【課題】高価な質量流量制御器を使用せずに、導入ガスを大量に消費することがなく、真空容器内の圧力を制御することができる真空装置及び真空装置の真空容器内の圧力制御方法を提供する
【解決手段】真空装置１は、真空容器２と、真空容器２の内部の圧力を測定する真空計３と、真空容器２を真空排気する第１真空ポンプ４と、コンダクタンスバルブ５と、コンダクタンスバルブ５を介して真空容器２に接続される第２真空ポンプ６と、真空容器２にガスを供給するガス供給手段７と、真空計３の出力に基づいて真空容器２の内部の圧力を制御圧力に制御する制御装置８と、を備えている。第２真空ポンプ６は、内部の圧力が真空容器２の内部の圧力（制御圧力）よりも高くなるように選定されたドライ真空ポンプであり、ガス供給手段７により供給されるガスが、ポンプ内部で排気口６ｂから吸気口６ａに向かって流通可能に構成されている。 （もっと読む）

【課題】過度の高圧を解放する機能を真空システムに低コストに実現することを可能とする真空バルブ、及びそうした真空バルブを備えるクライオポンプを提供する。
【解決手段】クライオポンプ１０は、クライオパネル６０に排気された気体をクライオポンプ容器３０の外部に排出するためにクライオポンプ容器３０に設けられているベントバルブ７０と、クライオポンプ容器３０の外部に対して内部に陽圧が生じたか否かを圧力センサ５４の測定値に基づいて判定し、陽圧が生じたと判定した場合にはベントバルブ７０を開放し、陽圧が生じていないと判定した場合にはベントバルブ７０を閉鎖する制御部２０と、を備える。制御部２０がベントバルブ７０を閉鎖しているときにクライオポンプ容器３０内外の差圧の作用によって機械的に開弁され得るようにベントバルブ７０の閉弁力が調整されている。 （もっと読む）

【課題】ガスの流量の変化が広範囲であっても、広範囲の圧力制御が可能な排気装置の制御方法及び排気装置の制御装置を提供する。
【解決手段】真空装置５０に設けられた複数の排気装置Ａ〜Ｄの制御方法であって、前記真空装置５０に導入するガスの流量が少なくなるほど、連動して制御する排気装置の数を減らし、非連動に制御する排気装置の数を増やすように前記複数の排気装置Ａ〜Ｄの連動又は非連動の状態を設定する設定工程と、前記設定された状態で、前記複数の排気装置Ｃのうちの少なくともいずれかを使用して前記真空装置５０を排気する排気工程と、を含むことを特徴とする排気装置の制御方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】低コストで、かつ、タクトタイムの短い真空処理装置を提供すること。
【解決手段】複数のロードロックチャンバ１１〜１４と、ロードロックチャンバに各々開閉部を介して連通する複数のプロセスチャンバ５１〜５４とから構成されてなる真空処理装置１であって、各ロードロックチャンバを選択して排気する１つの第一排気手段３１と、プロセスチャンバ毎に設けられ、各プロセスチャンバを個別に排気する複数の第二排気手段７１〜７４と、ロードロックチャンバに排気の必要性が生じた場合に、ロードロックチャンバの状態に応じた優先度を付加した排気要求を発行する制御手段と、複数の排気要求を優先度に従って順序調整することにより、複数のロードロックチャンバの中から第一排気手段が排気処理を実施する１つのロードロックチャンバを選択し、第一バルブの開閉動作を指示する順序調整手段と、を少なくとも備えた真空処理装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】動力損失を抑制できる変速機付き圧縮機を提供する。
【解決手段】制御機構３０は、キャリヤ１３０とリングギヤ１６０との間に設けられ、キャリヤ１３０とリングギヤ１６０との一方向の相対回転を許容しつつ他方向の相対回転を規制するワンウェイクラッチ２００と、ハウジング１０とリングギヤ１６０との間に設けられ、係合によりリングギヤ１６０の回動を規制するクラッチ２１０とを有する。クラッチ２１０は、リングギヤ１６０との間にスラストベアリング２１４を介在させつつリングギヤ１６０を前方向に押してハウジング１０にリングギヤ１６０を固定する。サンギヤ１５０と各遊星ギヤ１４０とリングギヤ１６０とは、はす歯１５９、１４９、１６９を有する。各はす歯１５９…のねじれ角は、各遊星ギヤ１４０のリングギヤ１６０に対する相対回転により、リングギヤ１６０を後方向に付勢するスラスト力Ｓ１が発生するように設定される。 （もっと読む）

【課題】容器内を所定の内圧にできると共に効率良く吸引作業を行なえ、さらに、液体の誤吸入を防止する真空保存装置を提供する。
【解決手段】開閉可能な弁を有する真空保存用の容器と、該容器内を減圧する吸引装置２とから成る真空保存装置であって、吸引装置２は、容器内のエアーを吸引する減圧ポンプＰとその減圧ポンプＰを駆動させる電気モータＭとを有するポンプユニット21と、ポンプユニット21の駆動・停止を制御する制御部50と、備えている。そして、上記制御部50は、予め実測したポンプユニット21の負荷電流特性、及び、駆動中のポンプユニット21への電流値から、容器内が所定の内圧となったか否かを判定する真空度判定手段55ａを有し、さらに、制御部50は、電流値から、減圧ポンプＰが液体を誤吸入したか否かを判定する液体誤吸入判定手段55ｂを有している。 （もっと読む）

【課題】真空処理装置および真空処理方法の省エネルギー化を実現する。
【解決手段】真空処理装置１００は、被処理体が収容される処理容器１０１と、処理容器１０１から被処理体が搬送される搬送容器１０７と、処理容器１０１内を真空排気する、ターボポンプ１０３及びドライポンプ１０６（第一のドライポンプ）と、搬送容器１０７内を真空排気するドライポンプ１１０（第二のドライポンプ）と、処理容器１０１、ターボポンプ１０３、及びドライポンプ１０６を、この順で接続する排気ライン１３１（第一の排気ライン）と、搬送容器１０７及びドライポンプ１１０を接続する排気ライン１３２（第二の排気ライン）と、ターボポンプ１０３及びドライポンプ１０６の間の部分と、かつ排気ライン１３２とを接続する排気ライン１３３（第三の排気ライン）と、排気ライン１３３に設けられたバルブ１１９と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】十分な量の冷媒を冷凍サイクルに送り出すことができ、熱交換量を増大させることが可能な圧縮機用制御弁を提供する。
【解決手段】エンジンからの回転駆動力で冷媒を圧縮する圧縮機構９と、この圧縮機構９によって圧縮された冷媒が吐出される高圧室１１と、この高圧室１１内の冷媒を外方へ送り出す高圧吐出通路１５とを備えた圧縮機１に用いられ、前記高圧室１１と高圧吐出通路１５との間に設けられて高圧室１１内の冷媒圧力と高圧吐出通路１５内の冷媒圧力との差圧を感知して開閉する圧縮機用制御弁３３である。制御弁３３は、前記差圧を感知する差圧感知部３７，４３と、前記高圧室１１内の冷媒を高圧吐出通路１５へ導く冷媒通路部３３８，４４とが別に設けられている。 （もっと読む）

【課題】クランク室圧力の昇圧感度を容易に最適な感度に調整可能な容量制御弁を備えた可変容量圧縮機を提供する。
【解決手段】吐出室とクランク室とを連通する通路を開閉する容量制御弁の開度調整によりクランク室の圧力を変化させてピストンのストロークを調整する可変容量圧縮機において、容量制御弁は、吐出室と連通する弁室と、弁孔と、弁孔を開閉する弁体と、吸入室と連通する感圧室と、感圧室に配設された感圧部材と、一端が感圧部材に連結され他端が弁体に連結されて感圧部材の変位に応答して弁体を駆動する感圧ロッドとを備えており、弁体には弁孔側よりクランク室圧力が弁体を開く方向に作用し、感圧ロッドには弁孔側よりクランク室圧力が弁体を閉じる方向に作用するとともに、感圧ロッドのクランク室圧力の受圧面積Ｓｒが、弁体のクランク室圧力の受圧面積Ｓｖよりも大きく設定されていることを特徴とする可変容量圧縮機。 （もっと読む）

【課題】冷凍サイクルにおける装置構成や制御方式を複雑にすることなく、その空調性能を高く維持する。
【解決手段】本発明のある態様の冷凍サイクルは、可変容量圧縮機１と、圧縮機１から吐出された冷媒を冷却する凝縮器２と、凝縮器２から送出された冷媒を内部の弁部を通過させることにより絞り膨張させて導出するとともに、その導出された冷媒の下流側圧力が設定圧力となるようにその弁開度が自律的に調整される膨張装置３と、膨張装置３から導出された冷媒を蒸発させて外部と熱交換をするとともに、その冷媒を圧縮機１に向けて送出する蒸発器４と、冷凍サイクルの所定の２点間の差圧または流量が一定となるように、圧縮機１の吐出室からクランク室へ導入する冷媒流量を制御して、圧縮機１の吐出容量を変化させる制御弁６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】容量制御弁のソレノイドユニットの電磁力が有効に使用され、容量制御の安定性に優れた可変容量圧縮機の容量制御システムを提供する。
【解決手段】可変容量圧縮機の容量制御システム(B)は、電磁クラッチ(200)と、可変容量圧縮機(100)の吸入圧力領域の圧力及びソレノイドユニットの電磁力が可変容量圧縮機(100)の吐出圧力領域の圧力とは対抗する方向にて作用する弁体(306)及び弁体(306）を電磁力と同じ方向に付勢する付勢手段を有する容量制御弁(300)と、外部情報検知手段(403,451,452)によって検知された外部情報に基づいて容量制御弁用コイル(316)に供給される電流を調整する電流調整手段(453,454,405)とを備える。 （もっと読む）

【課題】リリーフバルブ作動時に圧縮機が被るダメージを低減させることができると共に、圧縮機の性能維持と地球環境保護を図ることが可能な可変容量型斜板式圧縮機を提供することにある。
【解決手段】ハウジング１１内に、回転軸１７及び斜板２２を収容するクランク室１６と、斜板２２に係留されたピストン２８により冷媒ガスを圧縮する圧縮室３０と、該圧縮室３０で圧縮された冷媒ガスを吐出する吐出室３３とを備え、クランク室１６の圧力を変えることにより、斜板２２の傾斜角を変更し吐出容量を制御するようにした可変容量型斜板式圧縮機１０において、リヤハウジング１４に所定圧以上になると開弁されるリリーフバルブ３９を配設し、リリーフバルブ３９は、受圧口４０が吐出室３３に開口し、放圧口４１は圧力チューブ４３を介してクランク室１６と接続されている。
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【課題】 再起動時間を短縮し、冷却システム側の均圧化時間を短縮し、オイルと冷媒の流出を防止する。
【解決手段】 正圧時は、差圧が所定値以下で第１流路１１から第３流路１５への流れを遮断し、差圧が所定値を超えると前記の流れを可能にし、逆圧時は、差圧が所定値以下で第３流路１５から第１流路１１への流れを遮断し、差圧が所定値を超えると前記の流れを可能にするスライド弁１７と付勢手段１９，２１とを設けた。 （もっと読む）

【課題】可変容量圧縮機１に差圧弁５５を用いた場合でも、ピストン２７をディストローク状態に切り替えるときに、クランク室１５内の急激な圧力上昇を抑えて、可変容量圧縮機１の耐久性を向上させること。
【解決手段】
クランク室１５と吐出室１９を連通する給気通路５３の途中に、吐出室１９側の圧力Ｐｄと吸入室１７側の圧力Ｐｓの差圧Ｐｄ−Ｐｓが設定差圧になるように吐出室１９からクランク室１５に供給されるガスの流量を制御する差圧弁５５が配設され、給気通路５３におけるクランク室１５と差圧弁５５との間に、吐出室１９側の圧力Ｐｄが設定圧力を越えると全閉状態になるよう構成された圧力制御弁用弁体６５を備えた圧力制御弁６３が配設されたこと。 （もっと読む）

【課題】吸入圧力制御の安定性を損なうことなく、吸入圧力制御の制御範囲の拡大をもたらす容量制御弁を提供するとともに、該容量制御弁を用いた可変容量圧縮機、及び、該可変容量圧縮機の容量制御システムを提供する。
【解決手段】可変容量圧縮機のための容量制御弁(300)は、バルブハウジング(302)と、バルブハウジング(302)内に配置された弁体(314)と、弁体(314)に電磁力を作用させるためのソレノイド(336)とを備える。弁体(314)は、吐出室(142)の圧力が開弁方向にて作用する第１受圧面(354)、及び、吐出室(142)の圧力と対抗する閉弁方向にて吸入室(140)の圧力が作用する第２受圧面(356)を有する。第２受圧面(356)の面積は第１受圧面(354)の面積よりも大きい。 （もっと読む）

【課題】ガスタービン運転中にガスコンプレッサーの運転切り替えを行うことができるガスタービン燃料ガス供給装置を提供する。
【解決手段】例えば、第１ガスコンプレッサー４９から第２ガスコンプレッサー５０への運転切り替えを行う場合には、第１ガスコンプレッサー出口弁５３は全開、第１ガスコンプレッサー再循環弁６１は吐出圧力制御、第２ガスコンプレッサー出口弁５４は全閉及び第２ガスコンプレッサー再循環弁６２は全閉の状態から、第２ガスコンプレッサーを起動させ、第２ガスコンプレッサー再循環弁を吐出圧力制御状態とし且つ第２ガスコンプレッサー出口弁を徐々に開けていき、第２ガスコンプレッサー出口弁の弁開度が全開になると第１ガスコンプレッサー出口弁を徐々に閉めていき、第１ガスコンプレッサー出口弁の弁開度が全閉になると第１ガスコンプレッサーを停止させ且つ第１ガスコンプレッサー再循環弁を全閉とするように制御する。 （もっと読む）

【課題】一次圧縮がなされた圧縮流体を圧縮機本体に吸い込み昇圧する圧縮機において、一次圧縮側の供給圧力低下時にも圧力機本体の過負荷運転を防止すると共に二次圧縮側への圧力供給を継続する。
【解決手段】圧縮機本体２の一次圧縮側に、一次流体経路８の内圧が大気圧以下となったときに該一次流体経路８内に外気を取り入れる逆止弁３３が設けられる。 （もっと読む）

【課題】パワーエレメントにてダイヤフラムに当接配置されるロアハウジング内のディスクを心決めできるようにする。
【解決手段】ディスク１５の中央位置にシャフト受部１５ｃを形成し、ディスク１５を常にシャフト１１によってダイヤフラム１４の中央位置に心決めしたので、ディスク１５がダイヤフラム１４から離れたときにロアハウジング１２の内周面１２ａに接触することがない。また、シャフト受部１５ｃの開口端は、シャフト１１の直径より広く、内面はテーパ面にして、シャフト１１との間に隙間を形成したので、ダイヤフラム１４がシャフト１１の軸線に対して傾いても、シャフト受部１５ｃがシャフト１１の先端を曲げようとする荷重をシャフト１１に与えることはない。ロアハウジング１２内での摺動抵抗がなく、シャフト１１の摺動抵抗が増えることはないため、セット値が安定し、弁開度特性にヒステリシスが発生しない。 （もっと読む）

【課題】回生動作時のフルストローク状態で、容量制御弁に必要以上の過大な制御パルス信号が送出されるのを回避する。
【解決手段】冷却サイクル内の高圧側圧力Ｐｄと低圧側圧力Ｐｓとの差圧（Ｐｄ−Ｐｓ）、および入力された制御パルス信号に対応した電磁力に応じて、圧縮気体の吐出容量を制御する容量制御弁１３を有する可変容量圧縮機８のコンプレッサ制御部１４ｂ（制御装置）は、上限駆動トルク推定部６２（上限駆動トルク推定手段）が、高圧側圧力Ｐｄに基づいてフルストローク状態にあるときの可変容量圧縮機８の上限駆動トルクＴmaxを推定し、出力決定部６２（制御信号デューティ値演算手段）が、上限駆動トルクＴmaxに基づいて制御パルス信号のデューティ値Ｄmaxを求め、信号制御部６４（制御手段）が、回生動作時は、直前のデューティ値Ｄmaxの制御パルス信号を出力させる。 （もっと読む）

【課題】任意の吐出圧力を設定することができ、設定された吐出圧力を供給することができるエンジン駆動圧縮機を提供する。
【解決手段】エンジン駆動圧縮機１は、圧縮機本体２とエンジン３とオイルチャンバ４と制御ユニット５とから構成され、制御ユニット５はエンジン３のエンジン回転速度をＥＣＵ３ａを介して制御し、圧縮機本体２への吸入空気量を電空比例弁５ａを介して制御可能に構成する。そして、制御ユニット５は、第１圧力センサ４ｃによって検出されるオイルチャンバ４に貯留される圧縮空気の圧力と制御ユニット５で設定される設定圧力とが同等になるようにエンジン回転速度と圧縮機本体２への吸入空気量とを制御することを特徴とする。 （もっと読む）