【課題】形状精度が高い微細構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】実施形態に係る微細構造体の製造方法は、被加工材上に、開口部が形成され、上面が親水性であり前記開口部の側面が疎水性であるガイド膜を形成する工程と、疎水性部分及び親水性部分を含み、前記疎水性部分の長さが前記親水性部分の長さよりも長い両親媒性高分子を含有した溶液を、前記被加工材及び前記ガイド膜に被着させ、前記溶液を前記疎水性部分が集合した疎水性ブロックと前記親水性部分が集合した親水性ブロックとに分離させ、前記溶液を固化させて固化膜を形成する工程と、前記固化膜から前記親水性ブロックを除去することにより、マスク材を形成する工程と、前記マスク材をマスクとして前記被加工材に対して処理を施す工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】クラックの発生を抑制することのできるサポートプレート、液滴吐出ヘッド、液体カートリッジおよびインクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】接着部材を介してウエハの面に密着し、ウエハをサポートするサポートプレート１０であって、ウエハの面に密着させる範囲内に、凹部および貫通孔のうち少なくとも一方の略長方形状の複数のパターンを備え、パターンは、ウエハの中心に密着する当該サポートプレート１０の中心点とパターンの対角線の交点とを通る直線と、当該パターンの長手方向の直線とがなす角のうち小さい角の角度が４５度以上となるように配置されている。 （もっと読む）

【課題】正常なアクチュエータ動作を行うことができる。
【解決手段】固定枠１１の枠内には、可動部材１２と、蛇行して配置され、捻り変形可能に可動部材１２の両端を支持するトーションバースプリング１３とが設けられている。各トーションバースプリングは、可動部材１２との取付箇所で可動部材１２の回転の軸線に直交する幅を分割し、その各幅の長い幅に沿った方向に蛇行して配置されている。可動部材１２と各弾性支持部材１３との各取付箇所は、可動部材１２の回転の軸線を通る中心点Ｘに対し点対称となる対の取付箇所である。これらの取付箇所Ａ、Ａ’は可動部材１２の中心点を通り各取付箇所Ａ、Ａ’を結ぶ仮想線が可動部材１２の回転の軸線に対して所定の角度を有するように設定する。 （もっと読む）

【課題】フレア光の発生を抑えつつ、ＭＥＭＳミラーの動作の安定化を図ることができる光走査装置を提供することに。
【解決手段】レーザーダイオード（光源）と、該レーザーダイオードから出射される光ビームを偏向するＭＥＭＳミラーと、前記レーザーダイオードから出射される光ビームを前記ＭＥＭＳミラー上に線状に結像させる自由曲面ミラー（結像素子）と、前記ＭＥＭＳミラーによって偏向された光ビームを被走査面上に結像させる走査レンズ３３，３４を備えた光走査装置１３において、パッケージ壁３１とその開口部を覆うパッケージカバー及びカバーガラス３０によってＭＥＭＳ室３１を形成し、該ＭＥＭＳ室３１に前記レーザーダイオードと前記ＭＥＭＳミラー及び前記自由曲面ミラーを収容するとともに、ＭＥＭＳ室３１を気密封止する。 （もっと読む）

【課題】より安定して可動部を振動させることができる共振反射装置、それを用いる光学式ガス分析装置、画像スキャナ、及び、共振反射装置の制御方法を提供することを目的とする。
【解決手段】固定部、一方の端部が固定部と連結したトーションバー、トーションバーの他方の端部と連結し、トーションバーとの連結部分を回転軸として固定部に対して回動する板状部材であり、少なくとも一方の面で光を反射する可動部、及び、交流電流が供給されることで可動部を回動させる駆動部を備える反射手段と、反射手段の可動部の温度を非接触で検出する温度検出手段と、温度検出手段で検出した可動部の温度に基づいて、駆動部に供給する交流電流に付加するバイアス電流の大きさを調整する制御手段と、を有することで上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】反射面の傾き変位を精度よく検出できる光走査装置を提供すること。
【解決手段】反射面３０ａを備えた可動板３０と、一対のトーション梁３１，３２と、２組の一対のカンチレバー２１，２２、２３，２４と、支持枠１０と、可動板３０の変位に応じて生じる機械的変位を電気信号に変換するセンサ部４１ｄ，４２ｄ，４３ｄ，４４ｄと、を備えた光走査装置であって、トーション梁３１，３２と可動板３０とを連結する連結部４１ａ，４２ａ，４３ａ，４４ａが、可動板３０の往復傾動時にトーション梁３１，３２と可動板３０との相対変位に応じて変位可能なように、その中間部がトーション梁３１および可動板３０に対しスリット４１ｃ，４２ｃ，４３ｃ，４４ｃを介在させた離間状態で設けられ、連結部４１ａ，４２ａ，４３ａ，４４ａにセンサ部４１ｄ，４２ｄ，４３ｄ，４４ｄが設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】自己組織化材料を用いて製造されるパターンの高精度化を図ったパターンの形成方法，およびインプリント用モールドの製造方法を提供する。
【解決手段】実施形態のパターンの形成方法では，基板上に，第１の層，感光層を順に形成し，前記感光層の第１，第２の領域それぞれを第１，第２の露光量で露光し，第１の溶媒によって，第１の領域を溶解し，露出した第１の層をエッチングし，第２の溶媒によって，感光層の未露光の第３の領域を溶解し，自己組織化材料を第３の開口内に形成する。 （もっと読む）

【課題】環境温度などによる共振周波数の変動を調整可能な光偏向器を提供する。
【解決手段】固定ベース６０と、光反射面を有するミラー部１０と、ミラー部１０を揺動可能に支持する弾性支持部材２０と、一端が固定ベース６０に接続され、他端が弾性支持部材２０に接続され、梁状部材に圧電部材が固着された一対の振動梁５０とを備え、振動梁５０は、交流電圧を印加することで、弾性支持部材２０に捻り変形を発生して、ミラー部１０を所望共振周波数で回転振動せしめる駆動梁３０と、直流電圧を印加することで、弾性支持部材２０に応力を与えて、共振周波数を調整する周波数調整梁４０とで構成する。 （もっと読む）

【課題】互いに直交する２軸まわりに安定して回動させることができる可動板の回動する軸との偏りを押さえ、正確な画像を実現する光スキャナーを提供する。
【解決手段】光反射部材と、前記光反射部材を支持する支持部材と、前記光反射部材を支持する可動部と、前記可動部より延出し、中間部に屈曲部を備え、前記可動部を挟んで対向配置される少なくとも一対の可動梁と、前記可動梁の前記可動部の反対側の延出方向に前記可動梁に固定された変位部と、前記変位部を駆動する駆動部と、を備える駆動装置と、前記変位部より、前記光反射面の略面方向に延出する２つの駆動梁と、前記駆動梁が固定される支持枠と、を備える振動基板と、前記振動基板を載置し固定する固定面を備える基台と、を備え、前記支持部材の前記可動部側の端部が、前記可動部の前記光反射部材側の端面より、前記光反射部材から離間する位置で固定される光スキャナー。 （もっと読む）

【課題】簡便な構造で、かつ、十分な駆動力を得ることが可能な電磁力利用の光装置装置を提供する。
【解決手段】ミラー部１０、フレーム部２０、及び、ミラー部１０をフレーム部２０に支持する一対のトーションバー部１１などを磁性薄膜で一体的に形成する。そして、外部から印加される交流磁界と主としてミラー部１０の磁化成分との電磁力により、トーションバー部を捻り回転軸としてミラー部を往復振動させるための駆動トルクを発生させる。トーションバー部１１とフレーム部２０との連結部分１２は非磁性化又は弱磁性化することでもよい。 （もっと読む）

【課題】可動板と捻り梁との接合部における応力による可動板のたわみを抑制することができる光偏向素子、光偏向器、及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】光偏向素子は、光反射性を有する反射鏡４２が設けられた可動板４１と、支持枠４４と、可動板４１を支持枠４４に対して回動可能に連結する弾性支持梁４３と、可動板４１の反射鏡４２と反対の面側に設けられた磁石３７とを備え、弾性支持梁４３は、可動板４１の回動軸Ｘに垂直な断面で見たときに、幅が反射鏡４２側から磁石３７側に向けて漸次増加する形状をなしている。 （もっと読む）

【課題】安価な構成でＭＥＭＳミラーの偏向状態を高精度にモニターすることができる光走査装置を提供すること。
【解決手段】光源から出射される光ビームを偏向するＭＥＭＳミラーと、該ＭＥＭＳミラーを一定の周期で駆動する駆動手段と、前記光源から出射される光ビームを検知する光検知素子（ＢＤセンサ）を備えた光走査装置において、前記駆動手段に入力される駆動位相信号の位相と前記光検知素子の検知信号の位相との関係から前記ＭＥＭＳミラーの偏向状態を求める。例えば、駆動位相信号が出力されてから光検知素子の検知信号が出力されるまでの時間Ｔを検出し、この時間Ｔと光検出素子の設置偏向角θ_０ 及びＭＥＭＳミラーの偏向周波数νを用いて次式：
θ_ｍ ＝θ_０ ／ｓｉｎ（２πνＴ−π／２）
にてＭＥＭＳミラーの最大偏向角θ_ｍを求める。 （もっと読む）

【課題】ムービングマグネット型の駆動部を有する変形可能ミラー装置の応答速度、変形精度を向上する。
【解決手段】ミラー面が形成された可撓性部材を変形させるにあたり、駆動力発生部により発生した駆動力を駆動力伝達部により伝達して可撓性部材に印加するものとし、且つ上記駆動力伝達部の先端部は、可撓性部材側に対して固着せず当接させる。これによりミラー面の変形にあたり可動側となる可動側部の質量を従来例の場合よりも大幅に削減でき、可動側部の固有振動数の値をより大とすることができる。また上記駆動力伝達部は、その先端部が球面状とされた柱状部を、ケースにおけるガイド孔に挿入するようにして設ける。これにより、先端部によって上記可撓性部材の押圧基準点に縦方向（上記ケースの表面に垂直な方向）の押圧力が正確に印加されるようにすることができ、ミラー面の変形精度の向上を図ることができる。 （もっと読む）

データ記憶装置のデータ変換器に使用するための三次元（３Ｄ）微細構造コイルを含むがこれに限定されない、多次元微細構造を形成するための方法を提供する。いくつかの実施例に従って、本方法は概して、第１の誘電材料に埋込まれた第１の導電性経路を有するベース領域を設けるステップと、各々が、埋込まれた第１の導電性経路に接触する第１のシード層で部分的に充填された複数のビア領域を、第１の誘電材料にエッチングするステップと、複数のビア領域の各々に導電性支柱を形成するように第１のシード層を使用するステップとを含み、各導電性支柱は、ベース領域の上方の第１の距離まで延在する実質的に垂直の側壁を有する。
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【課題】凹凸パターンの形成面に汚れや傷付きが生じる事態を回避する。
【解決手段】エネルギー線硬化型の樹脂材料１７を塗布すると共にＡ１凹凸パターン４０ａが形成されたＡスタンパー３０ＡをＡ面１０ａに貼り付け、Ｂ１凹凸パターン４０ｂが形成されたＢスタンパー３０ＢをＢ面１０ｂに貼り付けるスタンパー貼付け処理と、エネルギー線を照射して材料１７を硬化させる樹脂材料硬化処理と、材料１７からスタンパー３０Ａ，３０Ｂを剥離するスタンパー剥離処理とを実行して、凹凸パターン４０ａ，４０ｂと凹凸位置関係が反転するＡ２凹凸パターン５０ａおよびＢ２凹凸パターン５０ｂを両材料１７に形成する際に、材料１７の硬化率がＡ面１０ａおよびＢ面１０ｂにおいて相違するように、エネルギー線の照射量、照射するエネルギー線の種類、および塗布する材料１７の種類のうちの少なくとも１つをＡ面１０ａおよびＢ面１０ｂにおいて相違させる。 （もっと読む）

【課題】一対のトーションバネにより支持されたミラー基板を、そのトーションバネを捻り回転軸として振動させる光走査装置及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】フレーム部材に、一対の弾性部材によりミラー基板が支持され、前記弾性部材を捻り回転軸として前記ミラー基板が往復振動可能な光走査装置であって、前記弾性部材は、前記フレーム部材との結合端の近傍で一対の連結部材により前記フレーム部材と連結され、前記連結部材は、前記ミラー基板の駆動用トルクを生じさせる圧電素子が設けられ、前記ミラー基板は、前記回転軸から外側に向けて、各領域の曲げ剛性が、振動によって作用する曲げモーメントに応じて設定され、さらに、前記弾性部材との結合両端側にスリットが設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ミクロンオーダーだけでなくナノオーダーでの微細加工を容易に施すことができるガラス表面の微細加工方法を提供する。
【解決手段】アルカリ酸化物を含有するガラスの表面に凸部を形成するガラス表面の微細加工方法であって、凸部となるべき第２領域の表面に隣接する第１領域の表面を保護層で被覆する工程と、第２領域の表面側からアルカリイオンを除去する工程と、第１領域の表面から保護層を除去する工程と、アルカリイオンが除去された第２領域の表面と保護層が除去された第１領域の表面とを研磨する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】微小うねりＷａが小さく、微細パターンの欠陥の発生を抑えることが可能な金型部材の製造方法を提供する。
【解決手段】板状の形状を有するガラス基板１の表面に、Ｓｉ層３を形成する。Ｓｉ層３が形成された基板の両面（表面３Ａと表面１Ａ）を同時に研磨する。研磨後、ディスクリートトラックメディア用の微細な凹凸パターン４、又はビットパターンドメディア用の微細な凹凸パターン４を、Ｓｉ層３の表面に形成する。 （もっと読む）

【課題】凹凸部材の被覆層の厚みの減少を抑制することができる凹凸部材を製造することができる凹凸部材の製造方法、及び該製造方法により製造された凹凸部材、並びに、該凹凸部材を用いた磁気転写方法、及び該磁気転写方法によって作製された垂直磁気記録媒体の提供。
【解決手段】本発明の凹凸部材の製造方法は、基材の表面に、該基材を基準として複数の凸部が配列されたことによって形成された凹凸パターンを有する凹凸部材の製造方法であって、被覆層形成工程と、バリア層形成工程と、基材形成工程と、剥離工程とを含み、かつ、バリア層に含まれる金属元素のイオン化傾向が、被覆層に含まれる金属元素のイオン化傾向よりも小さいことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】モールド構造体の密着状態不良部分に対して選択的かつ能動的に外力を付与して均一かつ安定な密着状態を維持することできるモールド構造体、並びにそれを用いたインプリント方法及び磁気転写方法の提供。
【解決手段】円板状の基板と、該基板の一の表面に、該表面を基準として複数の凸部が配列されることによって形成された凹凸部を有するモールド構造体であって、前記モールド構造体が、外力により伸縮する部材を備えているモールド構造体である。該モールド構造体の凹凸部を有さない側の面に、外力により伸縮する部材を備えている態様、外力が、磁場及び電場のいずれかである態様、該外力により伸縮する部材が、ピエゾ素子及び超磁歪素子のいずれかである態様、などが好ましい。 （もっと読む）