【課題】信頼性の向上を図るＭＥＭＳ素子を提供する。
【解決手段】本実施形態によるＭＥＭＳ素子は、基板１０上に固定された平板形状の第１電極１１と、前記第１電極の上方に対向して配置され、上下方向に可動である平板形状の第２電極１５と、前記基板上において、前記第１電極および前記第２電極を収納するキャビティ２０を有する膜２６と、を具備する。前記第２電極は、ばね部１６を介して前記基板上に接続されたアンカー部１４に接続されるとともに、その上方において前記膜に接続される。 （もっと読む）

【課題】単位時間あたりのガス発生量が多いガス発生材を提供する。
【解決手段】ガス発生材は、アゾ化合物またはアジド化合物からなるガス発生剤、ヘテロ原子に結合した水素原子を有する化合物、及び光増感剤を含む。 （もっと読む）

【課題】駆動直後における出力が高いマイクロポンプを提供する。
【解決手段】マイクロポンプ１１は、第１のマイクロ流路１２ａと、第１のガス発生材１３と、第１のガス発生材１３に光を照射する第１の光源１５と、第１及び第２の光伝送経路１４ａ、１４ｂと、接続機構１６とを備えている。第１のガス発生材１３は、第１のマイクロ流路１２ａにガスを供給する。第１及び第２の光伝送経路１４ａ、１４ｂは、第１の光源１５と第１のガス発生材１３との間に配されている。第１及び第２の光伝送経路１４ａ、１４ｂは、互いに光学的に接続されていない。接続機構１６は、第１の光伝送経路１４ａと第２の光伝送経路１４ｂとを光学的に接続している。第１の光伝送経路１４ａと第２の光伝送経路１４ｂとは、接続機構１６により光学的に接続されたときに、第１の光源１５からの光を第１のガス発生材１３に導くように配されている。 （もっと読む）

【課題】高性能なマイクロ流体装置および外付けの圧電アクチュエータを提供すること。
【解決手段】流体ポンピング装置100、200は、マイクロ流体装置130、230に外付けに連結された圧電アクチュエータ110を含んでいる。圧電アクチュエータは、バイアス電圧の印加に応じた長軸に沿った軸方向変位を有している。圧電アクチュエータの軸方向変位は、マイクロ流体装置の内部のバルブ245および内部のポンプチャンバ140の一方を作動させる。 （もっと読む）

【課題】マイクロポンプの出力の向上を図る。
【解決手段】マイクロポンプ２は、基材１０と、ガス発生材１２と、光源１４と、光学素子２０とを備えている。基材１０には、マイクロ流路１１が形成されている。ガス発生材１２は、光が照射されることによりガスを発生させる。ガス発生材１２は、発生したガスがマイクロ流路１１に供給されるように配されている。光源１４は、ガス発生材１２に光を照射する。光学素子２０は、光源１４からの光が入射する光入射面２１と、ガス発生材１２側に光を出射する光出射面２２とを有する。光学素子２０は、ガス発生材１２の光源１４からの光が入射する光入射領域における光の強度分布を小さくする。 （もっと読む）

【課題】 小さい流体体積を取り扱うための磁気的に駆動されるマイクロポンプの提供。
【解決手段】 第一のチャンバ及び第二のチャンバを含むマイクロポンプであって、可撓性膜が第一のチャンバと第二のチャンバの間に配列され、可撓性膜は、膜を変位させるためのアクチュエータに磁気的に連結される。 （もっと読む）

【課題】 電子装置の特性の劣化を抑制することが可能な電子装置を提供すること。
【解決手段】 電子素子22を有するチップ部品２と、電子素子22を収容する空間Ｓを介してチップ部品２が搭載される配線基板３と、空間Ｓを囲むようにしてチップ部品２の上面及び側面から配線基板３の表面にかけて設けられる樹脂層４と、樹脂層４における配線基板３及びチップ部品２の側面との接着部分のみを覆うようにして設けられた封止補強用樹脂５とを有する電子装置１である。 （もっと読む）

【課題】ガス発生期間が長く、且つ単位時間あたりのガス発生量が多いガス発生材を提供する。
【解決手段】ガス発生材は、スルフォニルアジド基を有するガス発生剤と、光増感剤及びバインダーのうちの少なくとも一方とを含む。 （もっと読む）

【課題】マイクロポンプに利用でき、ガス発生期間が長いガス発生材を提供する。
【解決手段】複数種類のガス発生剤を含み、複数種類のガス発生剤は光応答性を示し、しかもガスを発生させる波長が相互に異なり、光の照射を開始してからガスの発生量が最大となるまでに要する時間が相互に異なるガス発生材。更に、ガスの発生を開始する温度が相互に異なり、加熱を開始してからガスの発生量が最大となるまでに要する時間が相互に異なる複数種類の熱応答性ガス発生剤をも含む。 （もっと読む）

【課題】高出力なマイクロポンプを提供する。
【解決手段】マイクロポンプ１は、第１の基材１０と、第２の基材２０と、ガス発生材３０とを備えている。第１の基材１０には、第１のマイクロ流路１１が形成されている。第１のマイクロ流路１１は、第１の基材１０の一主面１０ａに開口している第１の開口部１１ａを有する。第２の基材２０には、第２のマイクロ流路２１が形成されている。第２のマイクロ流路２１は、第２の基材２０の一主面２０ａに開口している第２の開口部２１ａを有する。ガス発生材３０は、第１の基材１０の一主面１０ａと、第２の基材２０の一主面２０ａとに接着されている。ガス発生材３０は、第１及び第２の開口部１１ａ、２１ａを塞いでいる。第１の開口部１１ａと第２の開口部２１ａとは、ガス発生材３０を介して対向している。 （もっと読む）

【課題】 外部からの電気エネルギーの供給なしに自律的に動作するマイクロポンプを提供する。
【解決手段】 マイクロポンプは、熱源側に位置する高温側部材と、放熱側に位置する低温側部材と、前記高温側部材と前記低温側部材の間に位置する中間層と、前記中間層と前記低温側部材の間で流路の一部を形成するチャンバーと、を備え、前記中間層は、ダイアフラムと、前記高温側部材からの吸熱及び前記低温側部材からの放熱により前記ダイアフラムを変位させる変位手段と、を含み、前記ダイアフラムは、変位前の第１位置と、前記変位により前記低温側部材と接する第２位置との間を変位することにより、前記チャンバー内への流体の取り込みと排出を行なう。 （もっと読む）

【課題】 電子デバイスに関し、電子デバイスの微細化を損なうことのない構造の冷却用流路を備えた冷却システムを提供する。
【解決手段】 能動素子を設けた電子デバイス基板と、前記電子デバイス基板に固着され、電圧を印加すると誘電作用により変形するエレクトロポリマーと、前記エレクトロポリマーを挟み込む電極対と、前記電子デバイス基板或いは前記エレクトロポリマーの少なくとも一方に前記エレクトロポリマーの変形により流路断面積が変化する冷却用流路用の溝とを設ける。 （もっと読む）

【課題】マイクロ流体デバイスに用いられるマイクロポンプ装置であって、比較的簡単な構造を有し、製造が容易であるだけでなく、液体を送液するためのガス発生効率が高められたマイクロポンプ装置を提供する。
【解決手段】基板２内にガス発生室１１が設けられており、ガス発生室１１が、光学窓１２に臨んでおり、該ガス発生室１１内に、光応答性ガス発生樹脂組成物を含み、光学窓１２を通して光が照射された際にガスを発生させる光応答性ガス発生部材が収納されており、ガス発生室１１内において、光応答性ガス発生部材の光学窓１２とは反対側の面に、光学窓１２から照射されてきた光を反射する反射部材１７が設けられている、マイクロポンプ装置１０。 （もっと読む）

【課題】全体の大きさを縮小しながらも、流体のポンピング性能を向上させることができるマイクロポンプおよびその作動方法を提供する。
【解決手段】マイクロポンプは、接続流路を介して接続される第１空間および第２空間を形成するケースと、第１空間に接続される流体吸入管と、第２空間に接続される流体吐出管と、第１空間を覆うようにケースに設けられる第１変形部材と、第２空間を覆うようにケースに設けられる第２変形部材とを含む。第２変形部材は、第１変形部材より大きく形成され、第２変形部材の最大変位は、第１変形部材の最大変位より大きい。 （もっと読む）

【課題】小型・軽量化が可能なアクチュエータおよびマイクロポンプを提供すること。
【解決手段】アクチュエータ１０は、マイクロポンプに用いられるものであり、チューブ形状をなしている。アクチュエータ１０は、チューブの内周面から外周面に向かって複数の層で構成されており、内周面側から順に、第１の電極層１と、電解質層４と、変形層３と、第２の電極層２とを有している。アクチュエータ１０は、酸化還元反応によって変形層３の体積が膨張または収縮し、チューブの内径が変化するように駆動するものである。 （もっと読む）

【課題】流体を封入する膜を備える装置の製造方法を提供する。
【解決手段】空洞内に収容される流体を封入するために使用される膜を備える装置の製造方法であって、２つの基板を提供する段階と、膜を基板上に配置する段階と、空洞を横方向に画定するように作用する１つまたは複数の壁を形成する段階と、空洞を完成させるように、互いに重ね合わせることによって２つの基板を一体に組立てる段階と、流体を基板の間の空洞内に封入し、流体によって膜を浸す段階と、基板に膜が設けられている場合に、少なくとも膜の中心部を解放するために、基板の少なくとも一部を除去する段階と、を含む方法に関する。 （もっと読む）

【課題】マイクロ電子機械システムを提供すること。
【解決手段】圧電アクチュエータ（１０４）を有する構造体を備えたマイクロ電子機械システムについて説明する。複数の圧電アイランドは、複数のチャネル（２０５）を有するボディ（２００）に支持される。圧電アイランドは、工程の一部として、圧電材料の厚いレイヤにカット（１４５）を形成し、それを取り扱い基板に一時的に結合し、カットされた圧電レイヤ（１０７）をエッチング形成構造を持つ前記ボディ（２００）に取り付け、圧電レイヤをカット（１４０）の深さより薄い厚さに研磨することによって形成することができる。導電材料（１５８、２１０）を圧電レイヤ上に形成して電極（１０６、１１２）を形成することができる。 （もっと読む）

【課題】外形寸法が極めて小さく、生産性が良く、流量制御精度が高く、動作が円滑であり、吸引力と吐出力が大きく、信頼性が高いマイクロダイヤフラムポンプを提供する。
【解決手段】吸入弁２６および吐出弁２８の一方の弁板１４と他方の弁の流路となる流路開口１６とが形成され、互いに逆向きに積層された二枚の弁板シート１２と、この積層体に積層され弁座２０および弁ストッパ２２とが形成された二枚の弁座シート１８と、ベース板３２と、枠体３４と、ダイヤフラム３６と、駆動素子４２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】従来の開閉運動アクチュエータを用いたマイクロポンプよりもポンプ性能をより向上させた有用なマイクロポンプを提供することにある。
【解決手段】ポンプ入口側に配置され、電気化学的酸化還元駆動でその開口面積が変化する導電性高分子アクチュエータで構成される第１開閉駆動手段と、ポンプ出口側に配置され、電気化学的酸化還元駆動でその開口面積が変化する導電性高分子アクチュエータで構成される第２開閉駆動手段とを少なくとも有し、前記第１開閉駆動手段の開閉運動と第２開閉駆動手段の開閉運動とを所定の位相差で行なう。 （もっと読む）

【課題】圧電素子によるアクチュエータの、正弦波を用いた長時間の駆動を可能とする。
【解決手段】正弦波変換器ＩＣ２から出力された正弦波信号が、演算増幅回路ＯＰ１およびプッシュプル回路ＰＰ１からなる緩衝回路を介してトランスＴ１の一次側に入力される。トランスＴ１の二次側の出力を駆動信号として圧電素子Ｃ４が駆動される。トランスＴ１の二次側の出力が、直列接続された抵抗Ｒ１、Ｒ２およびＲ３で分圧され、分圧信号が差分増幅器を構成する演算増幅回路ＯＰ２に入力される。演算増幅回路ＯＰ２は、入力された分圧信号の差分を出力する。この差分信号が帰還信号として緩衝回路に入力される。 （もっと読む）