【課題】ナノストラクチャまたはマイクロストラクチャ表面に置かれた小滴の移動が、ナノストラクチャ・フィーチャ・パターンの少なくとも１つの特性または小滴の少なくとも１つの特性によって決定される方法および装置を提供する。
【解決手段】小滴の横方向の移動が、ナノストラクチャ・フィーチャ・パターンの少なくとも１つの特性によって、小滴がナノストラクチャ・フィーチャ・パターンに沿って所望の方向に移動するように決定される。他の実施形態では、小滴の移動が、ナノストラクチャ・フィーチャ・パターンの少なくとも１つの特性または小滴の少なくとも１つの特性によって、小滴が所望の領域のフィーチャ・パターンに侵入し、そこで実質的に不動化するように決定される。 （もっと読む）

【課題】振動板の振動が外部に漏洩しにくくし、エネルギー損失を低減できる圧電マイクロブロアを提供する。
【解決手段】圧電素子２０を有する振動板２の周囲を固定し、振動板との間でブロア室３を形成するケース１と、ケース１の外周部に設けられ、ケース１から外部への振動伝搬を実質的に抑制する複数の連結部４と、を有する。振動板２の中央部と対向するケース１の天板部１０に第１開口部１１が形成され、振動板２をベンディングモードで駆動させることにより、空気を第１開口部１１から排出する。振動板２の振動がケース１から外部へ漏洩するのを連結部４が抑制し、エネルギー損失を低減する。 （もっと読む）

【課題】例えば、フィッシャートロプシュ反応を実行するに当って、温度の精密な制御が可能な単一の装置又はアセンブリ内に統合された複数のマイクロチャネルユニットを提供する。
【解決手段】対向するシムシートの間に、矩形断面の触媒を収容することが可能な一連のマイクロチャネルを形成する波形インサート１５４と波形インサートと熱的に連通した第２の組のマイクロチャネル１５８とを含み、これを構成単位として複数積層して一つのハウジング内に格納する。 （もっと読む）

【課題】 電子デバイスに関し、電子デバイスの微細化を損なうことのない構造の冷却用流路を備えた冷却システムを提供する。
【解決手段】 能動素子を設けた電子デバイス基板と、前記電子デバイス基板に固着され、電圧を印加すると誘電作用により変形するエレクトロポリマーと、前記エレクトロポリマーを挟み込む電極対と、前記電子デバイス基板或いは前記エレクトロポリマーの少なくとも一方に前記エレクトロポリマーの変形により流路断面積が変化する冷却用流路用の溝とを設ける。 （もっと読む）

【課題】製造プロセスの簡素化が可能で、低電圧駆動による高ストローク出力が可能なアクチュエータを用いた乱流制御装置を提供する。
【解決手段】流体との境界面を形成する壁に設置される乱流制御装置であって、振動板(30)の面上に第１電極(40)、圧電体膜(44)及び第２電極(46)が積層されて成るダイアフラム型圧電アクチュエータ(20)群を備える。第１電極(40)及び第２電極(46)間への電圧印加により可動部(32)を変位せて流体との境界面を変形させることで、壁乱流を制御する。 （もっと読む）

【課題】簡単な方法で作製可能であり、微小構造の形状変化によって、これまで難しかった表面上の微細な液滴の形状変化および輸送を制御することができ、その結果、微小液体の操作とマイクロパターニングを簡便に可能とする微小構造体を提供する。
【解決手段】伸縮可能な支持体に密着した表面薄膜の微小領域での座屈変形に基づく特性空間周波数を有する微細凹凸構造を備えた微小構造体であって、前記微細凹凸構造に外部から応力などの刺激を加えることができ、その刺激によって前記構造が変形することで、その溝部に液体を導入させ、さらにその液体形状を微細凹凸構造の変化で操作できることを特徴とする液体パターンを備えた微小構造体。また、液体形状の操作には直接液体に光等の刺激を与えても可能であることを特徴とする微小液体パターンを備えた構造体。 （もっと読む）

【課題】薄いジグザグの波形の中間セパレータを備えたマイクロコンポーネント組立体において、セパレータは、隣接して長手方向即ち縦方向に延在するマイクロチャネルをその両側に形成し、気相や液相の流体の熱伝達を促進し、熱エネルギーの伝達効率を増大する。
【解決手段】セパレータの両側における気体のエネルギー伝達は主に拡散で行われ、エネルギーはセパレータを介して伝導され、セパレータは折畳み形状を有し、その断面形状は正弦波形で、薄いシート材からつくられる。また、セパレータは積層構造において封止された包囲体内の中間要素であり、該組立体は、チャネルを通して流体を流動させる為、長手方向に離間し横方向に延在するチャネルを横断する入口及び出口開口を有する。中間セパレータが触媒を含むと流体の化学作用を促進でき、マイクロコンポーネント反応チャンバを設けると拡散による熱エネルギーの伝達効率を増大できる。 （もっと読む）

本発明に一致する材料、構成要素、および方法は、流体を含むマイクロスケールチャネルの製造および使用を対象とし、流体の温度およびフローは、マイクロスケールチャネルのジオメトリと、マイクロスケールチャネルの壁の少なくとも一部分の構成と、流体を構成する構成粒子とによって制御される。さらに、構成粒子と壁との間の衝突が実質的に鏡面衝突となるように、マイクロスケールチャネルの壁および構成粒子が構成される。
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【課題】熱交換性に優れ、流路の変形を防ぐことのできる流体素子及び冷却装置を提供する。
【解決手段】このマイクロリアクタ１０は、ターゲット基板に対して、電鋳法により形成された導電膜である複数のＣｕ膜１２Ａ〜１２Ｆを順次常温接合し、図１に示すヘッダ４と接する側に、Ｃｕ膜よりも硬く、２つの開口１１０を有するＮｉ膜１１を常温接合することにより形成されている。この開口１１０の部分は、流体をＣｕ膜の積層方向に導入するダクト１２５となっている。Ｃｕ膜１２Ａ〜１２Ｅは、それぞれ流体を通過させるための開口や溝等の形状の流路パターンを有する。Ｃｕ膜１２Ｆは隔壁層として機能する流路パターンを持たない薄膜である。このＣｕ膜１２Ａ〜１２Ｆは、積層されることによって積層体内に３次元的な流路を有する積層構造体を形成するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】複数のマイクロ流路間を容易にでき、従って容易に製造可能なマイクロ流体デバイスを提供する。
【解決手段】マイクロ流体デバイス１は、第１のマイクロ流路２と、第１のマイクロ流路２の一端部に接続され、第１のマイクロ流路２よりも小さな流路面積を有する第２のマイクロ流路３とを有する。マイクロ流体デバイス１は、第１のマイクロ流路２を構成する線条溝１３が形成された第１の基板１０と、板面方向に直線状に配列された線条溝よりも幅狭の複数の貫通孔２１が形成された第２の基板２０とを備えている。線条溝１３の延びる方向と複数の貫通孔２１の配列方向とが交差すると共に、複数の貫通孔２１のうちのひとつまたはいくつかと線条溝１３とが接続されて線条溝１３と接続された貫通孔２１ａにより第２のマイクロ流路３が構成されるように、第１の基板１０と第２の基板２０とが貼り合わされている。 （もっと読む）

【課題】相互接続構造などに必要な機能性材料を含む、高精度な複合多機能ミクロ構造とその製造方法を提供する。
【解決手段】第１の層（１６）、および第２の層（１７）を設ける。第２の層（１７）は、その上にレリーフ機構（１８）を有し、レリーフ機構間に溝（１９）を形成し保持機構とする。溝には導電材料などの機能性材料からなる第３の層（２０）が堆積され、オプションの浸漬オーバーレイヤ（２２）をその上に含む。層（２０）は、その基部にわたって連続する。 （もっと読む）

【課題】磁気障壁通路又は反磁気障壁流路に沿って流す流体の流体制御を簡単な構成で高精度に行うことができる。
【解決手段】基板１２に配設された細線状の磁性体材料２２に対して外部磁場を印加することにより磁性体材料２２に沿った磁気障壁通路を形成し、該磁気障壁通路に沿って磁性流体Ａ，Ｂを流通させる。この流通において、磁性体材料２２の途中を断線させる断線工程と、断線した通路断線部３４を通路断片３６で結線させる結線工程と、により、磁気障壁通路に沿って流れる磁性流体Ａ，Ｂの流通を制御する。 （もっと読む）

【課題】低駆動電圧と長寿命特性を有するスクラッチ駆動アクチュエータ（ＳＤＡ）微小回転モータの新規な設計と製造方法を提供する。
【解決手段】駆動電圧を交流振幅で３０〜１５０Ｖｏ−ｐから１２〜３０Ｖｏ−ｐに大幅に減少するべく、超低抵抗（＜０．００４Ω−ｃｍ未満）のシリコンウェハをＳＤＡ微小モータの基板として用いる。さらに、本発明は、ＳＤＡ微小モータの寿命（＞７５時間）および回転速度（〜３０ｒｐｍ）の改善ができる新規なＳＤＡ構造および形状設計方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】既存のプラズマシンセティックジェットを用い、旋回流を生じさせることで、機械的稼働部を持たない旋回流発生装置、及び前記旋回流発生装置を備えたマイクロスワーラーおよびマイクロポンプを提供する。
【解決手段】筐体と、前記筐体の一つの端面の内壁面にそのほぼ中心部から放射状に分離して設けられた複数個のPSJAと、を備え、前記複数個のPSJAに交流電圧を印加し、前記筐体内に旋回流を発生させる。 （もっと読む）

【課題】本発明の課題は、マイクロ流体デバイスを局所的に温度制御することである。
【手段】温度制御する部位の近傍に開口部を備えるマイクロ流体デバイスにより、マイクロ流体デバイスを局所的に温度制御することが可能になる。また、本発明は、マイクロ流体デバイスの開口部に、熱交換流体を導入あるいは熱交換部材を挿入する工程と、該熱交換流体または該熱交換部材を介してマイクロ流体デバイスと熱交換を行う工程とを含む、マイクロ流体デバイスの温度制御方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】優れたＭＥＭＳ蒸気気泡発生器を得る。
【解決手段】気泡を生成するために液体と熱接触している加熱体を使用するＭＥＭＳ蒸気気泡発生器。加熱体は、電力が比較的小さい副核形成部分と、気泡を核形成する電力が大きい部分とを有するように整形された電気パルスによってエネルギーが供給される。副核形成部分によって液体に伝達される熱エネルギーによって、核形成部分の間、加熱体の表面全体の気泡の核形成速度が速くなる。これによって、規則的な形状を有する、より大型で、より安定した気泡が生成される。 （もっと読む）

一態様では、本発明は、伸張され、圧縮され、曲げられ、又は別の方法で変形されたとき良好な性能を提供することができる半導体及び電子回路のような伸縮性で随意に印刷可能なコンポーネント、及びそのような伸縮性のコンポーネントを作る、又は調整する関連した方法を提供する。いくつかの応用に好ましい伸縮性半導体及び電子回路は、伸縮性であることに加えて、可撓性であるので、１つ又は複数の軸に沿ったかなりの伸張、屈曲、曲げ、又は他の変形が可能である。さらに、本発明の伸縮性半導体及び電子回路は、広い範囲のデバイス形態に適応して、十分に可撓性のある電子及び光電子デバイスを可能にする。 （もっと読む）

マイクロチャネルユニット操作を実行するための機器及びそのような機器を利用する方法、特に、単一の装置又はアセンブリ内に統合された複数のマイクロチャネルユニット操作を提供する。連続に少なくとも２つのユニット操作を実行するための方法であって、本方法は、（ａ）供給流れの少なくとも１つの化学物質に対する第１のマイクロチャネルユニット操作を含む統合アセンブリ内に供給流れを誘導し、個別のマイクロチャネルを通して流れを隔離する第１の組の個別のマイクロチャネルにおける第１のマイクロチャネルユニット操作を出る分配流出流れを生成する段階、及び（ｂ）第１のマイクロチャネルユニット操作の分配流出流れを分配流入流れとして第２のマイクロチャネルユニット操作内に誘導し、第１の組の個別のマイクロチャネル間で流れを隔離する段階を継続し、かつ流入流れの少なくとも１つの化学物質に対する少なくとも１つの操作を実行して第２のマイクロチャネルユニット操作を出る生成物流れを生成する段階を含み、第１のマイクロチャネルユニット操作及び第２のユニット操作は、ハウジングを共有する。 （もっと読む）

コンポーネント、特にマイクロメカニカルコンポーネント及び／又はマイクロ流体コンポーネント及び／又はマイクロエレクトロニクスコンポーネントの製造方法及びコンポーネントが提案され、その際、前記コンポーネントは少なくとも１つの構造化された材料領域を有し、その際、第１の工程において前記の構造化された材料領域は、第１の材料の微粒子が第２の材料のマトリックス中に埋め込まれることにより製造され、かつその際、第２の工程で前記の構造化された材料領域は、乾式エッチング法又は気相エッチング法により多孔質にエッチングされる。
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【課題】
【解決手段】マイクロ流体デバイス用の膜弁およびラッチ弁構造体を開示する。デマルチプレクサーをラッチ弁構造体に適用可能である。膜弁およびラッチ弁構造体を利用して、処理装置等の空圧論理回路を形成することができる。 （もっと読む）