【課題】取付体に対する着脱を容易にし得る搬送用ボールユニットを提供する。
【解決手段】ストッパ２４は、受け部材１６のフランジ部１６Ｂに配置される基部２６と、この基部２６から直交方向へ延設される延長部３０と、この延長部３０から基部２６へ斜状に折返される係止部３２とを備える。この係止部３２は、延長部３０に対して略Ｖ状に屈曲され、係止部３２に荷重が加わった場合に反力および付勢力が発生する。そして、ストッパ２４の係止部３２を取付孔Ｗ１内に嵌め込むのみで、ユニット１０は係止部３２の付勢力によって取付板Ｗへ固定される。一方、取外しは、係止部３２の付勢力に抗して、係止部３２を取付孔Ｗ１から押出す又は引抜くのみである。即ち、ユニット１０は、取付体Ｗに対する着脱が容易になるので、迅速かつ簡易な着脱作業となって作業効率が向上する。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の位置決め時に、搬送ローラーとガラス基板との擦れがない基板搬送装置を提供する。
【解決手段】ガラス基板を処理装置内あるいは処理装置間で、受け渡しや受け入れを行う際に用いられる搬送装置であって、前記ガラス基板を載置し搬送するローラーの内周部に、ローラーの回転方向に対して垂直の方向に設けられた可動溝と、ガラス基板をローラー上に載置して位置決めする際に、前記可動溝に沿って先端がリングによって可動する可動部を有する可動部支持体と、前記可動溝に沿って可動部が可動することによってローラーがガラス基板の位置決め方向に傾いた状態を保持しながらローラーを回転させるためのストッパと、を有するローラーが１本のシャフトに１つまたは複数備えられ、更に前記シャフトが複数備えられたことを特徴とする基板搬送装置。 （もっと読む）

【課題】安全性の向上を図ることができるローラ支持具を提供する。
【解決手段】ローラ支持具32は、搬送ベルト11の下側部13の下面を支えるリターンローラ31を支持する。ローラ支持具32は、リターンローラ31の軸部37の軸方向端部を支持する支持体41を備える。支持体41には、リターンローラ31のローラ本体部36の軸方向端部の外周面を覆うカバー体42を一体に突設する。カバー体42は、ローラ本体部36の外周面との間に間隙43をおいて位置する略円弧面状のカバー板部44を有する。カバー板部44の下部には、異物排出用孔を形成する。 （もっと読む）

【課題】基板搬送用のローラが温度上昇したときにこのローラの回転軸が変形するのを防止することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】基板処理装置は、基板Ｋを挟持して搬送する下ローラ２１，第１上ローラ２２及び第２上ローラ２３と、各ローラ２１，２２，２３を回転自在に保持するローラ保持機構３０と、搬送される基板Ｋの上面に向けて流体を吐出する流体吐出機構と、流体吐出機構に流体を供給する流体供給機構とを備える。ローラ保持機構３０は、基板Ｋの両外側で一定間隔を隔てて対向する、下ローラ２１の一端を回転自在に保持する第１架台３３及び下ローラ２１の他端を回転自在に且つ軸線方向に変位可能に保持する第２架台３４と、第１架台３３に支持され、第１上ローラ２２を回転自在に保持する第１保持部材５０と、第２架台３４に支持され、第２上ローラ２３を回転自在に保持する第２保持部材５１とを備える。 （もっと読む）

【課題】コンベヤベルトにより商品を移送するコンベヤ装置の搬送ビーム内に挿入された増設部や螺子が腐食した場合等に、搬送ビームと軸受装置との固締を簡単に取り外せるようにする。
【解決手段】コンベヤ装置は、一対の搬送ロープ６、６ａに各々案内された走行ローラ５、５ａと、それを両端部に有す搬送ビーム２と、その下面に固締したコンベヤベルト１とから成り、走行ローラ５、５ａは軸受装置を有し、その軸受ジャーナルと搬送ビーム２とを連結する増設部８が、上方に開口する樋状の形状であり、２本の螺子によって取り外し可能に固締されている。 （もっと読む）

【課題】交換作業が容易で、安定した基板搬送が得られる基板搬送用ローラーを提供する。
【解決手段】基板と接触する面にはローラー９の繋ぎ目等を一切設けないために、搬送ローラーシャフト固定部位１０を基板に接触しない部位に設け、ローラ９と搬送ローラーシャフト固定部位１０を樹脂材料による一体成形とし、搬送ローラーシャフト固定部位１０を分割式とすることで、交換作業を容易に、且つ、安定した基板搬送が実現可能となる。 （もっと読む）

【課題】 パレットを移し返る作業の作業負荷軽減、及び、省スペース化
【解決手段】 本発明に係るパレット移送ライン１は、パレット５を横置き状態で搬送する搬送ライン２と、搬送ライン２の終端から始端へ、パレット５を返送する返送ライン３とを備えており、返送ライン３が、パレット５を縦置き状態で支持し、搬送ライン２がパレット５を支持する位置よりも低い位置にパレット５の下部を支持する下側支持部１１を備えており、搬送ライン２の終端６と返送ライン３の下側支持部１１との間又は返送ライン３の下側支持部１１と搬送ライン２の始端９との間に、パレット５を斜めに倒した状態で支持する橋渡部材１３、１４を備えていることを特徴としている。 （もっと読む）