【課題】適用対象により適合させた設計を可能とする極低温冷凍機、及びその冷凍機を適用したクライオポンプを提供する。
【解決手段】冷凍機５０は、長手方向に隣接する２つのディスプレーサを備え、高温側のディスプレーサは蓄冷材のための主収容区画と副収容区画とを含む。２つのディスプレーサの間に作動気体の直通流路が形成されている。クライオポンプ１０は、低温クライオパネル６０と、低温クライオパネル６０よりも高温に冷却される放射シールド４０と、冷凍機５０と、を備える。 （もっと読む）

【課題】クライオポンプの冷凍機の逆転昇温による昇温能力を高める。
【解決手段】クライオポンプシステム１００は、クライオパネル６０の冷却運転とクライオパネル６０の再生のための昇温運転とを行うための冷凍機５０を備えるクライオポンプ１０と、冷凍機５０に作動気体を供給するための圧縮機５２と、を備え、冷却運転よりも昇温運転において圧縮機５２の供給作動気体温度を高くする。圧縮機５２は、冷凍機５０に供給する作動気体を冷却するための熱交換器と、熱交換器を迂回するバイパス路と、を含んでもよい。制御部２０は、冷凍機５０の運転状態に応じて、熱交換器を経由する流路とバイパス路を経由する流路とを切り替えてもよい。 （もっと読む）

【課題】排気対象容積を所望の真空度に短時間で回復させることを可能とするコールドトラップ及び真空排気装置を提供する。
【解決手段】コールドトラップ２１０は、冷凍機２２２と、冷凍機２２２に熱的に接続され冷却されるコールドパネル２２０と、を備える。コールドパネル２２０には粗面２４２が形成されている。コールドトラップ２１０は例えば、ターボ分子ポンプ２１２に真空チャンバ２１６を接続する排気流路２１４に配置され、真空チャンバ２１６から排気流路２１４を通じてターボ分子ポンプ２１２へと吸入されて排気される気体の一部をコールドパネル２２０の表面に凍結して捕捉する。 （もっと読む）

【課題】クライオポンプ内部の複数の異なる温度領域のそれぞれを所望の温度範囲に容易に収めることが可能となる。
【解決手段】クライオポンプ１００は、第１冷却ステージ１３と、第１冷却ステージ１３から延びるシリンダ部材１２と、第１冷却ステージ１３とは反対側のシリンダ部材１２末端に設けられた第２冷却ステージ１４と、を備え、シリンダ部材１２の内部における作動気体の膨張作用により寒冷を発生して第２冷却ステージ１４を第１冷却ステージ１３よりも低温に冷却する冷凍機５０と、第１冷却ステージ１３に熱的に接続されており、第２冷却ステージ１４が内部に配置されるようにシリンダ部材１２により貫通されている放射シールド４０と、を備える。シリンダ部材１２は、放射シールド４０から外向きにオフセットを有して放射シールド４０の外部に第１冷却ステージ１３が配置されるように放射シールド４０の内部から外部へと延びている。 （もっと読む）

【課題】真空槽内配置型コールドトラップの連続使用および再生を従来よりも効率に行うことができる真空排気装置を提供する。
【解決手段】真空排気装置１０２は、真空槽１０内を排気できる真空ポンプ１１と、真空槽１０内のガスを凍結トラップできるコールドトラップ３５と、真空槽１０内に配された凹型の蓋部３２と、蓋部３２に対置された平板状の座部３３と、を備える。そして、蓋部３２と座部３３とによって、コールドトラップ３５を格納できるコールドトラップ室３７の形成が行われる。 （もっと読む）

【課題】 エネルギー消費の少ない真空排気技術を提供すること。
【解決手段】冷凍機を有する真空排気ポンプの複数台が共通の圧縮機に繋がれており、複数台の真空排気ポンプのうちの少なくとも一台は、冷凍機のバルブが動作することによってシリンダの内部が低圧状態から高圧状態に移行することにより、低圧状態のガスが断熱圧縮される工程と、断熱圧縮されたガス中をディスプレーサが通過する工程とを含む動作を繰り返す運転をしており、複数台の真空排気ポンプのうちの他の少なくとも一台は、冷凍機のバルブが動作することによってシリンダの内部が高圧状態から低圧状態に移行することにより、高圧状態のガスが断熱膨張する工程と、断熱膨張したガス中をディスプレーサが通過する工程とを含む動作を繰り返す運転をしている。 （もっと読む）

【課題】別室式コールドトラップ室のスペースの有効利用を図れ、バルブ駆動系の構成が簡易になる真空排気装置を提供する。
【解決手段】真空排気装置１０２は、コールドトラップ２２が配されたコールドトラップ室１２と、コールドトラップ室１２の排気入口１２Ｃを開閉する第１バルブ弁体１７Ａと、真空槽１０を真空排気する真空ポンプ１１と、真空ポンプ１１の排気入口１９Ｂを開閉する第２バルブ弁体１８Ａと、第１バルブ弁体１７Ａおよび第２バルブ弁体１８Ａに対して開閉用の駆動力Ｆを与える駆動部２０と、駆動力Ｆを伝達する駆動力伝達手段２１Ａ、２１Ｂと、を備え、駆動部２０は、駆動力伝達手段２１Ａ、２１Ｂを用いて第１バルブ弁体１７Ａと第２バルブ弁体１８Ａとを一体的に動かすことができる。 （もっと読む）

【課題】高い体積比熱を有し、長期間の運転で劣化する恐れがなく、所望の形状に作製可能な、安全でしかも低コストの蓄冷材、当該蓄冷材を有する冷凍機、当該冷凍機を備えるクライオポンプ、および当該クライオポンプの動作方法を提供する。
【解決手段】本発明にかかる蓄冷材は錫−アンチモン（Ｓｎ−Ｓｂ）合金を含む。また、本発明にかかる冷凍機では、少なくとも１つの冷却段における蓄冷材が、錫−アンチモン（Ｓｎ−Ｓｂ）合金を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】トラップ容器を真空処理装置と主排気ポンプの間に配置したままで、冷却パネル及び冷凍機の取り外しを可能にする。
【解決手段】クライオトラップ１は、少なくとも気体を凝縮して排気する冷却パネル６と、冷却パネル６を冷却する冷凍機２とを有する冷却ユニットがトラップ容器７に支持され、トラップ容器７を介して真空処理装置と主排気ポンプに結合される。トラップ容器７の開口部１３から冷却ユニットの冷却パネル部分を連結管内へはめ込み、トラップ容器７を真空処理装置と主排気ポンプとの間に接続したまま、冷却ユニットを分離可能とした。 （もっと読む）

【課題】排気パネルと冷却ステージを熱的に離接可能にしたコンパクトな機構を採用し、冷凍機を運転したままクライオトラップの起動時間及び再生時間の短縮を図る。
【解決手段】真空容器３内に固定して設置され、冷却することにより気体を凝縮して排気する排気パネル７と、冷凍機２と接続し冷却される冷却ステージ５とを有するクライオトラップ１であって、冷却ステージ５と熱接触を保持し、固定して設置された蓄冷体６と、蓄冷体６と排気パネル７を熱的に連結・遮断する機構とを備える。熱的に連結・遮断する機構は、排気パネル７と蓄冷体６に対して離接可能な良熱伝導性の可動部を有する。 （もっと読む）

【課題】チタン等のゲッター材を蒸発させても、蒸発したゲッター材が不必要な箇所に蒸着することを防止できるゲッターポンプ、減圧構造及び反応装置並びにそれらを用いた発電装置及び電子機器を提供する。
【解決手段】基材２の上に絶縁膜３が形成され、絶縁膜３の上に温度センサ兼ヒータ８が葛折り状にパターニングされている。温度センサ兼ヒータ８は、下層から順に密着層４、拡散防止層５、電熱層６及び拡散防止兼密着層７を有し、温度センサ兼ヒータ８が層間絶縁膜９によって被覆されている。層間絶縁膜９の上に蒸発型のゲッター膜１０が成膜されており、ゲッター膜１０はカバー１２によって覆われている。カバー１２とゲッター膜１０との間には隙間１３があり、その隙間１３は開放されている。 （もっと読む）

【課題】真空乾燥装置における蒸気凝結器を、伝熱性能の向上、冷媒と凝結面の真空蒸気との伝達温度差損失の低減、同時に冷媒蒸発円管の核沸騰熱伝達係数と循環熱媒体の境膜伝熱係数の増大が達成でき、良い伝熱性能と高効率蒸気凝結能力を持つようにする。
【解決手段】真空乾燥装置の蒸気凝結器の、冷媒蒸発円管を、平滑管から内面溝付き円管に変更して、扁平な楕円管に変形加工し、一対の扁平面の一方または両方を、熱媒液体の通路の内壁面に密着する状態として前記通路内に装入し、冷媒蒸発楕円管と蒸気凝結プレート内の熱媒液体の通路の内壁面との密着面積を増大させ、かつ、液体の通路内に装入した冷媒蒸発楕円管に沿って等間隔に乱流を起こす棒を取り付けて、冷媒蒸発楕円管外表面の層流を擾乱して熱媒液体の対流境膜伝熱を促進する。 （もっと読む）

【課題】真空容器、真空ポンプ、真空ポンプと真空容器を連結する排気管を備えた真空系の排気管に着脱容易に取り付けられ、保守管理が容易なダスト吸着用トラップの提供。
【解決手段】端部にフランジ（６，８）を取り付けたダスト吸引管（５）の所定箇所に、内部にメタルメッシュフィルタ（１２）を固定し両端開口した枝管（１１）を溶接して一体とし、ケーシング（２）内に収容し、ダスト吸引管（５）の延長部（７）をケーシング（２）から貫通させ、その開口端部を着脱可能なクランプ（９）で気密封止し、延長部（７）の内部にカートリッジに充填したダスト吸着剤（１０）を封入し、延長部（７）に窓（１３）を取り付けダスト吸着剤（１０）を外部から視認可能とする。 （もっと読む）

【課題】吸着容量の増加および高速度排気をともに実現することにより低電力消費を実現するコールドトラップ、および、このような利点を持つコールドトラップにターボ分子ポンプを併用した真空排気装置を提供する。
【解決手段】真空チャンバ２０内空間に設置されるコールドパネル２００と、この真空チャンバ２０の内部空間で冷却端１０５が可撓性熱伝導部材１０９を介してコールドパネル２００に熱的に接続されて配置される冷凍機１００と、を備えるコールドトラップ１０とした。また、このようなコールドトラップ１０が設置された真空チャンバ２０内に配管を介してターボ分子ポンプを接続した真空排気装置とした。 （もっと読む）

【課題】 吸着容量の増加および高速度排気をともに実現することにより低電力消費を実現するコールドトラップ、および、このような利点を持つコールドトラップにターボ分子ポンプを併用した真空排気装置を提供する。
【解決手段】
真空チャンバ２０内空間に設置されるコールドパネル２００と、この真空チャンバ２０の内部空間で冷却端がコールドパネル２００に熱的に接続されて配置される冷凍機１００と、を備えるコールドトラップ１０とした。また、このようなコールドトラップ１０が設置された真空チャンバ２０内に配管４０を介してターボ分子ポンプ３０を接続した真空排気装置１０００とした。 （もっと読む）

真空ポンプ排出システムが、第１のガス、例えばキセノンを真空チャンバに供給する第１のガス供給源を有する。ポンプが、チャンバからのガス出力を受け入れる。第２のガス供給源が、第１のガスと共にポンプ排出のためのパージガス、例えば窒素又はヘリウムを供給する。ガスセパレータが、ポンプにより排出されたポンプ排出ガスを受け入れて流れから第１のガス及びパージガスを回収する。回収した第１のガスを真空チャンバ経由で再循環させ、回収した第２のガスを少なくともポンプ経由で再循環させる。
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