【課題】永久磁石キャンド・モータポンプの構成部品の薬液による腐食を防ぎ、モータの放熱の問題を解決すること。
【解決手段】
永久磁石キャンド・モータポンプは、強化ブラケットと、モータ・ケーシングと、モータ・リアケーシングとを含む、その腐食保護ハウジングを特徴としている。強化ブラケットは耐腐食性プラスチックでできており、モータ・ケーシングとモータ・リアケーシングはアルミニウム合金でできている。これによると、腐食保護ハウジングによって、アルミニウム合金製の構成部品の薬液による腐食を防ぐことができる。また、この永久磁石キャンド・モータポンプは、腐食保護ハウジングの構造的要求を満たす一方で、モータが十分な放熱率で熱を放散させることができるような放熱機構を提供する。 （もっと読む）

【課題】電源投入時に結露が生じていても結露の消失を待つことなく始動することが可能なターボ分子ポンプ用の電源装置を提供する。
【解決手段】電源装置５０は、周縁部５１ａの内周側に凹部５１ｂを有するベース部材５１と、ベース部材５１の凹部５１ｂ側に取り付けられた覆い部材５２を有する。ベース部材５１の凹部５１ｂ内には、高電圧が入出力される電力系ユニット７０が配置され、覆い部材５２の内面側には制御系ユニット８０が配置される。電力系ユニット７０を構成する回路基板７１の配線および電子部品７２、７３の端子部７２ａ、７３ａ等の導電部は、樹脂モールド等の保護材料５５で被覆されている。 （もっと読む）

【課題】流体３を搬送するための回転ポンプ２の固定子５内のポンプ・ハウジング４内で磁気的に接触しないやり方で駆動及び浮上させることができ、フッ素化炭化水素を含む外部被包６によって被包される、回転ポンプ２のための磁気回転子１を提供する。
【解決手段】本発明によれば、回転子１は、被包６内で金属ジャケット７によって覆われる永久磁石８を備え、金属ジャケット７は、タンタル、ニオビウム、ジルコニウム、チタニウム、ハフニウム、金、プラチナ、パラジウム、オスミウム、イリジウム、ルテニウム、及びロジウムで構成される要素の群のうちの少なくとも１つの金属を含む。本発明はさらに、プラント構成要素に関し、詳細には、磁気回転子１を有する回転ポンプ２に関する。 （もっと読む）

【課題】不釣合い変化をコスト的に有利に修正可能な真空ポンプを提供する。
【解決手段】真空ポンプは、釣合い手段を含むロータ２０と、ロータを回転させる駆動装置３８、４０と、ロータを支持するための軸受４４、５０と、ロータの釣合い状態を測定し、且つ、適合されている評価ユニット１３４と協働して釣合い状態の変化を検出するためのセンサ手段とを備え、ロータ位置を決定するために、ロータ位置検出ユニット１３２と協働する釣合い状態の変化に対処するために釣合い手段の調整が可能なように、ロータ位置に釣合い状態を割り当てるための割当て手段が設けられている。 （もっと読む）

【課題】ホールセンサ等のロータ回転位置検出機能を備えることなく、ロータ回転始動時における逆転を防止することができる磁気浮上式真空ポンプの提供。
【解決手段】ラジアル磁気軸受３７，３８およびアキシャル磁気軸受３９により磁気浮上されたロータ３０を、モータ３６により高速回転して気体の排気を行う磁気浮上式真空ポンプにおいて、モータ駆動開始の前に、ラジアル方向の吸引力がラジアル磁気軸受３７，３８の中心軸に対して回転する回転磁界であって、ロータ３０をモータ回転方向Ｒと逆方向Ｒ２に公転運動させ、かつ、該公転運動に対して進み角を有する回転磁界をラジアル磁気軸受３７，３８により形成させるようにした。 （もっと読む）

【課題】回転体のアンバランス修正作業を効率良く行うことができるアンバランス修正方法の提供。
【解決手段】本発明によるアンバランス修正方法では、被膜材料を含む電極の一部を放電により溶融して回転体に堆積させ、回転体のアンバランスを修正するものであって、回転体の動的不釣り合いを測定するアンバランス測定工程（Ｓ１０）と、測定された動的不釣り合いに基づいて放電時間および回転体に対する電極の移動範囲を制御して、被膜材料から成るアンバランス修正用被膜を回転体に形成する被膜形成工程（Ｓ４０）と、を有する。 （もっと読む）

【課題】制御基板を位置決め及び保持する係合部及び被係合部を備えたことで、制御基板の接触不良を防止すると共に排熱効率を向上することができるモータ及びそのモータを備えたポンプ及びそのポンプを備えた液体循環装置を提供する。
【解決手段】本発明のモータは、コイル１３３を有するステータ１３１と、ステータ１３１により回転するロータ１２１と、ステータ１３１を制御する制御基板３と、制御基板３を収める基板収容部２を有するケースと、を備えている。そして、ケースに係合部４を設け、制御基板３に被係合部８を設けて、制御基板３を位置決め及び保持した。これにより、制御基板３に端子や配線等を確実に取り付けられ、且つポッティング材９の充填時に制御基板３が位置ずれしないため、接触不良等の不具合を防止すると共に、制御基板３の排熱効率を向上することができる。 （もっと読む）

【課題】ブラインとの熱交換を抑制できる冷媒循環用ポンプ、冷凍装置用タンクおよび冷凍装置を提供する。
【解決手段】冷媒循環用ポンプは、モーター６１と、モーター６１から下方に延設されたシャフト６３と、シャフト６３の下端側に支持された羽根車と、シャフト６３および羽根車を収容し、冷媒が流入する流入口６８および冷媒が流出する流出口６６を有するケーシング６７と、基端部が流出口６６につながり、ケーシング６７から外部に延設されてケーシング６７と離隔して配置され、上方に向かって冷媒を送る流路を有する吐出配管６９と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】ポンプにおいて、寿命の延長を可能とする。
【解決手段】吸込口１１と吐出口１２を有するケーシング１３内に玉軸受１４，１５により主軸１６を回転自在に支持し、この主軸１６の軸端部に羽根車１７を連結し、キャンドモータ１８により主軸１６を介して羽根車１７を駆動回転可能に構成し、羽根車１７における軸心方向前側に前部シュラウド４４を設けると共に、軸心方向後側に後部シュラウド４５を設け、ケーシング１３と前部シュラウド４４との間に軸方向に対向する所定隙間４７を設けると共に、ケーシング１３と前部シュラウド４４との間に径方向に対向するシール部４８，４９を設ける。 （もっと読む）

【課題】ポンプ運転中における部品同士の接触を確実に防止できるベアリングレスモータを用いたポンプを提供することにある。
【解決手段】ポンプ１００は、両吸込型のインペラ１０１を回転させるベアリングレスモータ１２０が該インペラの両側に配置され、回転シャフト１０２の両側に同極の磁性部材１２３、１２４がそれぞれ対向配置され、同極の磁性部材の反発磁力により回転シャフトの軸方向位置が受動制御される。これにより、回転シャフトの両端は同極の磁性部材の反発磁力により支持され、回転シャフトは中立位置に位置決めされる。同極の磁性部材の反発磁力は、両者間の距離が縮まることにより指数関数的に上昇するため、回転シャフトが軸方向に移動しても該移動を抑制して回転シャフトを元の中立位置に戻すように作用する。当該移動距離分の隙間を接触しそうな部品間に設けておくことにより、該部品同士の接触を確実に防止することができる。 （もっと読む）

【課題】ポンプ吸込側のスラッジ除去に要するフィルタのメンテナンスが容易でランニングコストもかからないポンプ装置を提供する。
【解決手段】逆転可能な渦流ポンプ11の液吸込口26に旋回型スプリングフィルタ12の液出口23を接続する。この旋回型スプリングフィルタ12のフィルタケーシング22の下部にスプリングフィルタ用スラッジポット13を接続する。渦流ポンプ11の液吐出口40にサイクロンフィルタ14の液入口42を接続する。このサイクロンフィルタ14のフィルタケーシング43の下部にサイクロンフィルタ用スラッジポット15を接続する。 （もっと読む）

【課題】低電圧での駆動を可能にした揺動ファンを提供する。
【解決手段】この揺動ファン１において、形状記憶合金１１にオン／オフのパルス電圧を印加すると、形状記憶合金１１自体の温度が変動し、変態温度を境にして形状記憶合金１１は面方向に揺動する。さらに、形状記憶合金１１には、電気絶縁性の接着剤１３を介して板バネ１２が固定されているので、パルス電圧印加時での通電時に、形状記憶合金１１が加熱されて変態温度以上になると、板バネ１２の付勢力に抗して形状記憶合金１１は変態する。また、パルス電圧印加時での無通電時に、形状記憶合金１１が冷えて変態温度以下になると、外力として作用する板バネの付勢力によって形状記憶合金１１は、板バネ１２の元の形状に素早く戻される。このように、形状記憶合金１１に対し通電／無通電を順次繰り返すと、低電圧で平板状の団扇部３を団扇のように素早く揺動させることができる。 （もっと読む）

【課題】小型化、軽量化が可能で、簡単な構成で分離して構成された動翼を取付ける第１の回転軸とモータのロータ等を取付ける第２の回転軸が締結でき、高速回転及び比較的ロータを高温で稼動させるのに適したターボ型真空ポンプを提供すること。
【解決手段】ポンプ部Ｐの軸方向片側に動翼を回転支持する軸受及びモータ部Ｍを配置したターボ型真空ポンプにおいて、動翼を取り付ける第１の回転軸２５と、モータロータ４１を取り付ける第２の回転軸４４と、第１の回転軸２５と第２の回転軸４４を締結する締結部材２９とを具備し、第１の回転軸２５は高耐食性の材料で、第２の回転軸４４は強磁性の材料で構成され、第１の回転軸２５の線膨張係数が第２の回転軸の線膨張係数に比べて小さく、第１の回転軸２５は中空構造であり、締結部材２９は第１の回転軸２５の中空部を貫通し第１の回転軸２５と第２の回転軸４４を締結する。 （もっと読む）

【課題】運転コストが小さくて、かつ、回転軸の振れが大きい状態であっても、磁気軸受に回転軸を安定に支持させることができる磁気軸受の制御装置を提供すること。
【解決手段】バイアス電流生成部２３が一定の第１バイアス電流を生成している第１状態の制御電流に基づいて、バイアス電流が第１バイアス電流と異なる一定の第２バイアス電流である第１状態の次の第２状態における上記第２バイアス電流を選択するバイアス電流選択部２５を備える。バイアス電流選択部２５は、第２バイアス電流を表す信号をバイアス電流生成部２３に出力する。 （もっと読む）

【課題】磁気軸受の姿勢の自由度を活用して、高次の振動モードを制振可能とし、真空機器である真空ポンプを、制振機器としても活用し、この真空ポンプを使用してなる装置の精度及び生産性に寄与した制振装置及び制振方法を提供する。
【解決手段】第１の振動センサ及び第２の振動センサで検出された振動信号を基に傾斜方向振動成分と並進方向振動成分とを分離し、傾斜方向振動成分を傾斜方向信号補償手段で信号補償された出力信号に対し加算して傾斜方向信号を生成し、並進方向振動成分を並進方向信号補償手段で信号補償された出力信号に対し加算して並進方向信号を生成し、並進方向信号及び傾斜方向信号を基に第１の位置センサに対応して配置された第１の径方向電磁石を駆動し、及び第２の位置センサに対応して配置された第２の径方向電磁石を駆動する。 （もっと読む）

【課題】部品数とコストの低減、および組立て作業性の向上を図るのに好適な真空ポンプとその振動吸収ダンパを提供する。
【解決手段】吸気口１の上部に振動吸収ダンパ３が設けられ、この振動吸収ダンパ３は、吸気口１に連通する筒状のベローズ５と、ベローズ５を収容する筒状のダンパケース６と、ダンパケース６の下端とポンプケース２の上端とを連結する弾性部材からなる振動吸収体７とを備え、かつ、ベローズ５の上端をダンパケース６の内側フランジ部８に固定し、同ベローズ５の下端をポンプケース２の上端に直接取り付けた構造とする。 （もっと読む）

【課題】非磁性体からなる転動体を備えた保護ベアリングにおいて、磁化された内輪の連れ回りを抑制すること。
【解決手段】内輪41及び外輪42は、磁性体の部材により形成され、転動体43は、非磁性体により形成されている。磁気誘導体44は、磁性材により形成された部材であり、磁化された内輪の磁気を、内輪と外輪を通る閉磁路へ誘導する磁気誘導機能を備える。磁気誘導部44bは、軸受固定部44aの内周縁部から、軸受固定部の延長方向及び軸方向に張り出した部位から構成され、より磁気抵抗が小さくなるように外輪と接触されている。保護ベアリングの内輪と磁気誘導部との隙間の間隔βは、内輪の内周面とシャフト7の外周壁面との隙間の間隔αと比較して十分に小さくなるように構成されている。このように、間隔β＜間隔αとなるように磁気誘導体を設けることにより、より多くの磁束を拾い、内輪と外輪を通る閉磁路へ誘導することができる。 （もっと読む）

【課題】循環型オゾン水製造装置内の循環経路中のオゾン水濃度を常に設定した濃度に保ち、設定したオゾン水濃度のオゾン水を洗浄槽に供給することにある。
【解決手段】オゾン溶解槽３内のオゾン水の濃度を測定し、その測定値に基づいて、電解式オゾンガス発生装置１への電解電流制御及び／又はバルブＢによる切り替えを行い、オゾン溶解槽３へのオゾンガス供給を制御するとともに、循環タンク２に設けた液面計ＬＳにより、循環タンク２内の液面を管理し、超純水の補給、停止を繰り返すことにより、循環経路中のオゾン水の濃度を一定に保ち、設定したオゾン水濃度のオゾン水を安定して供給を行う循環型オゾン水製造装置及び該装置の運転方法を提供することにある。 （もっと読む）

【課題】超臨界ＣＯ₂流体或いは液体ＣＯ₂を搬送するポンプであって、軸受部を最適化することにより信頼性を確保した超臨界ＣＯ₂流体或いは液体ＣＯ₂用ポンプを提供する。
【解決手段】アンギュラ玉軸受８は、内輪８ａ，外輪８ｂ、及びこれらに挟持された玉８ｃ、並びに玉８ｃを保持する保持器８ｄより成り、玉及び内外輪共セラミックとした総セラミック軸受としている。また、保持器８ｄは外輪、或いは内輪案内としており、具体的には、例えば、内輪案内の場合には、内輪８ａの最外周面８ａｂにより、これに対向する保持器８ｄの内周面８ｄｂが案内される構成となっている。 （もっと読む）

【課題】極めて高純度の活性液体を、金属イオン等が入り込まないようにして、移送できるようにする。
【解決手段】回転軸１２の端部に取付けられてポンプケーシング１０内に収容された羽根車１４と、羽根車１４の回転により昇圧された移送液がモータ側に流れることを防止する補助羽根３６と該補助羽根３６のモータ側に配置されて移送液の圧力を受けたときに作動する軸封機構４６とを有するシール部５０と、移送液に接触する箇所に施したライニング材１０ａ，１６ａ，１６ｂ，３０ａ，３６ａ，３８ａとを有する。 （もっと読む）