【課題】ガス圧力調整器および調整器の組立および分解方法
【解決手段】ガス圧力調整器（１）は、第１のガス入口管（４）および第２のガス出口管（６）、ガスが第１管（４）から第２管（６）に流れる校正ガス通路（８）、本体（２）に少なくとも部分的に収容され、校正通路（８）の開口を調整するために第１定義線（Ｄ）に沿って長手方向 に移動するシャッタ（９）、シャッタ（９）を駆動するためのデバイス（１４）およびシャッタ（９）の運動に対抗する調整器ばねユニット（３０）を有する本体（２）を備えている。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、長期にわたって使用しても気密性能の低下や整圧性能の低下を抑制して良好な性能を確保する整圧器及びその処理方法を提供する点にある。
【解決手段】 整圧器１００において、ダイヤフラム５０が、フランジ接続部３ａに圧縮状態で挟持される挟持部５２を、均圧室１０と二次側圧力室２０とを区画する受圧部５１よりも圧縮永久ひずみが小さいゴム材料で形成してなる。また、かかる整圧器１００の処理方法において、整圧器１００を組み立てた状態で設定温度に加熱して一定時間保持する保持工程を実行する。また、バルブ機構３０の開度を増加させる方向に付勢する付勢機構がばね部材４０からなる整圧器１００の処理方法において、整圧器１００を組み立てた状態で一定時間保持する保持工程を実行し、保持工程を実行した後に、ばね部材４０の付勢力を調整する調整工程を実行する。 （もっと読む）

【課題】 使用条件に影響されず、シート部の密着性を簡単かつ確実に維持しうるシートブロックを提供する。
【解決手段】 シート部形成体４３は、弁通路６６を開閉するピストン２８が着座可能に、弁通路６６が形成されるハウジング６７に設けられる。ばね部材２３は、シート部形成体４３に弾性力を付与し、シート部形成体４３をハウジング６７と協働して挟持する。 （もっと読む）

【課題】ブロック間に露出する取付ねじを腐食性雰囲気から隔離できる薬液弁を提供すること。
【解決手段】ピストン５８の上下動に対応して入力ポート６３と出力ポート６４を連通する弁座６５に弁体６６を当接又は離間させ、腐食性流体を制御するものであって、複数のブロック５１，５２，５３，５４を取付ねじ５５で一体化した薬液弁において、取付ねじ５５の周りに設けられ、ボディ５３と取付ブロック５４との間で弾性変形する封止部材１を設ける。 （もっと読む）

【課題】 小型化および流量特性の向上した急速開放調圧弁と、それを用いる消火装置、高圧ガスボンベ装置および流体の急速供給装置を提供する。
【解決手段】 急速開放調圧弁の組み立てに際して、本体１に対して弁体部材本体２２を挿入し、弁体２１を、入口ノズル部１１の入口１１ａから挿入し、弁体部本体２２の下端に挿着する。弁体２１と弁体部材本体２２との固定は、たとえば、弁体２１の内周面と、これに対応する弁体部材本体２２の下端外周面とに、螺子を切り、弁体部本体２２の下端を弁体２１にねじ込んで固定する。このように、本体１に弁座１３を設け、弁体部材本体２２を本体１の上端側から、弁体２１を本体１の入口１１ａから挿入し、弁座１３を挟み込むようにこれらを装着することができるので、従来のような中胴が不要となり、部材点数を減らして急速開放調圧弁を小型化することができる。 （もっと読む）

【課題】駆動部内への水分及び塵埃等の進入を防止すると共に、弁体を保持するガイド部材への水分の付着を防止する。
【解決手段】弁基部１２に形成される駆動部１４には、弁体１６と連結されるダイヤフラム６０が連結され、前記駆動部１４に負圧流体が供給されることにより、前記弁体１６が軸線方向に沿って変位する。そして、前記駆動部１４は、弁基部１２の上部に連結される第１ケーシング２６を含み、前記第１ケーシング２６の側面には複数の空気窓５２が周方向に沿って所定間隔離間して形成されると共に、前記弁基部１２と連結される第１ケーシング２６の下部に複数のドレン孔５８が周方向に沿って形成されている。 （もっと読む）

【課題】 逆止弁構造および逆止弁用弁体並びに弁体の製造方法において、流体の供給が停止した際に、流体の逆流や漏出を確実に防止する。
【解決手段】 逆止弁構造の弁体６００ａは、通常状態では加圧流体の通過を許容し圧縮された状態では加圧流体の通過を阻止する被圧縮層６０８と、被圧縮層６００ａを隔壁５４２との間に挟んで配される、加圧流体を通過させない非透過層６０６とを有する２層構造からなり、空間６０２には、弁体６００ａの移動を所定範囲内に規制する規制部５３３が設けられ、加圧流体の供給時には被圧縮層６０８が通常状態となって加圧流体の通過を許容し、非供給時には、弁体６００ａが他方の空間６０２の圧力により隔壁５４２に押し付けられて被圧縮層６０８が隔壁５４２に圧接されて圧縮する。 （もっと読む）

【課題】 安価に腐食を防止することができる開閉弁を提供すること。
【解決手段】 弁体駆動手段の駆動力によって弁体１８を弁座１５に当接又は離間させ、サージタンク８の非腐食性圧縮流体を断続的に集塵装置１９に供給する開閉弁１１Ａにおいて、通常の耐腐食性を有する材料からなり、一次側ポート１２と連通する開口部２４が弁体１８を中央部に係合されたダイアフラム２５に塞がれて弁室１４を形成し、ダイアフラム２５の対向面に貫通孔２９が弁体１８と同軸上に形成された第１ブロック２１と、耐腐食性の高い材料からなり、二次側ポート１３に連通する弁座１５を端部に設けられ、弁座１５をダイアフラム２５の中央付近に配設するように貫通孔２９に挿入されて第１ブロック２１に連結される第２ブロック２２とによりブロック１６を構成する。 （もっと読む）

本発明の目的は、小型化および流量特性の向上した急速開放調圧弁と、それを用いる消火装置、高圧ガスボンベ装置および流体の急速供給装置を提供することである。急速開放調圧弁の組み立てに際して、本体１に対して弁体部材本体２２を挿入し、弁体２１を、入口ノズル部１１の入口１１ａから挿入し、弁体部本体２２の下端に挿着する。弁体２１と弁体部材本体２２との固定は、たとえば、弁体２１の内周面と、これに対応する弁体部材本体２２の下端外周面とに、螺子を切り、弁体部本体２２の下端を弁体２１にねじ込んで固定する。このように、本体１に弁座１３を設け、弁体部材本体２２を本体１の上端側から、弁体２１を本体１の入口１１ａから挿入し、弁座１３を挟み込むようにこれらを装着することができるので、従来のような中胴が不要となり、部材点数を減らして急速開放調圧弁を小型化することができる。
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本装置によれば、ダイヤフラム３４によって作動させられる弁体３６と、この弁体の移動方向の両側に設けられ、弁体３６によって選択的に開閉される２つの弁座３７・３８と、弁体３６を一方の弁座３７へ向けて付勢する付勢手段とを備え、この付勢手段が、弾性係数の異なる一対のスプリング３９ａ・３９ｂを直列に連結して構成されている。これにより、急減速時におけるアフターバーンや急加速時における排気音の漏れを防止しつつ、その他の運転領域において排気ガス浄化作用を確実に確保することの可能なダイヤフラム式エアバルブおよび内燃機関の２次エア制御装置を提供することを目的とする。
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本開示は、半導体処理装置においてガス分配に特に有用なスペース節約の一体化流体配送システムに関する。又、本発明は、流体フローチャンネルを含む積層基板に加えて、種々の流体取り扱い及び監視コンポーネントを含むことのできる一体化流体フローネットワークアーキテクチャーにも関する。積層基板は拡散ボンディングされ、種々の流体取り扱い及び監視コンポーネントは、設計及び材料要求に基づいて、基板へ部分的に一体化されてもよいし完全に一体化されてもよい。
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【課題】調圧バルブの連結ロッドをシートに形成した流通穴に挿通してダイアフラムに連結するレギュレータにおいて、前記シートの連通穴径を小さくしてシール性を高め、かつ、連結ロッドの必要径を確保して連結ロッドの強度を確保する。
【解決手段】背圧室１３と流体を減圧する減圧室９を区画するダイアフラム１１と、該ダイアフラム１１を挟持する背圧側ホルダ１５及び流体側ホルダ１４と、該流体側ホルダ１４に連結ロッド６ｃを介して連結されてダイアフラム１１とともに昇降する調圧バルブ６と、前記連結ロッド６ｃが貫通するとともに調圧バルブ６の弁部６ｂに対向して配置したシート７を有して、調圧バルブ６の昇降によるシート７に対する弁部６ｂの接離により流体を調圧する。前記調圧バルブ６に突設した連結ロッド６ｃの先部に、該連結ロッド６と別体に形成されたストッパ部材２８を一体的に連結する。該ストッパ部材２８を流体側ホルダ１４に連結する。 （もっと読む）

【課題】 水素圧力を調整する調圧弁の内部に水分が進入することに伴う弊害を防止する。
【解決手段】 調圧弁４０は、可撓性のダイヤフラム４１を備えており、このダイヤフラム４１によって内部が背圧室４２と調圧室４３とに区分されている。背圧室４２には、上流側分岐流路３３を介して電磁弁５０により水素が供給され、この水素は、オリフィス８０を介して、下流側水素流路３２に還元される。このような構成によれば、背圧室４２内に空気が取り込まれないため、空気中に含まれる水分による凍結や錆の発生を抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】複雑な配管を要することなく、低コストでガス漏洩を検知し且つ必要なガスも供給することができる圧力調整器を提供する。
【解決手段】下流側の圧力変動に応じてダイヤフラム１０４が変位すると、これに連動して弁棒１１１も変位する。弁棒１１１には、小弁部材１１０及び、スプリング１０７、ガイド部材１３０で構成される連結部材を介して大弁部材１２０が接続されており、下流側の圧力がガス微少漏洩開始と判定される第１圧力より低下したときの弁棒１１１の変位に応じて小流量開閉部１２３、１１０が開放される。一方、下流側の圧力が通常使用開始と判定される第２圧力より低下したときの弁棒１１１の変位に応じて大流量開閉部１０６、１２０が開放される。ガス微少漏洩が発生したときには、このような第１圧力〜第２圧力の範囲に対応する弁棒１１１の変位が継続的に検出されるので、これを利用してガス漏洩の判定が可能になる。 （もっと読む）

【課題】 閉止時のシール性を確保しながら、シール部の摩耗を防止することができるピストンのシール構造および整圧器を提供する。
【解決手段】 ケーシング２７内のピストン２８とシリンダ２９との間に設けられる隙間２５のシールは、Ｏリング３２によって行われる。Ｏリング３２の摩耗を防ぐために、隙間２５として拡大部２５ａを設ける。整圧器２３が整圧作用を行っている際には、Ｏリング３２は隙間２５の拡大部２５ａに存在し、摩耗を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】 急速開放できると共に二次側圧力を目的とする圧力以下に制限することができる簡単な構造の急速開放調圧弁を提供する。
【解決手段】 急速開放調圧弁を本体１、弁体部材２、バネ受け３、バネ４、封圧機構５、弁作動機構６等で構成し、弁作動機構６の作動で尖端６５が封板５２を破って開受圧面２５に入口１１ａの圧力をかける。この状態で、弁座１３の当たり面直径、閉受圧面２４及び開受圧面２５の受圧面積、並びにバネ４の力を、出口１２ａの圧力が所定圧力以下になる関係に定める。弁作動機構６の不作動時は、弁キャップ２２に作用する入口圧力による力がバネ４に勝って弁を閉じる。弁作動機構６の作動時は、開受圧面２５に作用する力が弁キャップ２２に作用する力を相殺してバネ力で弁を開く。出口圧力上昇時には、閉受圧面２４に作用する力がバネ力に勝って弁を閉じ、出口圧力を一定以内に制限する。これによって管、弁等の耐圧は、低くてすむ。 （もっと読む）

【課題】 調節弁の開度を、(1)安定的(2)高精度かつ(3)高応答に駆動することができ、更に軽量かつコンパクトでしかも高効率な弁駆動用電油圧式アクチェータを提供すること。
【解決手段】 電動モータ１１により出力軸１０Ａを直線駆動する弁駆動用電油圧式アクチュエータ１０において、電動モータ１１の回転運動を直線運動に変換するスラストコンバータ１３を設けるとともに、スラストコンバータ１３の両側に油圧ブースタ２１Ａ、２１Ｂを設け、スラストコンバータ１３の両側スラスト軸１７Ａ、１７Ｂのそれぞれを各油圧ブースタ２１Ａ、２１Ｂのピストンに連結し、両油圧ブースタ２１Ａ、２１Ｂに接続される油圧シリンダ３１を設け、油圧シリンダ３１のピストンロッドに出力軸１０Ａを連結し、各油圧ブースタ２１Ａ、２１Ｂの油圧を油圧シリンダ３１のピストンを挟む両側油室のそれぞれに供給可能にしたもの。 （もっと読む）

【課題】 半導体ウエハを材料とし、半導体加工技術を用いて作製した、小型の圧力調整用のマイクロバルブおよびそれを搭載した燃料電池を提供する。
【解決手段】 半導体ウェハを用いて製造された圧力調整用のマイクロバルブであって、気体の導入口０３１と導出口０３２を結ぶ流路０３３と、流路０３３中に設けられた弁体０２５と、弁体０２５とバルブ軸０２３を介して連結して設けられたダイアフラム０２４を有し、前記ダイアフラム２４は流路０３３の内部０３４と外部０３５とを隔てて配置され、流路０３３の内部０３４の圧力と外部０３５の圧力の差圧によって変形することにより弁体０２５が変位して開閉するマイクロバルブおよびそれを搭載した燃料電池。 （もっと読む）

【課題】ブリーザニップルのみで、給油速度の増減による必要循環ガス量の増減に対応できるようにする。
【解決手段】弁部材３とハウジング４との間に、流入開口から遠ざかる方向への弁部材の移動に伴って流入開口と流出開口との連通を徐々に閉じる第１弁部と、流入開口から遠ざかる方向への弁部材の移動に伴って流入開口と流出開口との連通を開く第２弁部と、を設け、流入開口側の流体圧が所定値以下のときには第１弁部が開状態かつ第２弁部が閉状態であり、流入開口側の流体圧と流出開口側の流体圧の差が所定値を超えたときに第２弁部が流入開口と流出開口との連通を一気に開くように構成した。
低速給油時には隙間40（第１弁部）からガスを流し、高速給油時には弁部材３が一気に移動して隙間41（第２弁部）が瞬時に大きく開口する。 （もっと読む）

レギュレータ弁用の圧力負荷式パイロット弁システムおよび方法が提供されている。このシステムは、流入口側配管を流出側配管へ接続しているレギュレータ弁と、サーボ制御弁組立体と、パイロット弁組立体とを備えている。供給配管が、サーボ制御弁組立体に接続されており、パイロット負荷圧力配管が、サーボ制御弁組立体をパイロット弁組立体へ接続している。排出配管によりサーボ制御弁組立体を流出側配管へ接続することにより、過剰なパイロット圧力を大気中へ開放する際に伴う排気、汚染などが回避されている。 （もっと読む）