【課題】 流体用制御弁において、全開流量のバラツキを低減する上で有効な技術を提供する。
【解決手段】 本発明の流体用制御弁１００は、筒状のバルブボディ１０１と、流体流出孔１３７および座面１３５ａを有する流体流出部１３１と、流体流出孔１３７を開閉する弁体１２９と、弁体１２９を閉弁方向に付勢する付勢手段１４１と、弁体１２９を開弁方向に電磁力を発生する電磁力発生手段１１１，１１３と、弁体１２９の全開位置を規定する全開位置規定部材１２１と、を有する。流体流出部１３１は、バルブボディ１０１の一端部に固定される第１のシート部材１３３と、流体流出孔１３７および座面１３５ａが形成されるとともに、第１のシート部材１３３との相対位置が調整可能とされた第２のシート部材１３５とを有する。そして第２のシート部材１３５は、弁体１２９が全開位置に規定されたときに流量が設定流量となるように、弁体１２９の移動方向における第１のシート部材１３３との相対位置が調整されるとともに、当該調整された位置で固定されている。 （もっと読む）

【課題】材料の取り扱い中、材料の排出中、システム間のプロセス移送の間で無菌性の維持を保証すること
【解決手段】
第１バルブ部分と第２バルブ部分とがシールされた状態で互いに係合すると共に、協働することができ、これらバルブ部分の間を材料が移動できるような相補的な形状となっている２つのバルブ部分を備え、各バルブ部分は、ハウジング（１６、１８）、バルブシート（２８、２８´）、およびバルブ閉鎖部材（２０、２０´）が前記バルブシートから変位し、バルブが開放される第１位置と前記バルブ閉鎖部材がバルブシートと協働し、バルブが閉じられる第２位置との間で移動自在なバルブ閉鎖部材を備えるバルブアセンブリであって、本バルブアセンブリは、第１コンフィギュレーション、第２コンフィギュレーションおよび第３コンフィギュレーションを有し、前記第１コンフィギュレーションでは、前記第１バルブ部分と前記第２バルブ部分とは互いに係合し、前記バルブ閉鎖部分が閉じ、前記バルブ閉鎖部材は離間して配置され、前記ハウジングと共に前記ハウジングとの間でチャンバを構成し、前記チャンバは周辺環境からシールでき、前記チャンバ（２９）は殺菌媒体が通過できる入口（４４、４４´）および出口（４５、４６´）を有し、前記第２コンフィギュレーションでは、前記バルブ閉鎖部材は互いに係合し、前記第１位置から前記第２位置へ移動でき、前記第３コンフィギュレーションでは、前記２つのバルブ部分は互いに係合が外れるようになっているバルブアセンブリ（１０）。 （もっと読む）

本発明は、典型的には真空が維持された混合槽(11)内において乾燥粉末が液体と混合されると共に乾燥粉末が液体表面下へ供給される、乾燥粉末を投入するために使用されるタイプのバルブ(1)およびバルブ閉鎖体(14)、ならびにバルブ(1)およびバルブ閉鎖体(14)の使用法に関する。本発明に係る粉末用バルブ(1)の新規な特徴は、バルブの閉鎖体(14)が閉鎖位置においてバルブの弁座(13)を貫通して湿潤環境内へ伸張することである。これにより、バルブ(1)が開放されたとき、粉末または粉末からの塵埃はバルブ閉鎖体(14)上に堆積しない。このことは、粉末が添加される液体との接触によりバルブ閉鎖体(14)が湿潤しているにも拘わらず行われる。引出された位置において粉末の流入のために開放するバルブ閉鎖体(14)は、細長い形状の故に、流入する粉末が最初にバルブ閉鎖体(14)を乾燥させ、引き続きバルブ閉鎖体を乾燥して維持する特性を有する。
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【課題】 インフラートシール部材に圧縮空気の供給、吸引という煩雑な制御を同時に行う必要がなく、また弁板が弁箱本体の周囲に衝突してＯリングなどに損傷を与えることがなく、配設向きも限定されず、さらには、インフラートシール部材の容量を小型化することができる真空用ゲート弁を提供する。
【解決手段】 弁板の両側に一対のＯリング部材４０ａ，４０ｂと、インフラートシール部材４２ａ，４２ｂとを、それぞれ対称位置に配設し、これらのインフラートシール部材４２ａ，４２ｂ内の圧縮空気に差圧を生じさせることにより、弁板２４を所定の方向に移動させるようにした。 （もっと読む）

【課題】 騒音や振動の低減効果を容易に変更することができ、しかも高い耐久性を有したスプール弁を提供することを目的とする。
【解決手段】 作動流体のキャビテーションに起因する騒音や振動を抑制する絞り部材６０Ａ〜６０Ｄを、弁ボディ２１の外部から交換が可能な状態で取り付け、騒音抑制効果の調整等を容易に行えるようにした。また、スプール軸２３が弁ボディ２１から突出する部分に、Ｏ−リングだけでなく、その外側にダストシールを設け、外部からのダストの侵入を防止できるようにし、Ｏ−リングの劣化や、作動流体の漏れを防止するようにした。 （もっと読む）

【課題】逆圧に耐えることにより、一部の部屋をメンテナンスしている場合でも他の部屋を用いて半導体基板などの被処理物を同時に処理することができる真空用ゲートバルブを提供する。
【解決手段】複数の部屋を区画する壁部６４に形成された開口部７４、７６を開放又は閉塞する真空用ゲートバルブ１０であって、壁部６４の内部を移動すると共に、開口部７４、７６の外縁又はその近傍に位置する壁部６４を押圧し壁部６４の内部から開口部７４、７６を閉塞するゲートバルブ本体１２と、ゲートバルブ本体１２を移動させる移動手段５６、５８と、を有する構成とした。 （もっと読む）