【課題】再始動時に速やかな応答性で再始動状態に切り換え可能であり、始動安定性を大きく高めることができる空気遮断バルブおよびこれを用いた再始動安定化方法を提供する
【解決手段】空気通路３に金属材質を重ねて当てたプラスチック材質のハウジングユニット１と、空気通路を開閉するフラップバルブ９と、運転者による始動開始時、制御器を通して駆動され、フラップバルブを開放するための回転動力を発生させるモータ１１と、モータの回転動力を受けてフラップバルブを完全閉鎖状態から完全開放状態に切り換え、運転者による始動停止とは異なる異常な始動停止時、空気通路を通して空気供給が行われるように、モータの駆動なしにフラップバルブの完全開放状態を維持させる電子減速器２０，３０，４０と、運転者による始動停止時、モータの駆動がない状態で弾性復元力でフラップバルブを完全閉鎖状態に戻す復帰ユニット５０とを含んで構成されている。 （もっと読む）

【課題】高い耐腐食性を呈し得ると共に、シリコンを製造する際の反応副生成物や反応用の原料を固体のシリコンとは相状態の全く異なる気体状態に維持しながら機械的に分離することができる簡便な構成の高温用バルブ装置を提供する。
【解決手段】シリコンを生成する反応器１０の下方に配置自在な高温用バルブ装置４０、１４０であって、反応器の内部空間に連通して、反応器において生成されたシリコンを導入自在な第１の管状部材と、第１の管状部材内に配置されたバルブと、反応器からバルブに至る第１の管状部材の一部及びバルブを含む加熱領域を、反応器におけるシリコンの生成に関連する関連物質の沸点以上に加熱自在な加熱器１００と、を備える。 （もっと読む）

【課題】所定以上の圧縮力がシール材に作用した場合であっても、パーティクルの発生や、シール材が破損したりすることがないとともに、シール部がエッチングされ難いシールプレートおよびこれに用いられるシール材を提供すること。
【解決手段】シール材の断面形状が、シール溝の底面に接合される底辺部と、シール溝の内側面に接合される内側辺部と、弁座面３２に向かって突設する頂部１７と、頂部の外側に形成される外側傾斜辺部１８と、頂部の内側に形成される内側傾斜辺部１６と、を少なくとも有しており、さらに、外側傾斜辺部または内側傾斜辺部の少なくともいずれか一方には、少なくともシール溝の天端面よりも高い位置に、前記外側傾斜辺部および／または内側傾斜辺部に対して腹付けされたような形状をなした余剰部１６ｂが形成されている。 （もっと読む）

【課題】コアの穿孔への嵌設作業を容易に行うことができる制流弁及びその設置方法を提供すること。
【解決手段】流体管１に穿設される穿孔Ｑに連通し流体管１の外周を密封状に被覆したケース２と、ケース２内にて非上昇の回転ネジ４の回転により穿孔Ｑを介し操作される弁体５と、穿孔Ｑに嵌設され内部を介し弁体５を挿入可能な略筒状体のコア４０と、から構成され、流体管１の流路を遮断若しくは開放可能な制流弁１０であって、コア４０は、穿孔Ｑ近傍の流体管１内面に係合する係合部４１ａを備え、穿孔Ｑが穿設された後に弁体５が流路を遮断するときに、弁体５の外周面に取外し可能に取付けられて弁体５とともに穿孔Ｑにアプローチし、係合部４１ａが流体管１内面に係合することで穿孔Ｑに嵌設され、弁体５が流路を開放するときに穿孔Ｑに嵌設された状態のまま弁体５から取外される。 （もっと読む）

【課題】蒸気弁において、弁棒とガイドブッシュとの隙間から漏れ出る蒸気が急膨張するのを抑制し、漏洩蒸気により弁棒浸食を防止できるようにする。
【解決手段】ガイドブッシュ３０の内周面には、周方向のラビリンス溝３２ａ乃至３２ｅを複数形成し、各ラビリンス溝３２ａ乃至３２ｅは、排出室１８に近づくにしたがって段階的に拡がっていくように配列する。 （もっと読む）

本発明は、流路（Ｆ）を気密式に遮断するためのバルブに関する。バルブは、バルブハウジング（１）と、バルブプレート（５）と、バルブプレート（５）を開放位置（Ｏ）と閉鎖位置（Ｃ）との間でシフトすることができる駆動部（７）とを有する。本発明によると、バルブは、連結位置（Ｋ）において、バルブプレート上のバルブプレート（５）の第一のシール（２１）に対して連結および分離することができ、係留位置（Ｐ）において、バルブハウジング（１）の係留部における係留部（８）の第二のシート（２２）に対して連結および分離することができる、シール支持部（３０）を有する。第一のシール（３１）が連結位置（Ｋ）および閉鎖位置（Ｃ）でバルブシート（４）に気密式に接触し、第一のシール（３１）とバルブプレート（５）上にある閉鎖表面（１３）との間に気密接続が形成されるように、第一のシール（３１）がシール支持部（３０）上に配置される。シール支持部（３０）は、第一の連結手段（３３）により、連結位置（Ｋ）でバルブプレート（５）の第一のシート（２１）に分離可能に連結することができる。シール支持部（３０）は、第二の連結手段（３４）により、係留位置（Ｐ）で係留部（８）の第二のシート（２２）に分離可能に連結することができる。
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【課題】密封性の優れた流量調整弁を提供すること。
【解決手段】ハウジング３と、流路３３に開口する窓２１が外筒５の側面に設けられている外筒５と、外筒５内部に回転可能に備えられた内筒７であって、内筒７の側面で、かつ内筒の回転によって窓に開口する位置に流入孔２３が設けられた内筒７と、内筒の回転によって流路に開口する位置に内側流出孔２５が設けられた内側回転板９と、流路３３に開口する外側流出孔２７が設けられた外側回転板１１、を備える流量調整弁１であって、内筒７の回転に対応して、流入孔２３の流路３３に開口する面積、及び内側流出孔２５の流路３３に開口する面積が変化することを特徴とする流量調整弁。 （もっと読む）

【課題】 半導体素子の製造において反応容器内の圧力を、１つで調整することができ、圧力の調整範囲が広く、かつ反応容器内における異物の舞い上がりを防止することのできる半導体素子製造用の圧力調整弁およびこれを備える半導体素子製造装置を提供することである。
【解決手段】 半導体素子製造用の圧力制御弁２１は、筒体３３と、弁体３４と、弁体駆動部３７とを含んで構成される。筒体３３は、内部に筒体３３内空間が形成され、開口部３６と弁座３５とを有する。開口部３６は、外部空間に開口する。弁体３４の変位方向Ｚに垂直な断面の形状は、円形に形成され、弁体３４は、筒体３３内空間から弁座３５に向かって先細状に形成される。弁体３４の弁座３５側の先端における直径は、弁座３５に形成される弁口の内径よりも小さく設定される。弁体駆動部３７は、弁体３４を変位方向Ｚに変位させる。 （もっと読む）

【課題】極低温環境で作動することができるように特殊に設計された極低温バルブの提供。
【解決手段】内部に開口部１１を有する本体１と、前記本体１に結合するボンネット２と、前記本体１の内部で開口部１１と前記ボンネット２との間を移動しながら開口部１１を開閉するディスク３と、前記ディスク３に連結され、前記ボンネット２を貫通するステム４と、前記ディスク３および前記ステム４を作動させ、前記本体１を通過する流体を制御する駆動部とを含み、前記ディスク３と前記開口部１１との当接部分には第１座部１２を、前記ディスク３と前記ボンネット２との当接部分には第２座部１３を含むことにより、前記ディスク３を下方に下げてバルブを閉にしたときだけでなく、前記ディスク３を上方に上げてバルブを全開にしたときにも、流体の前記ボンネット２への流入を防止するように気密が維持されるため、システム運用の際にもパッキング２２の取り替え作業が可能であることを特徴とする、極低温バルブを提供する。 （もっと読む）

【課題】部品の腐食を防止できる真空弁を提供すること。
【解決手段】第１開口部６と第２開口部７との間に弁座１０が設けられた弁本体４と、前記弁座１０に当接又は離間する弁体１４と、前記弁本体４内へ突き出すロッド部材２９に前記弁体１４が取り付けられて前記弁体１４に駆動力を付与する駆動部２と、前記ロッド部材２９を覆うように前記弁本体４内に配置され、弁座側端面に前記弁体１４が取り付けられたベローズ１２とを備える真空弁１において、前記弁本体４と前記駆動部２との間に設けられ、パージガスを供給するパージガス供給部３７と、前記弁本体４と前記駆動部２との間に設けられ、前記パージガスを排気するパージガス排出部３８と、を有し、前記パージガス供給部３７を前記ベローズ１２の内部空間へ連通させる連通路３９を前記ロッド部材２９に設けている。 （もっと読む）

【課題】不断水状態で切断された既設流体管の切断面を確実に防錆できる制水体設置装置を提供する。
【解決手段】筐体７内において、金属製の既設流体管１の２箇所を不断水状態で流体管切断装置により切断した切断片１’を筐体７内から所定の回収方向に沿って、筐体７外へ取り出し、制水体２を切断箇所Ｋに挿入して設置するとともに、既設流体管１の切断面２６ａ，２６ｂを防錆する制水体設置装置であって、切断面２６ａ，２６ｂは、回収方向に向かって漸次拡開するテーパ状に切断されており、防錆フランジ３１，３１には、切断面２６ａ，２６ｂに対応するように回収方向に向かって漸次拡開するテーパ状に形成された当接面３２ａ，３２ａを備えた防錆材３２，３２が設けられ、防錆材３２，３２は、制水体２が切断箇所Ｋに設置された状態において、切断面２６ａ，２６ｂと周方向に亘って当接するように成っている。 （もっと読む）

【課題】第１ポートと第２ポートとが連通状態であっても、シール部材を構成する第１シール部材をプラズマや腐食性ガスから確実に保護してシール性能を長期にわたり維持（シール性能の低下を防止）できるバルブ装置を提供する。
【解決手段】弁体部２２を駆動する偏心シャフト２４を支持部材５２に対して軸方向に位置決めするためのホールドナット６６を設けることにより、偏心シャフト２４をその軸方向に確実に位置決めし、弁体部２２を高精度に位置制御する。また、第１ポート１２と第２ポート１４とが連通状態のときに、偏心シャフト２４による駆動で弁体部２２がハウジングの内壁面１８Ａに着座したときに、第１シール部材３０は外側に位置する比較的硬質な第２シール部材３２によってハウジング１８内部の流路１６から区画される。 （もっと読む）

【課題】エロージョンの発生を防ぎ、弁の低開度域または微開度域での微少流量調整を可能とすることにより、高レンジアビリティを確実に実施できるようにしたバタフライバルブを提供する。
【解決手段】筒状弁箱１に装着した弾性シートリング２内を円板状弁体３の回転で開閉するバタフライバルブにおいて、前記弁体３のオリフィス側８の外周縁にタイトシャット用の弁閉止部３ａを形成し、オリフィス側８の前記弁閉止部３ａの下流側に向け、前記弾性シートリング２に押圧接触する押圧弁部１０を形成し、オリフィス側８の押圧弁部１０には、外周面から下流側に向けて流入する流入部１４，１５を形成すると共に、前記押圧弁部１０の径を弁体３の径よりも小さく形成したことを特徴とするバタフライバルブである。 （もっと読む）

ハウジング（２、４）と、流れ媒体のための貫通通路（１８）を有し、上記ハウジング内に回転可能に配置された、好ましくは球状の回転体（１６）とを備えるバルブであって、回転軸（２２）を中心とした回転体（１６）の回転角位置に従って、流路が閉鎖または少なくとも部分的に開放されるバルブを提供する。本発明はさらに、ハウジング（２、４）内に互いに一定距離離間して配置される２つのシートリング（３０、３２）を備え、上記シートリングは、好ましくは、回転体（１６）の球状外面上に封止するように当接する。バルブはさらに、回転体（１６）に動作可能に接続され、ハウジングの開口部（２６）の外側に伸びるシャフト（２４）を備え、シャフト（２４）の一部（４６）は、封止要素（３４）が少なくとも部分的に当接する球状外面に関係付けられる。本発明は、漏れ率を最小限に抑え、長い耐用年数を有し、それと同時に高い機能信頼性を保証する単純なバルブ設計の開発を目的とする。この目的のために、回転体（１６）とシャフト（２４）とは互いに強固に接続され、または単一部品として構成され、封止要素（３４）はシャフト（２４）の上記部分（４６）の領域で少なくとも部分的にシャフト部分（４６）の球状外面（４８、５０）に当接し、回転体（１６）はシャフト（２４）と共に、球状外面（４８、５０）に関係付けられたピボット軸（２８）を中心としてピボット回転可能であり、上記ピボット軸は回転軸（２２）に対してほぼ垂直である。
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【課題】簡易な構成でより良好な気密状態を保つことができるガス栓を提供する。
【解決手段】ガス栓１は、内部にガス流路１４及び栓体摺動面１５を有する本体１０と、前記栓体摺動面で摺動し、前記ガス流路を開閉する栓体２０と、前記本体のハンドル取付部１１の端部に回動可能に装着され、且つ、前記栓体とは相対回動不能に係合した、前記栓体を動かすハンドル５０と、前記栓体を前記本体内に向けて付勢する付勢手段３０とを有している。前記栓体の上首部２１が前記本体のハンドル取付部から突出しており、前記上首部の外面２１ａと前記ハンドル取付部の内面１１ａとの間に樹脂シール部材４０が介装されている。前記ガス栓は、通常のシール機能に加えて樹脂シール部材でのシール機能も備えているので、ガスの漏れ量をより一層低減することができる。 （もっと読む）

【課題】改善された密閉能力を有するプロセスチャンバのためのバルブアセンブリの実施形態が提供される。
【解決手段】いくつかの実施形態において、プロセスチャンバのためのバルブアセンブリは、基板が搬送される、壁に設けられた開口を有する筐体と、開口を選択的に密閉するために、筐体の壁にほぼ平行な平面内において筐体に移動可能に接続されるドアと、ドアが閉じた位置にあるときに、壁にほぼ垂直な方向における、圧縮可能なシーリング部材の圧縮によって、その間の密閉を形成するためにドアの上側表面と筐体の対応する表面との間で少なくとも部分的に設けられた圧縮可能なシーリング部材と、筐体のプロセスチャンバの側において、圧縮可能なシーリング部材の環境への露出を制限するためのメカニズムを含む。 （もっと読む）

【課題】耐キャビテーション機能を有し、エロージョンの発生を防ぐことは勿論のこと、バルブの微開度域または低開度域での流体の微少流量調整を可能とすることにより、高レンジアビリティを発揮し、コントロール機能とタイトシャット機能に優れたバタフライバルブを提供することにある。
【解決手段】筒状弁箱１に装着した弾性シートリング２内を円板状弁体３の回転で開閉するバタフライバルブであって、前記弁体３のオリフィス側８の弁体外周縁を下流側に向け、かつ、ノズル側９の弁体外周縁を上流側に向けて外周球面状の翼状押圧弁部をそれぞれ設け、この押圧弁部１０，１１を微開度域で前記弾性シートリング２に押圧接触させると共に、オリフィス側弁閉止部３ａをノズル側閉止部３ｂに対して弁一次側に傾斜させた状態に形成したバタフライバルブである。 （もっと読む）

【課題】 シール部材の長寿命化を達成することができる開閉バルブを提供すること。
【解決手段】内部を真空に保持可能なチャンバー１１と、排気装置５３、５４との間に設けられる開閉バルブ１００であって、チャンバー１１側と排気装置５３、５４側とを連通する開口１１１を備えた弁本体１１０と、弁本体１１０内にあって開口１１１に接離して開口を開閉する弁体１２０と、弁体１２０に設けられ弁体１２０が開口１１１を閉じた際に開口１１１をシールするシール部材１２０ｂと、弁体を進退させる直進移動手段１４０と、開口１１１から離隔した位置に設けられ、開口１１１から離反した弁体１２０が退避する弁退避部１１３ｂと、弁体１２０を、開口１１１に対応する位置と弁退避部１１３ｂに対応する位置との間で回動させる回動手段１５０とを有する。 （もっと読む）

【課題】空気作動式調節弁装置を構成する金属製ハウジングに設けた通気孔から雨水、塵埃、昆虫等が侵入して発錆、汚損を起こすことを有効に防止することができる空気作動式調節弁装置を提供する。
【解決手段】弁箱３、及び弁箱内に形成された流体の流入通路４及び流出通路５を備えた弁装置２と、弁箱内に進退自在に配置されて各通路間を開閉する弁体１１、及び該弁体と一体化されて他端部を弁箱外部に突出させた棒体１２から成る弁棒１０と、弁棒を構成する棒体の他端部と一体化されたダイヤフラム２１、及び該ダイヤフラムによって内部を気密化された圧力室２２及び大気に開放された非気密室２３を有したハウジング２４を備えたダイヤフラムユニット２０と、圧力室内の内圧の変化によるダイヤフラムの変形によって弁棒を進退させる空気作動式調節弁装置において、非気密室を構成するハウジング外壁に設けた通気孔２６に対して、雨水浸入防止用の通気管体３０を接続した。 （もっと読む）

トリムを有する弁であって、該トリムは、複数の渦流路(201)からなり、各流路は、中央渦流室(202)からなり、３つの接線方向の流入路(203、204、205)を備える。流体が流入路(203、204、205)を通過し、渦流室(202)に入ると、流体が回転し始め、互いに衝突する。すなわち、流入路203を経由して流入した流れは、流入路204を経由して流入した流れに衝突し、流入路204を経由して流入した流れは流入路205を経由して流入した流れに衝突し、流入路205を経由して流入した流れは流入路203を経由して流入した流れに衝突する。渦流室に入った流体が、流路壁に対向するもう一つの流体流れに衝突するため、渦流は浸食の少ない流路を形成することができる。流入路(203、204、205)からの流れは、渦流室(202)内の放射状の流れにおいて結合され、実質的に渦流室に対して垂直方向に延設された流出路(206)から流出する。
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