【課題】 小型で薄いポンプ構成にして吐出圧が高く、振動や騒音が小さい電磁駆動のダイヤフラムポンプの提供。
【解決手段】 円環状の電磁コイル１５、１６の内に永久磁石１４とダイヤフラム１７の凹部１８が入れ込まれ、凹部１８の底部１９に磁極面２０が固着された永久磁石１４が他方の磁極面２１もほぼ同様に固着されて軸方向可動に支持され、凹部１８の底部１９を挟み磁極面２０に吸引配置された軟磁性体プレート２３および同様の配置の軟磁性体プレート２４と電磁コイル１５、１６周りの軟磁性体ヨーク２２で駆動力を強くし、ダイヤフラム１７の外に凸なコルゲーション形状の支持部４５で振動、騒音レベルを低くする。 （もっと読む）

【課題】マイクロポンプ中へ気泡が混入することを抑制でき、それだけ安定した流量特性が得られる送液装置を提供する。液体原燃料の希釈用液等の使用液体中の気泡の影響を抑制して希釈液体燃料を電池へ安定して供給でき、それだけ発電性能を良好に維持できる燃料電池装置を提供する。
【解決手段】複数種類の液体の混合、希釈等のためにマイクロポンプＰａ、Ｐｂにより液体を送り合流させる送液装置ＭＴ’。ポンプ上流側の液通路に気泡トラップＴｒを設け、トラップＴｒで捕捉される気泡の排除手段（気泡抜き孔ｈ、気泡排除装置ＥＸ、気泡センサＡＳ又は気泡量推測部、コントローラＣＯＮＴ）を設ける。かかる送液装置構造を利用した送液ユニットＰＵ又はポンプユニット１で原燃料を希釈用液で希釈して燃料電池３へ供給し、生成される水を回収容器６を介してユニットＰＵやユニット１へ循環させる燃料電池装置Ｃ１、Ｃ２。容器６に対し気泡排除手段ＡＤを設ける。 （もっと読む）

本発明は液体を送出するメンブランポンプに関する。更に詳細には、ポンプハウジング及びポンプ膜を有するポンプが提供され、ポンプハウジングにはポンプキャビティがキャビティの第１壁部と第２壁部との間に形成される形で設けられ、ポンプ膜はポンプキャビティ内に位置する第１膜表面及び第２膜表面を有し、この構成によってポンプチャンバーが第１壁部と第１膜表面との間に形成され、そして作動チャンバーが第２壁部と第２膜表面との間に形成される。ポンプチャンバーと流体連通する吸引バルブを含む吸引手段及びポンプチャンバーと流体連通する排出バルブを含む排出手段が設けられる。ポンプ膜は最大容積位置、及び伸張状態の第１膜表面が第１壁に当接する枯渇容積位置を有する。膜を駆動するために、周期的にポンプ膜を最大容積位置と枯渇容積位置との間でシフトさせる作動手段を設けるので、使用状態において流体の流れを生じさせることができる。
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高圧下で海水または他の流体を送給するための往復ポンプ（１０）。ポンプ（１０）は、内部空間（１３）および内部空間への開口（１８）を画成する本体（１１）を有する。プランジャ（２５）が、開口（１８）を通って内部空間（１３）内に延在する。シース（３０）が開口（１８）を閉鎖しその内側においてプランジャ（２５）を取り囲み、それによって、ポンプチャンバ（３３）が本体（１１）とシース（３０）との間に画成される。シース（３０）は、ポンプチャンバ（３３）内に容量変化を生じさせるために、プランジャ（２５）の往復運動に応じて変形可能であり、基本的に変形しない第１の部分（３１）と、プランジャ（２５）を取り囲み且つプランジャの往復運動に伴い伸縮変形する第２の部分（３２）と、を備えている。第１の部分（３１）には、ポンプ本体（１１）に挟持される装着フランジ（３５）が画成されている。シース（３０）は、その開口端に隣接した窪み（４５）を備え、窪み（４５）内に補強スリーブ（４７）が位置し、補強スリーブ（４７）とプランジャ（２５）との間にキャビティが画成されている。シース（３０）とプランジャ（２５）との間の接触面を潤滑する手段が設けられている。
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【課題】たくさんの能動素子を含む回路の温度を受け入れられるレベルに維持する能力のある冷却装置を提供することである。
【解決手段】本発明は、絶縁基板中に形成された空洞を有し、基板の上部は縁を形成し空洞の近くに置かれ、縁まで空洞の内部を覆い、縁を覆うことができる導電層と、導電媒体で形成され空洞の上に置かれ、縁に支えられているフレキシブル膜と、お互いに近接した導電層と膜の部分を絶縁するため、導電層または膜を覆っている誘電性層と、絶縁基板の中に形成され、導電層の開口部を通して空洞の中につき出る少なくとも一つの通風ダクトと、導電層と膜の間の電圧印加のための端子とを備えているポンプに関する。 （もっと読む）

本発明は、媒体流を生成するための装置（１）であって、チャンバ（４）を有し、このチャンバ（４）は、互いに対向して位置するチャンバ壁（２，３）と、媒体流のための少なくとも一つの媒体開口（２７，２８，２９，３０）とを備えるとともに、ダイヤフラム手段（５）によりチャンバ（４）内において媒体流を生成することができ、ダイヤフラム手段（５）は、装置（１）の非動作状態においては、互いに対向して位置するチャンバ壁（２，３）間にあるチャンバ（４）内に実質的に張力が加えられていない状態で配置されるとともに、ダイヤフラム手段（５）には、このダイヤフラム手段（５）を駆動して変形させるための電気的な駆動信号に応答する駆動手段（６）が関連付けられており、駆動手段（６）は、装置（１）の動作状態において、ダイヤフラム（５）を変形させるようになっており、この変形中において、ダイヤフラム手段（５）は、機械的な内部張力を有している、装置に関する。
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【課題】水に対する濡れ性を良くし、定量精度あるいは検出精度を安定させるマイクロ流路を提供する。
【解決手段】作動流体５０が通過するマイクロ流路１００の流路表面の一部あるいは全面に形成された金属層１０４の表面に、末端基に親水基１０５を有する硫黄化合物皮膜１０６を形成する。 （もっと読む）