【課題】流体を外部へ漏れることなく高圧で流出できると共に、振動や騒音が抑えることができるダイヤフラムポンプを提供する。
【解決手段】このダイヤフラムポンプ１は、内部が流体の流路をなし、対向する両端面が開口された本体ケース１０と、この本体ケース１０の両端開口部を閉塞するように、その周縁を固着された一対のシート状のダイヤフラム３０，３０と、本体ケース１０及びダイヤフラム３０，３０で囲まれた内部空間Ｓに連通するように形成された流入通路１５及び流出通路１７と、流入通路１５に設けられ、内部空間Ｓが減圧されたときに開き、加圧されたときに閉じる第１弁体１８と、流出通路１７に設けられ、内部空間Ｓが加圧されたときに開き、減圧されたときに閉じる第２弁体１９と、一対のダイヤフラム３０，３０を互いに近接する方向及び離反する方向に同期させて動かす駆動手段とを備えている。 （もっと読む）

【課題】ポンプ室に溜まった空気を確実に排出でき、吐出圧力を高めることができる圧電ポンプを提供する。
【解決手段】圧電素子２１の中央部と対面するポンプ室１２の内底面に台部１６を形成し、台部１６の外周に流入口１４及び排出口１５へ通じる流路部１７を形成する。圧電素子２１を屈曲変形させると、圧電素子２１の中央部と台部１６との隙間が狭いので、台部１６の上に存在する液体が外周側の流路部１７へ押し出され、空気は流路部１７でトラップされる。さらに、ポンプ室１２の容積変化に伴い、流路部１７の液体は排出口１５へと排出され、空気も一緒に排出される。 （もっと読む）

【課題】 電気を使用することなく、且つ、構造が簡単なダイヤフラムポンプを得ること。
【解決手段】 ポンプケーシング１の吸引口５に逆止弁７を介して輸送流体供給管６を接続し、吐出口８に同様に逆止弁１１を介して輸送流体吐出管１０を接続する。吸引口５と吐出口８の間に給排室９を形成してダイヤフラム２を配置する。ダイヤフラム２の下部に駆動流体通過阻止弁３を取り付ける。ダイヤフラム２の下方に、吸引室１５を形成すると共に、エゼクタ４を配置する。
エゼクタ４へ駆動流体を供給することによって吸引力を発生して、ダイヤフラム２を下方へ変位させ、給排室９へ輸送流体を吸引し、更にダイヤフラム２が下方へ変位して駆動流体通過阻止弁３がディフューザ１４の入口部を閉止して給排室９の輸送流体を吐出する。 （もっと読む）

本発明は、減少されたデッドボリュームを伴う少なくとも１つの弁／ポンプユニット（２）を含むマイクロ流体装置（１）に向けられており、マイクロ流体装置は、基板（３）を含み、基板（３）の下方表面には、基板（３）上の流体試料（５）流を方向付けるよう、少なくとも２つのマイクロ水路（４）が配置され、それによって、２つのマイクロ水路（４）は、端と端とが接続せずに接続され、且つ、基板（３）の弁地域（６）によって分離され、少なくとも１つの可能性膜（７）を含み、可撓性膜（７）は、基板（３）の下方表面に配置され、可撓性膜（７）に隣接して配置された上方表面（９）を備える作動素子（８）を含み、可撓性膜（７）の下方表面に配置される少なくとも１つのカバー素子（１０）を含み、カバー素子（１０）は、作動素子（８）の動作が、基板（３）に対する指向性流体流を引き起こし或いは停止するために、隣接して配置される可撓性膜のポンプ及び／又は弁作用を引き起こすよう、作動素子（８）を受け入れるための少なくとも１つの貫通切欠き（１１）を含むので、２つの端と端とが接続されないマイクロ水路の間の流体流は、弁地域（６）を覆う可撓性膜（７）によって形成される一時的に形成可能な水路（１２）を通じて、基板（３）の下方表面の弁地域（６）及び可撓性膜（７）の上方表面の間に方向付けられ、それによって、基板の下方表面に向かう作動素子（８）の動作は、弁作用を引き起こし、基板の下方表面と反対への動作は、室（１３）内の空間を解放し、可撓性膜（７）は、一時的な水路（１２）を形成するよう、室内に係合することができ、作動素子（８）の上方表面（９）は、弁地域（６）で膜表面（７）を少なくとも部分的に覆う。

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液体を計量するポンプを示す。そのポンプは、フレキシブルなチューブから構成される。フレキシブルなチューブ内にリリーフ弁を伴い、チューブは容器に連結される。ハウジングは、フレキシブルなチューブを受け入れる開口を定める。その開口の近くに、圧縮表面がある。往復部材は、シールエレメントとポンプエレメントを含む。ドライブがシールエレメントを動かし、フレキシブルなチューブを圧縮表面にはさみつぶす。圧縮表面はリリーフ弁の上流であるため、シールエレメントとリリーフ弁との間に液体を捕らえる。ドライブは、また、ポンプエレメントを動かし、フレキシブルなチューブを圧縮表面につぶす。それにより、捕らえた液体を所定量だけリリーフ弁から排出する。
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【課題】ポンプ室の容積を小さくすることができ、かつ、微小吐出と微小な吐出量の制御が可能なマイクロポンプ及びそれを備えた徐放装置を提供する。
【解決手段】マイクロポンプ１００は、ポンプ室１と、外部からポンプ室１に液体を吸入するための吸入口２と、吸入口２において液体の流れを調節するための吸入側逆止弁３０と、ポンプ室１の内部からポンプ室１の外部に液体を吐出する吐出口４と、吐出口４において液体の流れを調節するための吐出側逆止弁５０と、ポンプ室１の容積を変化させるための振動板６とを備え、吸入側逆止弁３０は、その一部が振動板６に接触するようにポンプ室１に組み込まれている。 （もっと読む）

【課題】２００ｂａｒ以上の高圧と３００℃以上の高温における固体成分の多い粘着性の媒体を確実かつ有利なコストで運搬できるポンプ装置を提供する。
【解決手段】２つまたは２つの整数倍個の流体運搬空間と該流体運搬空間に属するダイアフラムとを有する第１ダイアフラムポンプヘッドであって、該第１ダイアフラムポンプヘッドの駆動用第２ポンプヘッドと液圧式結合された第１ダイアフラムポンプヘッドを備えたポンプ装置において、前記第２ポンプヘッドが、２つの付加的流体運搬空間及び関連付けられた付加的ダイアフラムを有していると共に、関連付けられたダイアフラム制御空間を介して、複動ピストンにより駆動され得るものであり、前記ダイアフラム制御空間のそれぞれに詰め替えバルブが接続され、該詰め替えバルブを使用する際に、前記ダイアフラム制御空間に、大気圧より大きいダイアフラム圧が一時的に加えられることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】流体を高圧で流出できると共に小型化を図れ、振動や騒音が抑えられたポンプを提供する。
【解決手段】このポンプ１０は、流体の流入口２１及び流出口２３を有し、内部に流路２５が形成されたポンプケース２０と、流路２５の一部を横切って対向する方向に配設された一対のシリンダ２７，２７と、各シリンダ２７内にそれぞれ配置された一対のピストン１２０，１２０と、各ピストン１２０を、流路２５に向かう方向及び流路２５から遠ざかる方向に同期してスライドさせる駆動手段と、流路２５のシリンダ２７との交差部より流入口２１側に配置され、流路２５内が減圧されるときに開き、加圧されるときに閉じる第１弁体７０と、流路２５のシリンダ２７との交差部より流出口２３側に配置され、流路２５内が加圧されるときに開き、減圧されるときに閉じる第２弁体７２とを備えている。 （もっと読む）

【課題】薬液を高精度で吐出することができる薬液供給装置を提供する。
【解決手段】薬液供給装置１０ａは薬液タンク２５内の薬液を塗布ノズル２７から吐出させるために使用される。薬液供給装置１０ａは、ポンプケース１１とシリンダ１２とが一体となった合体部材１３を有し、ポンプ部材である可撓性チューブ１５はポンプケース１１に設けられており、その内側はポンプ室１６であり外側は駆動室１７である。シリンダ１２には駆動室３３を形成するピストン３１が組み付けられ、両方の駆動室１７，３３には非圧縮性媒体３５が封入されており、モータ４９によりピストン３１を往復動すると、ポンプ室１６は膨張収縮する。ピストン３１とシリンダ１２との間の隙間はベローズカバー６１により覆われ、ピストン３１とシリンダ１２との間から漏れた非圧縮性媒体３５はシール室６６ａ，６６ｂ内に入り込み外部には漏出しない。 （もっと読む）

【課題】合成噴流を発生する噴流発生装置において、簡易な構成で振動板の状態を監視することができる技術を提供すること。
【解決手段】状態検出回路３０は、増幅器２２の電源（Vcc）ラインに流れる電源の信号を検出するための、検出抵抗２９及び差動増幅器２３、この差動増幅器２３の出力信号Ｓ２のピーク値を検出するピーク検波器２６、上記駆動信号発生器２１で発生した駆動入力信号Ｓ１を半波整流する半波整流器２７、及び、ピーク検波器２６で検出されたピーク信号Ｓ３及び半波整流器２７で整流された半波整流信号Ｓ４とを比較し、振動板９の状態信号Ｓ５を出力する比較器２８を備えている。 （もっと読む）

【課題】均一で正確な吐出量、吐出圧力で、レジスト液などの薬液の塗布を行うことが可能な定量送液ポンプ、およびそれを用いた薬液塗布装置を提供する。
【解決手段】シリンジ本体内を軸方向に往復動するピストン部材と、ピストン部材によって区画され、ピストン部材の移動に連動して、容積が相互に逆方向に増減する２つのシリンジ室と、２つのシリンジ室にそれぞれ連結され、非圧縮性流体の作用によって作動する２つのポンプとを備え、ピストン部材を駆動装置により往復動させることで、２つのシリンジ室の容積を相互に逆方向に増減させて、２つのポンプの吸入工程と吐出工程とを相互に逆に行うように構成した。 （もっと読む）

本発明は、特に定量流体ポンプや流体モータ用で、好ましくは、少なくとも一つの軸方向に伸び少なくとも一つの脈動する内部作動室を規定する管状のピストンを備えたシリンダピストン装置に関する。かかるポンプやモータが適用される特定の分野は、異物、特に摩耗粉も混ざった流体の作動である。特に、２，３百バールから１千バールに至る範囲の高い作動圧力を備えた、特に高速の機器が必要とされ、エネルギ上の効率ファクタと同様に、容積上の効率ファクタも極めて重要な因子になる。従って、本発明の目的は、高い耐久性と同じく上述の類の高い効率ファクタでもって傑出したポンプ或いは流体モータを創り出すことである。この目的のため、少なくとも一つの隙間駆動体（ＴＫ１）が脈動する作動室（ＡＲ）に対し動けるように結合されている。
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一体的なポンプである内蔵型ポンプが、開示されている。このポンプは、リザーバと、ポンピングメカニズムと、少なくとも1つの出口とを有している。前記ポンピングメカニズムは、リザーバの制御された圧縮のために、リザーバ中の必要とされる量の流体を少なくとも1つの出口へと吐出する。
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真空脱気装置１０におけるチャンバ１２を操作可能に空にするのに使用するためのポンプ１４が、チャンバ１２と流体連通する１つ又は複数のポンプ・キャビティ７２、７４と、１つ又は複数のポンプ・キャビティ７２、７４の各１つと流体連通するように配置された出口８３を有する連続した通気路８０、８４とを有する。通気路８０、８４は、液体脱気用途におけるポンプ１４の作動の間の、ポンプ・キャビティ７２、７４内の溶媒凝縮を防止するのに十分な流量でポンプ１４のポンプ・キャビティ７２、７４内へ希薄ガス流を提供するように構成される。
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【課題】吐出する液体に混入した気体を効率的に排気するチューブフラムポンプを提供する。
【解決手段】筐体１１には、その下端に設けられた移送流体を吸入する吸入口１１１及び移送流体を吐出する吐出口１１２が設けられており、その上端に移送流体に混入した気体を排出するエア抜き口１１３が設けられている。さらに、筐体１１には、上述した吸入口１１１と吐出口とを連通する第１の流路１１４が形成されている。また、第１の流路１１４を内包した環状に形成され、吸入口１１１と吐出口１１３とエア抜き口１１２とに連通し、筐体１１の上端近傍において第１の流路１１４と連通する第２の流路１１５が形成されている。 （もっと読む）

【課題】直管型又は直線的流路を輸送流体の流路として使用するとともに、駆動力を得るための熱が輸送流体に影響するのを防止しつつ、沸騰伝播現象により発生する駆動力を搬送動力として利用して任意の流体を輸送する。
【解決手段】流体輸送機構(1) は、輸送流体(4)の流路(5) 、駆動液収容域(3) 及びダイヤフラム(6) を有する。駆動液(2) を加熱する発熱面(10a) を備えた発熱体(10)が、駆動液収容域に配設される。発熱面の過熱温度よりも高い過熱温度に昇温したトリガー部(11)が、トリガー気泡(P) を発熱体端部に発生させ、発熱面上に沸騰伝播現象を誘起する。駆動液収容域、発熱体及びダイヤフラムは、流路に沿って延び、気泡(B)が、沸騰伝播現象によって収容域に発生する。ダイヤフラムは、流路内に隆起し且つ流路に沿って遷移する変形部(6a)を形成する。 （もっと読む）

【課題】蠕動ポンプ内にあるホースの寿命を大幅に増大させる。更にポンプ能力をポンプの循環速度の増加によって増加させる。
【解決手段】媒体の循環のための蠕動ポンプは、弾性的に変形可能なホースを備え、ホースが加圧面に抗して置かれ、ホースは媒体注入口と媒体排出口を有し、加圧要素がホースに沿って移動するように、加圧要素は、稼働中、加圧要素に接触しているホース部分を加圧面に抗して押圧しながら、ホース部分を局所的に圧縮して閉塞し、加圧手段の稼働の間、媒体は媒体注入口を経て引き込まれ、そして圧力下で媒体排出口を経て排出される。このポンプは、加圧面、ホースおよび加圧要素を備えた加圧手段は潤滑剤を含む槽内に置かれ、ホースは均質な熱可塑性の加硫物のみからなるという特別な特徴を持っている。 （もっと読む）

【課題】膜式ポンプにおいて、膜部材の耐久性を確保しながら大流量・高吐出圧を実現する。
【解決手段】ダイヤフラム２１で区画された主流体加圧室２ｂと背圧室２ａとを備え、背圧室２ａにポンプ手段で圧送された作動流体を導入する導入配管５ａが接続し導入した作動流体で主流体加圧室２ｂの主流体を加圧して圧送する膜式ポンプ２Ａにおいて、背圧室２ａに、作動流体を作動流体貯留容器側に戻す戻し配管５ｂが底壁側に接続されるとともにダイヤフラム２１の変位に応じて戻し配管５ｂ開口部を開閉する弁構造が設けられており、ダイヤフラム２１の主流体加圧室２ｂ側への変位量が所定の上限値を超えたときに弁構造が開弁して背圧室２ａの圧力を低下させるものとして、ダイヤフラム２１の変位上限を機械的に自己規制する。 （もっと読む）

【課題】吐出工程と吸引工程とが切り換わる際に発生する際の不安定性を解消可能なポンプ装置の駆動方法を提供すること。
【解決手段】ミキシングポンプ装置１において、吸引工程から吐出工程に切り換わる際、ポンプ室２の内容積を縮小させる方向に弁体１７を移動させる補正工程を行い、吐出工程から吸引工程に切り換わる際、ポンプ室２の内容積を拡大させる方向に弁体１７を移動させる補正工程を行う。このため、バックラッシュに起因する不安定性を解消できる。また、バルブの両側での圧力差に起因する不安定性を解消できる。 （もっと読む）

【課題】気体の吐出の際に外気を効率よく巻き込むとともに、外気を効率よく吸気することで効率よく合成噴流を発生させること。
【解決手段】噴流発生装置１０に装着されたノズル２のノズル本体２０は、その上部表面に斜面２０ａを、下部表面に斜面２０ｂを有し、斜面２０ａには、吐出口２１ａを有する流路２１及び吐出口２２ａを有する流路２２が設けられ、斜面２０ｂには、吐出口２３ａを有する流路２３及び吐出口２４ａを有する流路２４が設けられている。各流路が斜面に設けられているため、ヒートシンクと組み合わせた場合に各吐出口とヒートシンクとの間に十分なスペースが生まれ、噴流発生装置１０から空気を吐出した場合に効率よく外気を巻き込んで合成噴流を発生させヒートシンク側へ供給することができるとともに、吐出した空気を引き戻すことなく外気を効率よく吸入することができる。 （もっと読む）