【課題】流体圧アクチュエータにおいて、直進駆動と回転駆動を精度よく行うことである。
【解決手段】流体圧アクチュエータ１０は、スプール部１６と出力軸１８を含むロッド部１４と、スプール部１６を軸方向に摺動可能に保持するスリーブ部２０と、出力軸１８に同軸に設けられ、図示されていない回転駆動機構に接続される回転部５０と、一方端３２が出力軸１８に固定され他方端３４が回転部５０に固定される捩じりバネ体３０と、スプール部１６の軸方向駆動のための直進駆動部４０と、出力軸１８の軸方向の変位を検出する変位センサ６０を含んで構成される。 （もっと読む）

【課題】除振システム用二層三方弁において、自動高さ調整弁の特質を生かしながら、定盤の除振制御と傾斜制御を可能とすることである。
【解決手段】除振システム用二層三方弁７８が適用される定盤除振システム２２０は、空気バネ２２，２３と、個別駆動装置１１２，１１３と、制御装置１１０とを備える。個別駆動装置１１２，１１３は、制御弁４０と、リンクレバー機構２４，２５と、気体供給源３２を含み、制御弁４０は、制御スリーブ９０と固定スリーブ９１とスプール部８０の二層三方弁７８と、リンクレバー機構２４，２５と接続されて制御スリーブ９０を駆動する回転・直進変換機構４４と、スプール部８０を駆動するスプールアクチュエータ１２０を含む。制御装置１１０は、定盤２２４の加速度に応じて、空気バネ駆動装置３０の動作を制御して、定盤２２４をベース２２２に対して定盤２２４に任意の変位を与える機能を有する。 （もっと読む）

【課題】アクチュエータの位置を適切に維持し、またアクチュエータの位置を調整できる比例式アクチュエータバルブを提供する。
【解決手段】少なくとも２つのチャンバー３２４，３２５を有するバルブハウジングと、前記バルブハウジング内で移動可能なバルブスライダー１１３と、前記バルブスライダー１１３内に形成された１つ以上の内腔３２７，３２８と、前記バルブハウジングの前記少なくとも２つのチャンバー３２４，３２５及び前記１つ以上の内腔３２７，３２８と空気連通する１つ以上の溝３２９であって、前記１つ以上の溝３２９の各々は、前記１つ以上の内腔３２７，３２８の内の１つの内腔からの距離が増加すると、より狭くなり且つより浅くなる、１つ以上の溝３２９とを備える。 （もっと読む）

【課題】バルブ開度制御の速応性と整定性の改善を両立する。
【解決手段】調節弁２の駆動部２ａへの空気圧Ｐｏの微分値（圧力微分値）ｄＰｏ／ｄｔに定数Ｋｍを乗じた値Ｋｍ・ｄＰｏ／ｄｔを第２のフィードバック値とする。調節弁２からフィードバックされてくる実開度値Ｘｐｖの微分値（弁開度微分値）ｄＸｐｖ／ｄｔに定数Ｋｎを乗じた値Ｋｎ・ｄＸｐｖ／ｄｔを第３のフィードバック値とする。第２のフィードバック値Ｋｍ・ｄＰｏ／ｄｔと第３のフィードバック値Ｋｎ・ｄＸｐｖ／ｄとの和をマイナー制御ループのフィードバック値ＦＢとする。制御部１１からの制御出力（メジャー制御ループの制御出力）ＭＶからマイナー制御ループのフィードバック値ＦＢを減算して補正制御出力ＭＶ’を求め、電空変換器１２への制御出力とする。 （もっと読む）

【課題】供給電流の不足を回避しつつ、高機能を確実に発揮させる。
【解決手段】制御部１に給電制御機能１Ｃを設ける。給電制御機能１Ｃは、第１の圧力センサ５、第２の圧力センサ６、第３の圧力センサ７，振動検出センサ８を給電対象センサとし、この給電対象センサが複数台同時に動作しないように、各給電対象センサへの電源Ｖの供給通路に設けられたスイッチ（ＳＷ１，ＳＷ２，ＳＷ３，ＳＷ４）のＯＮ／ＯＦＦを制御する。 （もっと読む）

【課題】測定装置に設けられたエアシリンダの内圧をより簡単に調整できるようにする。
【解決手段】エアシリンダ６２には、被検物の形状を測定するプローブ２６が固定されており、リニアアクチュエータによりエアシリンダ６２の稼動部６３を上下に移動させることで、プローブ２６が移動する。また、稼動部６３内部には、上部空間６５と下部空間６６とが設けられており、上部空間６５への空気の注入量を調整することにより、稼動部６３に対して上下方向に加わる力のバランスが調整される。上部空間６５への空気の注入量は、稼動部６３を移動させるリニアアクチュエータに供給される駆動電流の値に基づいて求められる。本発明は、形状測定装置に適用することができる。 （もっと読む）

【課題】フィードバックレバーの摩耗、折れ曲り、破損等を防止する。
【解決手段】回転弁の回転駆動軸に磁石保持部材１２５を備えた回動レバーを設ける。磁石保持部材１２５の互いに対向する第１、第２の磁石保持部１２５Ａ、１２５Ｂの内面に第１、第２の永久磁石１３０、１３１を互いに異極どうしを対向させて固定する。ポジショナ１１０のフィードバックレバー１２２の先端部を第１、第２の永久磁石１３０、１３１間に挿入する。フィードバックレバー１２２は、先端部に第３の永久磁石１３２を備えその磁極が第１、第２の永久磁石１３０、１３１と同極どうしが対向するよう設けられている。フィードバックレバー１２２は、第１、第３の永久磁石１３０、１３２による斥力と、第２、第３の永久磁石１３１、１３２による斥力が釣り合い状態を保つ位置に保持される。 （もっと読む）

【課題】部品相互の取付精度に影響されることがなく、フィードバックピンやフィードバックレバーの折れ曲り、破損等を防止する。
【解決手段】第１、第２の磁石保持部１３１ｂ、１３１ｃを有する磁石保持部材１３１を駆動軸Ａに回動自在に設ける。第１、第２の磁石保持部１３１ｂ、１３１ｃの対向面に第１、第２の永久磁石１３３、１３４を互いに異極どうしを対向させて固定し、これらの磁石間に第３の永久磁石１３５を備えたフィードバックレバー１０９を挿入する。第３の永久磁石１３５は、第１、第２の永久磁石１３３、１３４と同極どうしが互いに対向するよう設けられている。これにより、第１、第３の永久磁石１３３、１３５による斥力と、第２、第３の永久磁石１３４、１３５による斥力とが釣り合い状態を保つ位置にフィードバックレバー１０９を保持する。 （もっと読む）

【課題】部品相互の取付精度に影響されることがなく、フィードバックピンやフィードバックレバーの折れ曲り、破損等を防止する。
【解決手段】第１、第２の磁石保持部１３１ｂ、１３１ｃを有する磁石保持部材１３１を駆動軸Ａに設ける。第１、第２の磁石保持部１３１ｂ、１３１ｃの対向面に第１、第２の永久磁石１３３、１３４を互いに異極どうしを対向させて固定し、これらの磁石間に第３の永久磁石１３５を備えたフィードバックレバー１０９を挿入する。第３の永久磁石１３５は、第１、第２の永久磁石１３３、１３４と同極どうしが互いに対向するよう設けられている。これにより、第１、第３の永久磁石１３３、１３５による斥力と、第２、第３の永久磁石１３４、１３５による斥力とが釣り合い状態を保つ位置にフィードバックレバー１０９を保持する。 （もっと読む）

バルブ上の流体付勢される作動駆動機構が、電気−流体信号変換器と流体式の制御機構を有する基礎ユニット（６）と前記流体式の制御機構を使用して付勢可能な少なくとも１体のリニアアクチュエータ（４）を含み、前記リニアアクチュエータのスライダ（１１）が直接的あるいは間接的に前記バルブの入力と結合される。前記基礎ユニットの一信号入力上に制御ユニット（２２）が接続され、その信号出力が前記電気−流体信号変換器と結合され、その制御ユニットにバルブに対して設置された計測器（２４）の実際値信号がフィードバックされる。機能的に前記信号入力と前記少なくとも１体のリニアアクチュエータの間に、好適には電気−流体信号変換器に対して後置された、流体式の内部制御系（２７）を配置する。 （もっと読む）

【課題】２つのアクチュエータを個別に制御することで、変位伝達経路にガタツキ、摺動抵抗等があった場合にも、ガタツキ、摺動抵抗等の影響を受けることなく、アクチュエータの制御を行える様にした。
【解決手段】第１、第２アクチュエータ４，５と、第１、第２アクチュエータ４，５に設けられた第１、第２変位検出器８，９と、第１、第２アクチュエータ４，５に対してそれぞれ設けられた第１、第２サーボバルブ１８，２２と、第１、第２サーボバルブを個別に制御する第１、第２制御部１９，２３とが設けられ、第１、第２変位検出器８，９からの変位信号に基づき第１、第２制御部１９，２３がそれぞれ第１、第２サーボバルブ１８，２２を個別にフィードバック制御し、第１、第２制御部１９，２３間で同期制御を行う様構成した。 （もっと読む）

本発明は、少なくとも２つのバルブ要素列であり、そのバルブ要素列の一方が供給ラインを制御装置出力に接続可能であり、そのバルブ要素列の他方が該制御装置出力を出口ラインに接続可能であるところの少なくとも２つのバルブ要素列を有するデジタル液圧制御装置に関する。その制御装置において、各バルブ要素列における複数のバルブ要素は、並列に接続され、個別に、或いは、互いに異なる組み合わせで同時に切り換え可能である。１つのバルブ要素列における複数のバルブ要素は、それぞれ異なる流れ断面を有する。本発明によると、最小流れ断面を有するバルブ要素は、バルブ要素列に２つ存在する。さらに、差動シリンダと４つのバルブ要素列を有するデジタル液圧制御装置とを含むシステムユニットが記載される。４つのバルブ要素列のうちの２つは、共通の制御装置出力で、差動シリンダの圧力室の一方に接続され、一方で、他の２つのバルブ要素列は、共通の制御装置出力で、その差動シリンダの圧力室の他方に接続される。２つの圧力室における圧力の独立した調節のおかげで、その差動シリンダは、正確に調節可能なリニアアクチュエータとして使用され得る。
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【課題】複動形空気圧シリンダの位置決め制御において、空気の圧縮性に起因するオーバーシュートやアンダーシュートを低減させ、簡単かつ安価な装置として構成する。
【解決手段】複動形シリンダの制御において、ピストン１３の移動目標位置ｘ３と減速開始位置ｘ１が制御装置３０に設定され、該制御装置における制御は、第１圧力室１４の給気弁２１及び第２圧力室１５の排気弁２４を開くことにより、ピストンを移動目標位置に向けて移動させている状態で、位置センサ１７によりピストンが上記減速開始位置に達したことが検出されたときに、上記開状態にある排気弁２４を閉じ、更に位置センサでピストンが移動目標位置に達したことが検出されたときに、開状態にある上記給気弁２１を閉じ、両圧力室１４，１５に圧縮空気を封じてピストンをその圧力バランスにより移動目標位置に停止保持させるものとする。 （もっと読む）

【課題】作動流体によって駆動されるアクチュエータストロークのフィードバック制御装置において、作動流体を制御する流量制御弁の経年変化等を補償し、簡易な手段によりストロークの正確な制御を実行する。
【解決手段】アクチュエータ１１０のストローク制御装置には、作動流体の供給及び排出を制御する単一の流量制御弁１が設置され、これを操作してストロークのフィードバック制御が実行される。流量制御弁１は、作動流体の供給及び排出を停止する中立位置を備えており、流量制御弁制御装置９には、この中立位置の変動を学習する学習装置９１が設けられる。フィードバック制御においては、ＰＩＤ演算部９４の出力するフィードバック操作量に、学習装置９１で得られた中立位置の学習値を加算して流量制御弁１を操作し、経年変化等による流量特性の変化を補償する。 （もっと読む）

【課題】非線型特性によるサーボ弁の制御性低下を防止する。
【解決手段】中空のシリンダと、シリンダに収容されて、シリンダと共に一対の圧力室を形成しつつ、シリンダに対して相対移動するピストンと、一対の圧力室の各々を、作動流体の圧力源または排気部に対して連通または遮断させる一対の制御弁と、シリンダに対するピストンの位置を検出する位置検出器と、一対の圧力室の少なくとも一方から作動流体を排気させる排気弁と、位置検出器が検出する位置が所与の目標位置に近づくように、制御弁を制御する制御部とを備える。 （もっと読む）

【課題】複動型シリンダを有するアクチュエータの動作を安定させる。
【解決手段】中空のシリンダと、シリンダに収容されて、シリンダと共に一対の圧力室を形成しつつ、シリンダに対して相対移動するピストンと、一対の圧力室の各々を、作動流体の圧力源または排出部に対して連通または遮断させる一対の制御弁と、シリンダに対するピストンの位置を検出する位置検出器と、一対の圧力室の各々における作動流体の圧力を個別に検出する一対の圧力検出器と、位置検出器が検出する位置が所与の目標位置に近づき、且つ、圧力検出器が検出する圧力の平均が所与の目標圧力に近づくように、制御弁を制御する制御部とを備える。 （もっと読む）

本発明は、削岩装置のアクチュエータの制御に用いる比例制御弁(8)の不感領域判別方法であって、制御弁(8)を電気的Ｐコントローラ(12)で制御し、アクチュエータの動きを表す座標系におけるアクチュエータの位置を別個の位置検出器で測定することを含むものである。不感領域は、制御弁(8)のＰコントローラと差分値との積によって判別する。 （もっと読む）

【課題】ポペットバルブが開き側から戻らない等、被駆動体の異常を確実に検知できる油圧サーボ駆動装置、およびこれを用いたバルブ装置を提供すること。
【解決手段】ＥＧＲバルブ装置１は、パイロット圧によって摺動するパイロットスプール２２と、ポンプ圧によりパイロットスプール２２に追従して摺動するサーボピストン１６とを備えた油圧サーボ駆動装置４と、この油圧駆動装置４で駆動されるポペットバルブ３と、サーボピストン１６またはパイロットスプール２２の位置をポペットバルブ３のリフト位置として代替的に検出するストロークセンサ２９と、パイロット圧を供給する比例制御弁３１と、ストロークセンサ２９からの検出信号に基づいて比例制御弁３１を制御するコントローラとを備えている構成となっている。 （もっと読む）

【解決手段】位置制御及び位置調整のための比例式アクチュエータ（１１０）が提供される。その比例式アクチュエータ（１１０）は、少なくとも２つのチャンバー（３２４，３２５）を有したバルブハウジング（１１２）を備えている。それらのチャンバーは、１つ以上の封止部材（３２２）により分離されている。バルブハウジング（１１２）内で移動可能なバルブスライダー（１１３）が設けられている。１つ以上の溝（３２９）が、バルブスライダー（１１３）に形成されている。１つ以上の溝（３２９）は、バルブハウジング（１１２）の２つのチャンバー（３２４，３２５）と気送的に連通する。１つ以上の内腔（３２７，３２８）が、バルブスライダー（１１３）に形成されている。１つ以上の内腔（３２７，３２８）は、１つ以上の溝（３２９）と気送的に連通する。バルブスライダー（１１３）のバルブハウジング（１１２）に対する動きは、空気バルブ動作を呈する。 （もっと読む）

【課題】簡便でコンパクトな構成でありながら、アクチュエータシリンダに負荷がない場合でも、高精度なロッド位置制御が可能な油圧駆動装置。
【解決手段】アクチュエータシリンダのピストンヘッド側あるいはロッド側の一方のシリンダ室の一方に対する作動油の給排を行う第１の双方向回転形油圧ポンプを有する第１の油圧供給部と、他方のシリンダ室に対して作動油を給排するアキュムレータと該アキュムレータに作動油を加圧供給する第２の油圧ポンプを有する第２の油圧供給部と、これら第１と第２の油圧供給部の駆動制御を行う制御装置と、を備えた油圧駆動装置。 （もっと読む）