【課題】 ピストンおよびシリンダの摺動部をシールするシール部材が不要な容積型ポンプを提供する。
【解決手段】 超磁歪アクチュエータ１５により往復動する往復動部材２１とポンプハウジング１３とを金属ベローズ１９で接続してポンプ室２２を区画し、ポンプ室２２に吸入弁２３および吐出弁２４を接続したので、シール部材を介して摺動するピストンおよびシリンダを不要にし、部品点数の削減、摺動抵抗の削減およびシール部材の噛み込みによる作動不良の回避が可能になる。またポンプ室２２の内部に作動流体排除ブロック２９を配置して該ポンプ室２２の容積を減少させたので、高圧時における作動流体の圧縮性の影響を最小限に抑えてポンプ効率を高めることができる。 （もっと読む）

【課題】 圧電素子などの高価で複雑なポンプ駆動源を使用せずに簡単にポンプ動作を行うことができる簡易式マイクロポンプを集積化したマイクロ化学チップを提供する。
【解決手段】 第１の基板と、該第１の基板の一方の面側に接着される第２の基板とからなり、前記第１の基板又は第２の基板の少なくも何れか一方にマイクロチャネルが形成されているマイクロ化学チップにおいて、前記第１の基板に、上部が大気に開口したポンプ室と、弁座と、上部が大気に開口した吐出室とが形成されており、前記ポンプ室と弁座と吐出室とを覆う弁膜構造体が前記第１の基板上面に積重されており、前記弁膜構造体は外周部の型枠と該型枠内側の弁膜とからなり、前記吐出室は前記マイクロチャネルに連通していることを特徴とするマイクロ化学チップ。 （もっと読む）

【課題】 ポンプベローズとピストンや連結板とこれらを連結する軸体の同一軸線上からのずれを防止し、ポンプ寿命を延ばすと共に、ポンプ性能を長期間維持し、ポンプのコンパクト化およびコストダウンも実現することができるベローズポンプを提供する。
【解決手段】 軸体２２の一端側外面には雄ネジ６９を、他端には係合頭部７３を形成し、底付円筒状のポンプベローズ７には底部中心部から当該ポンプベローズ内に同一軸線Ｘ上に突出形成する内面に雌ネジ７１を有する底付円筒状の軸体ネジ込み部７０を形成し、軸体２２の一端側をポンプベローズ７の中心部に直接ネジ結合により連結する。ピストン１９や連結板６８には係合頭部７３も含めて軸体２２の他端を嵌め込む中心孔７４を形成し、軸体２２又はピストン１９や連結板６８には中心孔７４との隙間を埋めるＯリング７８を装着し、軸体２２の他端側をピストン１９や連結板６８の中心部に嵌合により連結する。 （もっと読む）

【課題】 長寿命化を図れるダイアフラムポンプを提供する。
【解決手段】ダイアフラムポンプ１０は、ケース２０の内部に可動子３０およびダイアフラム４０を配置し、ケース２０の外部に電磁石部５０を配置した。このため、ケース２０の可動子収納部２１が隔壁となって、電磁石部５０にて発生する熱エネルギーを遮断し、ダイアフラム４０が熱されて劣化するのを防止できる。したがって、ダイアフラム４０の長寿命化を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】マイクロポンプにおいて、微小量の液体を高圧でしかも高精度に送液可能とすること。
【解決手段】マイクロポンプ５０は、微小流路１６に開口する２つ液体出入り流路１９を設けたポート基板１３と、２つバルブダイアフラム１１Ａ及びポンプダイアフラム１１Ｂを設けたバルブ基板と、バルブダイアフラム１１Ａを変位させるバルブ圧電素子１５Ａと、ポンプダイアフラム１１Ｂを変位させるポンプ圧電素子１５Ｂとを備える。バルブダイアフラム１１Ａの中央部に厚肉部１８Ａ、１８Ｂを設け、圧電素子１５Ａ、１５Ｂを積層圧電素子で構成してバルブ基板１３の駆動部設置穴１２Ａ、１２Ｂに設置し、圧電素子１５Ａ、１５Ｂの一側を厚肉部１８Ａ、１８Ｂに固定すると共に他側を位置決め用ピン２０Ａ、２０Ｂに固定し、位置決め用ピン２０Ａ、２０Ｂを駆動部設置穴１２Ａ、１２Ｂに嵌合して固定した。 （もっと読む）

駆動軸を有するモータと、注入口及び排出口を有する圧縮チャンバーと、ダイアフラムが第１位置と第２位置の間で前後に振れるとき、空気が注入口を通って吸入されるとともに、排出口を通って押し出されるように、圧縮チャンバー内に配置されたダイアフラムと、駆動軸に作動的に接続されたクランク軸と、クランク軸の回転動作によって横方向に変位するように構成されるとともに、その横方向の動きによってダイアフラムを振れさせるように配置されたシャトルと、シャトルの非横方向の動作を防止するように構成されたガイド、とを備える圧縮機が提供される。幾つかの実施例では、圧縮機は、約０．２４Ｌ（１５立方インチ）未満の全容積を占める。
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【課題】 圧電体に対する電気配線の耐久性及び信頼性に優れ且つ配線ショートを防止でき、ダイヤフラムの良好な振動作用が得られるダイヤフラム用電極接続端子を得る。
【解決手段】 導電性金属薄板からなるシムの表裏の少なくとも一方に圧電体を積層してなり、該圧電体の周縁が別体の固定部材で気密に固定されるダイヤフラムに取付けられる、給電用の電極接続端子であって、ダイヤフラム外部から固定部材を通して圧電体の露出面上に導かれる給電線を備え、この給電線は、圧電体への導通接続部と固定部材によって押圧された押止部との間に、該導通接続部と押止部とを最短距離で結ぶ直線の圧電体の径方向の長さよりも長い曲折部を有している。 （もっと読む）

【課題】 動作効率のよい圧電ポンプ、およびそれを備えた成績係数（ＣＯＰ：Ｃｏｅｆｆｉｃｉｅｎｔ ｏｆ Ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ）の高いスターリング冷却庫を提供する。
【解決手段】 圧電ポンプ６は、ケーシング６１と、ケーシング６１内の空間を第１作動空間６２と第２作動空間６３とに仕切る圧電素子６８と、第１と第２作動空間６２，６３にそれぞれ作動媒体を吸入する第１と第２吸込部６４，６６と、第１と第２作動空間６２，６３からそれぞれ作動媒体を吐出する第１と第２吐出部６５，６７とを備える。 （もっと読む）

前記蠕動ポンプが、ポンプ本体（３）と可動な圧力要素（７）と駆動手段（８）とを具備し、前記ポンプ本体（３）が、流体密封の導管を形成するような方法で、前記ポンプ本体（３）に固定された可撓性の膜（２）によって覆われる少なくとも一つの第一溝（４）を包含する面を備え、前記膜（２）がさらに、前記導管内に静止流体密封の密閉部分を得るために、前記溝（４）に接して恒久的な接触状態にある密閉畝部（１９）を包含し、前記可動な圧力要素（７）が、前記溝（４）の上の前記膜（２）の一部分を一時的に圧迫し、前記導管に移動する密閉部分を形成するようになっており、前記駆動手段（８）が、前記溝に沿って前記可動な圧力要素（７）を移動するようになっていて、さらに、前記ポンプ本体面に平行な平面に専ら沿って前記可動な圧力要素（７）を移動するようになっていて、前記密閉畝部（１９）を移行する時に、前記密閉畝部（１９）及び／又は前記溝（４）が、前記可動な圧力要素（７）を前記平行な平面内に動かすようになっている、蠕動ポンプにおいて、前記可動な圧力要素（７）が、前記駆動手段（８）の一部分を形成する軸（９）に回転可能に固定され、前記軸（９）が前記膜（２）と平行であることを特徴とする、蠕動ポンプ。
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本発明の実施形態は、ポンプの停滞容積を減らすためのシステムおよび方法を提供する。さらに詳細には、本発明の実施形態は、ディスペンスポンプおよび／または供給ポンプの停滞容積を減らすように定位置を決定するためのシステムおよび方法を提供する。ダイアフラムに対する定位置は、ディスペンスポンプおよび／または供給ポンプのチャンバの体積が、ディスペンスサイクルの様々なステップを実行するのに充分な流体を含み、一方で停滞体積を最小限にするように選択され得る。さらに、該ダイアフラムの定位置は、現実的な置換の効果的範囲を最適化するように選択され得る。 （もっと読む）

本発明は、本体４と筐体６とからなる指型ペリスタルティックポンプ２を提供する。本体は、２以上の指型弁１６と、予め定めた時空パターンに従って弁を作動させるよう設定されたプロセッサ２２を備え、且つ、筐体は導管を収める通路１８を有している。筐体には、流体通路における導管が弁指片に近接する第１位置と、流体通路における導管が弁指片から離反する第２位置が設定されている。この発明は前記ポンプに用いる筐体も特徴とする。 （もっと読む）

【課題】圧縮比を高めることができるダイヤフラム気体ポンプを得る。
【解決手段】ダイヤフラムによって形成された可変容積室；この可変容積室に開口する吸入ポートと吐出ポート；及びダイヤフラムを振動させる手段；を備え、該ダイヤフラムの振動により上記吸入ポートから可変容積室に気体を吸入し吸入した気体を吐出ポートから吐出するダイヤフラム気体ポンプにおいて、ダイヤフラムの可変容積室の反対側に背圧室を形成し、この背圧室に吐出ポートに連通する排気通路の背圧を導いたダイヤフラム気体ポンプ。 （もっと読む）

【課題】ダイアフラムの作動室側への変形を短時間且つ確実とし、ポンプ室内への薬液充填時間の短縮と薬液充填量を十分に確保できる薬液供給用ポンプを提供する。
【解決手段】作動室２６（凹設部２２ａ）の内壁面２２ｃには、その中心部に給排通路２２ｂの開口２２ｄが位置し、その給排通路２２ｂの開口２２ｄから該内壁面２２ｃの周縁部側に展開する十字状の通気溝２２ｅが形成される。これにより、薬液の吸入時において、作動室２６内の作動エアが給排通路２２ｂを通じて排出（吸引）されて該作動室２６内が負圧になり、ダイアフラム２３の中央部が先に給排通路２２ｂの開口２２ｄ部分を覆う事態が生じた場合、開口２２ｄは作動室２６の周縁部まで延びる通気溝２２ｅと連通しているので、先に当接した中央部から外側に位置する通気溝２２ｅから作動室２６内の作動エアの排出（吸引）が継続可能となる。 （もっと読む）

【課題】従来の方法は、流路内壁の一部を弾性的に変化するダイアフラムとして構成しているので、流路の内壁が極めて壊れやすい構造となる。
【解決手段】第一の基板と、この第一の基板の上面側から形成した少なくとも一つ以上の流路を有し、この上面側に第二の基板が当接されることで、これら流路が入出力部を除いて外部より遮断される流体制御器であって、上記流路の横壁に平行に第一のスリットが設けられることで、上記流路の横壁の一部を弾性的に変形するダイアフラムで構成するものとし、このダイアフラムの板厚方向に平行な側面に少なくとも一対の第一の電極と圧電体と第二の電極で構成された圧電素子が、上記側面内で上記流路側もしくは上記第一のスリット側のどちらかに偏在して設けられた構成とする。 （もっと読む）

【課題】 小型ながら効率よく、且つマイクロメンブレインポンプが設けられる小型電子機器における空間効率を極大化させるマイクロメンブレインポンプを提供する。
【解決手段】マイクロメンブレインポンプは、流体流入室および流体流出室から区切られたポンプハウジングと、流体流入室に応じた多数の中間流入開口および流体流出室に応じた多数の中間流出開口が形成されたバルブプレートと、中間流入開口および中間流出開口にそれぞれ設けられる流入チェックバルブおよび流出チェックバルブを備えたバルブ組立体と、バルブ組立体との間に所定のポンプチャンバーが形成されるべくポンプハウジングに設けられ、第１位置と第２位置との間に移動可能なメンブレインと、メンブレインを第１位置および第２位置のいずれかに位置するように駆動するアクチュエータとを含む。 （もっと読む）

【課題】隔膜の洗浄や部品の交換が容易に行なうことができるダイヤフラムポンプ装置を提供する。
【解決手段】駆動源側部材側１の駆動室１１に存在する圧力媒体と供給源側１５から逆止弁部材４１を介してダイヤフラム側部材２１の圧力室２３ａに流れ込んだ圧送流体とが互いに隔膜ａにより非接触状態に仕切られているダイヤフラムポンプ装置に於いて、前記駆動源側部材のシリンダー５に取り付けられたダイヤフラム側部材は、前記シリンダーに取り付けられる負圧室ブロック２２と、この負圧室ブロックに連結具を２４介して開閉自在或いは分離自在となるように一体的に結合する圧力室ブロック２３と、この圧力室ブロックと前記負圧室ブロックとの内部空間内に固定手段２５を介して分離可能に配設された隔膜とから成ることを特徴とするダイヤフラムポンプ装置。 （もっと読む）

【課題】作動時にポンプからの発熱を防止し、先端ノズルから薬液を滴下させる吐出ポンプの小型化を実現できる薬液供給システムを提供する。
【解決手段】レジストボトル１５の上層空間１５ａに圧縮空気を供給することで吐出ポンプ１１のポンプ室内に陽圧とされた薬液を加圧圧送することにより、ポンプ室内にレジスト液Ｒが充填される。このため、吐出ポンプ１１の可撓性膜を作動室側へ駆動してレジスト液Ｒの吸入動作を行わせるべく、スプリング等を使用するという従来の構成を採用する必要がなくなる。これは、電動機を排除して熱によるダメージを半導体ウェハ１９に与える虞がないのは勿論のこと、吐出ポンプ１１それ自体をより一層小型化できる。 （もっと読む）

【課題】作動時にポンプからの発熱を防止し、容積可変部材の反ポンプ室側への作動を行わせる付勢手段を排除してポンプの小型化を図りながらも、容積可変部材の反ポンプ室側への作動量を充分に確保すること。
【解決手段】本薬液供給システムは、薬液としてのレジスト液Ｒの吐出時にポンプ１３の作動室内に供給源５２にて加圧した作動エアを導入し、レジスト液Ｒの吸入時にポンプ１３の作動室内の作動エアを真空発生源５４にて吸引して負圧になるように構成される。 （もっと読む）

本発明は、圧送媒体により制御される少なくとも１つのシールド弁を備えたポンプであって、シールド弁が、フレキシブルな材料から成る弁板（４）を有しており、該弁板（４）が中央範囲で締付け固定されていて、開放位置と閉鎖位置との間で運動可能であり、該閉鎖位置で前記弁板が（４）少なくとも１つの弁開口（９）を閉鎖している形式のものに関する。本発明によるポンプの特徴は、弁板（４）に、かつ／または該弁板（４）の、弁開口（９）とは反対の側に配置された弁当接面（１０）に、該弁当接面（１０）に対する弁板（４）の衝撃的な面状の当接を回避しかつ／または弁開放運動を制限するための一体成形部（１１）が突設されていることにある。本発明によるポンプは、特にノイズの少ない運転の点ですぐれている（図６参照）。
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【課題】 脈動をきわめて少なくでき、チェック弁を用いる必要が無くて逆流が可能なダイアフラムポンプを提供すること。
【解決手段】 ダイアフラムポンプ１は、ベースブロック２と、ダイアフラム８と、ダイアフラムを往復駆動する駆動手段とを備える。ベースブロック２は、３本以上の液体流路を有し、各液体流路は凹部２３〜２５を３個以上有する。ダイアフラム８は各凹部２３〜２５とで複数のバルブ室や計量室を区画形成する。駆動手段は、各凹部に対しダイアフラムを挟んで配置された押圧ロッド７３〜７５と、各押圧ロッド７３〜７５を凹部に近づく方向に移動してバルブ室や計量室内の容積を徐々に小さくし、最終的に計量室をダイアフラムで密閉する吐出動作および押圧ロッドを凹部から離れる方向に移動してバルブ室や計量室の容積を徐々に大きくする吸入動作を、各押圧ロッド毎に設定された所定のタイミングで実行可能な押圧部材駆動制御部とを備える。 （もっと読む）