【課題】ホットウォールチャンバからの熱によってシール部材が加熱されても，高い真空度を保持したいチャンバ内への大気の侵入を防止し，そのチャンバ内の真空圧力を保持できるようにする。
【解決手段】ホットウォールチャンバであるプロセスチャンバ２００Ｂと，それより高い真空度を保持することが要求されるトランスファチャンバ３００との間のゲートバルブ装置は，トランスファチャンバの側壁と筐体の側壁との間は，そのトランスファチャンバとの基板搬出入口を第１シール部材３３０Ａとその外側の第２シール部材３３０Ｂにより囲んで２重シール構造とし，これらシール部材間の隙間を筐体の内部空間に連通する少なくとも１つの連通孔４０８を筐体の側壁に設け，トランスファチャンバとの基板搬出入口を，筐体内を昇降自在な弁体４１０によって開閉するようにした。 （もっと読む）

【課題】材料を変更することなく、内部に形成された流路を通過する流体の温度を上昇させることができる弁室ケーシングを提供すること。
【解決手段】内部に形成された流路を高温流体が流れる弁室ケーシング１０であって、内部に、弁体４と、この弁体４を弁座５に対して進退させる弁棒６とが収容された内側弁室ケーシング１１と、その内周面１２ａと、前記内側弁室ケーシング１１の外周面１１ａとの間に、隙間を有する空間Ｓが形成され、かつ、前記内側弁室ケーシング１１の半径方向外側を取り囲むようにして配置された外側弁室ケーシング１２と、前記内側弁室ケーシング１１と前記外側弁室ケーシング１２とを連結する連結部材とを備えている。 （もっと読む）

【課題】高い耐腐食性を呈し得ると共に、シリコンを製造する際の反応副生成物や反応用の原料を固体のシリコンとは相状態の全く異なる気体状態に維持しながら機械的に分離することができる簡便な構成の高温用バルブ装置を提供する。
【解決手段】シリコンを生成する反応器１０の下方に配置自在な高温用バルブ装置４０、１４０であって、反応器の内部空間に連通して、反応器において生成されたシリコンを導入自在な第１の管状部材と、第１の管状部材内に配置されたバルブと、反応器からバルブに至る第１の管状部材の一部及びバルブを含む加熱領域を、反応器におけるシリコンの生成に関連する関連物質の沸点以上に加熱自在な加熱器１００と、を備える。 （もっと読む）

【課題】所定以上の圧縮力がシール材に作用した場合であっても、パーティクルの発生や、シール材が破損したりすることがないとともに、シール部がエッチングされ難いシールプレートおよびこれに用いられるシール材を提供すること。
【解決手段】シール材の断面形状が、シール溝の底面に接合される底辺部と、シール溝の内側面に接合される内側辺部と、弁座面３２に向かって突設する頂部１７と、頂部の外側に形成される外側傾斜辺部１８と、頂部の内側に形成される内側傾斜辺部１６と、を少なくとも有しており、さらに、外側傾斜辺部または内側傾斜辺部の少なくともいずれか一方には、少なくともシール溝の天端面よりも高い位置に、前記外側傾斜辺部および／または内側傾斜辺部に対して腹付けされたような形状をなした余剰部１６ｂが形成されている。 （もっと読む）

【課題】矩形の開口部においても、熱膨張や寸法誤差を吸収することができ、相手面の片当りなどが発生しても、均一な接触面圧を保持し、安定したシール性を発揮でき、放出ガスが発生して、環境に影響を及ぼすことがないメタルシール材を提供する。
【解決手段】シール溝に装着される環状の平板形状のメタルシール材であって、シール溝の一方側の側壁に立設したヒンジ部に当接する支点部と、支点部よりシール溝と反対側に延設したシール領域部と、支点部よりシール溝側に延設したスプリング領域部と、を備え、シール領域部は、メタルシール材が当接する被当接部材と当接する方向に突設したシール部を有し、スプリング領域部は、バネ弾性を有するスプリング部を有する。 （もっと読む）

【課題】 圧電アクチュエータの使用範囲温度を超える温度の流体でも制御可能な圧電駆動式バルブ及び圧電駆動式流体制御装置を提供する。
【解決手段】 流体流路１ｂを開閉するための弁体２と、圧電素子の伸張を利用して弁体２を開閉駆動するための圧電アクチュエータ１０と、圧電アクチュエータ１０を流体流路１ｂから遠ざけるように持上げ支持するとともに、流体流路１ｂを流れる流体から圧電アクチュエータ１０へ伝わる熱を放熱するための放熱スペーサ４０と、を備え、さらに、好ましくは、圧電アクチュエータ１０及び放熱スペーサ４０の双方を収容して支持する支持筒体２３Ａと、を有し、支持筒体２３Ａは、少なくとも放熱スペーサ４０を収容する部分が放熱スペーサ４０と同じ熱膨張係数を有する材料で形成されていることとした。 （もっと読む）

【課題】電磁弁からの放熱を適切に行うことのできるガス供給ユニット及びガス供給装置を提供する。
【解決手段】ガス供給ユニット１１は、内部に流路の設けられた流路ブロック２０と、流路を流通するガスの流通状態を変更する複数の電磁弁５０（５０Ａ）とを備えている。各電磁弁５０はコイル５２とコイル５２の外周に配置されたケース５３とを有している。流路ブロック２０は、長尺状に延びる直方体状に形成され、複数の電磁弁５０が搭載された上面２０ａを有している。複数の電磁弁５０は、上面２０ａの長手方向に沿って直列に配置されている。ガス供給ユニット１１は、複数の電磁弁５０の各ケース５３に跨るようにして上面２０ａの長手方向に沿って延びて各ケース５３に当接される平板部３１と、流路ブロック２０の上面２０ａに平板部３１を繋ぐ固定部３２とを有する伝熱プレート３０を備えている。 （もっと読む）

【課題】高温の流体への使用に適した弁の提供。
【解決手段】本発明に係る弁２は、高温流体に用いられる。弁２は、流体の流路２２を備えた弁箱４と、弁箱４に支持された弁棒８と、流路２２に位置して弁棒８を回転軸として回動して流路２２の開口の大きさを変化させる弁体６とを備えている。弁体６の表面は、対向する一対の端面６１と、その一対の端面６１の間に位置する側面６２とを備えている。弁棒８は、弁体６の側面６２を貫通している。弁体６の内部に、冷却流体が流される冷却経路３１が形成されている。冷却経路３１は、弁体の側面に沿った第一経路と、端面に沿った第二経路とを備えている。第一経路は、第一経路及び第二経路のうちで冷却流体の流れる断面積が最小となる最小部を備えている。第一経路の経路断面が第一経路の入口から最小部に向かって徐徐に小さくされている。 （もっと読む）

【課題】 冷却性能が良いＥＧＲバルブ装置を提供すること。
【解決手段】 ＥＧＲ用のバルブ装置において、バルブハウジング本体と、前記バルブハウジング本体内部に配置されてバルブステム１６の摺動を案内するバルブガイド１７と、バルブガイド１７に向けて配置され、冷却油を噴出させる絞り部を有するノズルとを備える。また、前記ノズルへ供給する油圧は、ＥＧＲバルブ装置を装着する内燃機関が稼動中に作る油圧を用いる。さらに、バルブ１４を開閉する油圧アクチュエータと、前記油圧アクチュエータを制御する油圧制御弁とを備える。 （もっと読む）

【課題】 電磁弁の電磁部の発熱を抑制することができる油圧制御装置を提供する。
【解決手段】 油圧制御装置１には、電磁弁４８ａの電磁部ＳＬ１近傍に、クーラーＣから送られる冷却された油が通る冷却油路９（９２，９３）が形成されている。このように冷却油をバルブボディ２，３，４内に取り込んで電磁弁の電磁部周辺に送り込んでいるので、電磁部がバルブボディ内のオイルレベルＯＬよりも上部に配置される場合であっても、かかる電磁部を常時冷却しておくことができる。このため、電磁部の発熱を抑制して電磁部に接続されるコネクタ等の樹脂部品の長寿命化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】ハウジングに設けられる軸受部をコンパクトにかつ効果的に冷却すること。
【解決手段】バイパスバルブ１は、ハウジング４を備え、ハウジング４には、ＥＧＲガスが流れる分岐した流路２，３が設けられる。ハウジング４には、ＥＧＲガスの流路を切り替えるために流路２，３を選択的に開閉する弁体５と、弁体５と一体化した弁軸６と、弁軸６を回動可能に支持する軸受部７，８とが設けられる。軸受部７，８の外周の一部は、流路２の中に配置される。軸受部７，８に隣接してハウジング４には、流路２，３を形成し、かつ弁座１６を有する仕切壁１７が設けられる。仕切壁１７にて軸受部７，８の近傍には、冷却水通路１８が設けられる。 （もっと読む）

【課題】製造過程で発生する熱の影響によるシール部材のシール座面への当たりの偏りを改善することでシール部材の劣化の防止、及びゲートバルブの遮断性能の向上を図る。
【解決手段】ゲート開口部９ａ，９ｂが設けられた弁箱１と、ゲート開口部９ａ，９ｂを一方向からスライド往復移動させることによって開閉する弁体５とからなり、弁体５をスライド移動させて弁箱１のゲート開口部９ａ，９ｂを閉じたとき、弁体５の右側弁体部５３の周端面５３ａ及び左側弁体部５６の周端面５６ａに装着されているシール部材１３が、弁箱１のゲート開口部９ａ，９ｂの周端面である右シール座面１１及び左シール座面１６に当接することによってゲート開口部９ａ，９へが遮断されるように構成されたゲートバルブ１において、弁体５の右側弁体部５３の周端面５３ａと弁箱２の右シール座面１１との間に、シール部材１３の圧潰量を規制するスペーサ部材２１を設けている。 （もっと読む）

【課題】ステッピングモータ対して適度の押圧力を付与し、ステッピングモータの回転に影響を及ぼすことがないなどの利点を備えたモータ組立体及び該モータ組立体を用いた電動弁を提供する。
【解決手段】ステッピングモータ１１と、ステッピングモータの下方に配置され、ステッピングモータによって駆動されるギヤ列１２、１３等と、ギヤ列を収容するギヤケース２２と、ステッピングモータ及びギヤケースを収容し、下方に開口部を有するカバー１４と、ギヤ列を介して駆動される出力軸２１用のホルダ２３を固定する基板１５と、基板の下面側に一体化された弾性体層（ゴム層）１８とを備え、カバーを開口部により弾性体層をかしめ固定するモータ組立体１０において、ステッピングモータとカバーとの間に板状弾性体５１を介装し、板状弾性体の表面を凹凸状に形成した。 （もっと読む）

【課題】極めて温度の高い流体であっても、弁閉時には高シール性を発揮し、また、弁開時には低真空領域から高真空領域までを高精度に流量調節を行いながら流すことができ、しかも、製作が容易で低コストの流量制御用の真空バルブを提供する。
【解決手段】流入口２ａと流出口２ｂを有するボデー２内にステム３１を介して弁体１０を昇降動自在に設ける。この弁体１０には、ステム３１と垂直に交差する方向に平面部１１を設ける。更に、平面部１１には、シール面１２ａ側を鏡面研磨仕上げした薄板メタルシール材１２を固着し、このメタルシール材１２をボデー２内に設けた環状のメタル弁座２０に平行に着座させることにより、高いシール性を維持しつつ弁閉するようにした真空バルブである。 （もっと読む）

ハウジング（２、４）と、流れ媒体のための貫通通路（１８）を有し、上記ハウジング内に回転可能に配置された、好ましくは球状の回転体（１６）とを備えるバルブであって、回転軸（２２）を中心とした回転体（１６）の回転角位置に従って、流路が閉鎖または少なくとも部分的に開放されるバルブを提供する。本発明はさらに、ハウジング（２、４）内に互いに一定距離離間して配置される２つのシートリング（３０、３２）を備え、上記シートリングは、好ましくは、回転体（１６）の球状外面上に封止するように当接する。バルブはさらに、回転体（１６）に動作可能に接続され、ハウジングの開口部（２６）の外側に伸びるシャフト（２４）を備え、シャフト（２４）の一部（４６）は、封止要素（３４）が少なくとも部分的に当接する球状外面に関係付けられる。本発明は、漏れ率を最小限に抑え、長い耐用年数を有し、それと同時に高い機能信頼性を保証する単純なバルブ設計の開発を目的とする。この目的のために、回転体（１６）とシャフト（２４）とは互いに強固に接続され、または単一部品として構成され、封止要素（３４）はシャフト（２４）の上記部分（４６）の領域で少なくとも部分的にシャフト部分（４６）の球状外面（４８、５０）に当接し、回転体（１６）はシャフト（２４）と共に、球状外面（４８、５０）に関係付けられたピボット軸（２８）を中心としてピボット回転可能であり、上記ピボット軸は回転軸（２２）に対してほぼ垂直である。
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【課題】冷却水中に含まれる異物が冷却手段内に蓄積するのを防止し、冷却機能の低下を防止することが可能な高温用弁を提供する。
【解決手段】冷却水Ｗを流すことで冷却を行う冷却手段を備えた高温用仕切弁であって、冷却手段の冷却水入口１２に冷却用配管３５が接続され、冷却用配管３５は、上流側管部３９と、冷却水入口１２に接続される下流側管部４０と、上流側管部３９から分岐するとともに下流側管部４０に統合される２本の分岐管部４１ａ，４１ｂとを有し、各分岐管部４１ａ，４１ｂにフィルタ３８ａ，３８ｂが設けられ、両分岐管部４１ａ，４１ｂのうちからいずれかを選択して冷却水Ｗを流す切換弁３６ａ，３６ｂが設けられ、上流側管部３９と下流側管部４０との差圧を検出する差圧スイッチ５０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】低コストで安定したシール力を持つ薬液弁を提供すること。
【解決手段】弁座４１が形成された樹脂製の弁本体１２と、ダイアフラム弁体３０と、弁本体１２と共にダイアフラム弁体３０を挟んで保持する樹脂製の弁上体１１とを有する薬液弁であって、ダイアフラム弁体３０の挟み込まれる部分に環状凸部３６が形成され、弁本体１２がダイアフラム弁体３０の環状凸部３６が挿入される挿入溝３３を形成する内側環状シール部３１と外側環状シール部３２とを有し、内側環状シール部３１の内面に圧入部３４が形成され、挿入溝３３に環状凸部３６を挿入するときに環状凸部３６が圧入部３４と当接して外向きに弾性変形し、環状凸部３６に押されて外側環状シール部３２が外向きに弾性変形する。 （もっと読む）

【課題】一方では高い廃ガス温度に抵抗でき、他方ではバイパス管の出口端部からの廃ガスの流出の際高温の束の形成を回避する制御栓を提供する。
【解決手段】廃熱ボイラの廃ガス（２７）を通すバイパス管（４）の出口端部（６）に軸線方向移動可能に設けられる栓（１２）が冷却媒体（３２）により冷却可能であり、かつ廃ガス流（２７）の流れ方向に見て円錐状に広がるバイパス管（４）の出口端部（６）へ入り込んでおり、ガス流通断面（２２）が、出口端部（６）の内側輪郭（１９）と栓（１２）の外側輪郭（２０）との間にあるガス流通範囲（２１）内で、開かれる栓（１２）の位置に関係なく、廃ガス流（２７）の流れ方向に見て均一に又は不均一に広がっている。 （もっと読む）

【課題】 ソレノイドコイル２の大型化を伴うことなく、ソレノイドコイル２の放熱性能を向上することを課題とする。
【解決手段】 ハウジング３の円筒部２２および電磁駆動部の樹脂ケース５５の円筒面に、ハウジング３のフィルタ収容空間４３に対して放熱可能に露出した放熱部６５を設け、更にこの放熱部６５よりも流体の流れ方向の上流側のフィルタ収容空間４３を塞ぐようにメッシュフィルタ９を設置している。これによって、上流側から流れてきた流体が、メッシュフィルタ９にぶつかることで、流体が拡散し、放熱部６５の広い領域が流体に晒される。これにより、放熱部６５を介してソレノイドコイル２のコイル部の広い領域を冷却することができるため、ソレノイドコイル２に発生した熱を、放熱部６５を介してフィルタ収容空間４３内を流れる流体中に効果的に放熱することができる。 （もっと読む）

【課題】バルブ周りに施された保温材に損傷を与えることがないと共に、バルブグランド部開放時に内部に異物が混入することがないバルブカバー組立体を提供する。
【解決手段】バルブカバー組立体は、上部にフランジ１６を有するバルブ本体２と、フランジ１６に着脱自在に取付けられるバルブグランド部１８を有するバルブ操作部４と、を備えるバルブ１において、バルブ本体２の外周囲を保温材２２で被覆し、この被覆した保温材２２の少なくともフランジ１６の周囲に亘って第１保護部材２８を被覆してなることを特徴とする。 （もっと読む）