読み取ることができ、視覚的安全性特徴として役立つ回折性微小構造(１１)を有する。この錠剤は、複数の個別粉末粒子からなり、該個別粉末粒子の表面の中に回折性微小構造(１１)が刻印される。そのような錠剤を製造するための圧縮工具(１，１ａ，１ｂ，３)は、該圧縮工具(１，１ａ，１ｂ，３)の一プレス表面上に微小構造(１１)を有し、該微小構造(１１)は、該圧縮工具(１，１ａ，１ｂ，３)の該プレス表面の材料の、個々のクリスタライト(３０)の寸法より小さな寸法を有する。該圧縮工具の微小構造(１１)は、例えばイオンエッチングまたは刻印により製造することができる。
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本発明は、基板（１１）によって支持された動作部分（１０）を囲むキャップ（１２）によって仕切られたキャビティ（１３）を備えた超小型構成体から成る。キャップ（１３）は、少なくとも１つの突出した補剛部材（１２ｂ）を有する帆号手段を備えている。突出した補剛部材（１２ｂ）は、頂部壁（１２ａ）の２つの凹状領域（１２ｃ）の間に配置されており、基板（１１）に接触することなく、凹状領域（１２ｃ）から離隔した端部（１４）を有している。
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【課題】
生産性が高く、安価で、かつ耐薬品性に優れ、種々の条件で使用することのできるマイクロ化学チップおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】
セラミックグリーンシート３２の表面に、予め定める形状の型を押圧して溝部３６を形成した後、溝部３６を覆うように別のセラミックグリーンシート３１を積層し、積層したセラミックグリーンシート３１，３２を所定の温度で焼結させることによって、被処理流体を流通させる流路が形成されたセラミック材料から成る基体を形成し、マイクロ化学チップを得る。このマイクロ化学チップは、生産性が高く、また製造原価も低いので、安価である。また、耐薬品性に優れ、種々の条件で使用することができる。 （もっと読む）

プレコート法を用いて触媒が装填された通路を有するマイクロ構造化反応器を製造するために、次の方法工程で構成される方法がもたらされた、即ち、ａ）結合領域及び、通路が形成された通路領域を有した反応体層を作ること、ｂ）結合領域において、少なくとも一つの結合層を反応体層上に着けること、ｃ）反応体層に通路領域において触媒を装填すること、及びｄ）反応体層を結合することであるが、反応体層に触媒が装填される前に結合層が着けられ、且つ遮蔽される。その結果、製造中に触媒の有効性が影響されないことを保証する。反応器は特にメタン及びメタノールリフォーマとして用いられ得る。
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【解決手段】基板（Ｓ）上にスタンプ形状部（Ｐ）を形成する方法は、基板の少なくとも一方の表面に複数のスタンピングツールセグメント（３２，４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，５０，６０，７０，８０，９２）を押し当てる段階を含む。基板（Ｓ）上にスタンプ形状部（Ｐ）を形成する構成（３０，９０）は、個々に、一以上からなるグループで協調的に、又はそれらの組み合わせで動作可能な複数のスタンピングツールセグメント（３２，４０ａ，４０ｂ，４０ｃ，５０，６０，７０，８０，９２）を含む。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】デバイスを製造する方法は、少なくとも一のウェブベース製造段階中と少なくとも一のシートベース製造段階中に複数の非接合プロセスを実行する段階と含む。これらのプロセスは、複数のモジュールによって実行されてもよい。モジュールは、独立に制御され且つ／又は監視されてもよい。モジュールは、交換可能でもよい。一個以上のモジュールが、材料を受け取り且つ／又はその材料を別のモジュールに渡してもよい。製造されたデバイスは、層状デバイス、スマートカード、センサ、アクチュエータ、生体外診断デバイス、マイクロ流体デバイス、又は層状製品である。デバイスを製造する装置は、少なくとも一のウェブベース製造構成要素と少なくとも一のシートベース製造構成要素を含む。少なくとも一のウェブベース製造構成要素と少なくとも一のシートベース製造構成要素は、複数の非接合プロセスを実行するように構成されている。 （もっと読む）

異方性の湿潤面を備えた流体取扱装置であり、基板を含み、基板の上には非常に多くの非対称で実質的には均一形状の凹凸が備わっている。各凹凸には、基板に対して第１の凹凸立ち上がり角度と第２の凹凸立ち上がり角度とがある。凹凸群は、第１の凹凸立ち上がり角度と第２の凹凸立ち上がり角度との非対称により引き起こされる１より大きい又は１未満の所望の維持力比（ｆ_１／ｆ_２）を呈する構造を持ち、次の公式に従う。
ｆ_３／ｆ_２＝sin （ω_３＋1/2 Δθ_０）／sin （ω_２＋1/2 Δθ_０）
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欠陥低減およびウェットアウト低減特徴を含む微細複製物品およびそれを製造する方法が開示されている。微細複製物品は第１および第２の対向表面を有する可撓性基板と、第１の表面上の第１の塗布微細複製パターンと、第２の表面上の第２の塗布微細複製パターンとを含む。第１の塗布微細複製パターンと第２の塗布微細複製パターンとが１０マイクロメートル以内に位置合わせされている。
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