【課題】全開位置において、流路とハウジング内空洞部を隔離するに十分な力で、セグメントとゲートを相対的に移動させることができるエキスパンディング仕切弁の逆座構造を提供すること。
【解決手段】弁蓋４と、管状部６を備え、内部に空洞部３２と流路１６を形成するハウジングと、ゲート１０及びセグメント１２から成るゲート／セグメント組立品と、ゲートに連結されて該ゲート共に上下動する弁棒１４を有するエキスパンディング仕切弁用の逆座構造。弁蓋の、セグメントの先端部と対向する位置に設けられた弾性力のあるストッパ４０と、弁蓋に形成されたシール面と、弁棒に形成され、弁蓋に形成されたシール面と係合するシール面とを備え、仕切弁の全開位置において、弁蓋及び弁棒にそれぞれ形成されたシール面の間にメタルシートを形成すると共に、セグメントはストッパによってゲートに対して下方に付勢される。 （もっと読む）

【課題】 ピンロッド６に対する、ロータリバルブの位置保持精度を向上することを課題とする。
【解決手段】 金属製のリングプレート４、５にばね性を有する突起片６３、６４を設けたことにより、ロータリバルブとピンロッド６とが、突起片６３、６４の板ばね性によって直接的に結合一体化されている。これにより、熱クリープ等によりロータリバルブとカップリング７との間に界面剥離が発生、あるいはピンロッド６とカップリング７との間に界面剥離が発生しても、リングプレート４、５とピンロッド６との間にガタが発生することはない。また、カップリング７に過大な面圧が作用しないので、樹脂割れの発生を抑制できる。これにより、リングプレート４、５とピンロッド６とが分離する等の不具合が発生せず、ロータリバルブの位置制御を精度良く実施することができる。 （もっと読む）

【課題】弁体を冷却するための熱交換器を設け、該熱交換器内の冷却水通路と主ロッドの内部の冷却水供給路とを、相対的に変位可能な方法によって簡単にしかも液漏れを生じないように連結する。
【解決手段】開口部２を開閉する弁体５と、弁体５を開口部２に接離させる開閉シリンダ６と、弁体５を開口部２に対向する位置と非対向の位置とに変位させる主シリンダ７と、弁体５を冷却する熱交換器８とを有し、主シリンダ７の主ロッド１３の先端に開閉シリンダ６を取り付け、開閉シリンダ６の開閉ロッド２５に熱交換器８を取り付け、熱交換器８に弁体５を取り付け、熱交換器８内の冷却水通路４８の冷却水入口４８ａ及び冷却水出口４８ｂと、主ロッド１３の内部の冷却水供給路５０及び冷却水排出路５１とを、伸縮自在で液密性を有する供給用及び排出用のベローズ継手５２ａ，５２ｂで接続する。 （もっと読む）

【課題】ホットウォールチャンバからの熱によってシール部材が加熱されても，高い真空度を保持したいチャンバ内への大気の侵入を防止し，そのチャンバ内の真空圧力を保持できるようにする。
【解決手段】ホットウォールチャンバであるプロセスチャンバ２００Ｂと，それより高い真空度を保持することが要求されるトランスファチャンバ３００との間のゲートバルブ装置は，トランスファチャンバの側壁と筐体の側壁との間は，そのトランスファチャンバとの基板搬出入口を第１シール部材３３０Ａとその外側の第２シール部材３３０Ｂにより囲んで２重シール構造とし，これらシール部材間の隙間を筐体の内部空間に連通する少なくとも１つの連通孔４０８を筐体の側壁に設け，トランスファチャンバとの基板搬出入口を，筐体内を昇降自在な弁体４１０によって開閉するようにした。 （もっと読む）

【課題】所定以上の圧縮力がシール材に作用した場合であっても、パーティクルの発生や、シール材が破損したりすることがないとともに、シール部がエッチングされ難いシールプレートおよびこれに用いられるシール材を提供すること。
【解決手段】シール材の断面形状が、シール溝の底面に接合される底辺部と、シール溝の内側面に接合される内側辺部と、弁座面３２に向かって突設する頂部１７と、頂部の外側に形成される外側傾斜辺部１８と、頂部の内側に形成される内側傾斜辺部１６と、を少なくとも有しており、さらに、外側傾斜辺部または内側傾斜辺部の少なくともいずれか一方には、少なくともシール溝の天端面よりも高い位置に、前記外側傾斜辺部および／または内側傾斜辺部に対して腹付けされたような形状をなした余剰部１６ｂが形成されている。 （もっと読む）

【課題】フルオロエラストマー組成物を提供すること。
【解決手段】少なくとも１種類の硬化性フルオロオポリマーであって、このフルオロポリマーを架橋するための少なくとも1つの官能基を含む、硬化性フルオロポリマー；このフルオロポリマーを架橋できる硬化剤であって、官能化ビフェニルベースの化合物と、種々のモノアミジンおよびモノアミドキシム化合物、並びにビスアミド化合物と、これらの組合わせとからなる群から選択される、硬化剤；および有機ペルオキシド、または有機ペルオキシドと着色剤との組合わせである少なくとも１種類の硬化促進剤を含む組成物が開示されている。着色剤を含む接着性フルオロエラストマー組成物も提供される。記載される組成物は、有益な物理的特性、高い耐プラズマ性、特異な接着特性および／または外部接着剤の使用と関連した汚染の低減をもたらす。 （もっと読む）

動的な弁トリムの結合部を有する流体弁が開示される。流体弁と共に用いる装置は、流体弁のケージを保持するように構成された本体を含む。さらに、装置は、本体の外面の周囲において放射状に間隔をあけて突出する複数の突起を含む。複数の突起の各々は、本体と、流体弁に連結されたボンネットの内面との間に１つ以上の接触点を提供する。
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【課題】製造過程で発生する熱の影響によるシール部材のシール座面への当たりの偏りを改善することでシール部材の劣化の防止、及びゲートバルブの遮断性能の向上を図る。
【解決手段】ゲート開口部９ａ，９ｂが設けられた弁箱１と、ゲート開口部９ａ，９ｂを一方向からスライド往復移動させることによって開閉する弁体５とからなり、弁体５をスライド移動させて弁箱１のゲート開口部９ａ，９ｂを閉じたとき、弁体５の右側弁体部５３の周端面５３ａ及び左側弁体部５６の周端面５６ａに装着されているシール部材１３が、弁箱１のゲート開口部９ａ，９ｂの周端面である右シール座面１１及び左シール座面１６に当接することによってゲート開口部９ａ，９へが遮断されるように構成されたゲートバルブ１において、弁体５の右側弁体部５３の周端面５３ａと弁箱２の右シール座面１１との間に、シール部材１３の圧潰量を規制するスペーサ部材２１を設けている。 （もっと読む）

５５０°Ｆより高温の温度で稼動するためのクラスＩＶの遮断を実現する、高温ボールバルブシールが開示されている。当該ボールバルブシールは、当該ボールバルブが閉鎖位置にある場合、流体が第２流路を通じて流れることを防止する主シールおよびシール体の間に配置されたＣ−シールを含む。 （もっと読む）

【課題】フィルタ組立体用の通気ポート及びドレンポートを通る流れを制御するバルブを提供する。
【解決手段】バルブ１２は、全体として円形断面を有する通路４６を取り囲む、環状スリーブ４９を有し、スリーブを一の方向に移動するとバルブが開放し、スリーブを一の方向とは逆の方向に移動するとバルブが閉鎖するように構成される。また、通路４８がバルブ部材４３を含み、前記スリーブを移動することによって、前記バルブ部材が前記通路を通る流れを可能にする、第１の位置と、前記バルブ部材が前記通路を通る流れを阻止する、第２の位置との間で、前記バルブ部材を移動させるように構成する。 （もっと読む）

【課題】冷却水中に含まれる異物が冷却手段内に蓄積するのを防止し、冷却機能の低下を防止することが可能な高温用弁を提供する。
【解決手段】冷却水Ｗを流すことで冷却を行う冷却手段を備えた高温用仕切弁であって、冷却手段の冷却水入口１２に冷却用配管３５が接続され、冷却用配管３５は、上流側管部３９と、冷却水入口１２に接続される下流側管部４０と、上流側管部３９から分岐するとともに下流側管部４０に統合される２本の分岐管部４１ａ，４１ｂとを有し、各分岐管部４１ａ，４１ｂにフィルタ３８ａ，３８ｂが設けられ、両分岐管部４１ａ，４１ｂのうちからいずれかを選択して冷却水Ｗを流す切換弁３６ａ，３６ｂが設けられ、上流側管部３９と下流側管部４０との差圧を検出する差圧スイッチ５０が設けられている。 （もっと読む）

熱エネルギの実質的な部分の伝導を許容する、改良された液体流れ制御弁１５ａは、第一の部分６０と、第二の部分６２と、可動の要素６４とを含む。第一の部分は、流体源と流体的に連通する開口６６を含む。第二の部分は、第一の開口６６と少なくとも部分的に整合された第二の開口６８を有する。可動の要素は、第一の部分と第二の部分との間に配設され且つ第一の部分及び第二の部分から隔てられて、熱エネルギの少なくとも実質的な部分を第一の部分から第二の部分まで伝導するのを許容する。可動の要素は、可動の要素が開放した位置にあるとき、第一の開口及び第二の開口と少なくとも部分的に整合すると共に、可動の要素が閉じた位置にあるとき、第一の開口及び第二の開口の少なくとも一方と非整合状態となる開口７０を含む。 （もっと読む）

【課題】構造が簡単で、高温冷媒と低温冷媒が接近して流れても、両者間で熱漏洩による熱損失の発生が抑制され、冷暖房能力が向上し、また圧縮機入口冷媒ガスの過熱防止による圧縮機効率の向上により空調装置の省エネ性が向上された四方弁を得る。
【解決手段】弁室５１を有するハウジング部材５と、上記弁室に設けられた座面部６１を有する弁座６と、この弁座の座面部に互いに隣接する開口部１ａ、２ａを有しそれぞれ該弁座を貫通して上記弁室の外に引き出された所定時に高温流体を通流する第１の流路１及び低温流体を通流する第２の流路２と、上記弁座の座面部に対して移動するように設けられた弁体７とを備え、上記第１及び第２の流路相互間の上記開口部に近い位置に、これら流路相互間の熱移動を抑制する熱抵抗部８を形成したものである。 （もっと読む）