【課題】質量除去もしくは質量付加のどちらか一方の調整工程により、２つの共振周波数が容易に調整可能となる範囲に調整することができ、歩留まりの向上を図ることが可能となる揺動体装置の製造方法等を提供する。
【解決手段】２つの揺動体が第１と第２とによる共振周波数で駆動される揺動体装置の製造方法であって、
前記２つの揺動体の加工において、該２つの揺動体が一定のばらつき範囲で該２つの駆動共振周波数とは異なる第１と第２の共振周波数を有する揺動体として加工された際に、
前記２つの駆動共振周波数とは異なる第１と第２の共振周波数が、それぞれ調整可能な共振周波数範囲に入る第１と第２の共振周波数ｆ１とｆ２となるように、前記２つの揺動体を加工する第１の工程と、
前記ｆ１とｆ２を、前記ｇｆ１とｇｆ２に各々一致するように調整する第２の工程と、を含む構成とする。 （もっと読む）

【課題】長寿命化及び応答速度の高速化を図り、しかも、被駆動体自体を変形させずに被駆動体の向きのみを変更することを可能にし、更には静定時間を短縮して駆動をより高速化する。
【解決手段】板状部材２の両端を脚部３を介して基板１に対して固定する。板状部材２は、基板１に対して固定された箇所間で撓み変形可能である。被駆動体であるミラー４が、接続部１１を介して、板状部材２の撓み変形可能な領域の所定部位に、局所的に機械的に接続される。板状部材２の中央部と対向する領域において、基板１上に固定電極５が設けられる。固定電極５とこれに対向する板状部材２の可動電極との間に電圧を印加して両者の間に静電力を発生させると、ミラー４自体は変形することなく、ミラー４の傾きが変化する。基体における板状部材２との対向領域が平坦化され、基板と板状部材２との間の間隔が狭められる。 （もっと読む）

【課題】駆動櫛歯電極対間のスティッキングを回避するのに適したマイクロ揺動素子とその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のマイクロ揺動素子Ｘ１は、フレーム２１と、櫛歯電極１３Ａを含む揺動部１０と、櫛歯電極２３Ａとを備える。櫛歯電極１３Ａは複数の電極歯１３ａからなり、櫛歯電極２３Ａは、各々が側面Ｓ１，Ｓ２を有する複数の電極歯２３ａからなる。側面Ｓ２はテーパ領域Ｓ２’を含む。本発明の方法は、例えば、第１層と、第２層と、これらの間の中間層とを含む積層構造を有する材料基板における第２層上に、櫛歯電極２３Ａの電極歯２３ａに対応するパターン形状を有するマスク部位を含むマスクパターンを形成する工程と、当該マスクパターンを利用しつつ第２層に対して異方性ドライエッチング処理を施す工程とを含み、当該マスク部位は、電極歯２３ａの側面Ｓ２を形成するためのテーパ面を有する。 （もっと読む）

電荷をトラップし保持する電極（７１２，７１４）間の材料（７２２）を有する容量性ＭＥＭＳデバイスが、形成される。この材料が、いくつもの構成で実現されることが可能である。これが、異なるバンドギャップエネルギー又はバンドエネルギーレベルの領域を有する多層誘電性積層体であることが可能である。誘電体材料が、それ自身がトラップ機能を有することが可能である、すなわち、欠陥又はトラップ部が材料内にプレ−作製される。他の構成が、誘電体層の禁止ギャップ内にエネルギーレベルを有する導電材料の薄層を含む。このデバイスが、材料（７２２）内における電荷貯蔵を有利に使用する方法によって、プログラムされてよく（すなわち、オフセット及びしきい電圧がプレ−設定される）、干渉型変調器（１２ａ，１２ｂ）が、ヒステリシス曲線がシフトする方法などで、プレ−帯電され、変調器の作動電圧しきい値が、十分に低い。
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【課題】省電力化を図りつつ、大きい駆動力で可動板を回動させることができるアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】アクチュエータ１は、可動板２１と、支持部２２と、可動板２１と支持部２２とを連結する１対の軸部材２３、２４とを有している。また、アクチュエータ１は、可動板２１の下面側に設けられた永久磁石５１とコイル５２とを有している。永久磁石５１は、回動中心軸Ｘと異なる方向に磁化されている。また、永久磁石５１は、コイル５２の内側に位置している。 （もっと読む）

変調装置は、少なくとも二つの状態間で選択的に調節可能であり、光の特定の波長の透過及び／又は反射が変更される。特定の変調装置は、可視及び赤外波長を含む広範な波長に対して実質的に均一に調節可能である。他の変調装置は、赤外波長に顕著な影響を与えずに、可視波長に対して調節可能である。更に、変調装置は、固定された薄膜反射構造体と組み合わせて使用可能である。
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【課題】減圧封止が可能な構造を構成して揺動体のジッタを低減するに際し、大気圧時の２倍から３倍のＱ値を確保し、制御性の保持が可能となる揺動体装置、揺動体装置の筐体内部の減圧方法、光偏向器、画像形成装置を提供する。
【解決手段】支持基板に対し、支持部によってねじり軸まわりに揺動可能に支持された可動板を備えた揺動体を、駆動手段によって駆動する揺動体装置であって、前記揺動体の周囲を覆い、減圧封止が可能な構造の筐体を備え、前記揺動体は、大気圧時の２倍から３倍のＱ値を確保可能に減圧封止した前記筐体の内部に配設されている構成とする。 （もっと読む）

【課題】逆止弁を備えた減圧封止が可能な構造を構成し、揺動体のジッタを低減する一方、揺動体の制御性を保持することが可能となる揺動体装置、揺動体装置の筐体内部の減圧方法、光偏向器、画像形成装置を提供する。
【解決手段】支持基板に対し、支持部によってねじり軸まわりに揺動可能に支持された可動板を備えた揺動体を、駆動手段によって駆動する揺動体装置であって、
前記揺動体の周囲を覆い、減圧封止が可能な構造の筐体を備え、
前記筐体には、該筐体の内部から外部に気体を通す逆止弁が一つ以上設けられ、
前記逆止弁によって減圧封止した前記筐体の内部に前記揺動体を配設することによって、該揺動体のジッタを低減する一方、制御性が保持可能とされた構成とする。 （もっと読む）

【課題】偏向角を容易に増大させられるマイクロスキャナを提供する。
【解決手段】光スキャナＬＳは、ミラー部ＭＲと、そのミラー部ＭＲを囲む固定枠ＦＭと、ミラー部ＭＲを揺動可能に支持する主軸部ＭＡと、固定枠ＦＭの一端と別端とに架け渡るとともに、主軸部ＭＡを保持する変形可能な保持部ＨＤと、を含む。そして、この光スキャナＬＳでは、保持部ＨＤの撓み変形をねじれ変形させるトーションバーＴ２１を折り返すことで蛇行状にした蛇行部ＳＫが、主軸部ＭＡと保持部ＨＤとの間に介在する。 （もっと読む）

【課題】共振周波数を調整するに当たり、簡単な構成により、低コストで精度良く揺動体の質量を調整することが可能となる揺動体装置及びその製造方法、該揺動体装置を用いた光偏向器、画像形成装置を提供する。
【解決手段】固定部に対し、支持部によってねじり軸まわりに揺動可能に支持された揺動板を備え、該揺動板を該ねじり軸まわりに共振周波数で駆動する揺動体装置であって、
前記揺動板は、該揺動板の質量を調整する溝部を形成する領域を有し、該領域への溝部の形成によって前記揺動体の共振周波数が調整可能に構成されている。 （もっと読む）

希ガスフッ化物、たとえば、二フッ化キセノン（ＸｅＦ_２）を含むエッチャントによって犠牲層をエッチングするステップを含む、電気機械デバイスを作製する方法。エッチングプロセスの効率は、種々の方法で増加する可能性があり、また、エッチングプロセスのコストは減少する可能性がある。未使用エッチャントが、エッチングプロセス中に、単離され、再循環されてもよい。エッチング副生成物は、エッチングプロセス中にエッチングシステムから収集され除去されてもよい。エッチャントの成分は、単離され、一般的な付加的エッチャントに対して使用されてもよい。エッチャントまたはエッチングされる層のいずれかまたは両方が、特定のエッチングプロセスについて最適化されてもよい。
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ＭＥＭＳ装置（８００）は、基板（８０２）と、基板（８０２）上の作動電極（８０４）と、作動電極（８０４）上の反射層（８１０）と、作動電極（８０４）と反射層（８１０）との間の支持層（８０８）とを含む。反射層（８１０）は、その反射層（８１０）を貫通する少なくとも一つの開口（８１４）を含む。支持層（８０８）は、作動電極（８０４）と少なくとも一つの開口（８１４）との間に凹部（８１２）を含む。制御信号を装置（８００）に印加する際に、反射層（８１０）の少なくとも第一の部分（８１６）は凹部（８１２）内に移動するように構成されていて、反射層（８１０）の少なくとも第二の部分（８１８）は静止したままであるように構成されている。ＭＥＭＳ装置（８００）の反射性は、第一の部分（８１６）から反射される光と第二の部分（８１８）から反射される光との間の位相差を変更することによって、支配的に変調される。
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映像ディスプレイにピクセルを形成するのに適した光デバイス８００。光デバイス８００は、第１の屈折率を有する第１の層８０２と、第１の屈折率よりも低い第２の屈折率を有する、第１の層８０２の上の第２の層８０４と、第２の屈折率よりも高い第３の屈折率を有する、第２の層８０４の上の第３の層８０６と、少なくとも部分的に光吸収性である第４の層８１０とを含み、光スタック８０８および第４の層８１０は、デバイスが第１の状態のときは互いから第１の距離にあり、デバイスが第２の状態のときは互いから第２の距離にあり、第１の距離は第２の距離とは異なる。
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微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）装置は、基板（２０）とアレイ領域（“アレイ”）と周辺領域（“配線”）とを備える。アレイ領域（“アレイ”）は、下部電極（１６Ａ、１６Ｂ）と、可動上部電極（１４）と、該下部電極（１６Ａ、１６Ｂ）と上部電極（１４）との間のキャビティ（１９）を含む。周辺領域（“配線”）は、アレイ領域（“アレイ”）では上部電極（１４）を形成している層の一部と、電気配線（５８）とを含む。電気配線（５８）は、下部電極（１６Ａ、１６Ｂ）及び上部電極（１４）のうち少なくとも一つと電気的に接続された導電体（５０）を含む。電気配線（５８）は、アレイ領域（“アレイ”）内では上部電極（１４）を形成している層の下の別途の層として形成される。導電体（５０）は、ニッケル、クロム、銅及び銀から成る群から選択される。
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【課題】 駆動時でも可動部の平坦性を維持した揺動体装置を提供することである。
【解決手段】 本発明に係る揺動体装置は、支持部と、可動部と、可動部を支持部に対してねじり軸まわりにねじり振動可能に支持するねじりバネと、可動部を振動させる駆動手段とを有する。可動部は、単結晶シリコンで形成され、可動部の主面の結晶面は（１１０）面であって、可動部の主面と平行で、且つねじり軸と垂直な方向の結晶方位が［１１１］方位である。 （もっと読む）

【課題】 ウエハの厚みにばらつきがある場合でも、ねじりバネのバネ定数のばらつきを抑えることができるねじりバネを提供する。
【解決手段】 本発明に係るねじりバネは、１枚の単結晶シリコンウエハで形成され、ねじり軸に垂直な断面がＸ字形状である。そして、Ｘ字形状の上面及び下面は（１００）等価面で構成され、上面及び下面に形成された凹部のそれぞれの底を互いに結ぶ距離Ｌ１が、Ｘ字形状の側面に形成された凹部のそれぞれの底を互いに結ぶ距離Ｌ２の略２倍となるようにする。 （もっと読む）

【課題】光スキャナの揺動するミラー部の共振周波数を変化させないで、ミラー部の反りを抑制することを可能とする光スキャナの製造方法を提供する。
【解決手段】ミラー部１と、前記ミラー部１を揺動可能に支持する梁部２と、前記梁部２を保持する枠部３とを備えた光スキャナ１０の製造方法において、前記ミラー部１の表面に反射膜６を堆積する成膜工程と、前記ミラー部１の表面の反りを低減するために前記ミラー部１の表面にイオン注入法によりイオン化された材料を注入するイオン注入工程を含むことを特徴とする光スキャナの製造方法。 （もっと読む）

ＭＥＭＳ装置が、ＬＣＤ又はＯＬＥＤ製造に使用される材料を含み、この同じ製造システムでの製造を容易にする。可能ならば、同じ及び同様な材料が、ＭＥＭＳ装置内の多層用に使用され、部分的に透明な電極への透明な導体の使用を避けることができ、必要な材料の数を最小化し、製造コストを最小化する。ある層が、所望の特性を得るように選択された合金を含む。製造プロセスの間に、堆積層の中間処理が行われ、所望の特性を有する層が提供される。
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【課題】ミラー部の変位量が大きい圧電ミラーデバイスと、このような圧電ミラーデバイスを簡便に製造するための製造方法およびこのような圧電ミラーデバイスを使用した光学機器を提供する。
【解決手段】圧電ミラーデバイス１１は、中央に開口部１３を有するフレーム部１２と、開口部１３に位置するミラー部１４と、ミラー部１４をフレーム部１２に対して回動可能に支持する一対のミラー支持部１５と、下部電極１７と圧電素子１８と上部電極１９との積層体である一対の駆動部１６と、を備えたものとし、ミラー支持部１５はヤング率が１６０ＧＰａ以下の材料からなり、フレーム部１２は駆動部１６が位置する部位の一部に切欠き部１３ａを有し、この切欠き部１３ａは開口部１３に接するものとする。 （もっと読む）

本発明は、移動素子を有するマイクロメカニカル装置に関し、該装置は該移動素子に規定量の熱を投入する制御可能加熱装置を備え、該装置はさらに、瞬時温度に応じて、及び／又は投入される瞬時の熱量に応じて、加熱装置を制御するよう設計された制御部（５）を有する。例えば、該装置は電磁放射線を投射するよう設計でき、この場合の該移動素子は、放射源（１）から発せられる放射線を投射面（３）に向けて偏向させるビーム偏向部（２）の形態をなす。さらに、本発明は電磁放射線の投射に対応する方法にも関する。 （もっと読む）