【課題】 めっき処理やエッチング処理を施すために基板を処理槽等に搬送する際に、基板に形成された導体パターンやレジストを損傷させることなく確実に搬送することを可能とし、製品の歩留まりを向上させる。
【解決手段】 軸線方向に所定間隔をあけてコンベヤロール２２が取り付けられたロール軸２４を、軸線方向を互いに平行にして並置し、各々のロール軸を一方向に回転駆動する回転駆動機構を設けた配線基板１０の搬送機構において、前記コンベヤロール２２の前記ロール軸２４上における軸線方向の取り付け位置が、前記配線基板が前記搬送機構によって搬送される際に搬送方向に連通して設けられたダミー領域が通過する通過幅内に位置調節され、前記配線基板１０の送り機構に、前記配線基板の搬送方向に直交する方向への位置ずれを防止するガイド機構２６が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 被液処理材１０を搬送する水平な向きの複数のローラー２、４を互いに平行に搬送方向（１２）に沿って配置した搬送機構８の上側及び下側に薬液スプレー部１６、１８を備えた薬液処理装置において、上側と下側の表面における薬液による処理速度のアンバランスを、左右のアンバランスを伴うことなくなくし、更には、隣接する薬液スプレー部から供給された薬液相互の干渉をなくす。
【解決手段】 複数のローラー２、４が上記搬送方向（１２）に行くに従って側方から視て波形の軌跡を描くように高さが変化せしめられている。
更に、下側の薬液スプレー部１８が、前記波形の軌跡の内の略底部（谷部）に薬液を噴射する位置に配置されている。 （もっと読む）

【課題】透明基板上に形成されたパターンの状態を良好に検査する検査装置を提供する。
【解決手段】検査装置１は、ガラス基板Ｇを搬送する搬送手段１０、および、搬送手段１０により搬送中のガラス基板Ｇ上に形成されたパターンの状態を撮像するカメラ２１を備えている。搬送手段１０は、回転軸１１と、回転軸１１を中心に回転することによりガラス基板Ｇを搬送する搬送部材１３と、を備えている。搬送部材１３は、回転軸１１の軸方向から見て略円状に形成され、ガラス基板Ｇに当接すると共に回転軸１１の回転に伴ってガラス基板Ｇとの当接位置が回転軸１１の軸方向に変化する外周面を有している。このため、撮像したガラス基板Ｇ上のパターンの状態に搬送部材１３とガラス基板Ｇとの当接部分が写り込み、検査の支障になることを防ぐことができる。 （もっと読む）

半球状に窪む座面１３ｂが形成された本体１３と、この本体１３の座面１３ｂにそれぞれ転動自在に当接する複数の小ボール１４と、これら複数の小ボール１４に転動自在に当接する１個の大ボール１５と、本体１３に取り付けられて大ボール１５を保持すると共にこの大ボール１５と本体１３の座面１３ｂとの間に小ボール１４を保持するカバー１６とを具えた本発明によるボールトランスファユニット１２は、少なくとも本体１３および大ボール１５をＰＡＩ，ＰＢＩ，ＰＣＴＦＥ，ＰＥＥＫ，ＰＥＩ，ＰＩ，ＰＰＳ，メラミン樹脂，芳香属ポリアミド樹脂，酸化アルミニウム，酸化ジルコニウム，窒化ケイ素の何れかにて形成した。本発明によると、被搬送物の表面に損傷を与えたり、被搬送物自体に欠陥を招いたり、あるいは後工程での洗浄作業でも除去し得ないような異物は発生しない。
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【課題】ガラス基板等の搬送装置において、簡単な構造で、且つ、発塵や頻繁なメンテナンスを伴うことなく、長期間に亘って、確実に基板の静電気を除去する。
【解決手段】基板の搬送装置１０は、ローラー軸１２Ａ〜１２Ｄ，１２Ｈ〜１２Ｊに取付けられたローラーによってシート状の絶縁材料、例えばガラス基板を搬送するものであって、ローラー軸の外端に設けられた軸受け様プーリ２４Ａ〜２４Ｄ，２４Ｈ〜２４Ｊの外輪に、導電性ワイヤー２６が順次、少なくとも１回巻き掛けられて、導電性引張りばね２８を介して接地され、ガラス基板の静電気をアースするものである。 （もっと読む）