【課題】装置の小型化および低コスト化を図り、製造にかかる手間を低減しつつ、磁石の剥離を防止することができ、可動板を第１の軸および第１の軸に直交する第２の軸の周りに回動（搖動）させることのできるミラーデバイス、ミラーデバイスの製造方法、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】ミラーデバイス１は、枠状部材１４と、１対の第２の軸部材１５ａ、１５ｂと、光反射性を有する光反射部１２を備える可動板１１と、１対の第１の軸部材１３ａ、１３ｂと、枠状部材１４に設けられ、長手形状をなす磁石２０と、可動板１１との接触を防止する空間２３を形成するように枠状部材１４と磁石２０との間に介在して枠状部材１４と磁石２０とを接合し、半田で構成された第１の半田層２１ａおよび第２の半田層２１ｂと、第１の下地層２２ａおよび第２の下地層２２ｂとを備えている。 （もっと読む）

【課題】磁石の剥離を防止することができ、磁路を設けることで磁石に作用する磁界の磁束密度を高くすることができ、可動部を第１の軸の周りに回動（搖動）させることのできるミラーデバイス、ミラーデバイスの製造方法、光スキャナーおよび画像形成装置を提供すること。
【解決手段】ミラーデバイス１は、光反射性を有する光反射部１２を備える可動板１１と、１対の軸部材１３ａ、１３ｂと、可動板１１に設けられ、両極が第１の軸を挟んで配置された永久磁石２０と、可動板１１と永久磁石２０との間に介在して可動板１１と永久磁石２０とを接合し、半田で構成された半田層２１と、可動板１１と半田層２１との間に介在し、可動板１１よりも半田の濡れ性が高く、軟磁性体を含む下地層２２とを備え、可動板１１の平面視で、下地層２２は、永久磁石２０を包含し、下地層２２の少なくとも一部が永久磁石２０から突出している。 （もっと読む）

【課題】水平方向と垂直方向の走査周波数が互いに大きく異なる仕様に対しても対応可能であり、かつ、従来よりも破損しにくい２次元光偏向器及びこれを用いた画像表示装置を提供する。
【解決手段】２次元光偏向器１は、照射された光を反射するミラー部２と、ミラー部２を囲うように間隙３を有して配置されたジンバル部４と、ジンバル部４を囲うように間隙５を有して配置されたフレーム部６と、ミラー部２とジンバル部４とを接続する一対の第１トーションバー部７ａ，７ｂと、ジンバル部４とフレーム部６とを接続する一対の第２トーションバー部８ａ〜８ｄ，９ａ，９ｂと、を備え、一対の第２トーションバー部８ａ〜８ｄ，９ａ，９ｂは、所定の材料から構成された第３トーションバー部８ａ〜８ｄと、所定の材料よりも展延性を有する展延性材料から構成された第４トーションバー部９ａ，９ｂと、をそれぞれ有する。 （もっと読む）

【課題】振動系を有する基体上に導体パターンを設けた構成において、光反射面の静的なたわみを低減することができるアクチュエーター、光スキャナー、および画像形成装置を提供すること。
【解決手段】静的なたわみを低減することができるアクチュエーターは、揺動軸まわりに揺動可能な可動部、前記可動部から延出する連結部、および連結部を支持する支持部、を含む基体と、光反射面を有する光反射部、および前記光反射部から延出し前記可動部に固定される固定部、を含むミラー保持体と、前記可動部に設けられるコイルと、前記コイルに作用する磁界を発生する磁石とを備える。 （もっと読む）

【課題】光反射面（全反射ミラー）を安定して自在に回動させるための制御が容易である、光スキャナーを提供する。
【解決手段】光スキャナー１は、光反射面３ａを有する反射板３と、反射板３を支持する支持部材４１と、支持部材４１を介して反射板３を保持する可動部２と、可動部２から光反射面３ａと平行にそれぞれ延出し、中間部分に屈曲部７，８を有する一対の可動梁５，６と、可動梁５，６に直結し可動梁５，６を介して可動部２へ変位を付与する変位部２１，３１を有し、可動梁５，６の延出方向の端部にそれぞれ設けられた第１駆動装置２０，３０と、変位部２１，３１から延出し、光反射面３ａと平行し且つ可動梁５，６の延出方向と直交している一対の駆動梁９，１０と、駆動梁９，１０を固定するための支持枠１５と、可動部２へ、第１駆動装置２０，３０とは異なる変位を、直接付与する第２駆動装置４０と、を備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】所望する光反射面を有するマイクロミラーアレイを製造すること。
【解決手段】基板３に支持部４を介して傾動可能に支持される可動板５の上面側に、光反射面２が設けられる金属柱２０を形成する際、可動板５の上面側を露出させる開口４０ａを有する保護膜４０を形成し、その開口４０ａ内に銀メッキを施して銀製の金属柱２０を形成した後、その金属柱２０の上端面２０ａに鏡面加工を施して光反射面２を形成することとした。 （もっと読む）

【課題】圧電駆動式光学素子において、投影画像面積を拡大することを目的とする。
【解決手段】光学反射素子において、支持枠１と、この支持枠１の内側の対向する部分にそれぞれの外端２ａを支持された一対の第一のミアンダ形状梁２と、この第一のミアンダ形状梁２のそれぞれの内端２ｂで支持した一対の音叉型振動子３と、この音叉型振動子３の振動中心をそれぞれの外端４ａで支持した一対の第二のミアンダ形状梁４と、この第二のミアンダ形状梁４のそれぞれの内端４ｂで支持したミラー部５とを備え、前記第二のミアンダ形状梁４は、内端４ｂと外端４ａの少なくとも一端を、前記ミラー部５の中心軸から所定の長さ離れた位置において、それぞれ前記ミラー部５、または前記音叉型振動子３を支持したことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】基板上に配置されたマイクロミラーアセンブリのアレイを備えるデジタルマイクロミラーデバイスを提供する。
【解決手段】各マイクロミラーアセンブリは、基板から間隔を置いて配置されたミラーと、ミラーを支持するステムと、ステムの両側に配置された第１の電極及び第２の電極とを備える。ステムは、弾性的に可撓性の材料からなり、したがってミラーは、静電力によって第１の電極の方に、又は第２の電極の方に傾斜することができる。このデジタルマイクロミラーデバイスは、データ投影機等に使用することができる。 （もっと読む）

【課題】静電気力で動作させるマイクロ機械素子における帯電量の変化に起因する駆動特性の変化を測定することを目的とする。
【解決手段】駆動電極１０ａ〜１０ｃを片側極性の電圧制御により動作させる静電駆動式のマイクロ機械素子１に対し、基準電極電圧を変化させることにより、擬似的に逆極性駆動を行って、マイクロ機械素子上の電荷の帯電量に起因する駆動特性の変化量を測定する。 （もっと読む）

【課題】結晶軸方位とエッチングマスクとの間にアライメント誤差があっても、加工寸法誤差の少ない構造体を形成可能なシリコンの加工方法、エッチングマスク付きシリコン基板等を提供する。
【解決手段】シリコンの加工方法で、主面が（１００）等価面１０３或いは（１１０）等価面である単結晶シリコン基板１００上に、マスクパターンを形成し、結晶異方性エッチングを施して、（１１１）等価面で構成され幅Ｗ１と長さＬ１を有する構造体を形成する。マスクパターンに、構造体の幅Ｗ１を決定する決定個所を持たせる。マスクパターンの幅Ｗ１の決定個所の幅は、幅Ｗ２を有する。マスクパターンの長さ方向にわたって、決定個所以外のマスクパターンの幅は、幅Ｗ２より大きい幅を有する。 （もっと読む）

【課題】固定部から伸びる可動梁で反射面を支持するマイクロメカニカル構造体において固定部を高くして反射面の揺動可能角度度を拡大する。
【解決手段】犠牲エッチング層を除去して形成したマイクロメカニカル構造体であり、基板４２と、基板から垂直方向に立ち上がっている固定部１１３と、固定部に連なっているとともに基板から間隙Ｈを隔てた高さを基板に平行に伸びている可動梁１１２ａ，１１２ｂと、可動梁の先端に連なっているとともに基板となす角度が変化する揺動板１１１と、揺動板の表面に形成されている反射面１６１を備えている。可動梁１１２ａ，１１２ｂが伸びている方向に測定した固定部１３１の幅Ｌが、基板１０に垂直方向に測定した可動梁１１２ａ，１１２ｂの厚みＴよりも大きいことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ミラーを有する片持ち梁を備えており、耐久性の高い光学素子及び光学装置を提供する。
【解決手段】 光学装置２は、光学素子４，６で構成されている。光学素子４は、基板１０と密着用膜１８と片持ち梁３０とを備える。片持ち梁３０は、密着用膜１８と反対側の面に成膜されたアルミニウム膜２６（反射面）を有する。片持ち梁３０は、外力が作用しない場合、内部応力によって密着用膜１８から大きく離反する屈曲形状をとっている。片持ち梁３０と密着用膜１８の間に外力を作用させた場合、片持ち梁３０の密着面２８と密着用膜１８の密着用基準平面２０とを密着させることができる。光学素子４は、外力を利用して形状を変化させることにより、光ビームの進行方向を切換えることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ポリマー材料を用いてアクチュエータを単純な構造で実現することにより破損や故障し難くすること、また、その製造工程及び工数を削減することを目的とする。
【解決手段】本発明のポリマーＭＥＭＳアクチュエータ１は、シリコン基板１０の上にポリマー材料により電気で駆動可能な微小機械構造を成しており、シリコン基板１０の上に固定した導電材料による第１の電極１１と、光反射用の鏡１４が固定された先端部がシリコン基板１０上の空間で当該基板１０に対して垂直方向に可動可能なポリマー材料によるポリマー可動部１２と、このポリマー可動部１２及びシリコン基板１０の上に、ポリマー可動部１２で第１の電極１１と電気的に絶縁状態に固定した導電材料による第２の電極１３とを備えて構成されている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ポリマー材料を用いてアクチュエータを単純な構造で実現することにより破損や故障し難くすること、また、その製造工程及び工数を削減することを目的とする。
【解決手段】本発明のポリマーＭＥＭＳアクチュエータ１０は、シリコン基板１１の上にポリマー材料により電気で駆動可能な微小機械構造を成しており、長手板状のポリマー材料によるポリマー可動部１２と、このポリマー可動部１２と概略同形状を成してその上面に固着された金属ヒータ１３と、ポリマー可動部１２及び金属ヒータ１３の先端部に固定された光を反射する鏡面１４ａを表裏面に有する鏡１４とを備えて構成されている。 （もっと読む）

干渉型変調器が、可動反射体の反対側の、可動柔軟層の一側上に、熱膨張平衡層を備え、温度が変化した場合に、可動反射体と光学積層体との間の距離が、大きく変化せず、これにより、安定したカラーを生じる。さらに、干渉型変調デバイスが、可動柔軟層と可動反射体との間に補強層、及び少なくとも一つの空間を備え、この空間は、可動反射体と補強層とが互いに接触する表面上に存在し、可動反射体が、曲げに対してさらに堅固なものとなり、これにより、可動反射体の感温性を低減させる。
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【課題】コストが低減されたＭＥＭＳスイッチを有する表示装置の提供。
【解決手段】表示装置は、ＭＥＭＳ表示エレメントの行及び列を有するＭＥＭＳ表示部と、及び前記表示部に隣接するＭＥＭＳスイッチエレメントの１つ以上の追加的な行又は列として形成された複数のＭＥＭＳスイッチとを具備する。複数のＭＥＭＳスイッチのうちのいくつかは、変形可能な空隙ＭＥＭＳスイッチであり、端子、電極及び電極とレイヤーとの間の電圧に応答する変形可能なレイヤーとを具備する。 （もっと読む）

【課題】光学素子に対する透過性を有するとともに、光学素子と外部回路との間で電気的接続の自由度が高い光学装置を提供する。
【解決手段】光学装置１は、表面に光学素子２が設けられた素子基板３と、素子基板３の光学素子２が設けられた表面に接続され、光学素子２に対応する位置に貫通孔４を有する配線基板５と、貫通孔４を覆うように配線基板５に接続された光透過性部材６とを有する。また、配線基板４の光透過性部材６が接続される表面に、配線基板５に電気的に接続された外部接続端子８が設けられる。 （もっと読む）

【課題】 組立工程において、漏れ、気泡、空隙などを少なくするように流体または流動
可能な材料を導入することができる工程、およびその結果として形成される電子デバイス
を提供する。
【解決手段】 固化したコア材料（３３４）上に外側表面（３３６）を準備するステップ
であって、該固化したコア材料（３３４）は基板（３１２）内に形成される凹所（３１６
）内にあるステップと、前記固化したコア材料（３３４）の前記準備された外側表面（３
３６）、および前記凹所（３１６）を包囲する前記基板（３１２）の一部の上に層（３３
８）を配設することであって、該配設された層（３３８）および前記基板（３１２）はチ
ャンバ（３５０）を画定するステップとにより、電子デバイス内にチャンバを形成するこ
ととした。 （もっと読む）

【課題】角速度センサ、加速度センサ、コンバインドセンサ、マイクロミラーなどのＭＥＭＳ素子の製造において、ウェーハの両面加工を必要とせず、アライメントのずれにロバストなＭＥＭＳ素子を提供する。
【解決手段】空隙４を有する基板２を用意した後、支持基板２ａに固定される固定部１１、端子部１６、台座１０などの固定要素が形成される位置のデバイス層２ｃに孔１８を開け、その孔１８を固定材１９で支持基板２ａに達するまで埋め込むことで孔１８周辺のデバイス層２ｃを支持基板２ａに固定する。 （もっと読む）

少なくとも4つの方向に旋回することが可能な2軸ミラーの配列を有する制御式反射装置について示した。少なくとも3原色の光ビームは、各原色光ビームに対して一つずつ、4つの旋回方向の3つに、各2軸ミラーで誘導され、単一のカラービームは、反射され、投射レンズに向かって誘導される。第4の旋回方向では、前記投射レンズの方にカラービームは誘導されず、黒が投射される。
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