1つの実施形態は、反射型光変調器などの画像の一部分を表示するように構成されている光変調器と、その画像の一部分を表示するように構成されている発光体と、光変調器および発光体のうちの少なくとも1つに、その画像の一部分を示す信号を選択的に与えるように構成されている回路とを備えるディスプレイを含む。1つのこのような実施形態においては、アクティブマトリックスが、このようなデバイスに単純な、効率的な駆動をもたらす。他の実施形態は、このようなデバイスを形成し、駆動する方法を含む。
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固定反射体と電極との間に配置された離隔層を備えた干渉型変調器デバイスが提供される。離隔層が、可動反射体と電極との間の短絡を防ぎ、フィルタリングキャビティを提供し、彩度が改善する。
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【課題】プラスチック成形品の製造において、柱状構造における柱部分の間隔を狭めて形成することができるように、電界印加セルと製造方法について工夫すること。
【解決手段】互いに不溶で誘電率が異なる少なくとも２種類の液体を、一対の電極が対向して配置されている電界印加セルに層状に充填する液体供給工程と、前記電極間に電界を印加して前記少なくとも２種類の液体のうち、誘電率の高い液体を電界方向に平行な向きに伸ばすように集め、柱状構造を形成する電界印加工程とを有し、
前記少なくとも２種類の液体のうち、少なくとも１つが未硬化の硬化性樹脂であり、この硬化性樹脂を前記柱状構造の形成後に硬化させるプラスチック成形品の製造方法を前提として、
前記電界印加セル(10)を構成する対抗電極基板(11,12)の少なくとも一方の電極基板(11)が、微小電極アレイ(1)と薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）アレイ(3)を備えており、前記微小電極アレイの一部の電極に対して局所的に電界を印加することである。 （もっと読む）

【課題】可動体を揺動可能に支持する梁構造体の複数の曲がり梁の曲げ変形の態様の多様な組み合わせを、走査線間隔補正等の種々の用途に利用できる揺動体装置を提供する。
【解決手段】揺動体装置は、可動体101、2つの揺動軸回りに揺動可能に可動体を支持枠105に支持する梁構造体、駆動手段と検出手段の少なくとも一方を有する。梁構造体は、ねじれ変形可能なねじり梁102と、曲げ変形可能な複数の曲がり梁103を有する。ねじり梁102は、一端が可動体に連結され、他端が接続部102を介して各曲がり梁の一端に連結され、各曲がり梁103の他端は支持枠105に連結される。駆動手段106乃至113は、駆動信号で、曲がり梁の曲げ変形の態様の組み合わせを選択し、少なくとも1つの揺動軸を選んで該揺動軸回りの可動体の角変位を起こす。検出手段は、曲がり梁の曲げ変形の態様の組み合わせに応じた作用を受け、少なくとも1つの揺動軸回りの可動体の角変位を検出する。 （もっと読む）

【課題】本発明は二軸駆動の光学反射素子において、振動の周波数比を大きくすることを目的とする。
【解決手段】この目的を達成するため本発明は、ミラー部１と、このミラー部とそれぞれ第一の支持部２で連結された、対の音叉形圧電振動子３と、これらの音叉形圧電振動子３の振動中心４とそれぞれ第二の支持部５で連結され、対の音叉形圧電振動子３の外周を囲う枠体６と、この枠体６とそれぞれの一端７が連結された、対のミアンダ形振動子８と、これらのミアンダ形振動子８のそれぞれの他端９が連結された支持体１０とを備え、音叉形圧電振動子３は、それぞれ第一の支持部２の両側に第一のアーム１２と第二のアーム１３とを有し、音叉形圧電振動子３の振動の回転軸と、ミアンダ形振動子８の振動の回転軸とは直交する関係にあるものとした。これにより本発明は、二軸駆動の光学反射素子において、振動の周波数比を大きくすることができる。 （もっと読む）

MEMSデバイスの閾値電圧を測定する方法およびデバイスが開示される。閾値電圧は、デバイスに状態の変化を生じさせる試験電圧に基づく。デバイスの状態変化は、試験電圧を駆動するのに使用された積分電流または積分電荷をモニタすることによって検出される。
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表示要素の電気的検知、測定、および特徴評価のための方法およびシステムを記載する。一実施形態は、電気的検知、測定、および特徴評価を表示駆動機構に統合することを含む。この実施形態によると、例えば、干渉変調器MEMSデバイスのDC電圧もしくは動作ヒステリシス電圧および/または応答時間の測定を表示駆動ICおよび/または表示駆動機構と完全に統合させることが可能になる。別の実施形態によると、人間のユーザが見て分かる表示アーティファクトをもたらすことなくこれらの測定を実行および使用することができる。別の実施形態によると、測定回路はいくつかの既存の回路構成要素および機能を再使用して表示駆動ICおよび/または表示駆動機構と統合することができ、したがって、測定法およびその使用の統合が比較的容易に可能になる。
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基板上に堆積した反射防止層と、この反射防止層の上に堆積した第１の電極層と、この第１の電極層の上に堆積した半導体層と、この半導体層の上に堆積した第２の電極層とを備える、発電ブラックマスク。
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【課題】走査光学システムにおける走査線の位置エラーを解決する。
【解決手段】駆動電極３６，３８が形成された基板３４と、その隣接端が片持ち式に接着され、その遠方端と基板３４との間に空間を形成するように基板３４上に配置され、駆動電極３６，３８から供給される高電圧によって基板３４に対して接近したり離反したりするように自由に回転する積層圧電性曲げアクチュエータ３２と、曲げアクチュエータ３２の遠方端に複数の柱４２を介して装着されるミラー構造体３０と、を有する。 （もっと読む）

【課題】振動ミラーの本来の効果を有しながら、小径ビームスポットを達成し高画質化を可能とする光走査装置及び該光走査装置を用いるカラー画像形成装置を提供する。
【解決手段】レーザビームを放射する光源手段と、該光源手段からのレーザビームを偏向走査する振動ミラーと、偏向走査されるレーザビームを被走査面に向かって集光する走査結像光学系と、前記レーザビームの走査領域内で該レーザビームを受光する受光素子ＰＤ１，ＰＤ２と、を備える光走査装置において、受光素子ＰＤ１，ＰＤ２ごとの出力パルスのタイムインターバルＡ_１，Ｂ_１が受光素子同士で一致するように、及び／又は、受光素子ＰＤ１，ＰＤ２それぞれにおけるパルス幅ＰＡ_１１、ＰＢ_１１が一定となるように、前記振動ミラーの取付姿勢を調整する。 （もっと読む）

【課題】製造を比較的簡単なものとしつつ、優れた振動特性を発揮することができるアクチュエータおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】本発明のアクチュエータは、可動板２２と、可動板２２を回動可能とするように可動板２２に連結された１対の連結部２３、２４とを備える基体２と、可動板２２を回動させる駆動手段とを有し、基体２は、可動板２２を平面視したときに、可動板２２の回動中心軸Ｘに沿って第１の部材２Ａおよび第２の部材２Ｂに分割され、第１の部材２Ａと第２の部材２Ｂとが接合膜６を介して互いに接合されて形成されており、接合膜６は、シロキサン（Ｓｉ−Ｏ）結合を含みランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、該Ｓｉ骨格に結合する脱離基とを含む。 （もっと読む）

適宜連結された複数の変形可能な膜型ＭＥＭＳサブシステムから形成された画素から成るディスプレイが提供される。これは面内張力を動的に変化させる手段を備え、これにより、前記変形可能膜の有効ばね定数が、有効光学状態と無効光学状態との間で重力動き的に推進され、前記動的変化は前記変形可能膜の横方向圧電特性を利用することによって行われる。前記ばね定数を操作することによって、画素を有効（ＯＮ）にするのに必要な起動力を低減し、それによってそのようなサブシステムアレイからなるディスプレイの動作電圧を大幅に低減することが可能となる。ディスプレイ電力は画素駆動電圧の二乗と共に上昇するので、この構造によってより電力効率の高いディスプレイシステムが実現する。
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【課題】可動部を有する微小電気機械式装置（ＭＥＭＳ）の機械的強度を向上させ、歩留まり及び信頼性を向上させる。
【解決手段】可動部を有する微小電気機械式装置（ＭＥＭＳ）において、従来では中空部であった部分に充填用材料を充填する。充填用材料としては、弾性を有する絶縁性材料を用いる。弾性を有する絶縁性材料は、例えばエラストマーが挙げられる。中空部が充填されることで、機械的強度が向上する。更には、作製工程中における構造体上部の反りを防止し、歩留まりが向上する。このようにして作製された微小電気機械式装置は、信頼性の高いものとなる。 （もっと読む）

【課題】基体と対向基板とを設計する際の設計自由度を確保することができ、基体と対向基板とを接合した際の接合強度および寸法精度が高いアクチュエータおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】アクチュエータ１は、可動板２３と、可動板２３を回動可能に支持する一対の連結部２５０、２５０とを有する振動部２０を備えた基体２と、基体２に接合膜４を介して接合された対向基板３と、静電力により可動板２３を回動駆動する駆動手段とを備え、接合膜４は、シロキサン（Ｓｉ−Ｏ）結合を含みランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、Ｓｉ骨格に結合する脱離基とを含み、接合膜４は、その少なくとも一部の領域にエネルギを付与したことにより、接合膜４の表面付近に存在する前記脱離基が前記Ｓｉ骨格から脱離し、接合膜４の表面の前記領域に発現した接着性によって、基体２と対向基板３とを接合している。 （もっと読む）

【課題】製造を比較的簡単なものとしつつ、優れた振動特性を発揮することができるアクチュエータおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】本発明のアクチュエータは、可動板２２と、可動板２２を回動可能とするように可動板２２に連結された１対の連結部２３，２４とを備える振動部と、振動部を支持する支持部２１と、可動板２２を回動させる駆動手段とを有し、振動部は、可動板２２の回動中心軸Ｘに沿った方向での１箇所で第１の部材２Ａと第２の部材２Ｂとに分割され、第１の部材２Ａと第２の部材２Ｂとが接合膜を介して接合されており、接合膜６は、シロキサン（Ｓｉ−Ｏ）結合を含みランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、該Ｓｉ骨格に結合する脱離基とを含む。 （もっと読む）

【課題】接合膜を介して接合される部材の構成材料によらず、第１の構造体と第２の構造体との間隔が高い精度で保持された、信頼性の高いアクチュエータ、およびかかるアクチュエータを備えた光スキャナおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】アクチュエータ１は、２自由度振動系を有する基体２と、基体２を介して対向配置された支持体３、４と、基体２と支持体３との間隔および基体２と支持体４との間隔を保持する各スペーサ１０、１１とを有している。これらの各部の間は、各接合膜８１〜８４を介して接合されている。この各接合膜は、シロキサン結合を含むランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、このＳｉ骨格に結合する脱離基とを含むものであり、これらの接合膜は、エネルギーを付与したことにより、脱離基がＳｉ骨格から脱離し、各接合膜に発現した接着性によって、基体２、支持体３、４およびスペーサ１０、１１の間を気密的に接合している。 （もっと読む）

【課題】個体間の特性の均一性に優れるとともに、所望の振動特性を有するアクチュエータを提供すること、かかるアクチュエータを備えた画像形成装置を提供すること。
【解決手段】アクチュエータ１は、１対の駆動部材２１、２２と、これらの間に設けられた可動板２３と、これらを囲む枠状の支持部２４とを有する基体２と、この基体２を支持する対向基板４、５とを有している。そして、対向基板４上には、接合膜３を介して、駆動部材２１、２２を駆動させるための圧電素子６が接合されている。この接合膜３は、エネルギー付与前において、シロキサン結合を含みランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、このＳｉ骨格に結合する脱離基とを含むものである。このような接合膜３は、エネルギーを付与することにより、一部の脱離基がＳｉ骨格から脱離し、代わりに活性手が生じる。これにより、接合膜３に接着性が発現し、圧電素子６と対向基板４とが接合されている。 （もっと読む）

【課題】小型化を図るとともに設計自由度を向上させつつ、プロジェクタ等の画像形成装置用の光スキャナに適した光走査を実現することができる光学デバイスおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】各第１の軸部材２３、２４の捩れ変形を伴って駆動部材２２を第１の軸線Ｘまわりに回動させることにより、可動板２５を第１の軸線Ｘまわりに回動させるとともに、各第２の軸部材２６、２７の捩れ変形を伴って可動板２５を第２の軸線Ｙまわりに回動させる光学デバイス１において、各第１の軸部材２３、２４は、駆動部材２２の構成材料と異なり、かつ、各第２の軸部材２６、２７の構成材料よりも剛性の低い材料で構成されるとともに、駆動部材２２に対し接合膜を介して接合されており、接合膜は、シロキサン（Ｓｉ−Ｏ）結合を含みランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、該Ｓｉ骨格に結合する脱離基とを含む。 （もっと読む）

【課題】耐久性に優れるとともに、所望の振動特性を有するアクチュエータを提供すること、かかるアクチュエータを備えた画像形成装置を提供すること。
【解決手段】本発明のアクチュエータ１は、枠状をなす支持部２９と、この枠状をなす支持部２９の内側に設けられた光反射部２２１を有する可動板２２と、可動板２２を回動可能に支持するように支持部２９と可動板２２とを連結する２組の連結部２０、２１とを有し、連結部２０は一対の弾性部材２５、２６を有し、連結部２１は一対の弾性部材２７、２８を有するものであって、弾性部材２５〜２８上には接合膜３を介して圧電素子５１〜５４が接合されている。この接合膜３は、エネルギー付与前において、シロキサン結合を含みランダムな原子構造を有するＳｉ骨格と、このＳｉ骨格に結合する脱離基とを含むものである。 （もっと読む）

【課題】可動板の撓みを抑制し、所望の回動特性を発揮することのできるアクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】アクチュエータ１は、可動板２１と、可動板２１を回動可能に支持する支持部２２と、可動板２１と支持部２２とを連結する１対の連結部２３、２４とを有し、１対の連結部２３、２４を捩り変形させつつ可動板２１を回動させるよう構成されている。さらに、アクチュエータ１は、可動板２１の回動により発生する慣性力を相殺して可動板２１の撓みを抑制する撓み抑制手段５を有している。 （もっと読む）