【課題】複数のクライオポンプの圧力差が再生プロセスに与える影響を緩和する。
【解決手段】クライオポンプシステム１００は、粗引きポンプ７３を共用し、各々が粗引きバルブ７２を含む複数のクライオポンプ１０と、複数のクライオポンプ１０の再生のために各粗引きバルブ７２を制御するＣＰコントローラ２０と、を備え、開放されている粗引きバルブ７２の閉鎖と閉鎖されている他の粗引きバルブ７２の開放との間に遅延時間が設定されている。 （もっと読む）

【課題】エアーコンプレッサで空気を防じんマスクに供給する際に停電や機器の不具合でエアーが供給されない状態になったとき、代わりの空気を確実に供給する。
【解決手段】送気マスクに呼吸用のエアーを供給する送気マスク用エアーコンプレッサにおいて、エアーコンプレッサにエアーを充填したエアーボンベ４を付設し、エアーコンプレッサの吐出系路である主系路７にエアーボンベ４の吐出系路である副系路８を閉止した状態で合流させるとともに、主系路７の圧力が一定以下に低下すると、副系路８を自動的に開通させる。 （もっと読む）

【課題】容量可変時における脈動を十分に抑制することができる可変容量型圧縮機を提供する。
【解決手段】リヤハウジング１３に形成した収納室１３３には吸入絞り弁３４及び第２制御弁３５が収納されている。吸入絞り弁３４は、第１背圧室６３内の背圧に応じて、導入通路５５から吸入室１３１に至る吸入通路を絞る。第２制御弁３５は、制御圧室１２１から吸入室１３１に至る排出通路の通路断面積を調整する。第２制御弁３５が調整する排出通路の通路断面積は、第１制御弁３３の閉状態のときが開状態のときよりも大きい。吸入絞り弁３４の第１背圧室６３は、排出通路の途中に設けられている。 （もっと読む）

【課題】連通路及び溝状通路を介した吸入通路への冷媒の十分な吸入を可能にしながらも、回転軸と回転軸収容孔との間の耐摩耗性を確保すること。
【解決手段】回転軸２９には、各切り欠き４０と溝状通路３９とを連通させる環状溝４５が回転軸２９の外周面全周に亘って形成されている。さらに、環状溝４５のフロントハウジング１３側の側面４５ａが、軸孔１１ａのフロントハウジング１３側の開口端１１１ａよりリヤハウジング側の位置に形成されている。 （もっと読む）

【課題】動力損失を可及的に小さくしながら圧縮機の温度上昇を抑制可能であるとともに、製造コストの低廉化を実現可能な容量可変型斜板式圧縮機を提供する。
【解決手段】ハウジングは、クランク室２４を駆動軸１６の軸心Ｏに対して周方向から囲む側壁１２１を有する。側壁１２１には、外面から軸心Ｏに対して径内方向に凹設した弁室８０と、弁室８０に設けられ、クランク室２４内の温度に応じて変形するバイメタル９４と、弁室８０に設けられ、バイメタル９４に支持される弁体９５と、内面１２１ｄに開いてクランク室２４と弁室８０とを連通する第１排油通路８１と、弁室８０と吸入室２０とを連通する第２排油通路８２とが形成されている。第１排油通路８１と第２排油通路８２とは、クランク室２４内の温度が所定の値を超えた場合にバイメタル９４の変形に伴う弁体９５の移動により、弁室８０経由で連通される。 （もっと読む）

【課題】圧縮機を冷却して加熱された油からの排熱回収を可能にすると共に、排熱回収機器の負荷状況が変動しても圧縮機の温度変動を抑える。
【解決手段】油冷式ガス圧縮機は、圧縮機本体３と、圧縮ガスから油を分離する油分離器６と、この油分離器で油を分離された圧縮ガスを需要先に送るためのガス配管８と、前記油分離器で分離された油を前記圧縮機に戻すための油配管７を備える。また、前記油を冷却するための空冷熱交換器１３と、この空冷熱交換器に冷却風を送るための回転数制御可能な冷却ファン１４と、前記空冷熱交換器の上流側に設けられ、前記油配管を流れる油から熱回収するための排熱回収熱交換器１０を備え、前記冷却ファンは前記圧縮機本体から吐出される圧縮ガスの温度が所定の範囲になるように回転数制御される。 （もっと読む）

【課題】真空シリンダピストンとピストンの駆動装置との連結構造の簡素化による真空シリンダの省スペース化である。
【解決手段】空力で可動し上端に面壁を備える中空円筒体７の下端に真空シリンダ１のピストン４を接合し、中空円筒体の中にロッド５で固定した円板６を設置して２つの空気室を形成し、中空円筒体上端の面壁とロッドの長手方向に空気通路５ａ，５ｂを備えて２つの空気室にそれぞれ導通し外部設置の空力源と連通させ、前記円板が仕切る円板の上面側と下面側の空気室に圧力空気の供給を交互に行えば、他方の空気室は排気をして中空円筒体と真空シリンダのピストンは往復動し真空シリンダ内に真空室４ａを形成する。かくして、該真空シリンダピストンの駆動装置を真空シリンダ外部に構成設置することなく、省スペースが可能になる。 （もっと読む）

【課題】従来、圧力容器等の蒸煮器によって蒸煮された加工材料を大気圧力以下に真空吸引し冷却、又は乾燥せしめる際、急を要する性能に伴い大型．大動力の設備が必要であった。これらの中には、旧来の効率の悪い装置が含まれており、小型化、省エネルギー型の装置の出現が待望されている。
この課題の大半は真空ポンプの性能のいかんにかかっているといって良いが、一方これを支え性能を発揮させる回路装置の技術開発が必要である事も大きな課題である。本件は後述の回路装置を新技術をもっての取り組みである。
【解決手段】小型の真空ポンプに吸引器と呼ぶ容器を接続しあらかじめこの吸引器を真空ポンプによって最高の真空度に到達させる。真空吸引する蒸煮器との配管回路を急開して吸引器に蒸気を瞬時に吸引せしめ、この急激な圧力低下に伴う、加工材料内の水分の沸騰促進の作用をもって、冷却と乾燥を急速に進行させる。 （もっと読む）

【課題】低コストで、かつ、タクトタイムの短い真空処理装置を提供すること。
【解決手段】複数のロードロックチャンバ１１〜１４と、ロードロックチャンバに各々開閉部を介して連通する複数のプロセスチャンバ５１〜５４とから構成されてなる真空処理装置１であって、各ロードロックチャンバを選択して排気する１つの第一排気手段３１と、プロセスチャンバ毎に設けられ、各プロセスチャンバを個別に排気する複数の第二排気手段７１〜７４と、ロードロックチャンバに排気の必要性が生じた場合に、ロードロックチャンバの状態に応じた優先度を付加した排気要求を発行する制御手段と、複数の排気要求を優先度に従って順序調整することにより、複数のロードロックチャンバの中から第一排気手段が排気処理を実施する１つのロードロックチャンバを選択し、第一バルブの開閉動作を指示する順序調整手段と、を少なくとも備えた真空処理装置を提供する。 （もっと読む）

冷却ユニット用メンテナンス機には、冷却ユニットの冷媒を保持及び圧縮することが可能であることが必要とされる。さらに、冷媒を空にした冷却路に接続され、湿気と空気を吸引する真空ポンプを必要とする。本発明のメンテナンス機は、一方の方向に回転するとフリーホイール（４７）を介してコンプレッサ（４９）を作動させるモーター（３４）を備える。また、前記モーターは、他方の方向に回転すると第２フリーホイール（５０）を介して真空ポンプ（５２）を作動させる。メンテナンス機は、２つの異なった機能を果たすが、これが備えるモーターは１つである。前記メンテナンス機は、メンテナンス係が運べるように軽量である。さらに、前記メンテナンス機は、小型であり、効率の良い方法で製造可能である。
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本発明は、マイクロシステム技術を用いて構成された容積型ポンプに関し、好ましくは、真空ポンプとして用いられる容積型ポンプに関する。
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【課題】高い吸入効率を維持しながら、優れた耐久性と静粛性とを実現可能なピストン式圧縮機を提供する。
【解決手段】本発明のピストン式圧縮機は、フロントシリンダブロック１に斜板室２５に繋がる吸入口１ｃが形成されている。斜板２７のボス部２７ａには、径方向にそれぞれ延びて斜板室２５に開き、互いに回転方向で１８０度ずれた導入孔２７ｃ、２７ｄが形成されている。駆動軸１３には中心孔１３ａと案内孔１３ｂ、１３ｃと吸入案内孔１３ｄ、案内孔１３ｅとが形成されている。フロント側の導入孔２７ｃ及び案内孔１３ｂの流路面積と、リヤ側の導入孔２７ｄ及び案内孔１３ｃの流路面積とは、各導入孔２７ｃ、２７ｄが吸入口１ｃに最も近づいた場合において、吸入口１ｃから導入孔２７ｃ、２７ｄまでの距離が長い方が吸入口１ｃから導入孔２７ｃ、２７ｄまでの距離が短い方よりも大きい。 （もっと読む）

【課題】真空処理装置および真空処理方法の省エネルギー化を実現する。
【解決手段】真空処理装置１００は、被処理体が収容される処理容器１０１と、処理容器１０１から被処理体が搬送される搬送容器１０７と、処理容器１０１内を真空排気する、ターボポンプ１０３及びドライポンプ１０６（第一のドライポンプ）と、搬送容器１０７内を真空排気するドライポンプ１１０（第二のドライポンプ）と、処理容器１０１、ターボポンプ１０３、及びドライポンプ１０６を、この順で接続する排気ライン１３１（第一の排気ライン）と、搬送容器１０７及びドライポンプ１１０を接続する排気ライン１３２（第二の排気ライン）と、ターボポンプ１０３及びドライポンプ１０６の間の部分と、かつ排気ライン１３２とを接続する排気ライン１３３（第三の排気ライン）と、排気ライン１３３に設けられたバルブ１１９と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】圧縮機本体および動力源に不要な負荷をかけることによるエネルギロスを抑制することができる圧縮機の提供。
【解決手段】アンローダ配管１５の経路中に、アンローダシリンダに流す圧縮気体を貯留する第２のタンク２１と、第２のタンク２１と第１のタンク１７との間に設けられて第２のタンク２１への圧縮気体の流れ込みを許容する開閉弁２２と、第２のタンク２１とアンローダシリンダとの間に設けられて第２のタンク２１内の圧縮気体をアンローダシリンダへ導入する状態とアンローダシリンダ内の圧縮気体を排気する状態とに切り換えられる電磁切換弁２３とを有する。 （もっと読む）

【課題】 再起動時間を短縮し、冷却システム側の均圧化時間を短縮し、オイルと冷媒の流出を防止する。
【解決手段】 正圧時は、差圧が所定値以下で第１流路１１から第３流路１５への流れを遮断し、差圧が所定値を超えると前記の流れを可能にし、逆圧時は、差圧が所定値以下で第３流路１５から第１流路１１への流れを遮断し、差圧が所定値を超えると前記の流れを可能にするスライド弁１７と付勢手段１９，２１とを設けた。 （もっと読む）

【課題】真空度が比較的高い状態下での消費電力を大幅に低減する真空ポンプ装置を提供すること。
【解決手段】吸気口と排気口とが空間的に連通された真空ポンプ装置において、吸気口と排気口との間に排気速度がそれぞれ異なる複数のポンプを並列に配設し、装置負荷が低いときほど排気速度がより低いポンプを用いてポンピングが行われるように上記複数のポンプの駆動を制御する。 （もっと読む）

【課題】エアー貯留槽を備えた小型軽量のエアーポンプを提供する。
【解決手段】進退駆動されるピストン２７によってピストン室２５の容積の拡張と縮小とを繰り返させ、このピストン室２５の容積の拡張に伴って生じる第一逆止弁５３の開放駆動及び第二逆止弁６０の閉鎖駆動によって外気を吸引させる一方、ピストン室２５の容積の縮小に伴って生じる第一逆止弁５３の閉鎖駆動及び第二逆止弁６０の開放駆動によってエアーを圧搾するとともに、その圧搾エアーをエアー貯留槽１２に順次送り込むようにした。ここで、エアー貯留槽１２に送り込まれる圧搾エアーを順次に外気に放出すれば、エアーポンプ１を真空ポンプとすることができる一方、エアー貯留槽１２内に圧搾エアーを貯留すればエアー圧縮ポンプとなる。 （もっと読む）

膜ポンプは、第１軸に沿って第１位置と第２位置の間で移動できる膜(33)と、膜の一方側にあって,ポンピングされる流体を収容するポンプ室(24)と、膜の他方側にあって,作動油で満たされる輸送室(20)と、第１および第２の一方向弁と、この第１および第２の一方向弁を介して輸送室と連通する油タンクと、第１および第２の一方向弁を通る作動油の流れを制御すべく輸送室内に設けられた弁スプール(42)を備え、弁スプールは、上記第１軸と異なる第２軸に沿って上記第１および第２の一方向弁の開口に対する複数の位置の間を移動できる。
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【課題】密閉室と真空ポンプとを接続する吸込み流路の開閉又は流量制御を行なうバルブ機構を設けることによって、真空ポンプの吸込部を閉鎖可能にする。
【解決手段】密閉室１に吸込み流路３ａ、３ｂを介して複数台の真空ポンプＡ、Ｂを接続し、該複数台の真空ポンプを用いて密閉室１を真空状態にする真空排気装置において、各真空ポンプＡ、Ｂの吸込み流路３ａ、３ｂに大気圧と真空ポンプの吸込圧を利用して該吸込み流路を開閉可能なバルブ機構４ａ、４ｂを設け、各真空ポンプＡ、Ｂの作動又は停止と該吸込み流路３ａ、３ｂの開放又は閉鎖を同期させながら各真空ポンプＡ、Ｂの作動を制御することにより、密閉室１を真空状態とするように構成する。 （もっと読む）

【課題】例えば長期停止後等の立ち上げ時に短時間で製品ガスを取り出し可能となり、電力消費を抑制することが可能なガス昇圧圧縮装置の提供。
【解決手段】気体分離手段５により分離された製品ガスを貯留する第１の貯留タンク１５と、第１の貯留タンク１５から供給される製品ガスを昇圧するガス圧縮機２４と、ガス圧縮機２４により昇圧された製品ガスを貯留する第２の貯留タンク３６とを備え、第１の貯留タンク１５と第２の貯留タンク３６とをガス圧縮機２４をバイパスして連通させるバイパス配管５１を設けてなる。 （もっと読む）